3的驅(qū)動(dòng)下運(yùn)動(dòng)更為平穩(wěn)，其中第二導(dǎo)向機(jī)構(gòu)66包括與支撐安裝板7相連的導(dǎo)向件二661和設(shè)置在橫梁結(jié)構(gòu)400上的導(dǎo)向通道二 662，本實(shí)施例的導(dǎo)向通道二 662可以直接是設(shè)置在橫梁結(jié)構(gòu)400，或者在橫梁結(jié)構(gòu)400安裝的導(dǎo)向通道二 662。
[0057]在本實(shí)施例中，優(yōu)選第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)一 13、與電機(jī)一 13輸出端相連的絲桿一 14和絲桿座一 15，其中絲桿座一 15與工作臺(tái)組件300底部相連，由電機(jī)一 13驅(qū)動(dòng)基臺(tái)200相對(duì)工作臺(tái)組件300運(yùn)動(dòng)，在本實(shí)施例中，還通過(guò)第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)2進(jìn)行導(dǎo)向，保證工作臺(tái)組件300在電機(jī)一 1的驅(qū)動(dòng)下運(yùn)動(dòng)更為平穩(wěn)，其中第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)2包括與工作臺(tái)組件300相連的導(dǎo)向件一 21和設(shè)置在基臺(tái)200上的導(dǎo)向通道一 22。
[0058]在本實(shí)施例中，所述成像裝置5包括鏡頭組件51和用于將圖像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換組件，本實(shí)用新型優(yōu)選所述光電轉(zhuǎn)換組件為(XD組件52，所述(XD組件52通過(guò)第三滑動(dòng)裝置8相對(duì)支撐安裝板7沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，根據(jù)成像的需要，(XD組件52可進(jìn)行豎直方向上的調(diào)整，保證掃描得到更為清晰的圖片，保證掃描的質(zhì)量。在本實(shí)用新型中，定義該運(yùn)動(dòng)方向?yàn)長(zhǎng)軸，本實(shí)施例中，第三滑動(dòng)裝置8包括兩個(gè)設(shè)置在支撐安裝板7上且呈平行設(shè)置的導(dǎo)軌三81和設(shè)置在(XD組件52上的且與導(dǎo)軌三81滑動(dòng)配合的滑塊三82以及驅(qū)動(dòng)所述CCD組件52相對(duì)支撐安裝板7運(yùn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；在本實(shí)施例中，優(yōu)選第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)三83、與電機(jī)三83輸出端相連的絲桿三84和絲桿座三85，其中絲桿座三85與支撐安裝板7相連，由電機(jī)三83驅(qū)動(dòng)(XD組件52相對(duì)支撐安裝板7沿L軸運(yùn)動(dòng)。
[0059]同理，所述鏡頭組件51通過(guò)第四滑動(dòng)裝置9相對(duì)支撐安裝板7沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，定義該運(yùn)動(dòng)方向?yàn)镃軸；可調(diào)整鏡頭組件51，適用不同厚度、檔位的被檢測(cè)印制板的調(diào)節(jié)。所述第四滑動(dòng)裝置9包括至少兩個(gè)設(shè)置在支撐安裝板7上且呈平行設(shè)置的導(dǎo)軌四91和設(shè)置在鏡頭組件51上的且與導(dǎo)軌四91滑動(dòng)配合的滑塊四92以及驅(qū)動(dòng)所述鏡頭組件51相對(duì)支撐安裝板7運(yùn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中，優(yōu)選第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)四93、與電機(jī)四93輸出端相連的絲桿四94和絲桿座四95，其中絲桿座四95與支撐安裝板7相連，由電機(jī)四93驅(qū)動(dòng)鏡頭組件51相對(duì)支撐安裝板7沿C軸運(yùn)動(dòng)。
[0060]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。
[0061]總之，以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實(shí)用新型專利的涵蓋范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光學(xué)檢測(cè)儀，包括機(jī)架、設(shè)置在機(jī)架上方的基臺(tái)、設(shè)置在基臺(tái)上并相對(duì)基臺(tái)沿Y方向運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)組件和設(shè)置在工作臺(tái)組件上方的橫梁結(jié)構(gòu)，其特征在于:還包括設(shè)置在橫梁結(jié)構(gòu)上的掃描機(jī)構(gòu)，所述掃描機(jī)構(gòu)相對(duì)橫梁結(jié)構(gòu)沿X方向運(yùn)動(dòng)；所述掃描機(jī)構(gòu)包括成像裝置和輔助成像裝置的光源裝置，所述光源裝置包括至少一組主燈組件和至少一對(duì)側(cè)燈組件，所述一組主燈組件包括主燈一和設(shè)置在主燈一兩側(cè)且相對(duì)主燈呈對(duì)稱設(shè)置的主燈二以及供主燈一和主燈二聚焦的第一光線聚焦裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述主燈一包括發(fā)光體和支撐發(fā)光體的主燈座一，所述主燈座一的兩端分別設(shè)有用于主燈座一相對(duì)光源支架組件固定的連接孔一；所述主燈二包括發(fā)光體和支撐發(fā)光體的主燈座二，所述主燈座二的兩端分別設(shè)有用于主燈座二相對(duì)光源支架組件固定的連接孔二。