一種多層石墨烯污點激光檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實用新型涉及一種多層石墨烯污點激光檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯是從石墨材料中剝離出來、由碳原子組成的只有一層原子厚度的二維晶體。石墨烯既是最薄的材料，也是最強韌的材料，斷裂強度比最好的鋼材還要高200倍。同時它又有很好的彈性，拉伸幅度能達到自身尺寸的20%。如果用一塊面積I平方米的石墨烯做成吊床，本身重量不足I毫克可以承受一只一千克的貓。石墨烯幾乎是完全透明的，只吸收2.3%的光。另一方面，它非常致密，即使是最小的氣體原子也無法穿透。這些特征使得它非常適合作為透明電子產(chǎn)品的原料，如透明的觸摸顯示屏、發(fā)光板和太陽能電池板。
[0003]由于石墨烯的優(yōu)良的性能，石墨烯成為當今科技發(fā)展的一個突破瓶頸的要點，雖然我國在石墨烯的論文研究上位居世界前列，但是在石墨烯的應(yīng)用及檢測上還存在諸多不足，在石墨烯的應(yīng)用中，多層石墨烯在重合過程中，是否達到使用的要求，需要良好的檢測手段及檢測設(shè)備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于:針對上述存在的問題，提供一種多層石墨烯污點激光檢測裝置，利用激光被折射的原理對石墨烯上的污點進行檢測，具有較高的準確性，采用聚合性更好的激光進行逐一掃描具有更強的精確性和防錯性，激光傳感器采集激光信號，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗，具有防止其他光的干擾而影響測試結(jié)果;照相機為高清相機，能夠?qū)Ψ糯?00倍-1000倍的進行照相，其具有連拍功能，是通過兩個或兩個以上的激光發(fā)生器，產(chǎn)生不同的激光，進行掃描，第一次的扁平激光，能夠具有更快的掃描速度，同時能夠避免減少掃描的時間，第二次掃描是對第一掃描發(fā)現(xiàn)問題的位置進行定位，其定位的，利用柱形激光進行掃描，能夠?qū)崿F(xiàn)對精確定位;避免重復定位的重復勞動。
[0005]影響檢測的準確性。
[0006]本實用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0007]本實用新型公開了一種多層石墨烯污點激光檢測裝置，包括:機架和設(shè)置在機架上的掃描機構(gòu)、控制器、操作機構(gòu)、拍照機構(gòu)、圖像處理器、密封罩、鼓風器、及抽真空器；
[0008]掃描機構(gòu)包括掃描架和固定在掃描架上激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽，激光接收槽內(nèi)側(cè)設(shè)有若干激光傳感器;激光傳感器、兩激光發(fā)生器和升降器分別與控制器電連接；
[0009]操作機構(gòu)包括移動臺和設(shè)置在移動臺上的固定器、反射鏡及光屏，移動臺上設(shè)置有橫向移動器和縱向移動器，移動臺及光屏與控制器電連接;光屏設(shè)置在移動臺的側(cè)方，用于產(chǎn)生單一色彩的光;反射鏡設(shè)于固定器的下方；
[0010]拍照機構(gòu)包括固定在機架上的固定架、設(shè)置在固定架上的照相機;在照相機的鏡頭處設(shè)有伸縮裝置，在伸縮裝置下方設(shè)有可移動的放大鏡;該拍照機構(gòu)與控制器相連；[0011 ]圖像處理器設(shè)置于機架內(nèi)部，與控制器相連，用于圖像處理；
[0012]密封罩設(shè)于機架上方，并與機架構(gòu)成不透光的密閉空間，在密封罩的邊沿處設(shè)有密封環(huán);所述密封罩為不透明密封罩;在密封罩上設(shè)有可開閉的觀察口 ；
[0013]抽真空器設(shè)置于機架內(nèi)，包括真空電機、出氣口、及抽氣口；出氣口、及抽氣口之間設(shè)有單向閥；
[0014]鼓風器與設(shè)置于機架上包括依次相連的氮氣罐、電磁閥、及鼓風頭;在抽氣口處還通過電磁閥及管道連接該氮氣罐。
