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      傳感器裝置的制作方法

      文檔序號:12512394閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種傳感器裝置,具備:

      傳感器元件,其電氣特性根據(jù)物理量產(chǎn)生變化;

      信號處理電路,其處理所述傳感器元件的輸出信號;

      第一晶體管元件,其向所述傳感器元件和所述信號處理電路提供電流;

      控制電路,其控制所述第一晶體管元件的基極電流;

      電源端子;以及

      接地端子,

      該傳感器裝置的特征在于,所述控制電路具備:

      限制部,其限制從所述接地端子流向所述第一晶體管元件的基極端子的電流。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子,

      所述限制部具備二極管元件,所述二極管元件將陽極與所述第一晶體管元件的基極連接,并將陰極與所述第二晶體管元件連接。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子,

      所述限制部具備P型場效應(yīng)晶體管,

      將所述P型場效應(yīng)晶體管的阱、柵極以及漏極連接到所述第二晶體管元件,將所述P型場效應(yīng)晶體管的源極連接到所述第一晶體管元件的基極。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子,

      所述限制部具備N型場效應(yīng)晶體管,

      將所述N型場效應(yīng)晶體管的源極連接到所述第二晶體管元件,

      將所述N型場效應(yīng)晶體管的阱、柵極以及漏極連接到所述第一晶體管元件的基極。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子,

      所述限制部具備NPN晶體管,

      將所述NPN晶體管的發(fā)射極連接到所述第二晶體管元件,

      將所述NPN晶體管的基極以及集電極連接到所述第一晶體管元件的基極。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子,

      所述限制部具備PNP晶體管,

      將所述PNP晶體管的基極以及集電極連接到所述第二晶體管元件,

      將所述PNP晶體管的發(fā)射極連接到所述第一晶體管元件的基極。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子,

      所述限制部具備:電阻元件,其連接所述第二晶體管元件的阱和接地端子。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述控制電路具備:

      第二晶體管元件,其使電流流向所述接地端子;

      分壓用電阻元件;以及

      開關(guān)部,

      在所述分壓用電阻元件的一端與所述接地端子之間連接所述開關(guān)部,

      檢測到負(fù)電壓被施加到所述電源端子后切斷所述開關(guān)部。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述開關(guān)部是N型場效應(yīng)晶體管。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1~9的任一項(xiàng)所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述第一晶體管元件具備第一N型阱,

      所述信號處理電路具備第二N型阱,

      所述傳感器裝置具備P型襯底或P型阱,

      在所述第一N型阱與所述第二N型阱之間設(shè)置隔離區(qū)域,以使由所述第一N型阱、所述第二N型阱以及所述P型襯底或所述P型阱所構(gòu)成的寄生雙極型晶體管的電流放大率α在0.5以下。

      11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的傳感器裝置,其特征在于,

      所述隔離區(qū)域的長度在100微米以上。

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