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述第一光線聚焦裝置包括分別與主燈一和主燈二呈平行設(shè)置的透鏡一和透鏡二、分別支撐透鏡一和透鏡二的透鏡座一組件和透鏡座二組件以及與豎直方向成一定角度設(shè)置的半反鏡和支撐半反鏡的半反鏡支座組件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:還包括支撐主燈組件和側(cè)燈組件的光源支架組件，所述光源支架組件包括呈對(duì)稱設(shè)置的側(cè)板，所述兩側(cè)板上設(shè)有供所述透鏡座一組件的兩端安裝的安裝孔一和供所述透鏡座二組件的兩端安裝的安裝孔二以及半反鏡支座組件半反鏡支座組件的兩端安裝的安裝孔三；所述透鏡座一組件包括透鏡支座一和分別與透鏡支座一兩端相連的連接件一，所述透鏡座一組件通過(guò)連接件一與側(cè)板固定連接；所述透鏡座二組件包括透鏡支座二和分別與透鏡支座二兩端相連的連接件二，所述透鏡座二組件通過(guò)連接件二與側(cè)板固定連接；所述半反鏡支座組件包括半反鏡支座和分別與半反鏡支座兩端相連的連接件三，所述半反鏡支座組件通過(guò)連接件三與側(cè)板固定連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述側(cè)燈組件關(guān)于成像裝置的軸線呈對(duì)稱設(shè)置，所述側(cè)燈組件包括側(cè)燈和與供所述側(cè)燈聚焦的第二光線聚焦裝置，所述側(cè)燈包括發(fā)光體和支撐發(fā)光體的側(cè)燈座，所述側(cè)燈座的兩端分別設(shè)有用于側(cè)燈座固定的連接孔三；所述第二光線聚焦裝置包括與側(cè)燈呈平行設(shè)置的透鏡三以及支撐透鏡三的透鏡座三組件，所述透鏡座三組件包括透鏡支座三和分別與透鏡支座三兩端相連的連接件三，所述透鏡座三組件通過(guò)連接件三與側(cè)板固定連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述工作臺(tái)組件通過(guò)第一滑動(dòng)裝置相對(duì)基臺(tái)沿Υ方向運(yùn)動(dòng)，所述第一滑動(dòng)裝置包括至少兩個(gè)設(shè)置在基臺(tái)上且呈平行設(shè)置的導(dǎo)軌一和設(shè)置在工作臺(tái)組件上的且與導(dǎo)軌一滑動(dòng)配合的滑塊一以及驅(qū)動(dòng)所述工作臺(tái)組件相對(duì)基臺(tái)運(yùn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述掃描機(jī)構(gòu)還包括與橫梁結(jié)構(gòu)相連的支撐安裝板，所述成像裝置和光源裝置安裝在所述的支撐安裝板上；所述掃描機(jī)構(gòu)通過(guò)第二滑動(dòng)裝置相對(duì)橫梁沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述第二滑動(dòng)裝置包括至少兩個(gè)設(shè)置在橫梁結(jié)構(gòu)上且呈平行設(shè)置的導(dǎo)軌二和設(shè)置在支撐安裝板上的且與導(dǎo)軌二滑動(dòng)配合的滑塊二以及驅(qū)動(dòng)所述掃描機(jī)構(gòu)相對(duì)橫梁結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述成像裝置包括鏡頭組件和用于將圖像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換組件，所述光電轉(zhuǎn)換組件通過(guò)第三滑動(dòng)裝置相對(duì)支撐安裝板沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，所述鏡頭組件通過(guò)第四滑動(dòng)裝置相對(duì)支撐安裝板沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述光電轉(zhuǎn)換組件為CCD組件，所述第三滑動(dòng)裝置包括至少兩個(gè)設(shè)置在支撐安裝板上且呈平行設(shè)置的導(dǎo)軌三和設(shè)置在CCD組件上的且與導(dǎo)軌三滑動(dòng)配合的滑塊三以及驅(qū)動(dòng)所述CCD組件相對(duì)支撐安裝板運(yùn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述第四滑動(dòng)裝置包括至少兩個(gè)設(shè)置在支撐安裝板上且呈平行設(shè)置的導(dǎo)軌四和設(shè)置在鏡頭組件上的且與導(dǎo)軌四滑動(dòng)配合的滑塊四以及驅(qū)動(dòng)所述鏡頭組件相對(duì)支撐安裝板運(yùn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)儀，其特征在于:所述工作臺(tái)組件為真空平臺(tái)，還包括與工作臺(tái)組件相連的吸氣裝置，所述吸氣裝置包括吸氣組件和容納所述吸氣組件的箱體，所述吸氣組件包括風(fēng)機(jī)、三通閥和消音器，所述三通閥分別與風(fēng)機(jī)、消音器以及外界相連，所述消音器的出口通過(guò)管道一與真空腔相連。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光學(xué)檢測(cè)儀，包括機(jī)架、基臺(tái)、設(shè)置在基臺(tái)上并相對(duì)基臺(tái)沿Y方向運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)組件和設(shè)置在工作臺(tái)組件上方的橫梁結(jié)構(gòu)和設(shè)置在橫梁結(jié)構(gòu)上的掃描機(jī)構(gòu)，所述掃描機(jī)構(gòu)相對(duì)橫梁結(jié)構(gòu)沿X方向運(yùn)動(dòng)；所述掃描機(jī)構(gòu)包括成像裝置和輔助成像裝置的光源裝置，所述光源裝置包括至少一組主燈組件和至少一對(duì)側(cè)燈組件以及支撐主燈組件和側(cè)燈組件的光源支架組件，所述一組主燈組件包括主燈一和設(shè)置在主燈一兩側(cè)且相對(duì)主燈呈對(duì)稱設(shè)置的主燈二以及供主燈一和主燈二聚焦的第一光線聚焦裝置。本實(shí)用新型提供一種光學(xué)檢測(cè)儀，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，光源裝置照射覆蓋范圍大，使得掃描缺陷的成像清晰和穩(wěn)定。
【IPC分類】G01N21/95, G01N21/01
【公開(kāi)號(hào)】CN205067385
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520809502
【發(fā)明人】張方德, 邵和興
【申請(qǐng)人】浙江歐威科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年10月19日