[0015]更進一步，所述鼓風器的鼓風頭上具有扁平的噴嘴。
[0016]更進一步，所述真空電機采用220v的三相交流步進電機;所述出氣口大于抽氣口。
[0017]更進一步，所述氮氣罐內(nèi)包括88%的氮氣、5%的氦氣和7%氫氣。
[0018]更進一步，所述扁平激光發(fā)生器產(chǎn)生寬為1mm、厚度為1um的偏平激光;所述圓頭激光發(fā)生器產(chǎn)生半徑為1um的柱形激光。
[0019]更進一步，所述升降器高、中、低三個擋位，分別對應(yīng)不同速度;低速擋的移動速度為5cm/min0
[0020]由于上述結(jié)構(gòu)，利用激光被折射的原理對石墨烯上的污點進行檢測，具有較高的準確性，采用聚合性更好的激光進行逐一掃描具有更強的精確性和防錯性，激光傳感器采集激光信號，有控制單元分析，其不透光的特性能夠便于試驗，具有防止其他光的干擾而影響測試結(jié)果；照相機為高清相機，能夠?qū)Ψ糯?00倍-1000倍的進行照相，其具有連拍功能，能夠瞬間拍攝較多的照片，圖像處理器進行檢測，具有更好的防誤性，提高精確性，密封罩內(nèi)的負壓環(huán)境，能夠降低空氣流動，對激光光線的影響，其鼓風器能夠?qū)υ撁荛]空間進行清掃，避免空氣中的塵埃掉落到待檢測的石墨烯上，影響檢測的準確性。
[0021]更進一步，多層石墨烯污點激光檢測裝置的控制系統(tǒng)包括:
[0022]控制單元，包括控制器；
[0023]掃描單兀，包括掃描機構(gòu)，掃描機構(gòu)包括激光器、升降器，激光器包括一扁平激光發(fā)生器、一圓頭激光發(fā)生器及凹形的激光接收槽、及設(shè)于激光接收槽內(nèi)側(cè)的若干激光傳感器;激光器升降至指定位置后，帶形激光器產(chǎn)生寬為1_、厚度為1um的偏平激光，激光經(jīng)石墨烯反射后由激光接收槽內(nèi)指定區(qū)域的激光傳感器接收;非指定區(qū)域內(nèi)的激光傳感器接收到激光或指定區(qū)域內(nèi)的激光傳感器接收到的激光強度變化超過設(shè)定值時，則打開圓頭激光發(fā)生器產(chǎn)生半徑為1um的柱形激光，柱形激光沿帶形激光的寬度方向掃描，柱形激光經(jīng)石墨烯和反射鏡反射激光傳感器上，便于計算出石墨烯上帶污點的位置；
[0024]操作單元，包括移動臺和上設(shè)置在移動臺上的固定器和反射鏡，移動臺上設(shè)置有橫向移動器和縱向移動器，移動臺及光屏與控制器電連接；固定器用于固定石墨烯，反射鏡設(shè)于石墨烯下方，光屏設(shè)于固定器的側(cè)邊，用于產(chǎn)生單色光；移動臺移動時，使設(shè)于固定器上的石墨烯水平移動，反射激光至激光傳感器；
[0025]拍照單元，包括拍照機構(gòu)，拍照機構(gòu)包括照相機、設(shè)于照相機鏡頭處的伸縮裝置、及可移動的放大鏡、及光屏;放大鏡可移動至伸縮裝置前端，便于拍照;反射光屏產(chǎn)生的單色光由照相機拍照；
[0026]真空單元，包括密封罩、抽真空器及鼓風器;抽真空器包括真空電機、出氣口、抽氣口和設(shè)置在出氣口與抽氣口之間的單向閥；鼓風器包括氮氣罐、電磁閥、及鼓風頭，鼓風頭由控制器控制轉(zhuǎn)動;在抽氣口處還通過電磁閥連接有氮氣罐;密封罩配合機架將掃描單元、操作單元、及拍照單元密封;氮氣罐內(nèi)包括了 88%的氮氣、5%的氦氣和7%氫氣；
[0027 ]圖像處理單元，用于對拍照單元采集到的圖片進行圖像處理；
[0028]控制單元分別與掃描單元、操作單元、拍照單元、及真空單元、圖像處理單元相連，并用于控制各單元。
[0029]由于上述系統(tǒng)，使各個單元精確配合，達到更好的檢測效果，能夠依照其使用方法，對其進行有效檢測，減輕了人工檢測的工作量，能夠精確控制每個單元的統(tǒng)一調(diào)配工作，避免各個單元之間的動作沖突，影響其動作的準確性;其掃描單元，產(chǎn)生兩種不同的激光，分別對激光進行，初次掃描和精確掃描，避免了因個別原因影響掃描的準確性;操作單元，對石墨烯進行移動，能夠移動距離更小，避免激光移動方式，速度過快，掃