本發(fā)明涉及一種控制裝置,尤其涉及使用pid控制來抑制外部干擾的控制裝置。

背景技術：

對控制對象進行控制的控制系統(tǒng)中,在有外部干擾時,進行控制使得控制對象的控制量收斂至目標值。通常,從控制理論而言,可以預見,在處理外部干擾時,將階梯狀或脈沖狀的信號作為輸入施加到控制對象時的控制量的變化。例如,為加熱器供電的電源電壓產(chǎn)生變動的情況下,該變動相當于外部干擾。

一方面,實際上不僅僅是根據(jù)這種外部干擾信號的控制量的變化,根據(jù)控制對象構造自身的變化,也經(jīng)常產(chǎn)生控制量的變化。作為示例,安裝有傳感器的加熱器被控制到一定溫度,溫度較低的被加熱物定期地載置到加熱器上進行加熱。這種情況下,如果加熱器的溫度與被加熱物的初期溫度之間存在差值,根據(jù)該熱容量間的熱移動,將發(fā)生大的溫度變化。作為具體示例,例如,射出成型機等的噴嘴部與模具接觸的情況,半導體制造裝置的加熱板部上載置晶圓的情況,以及在加熱器加熱控制的控制對象與樹脂片等的被加熱物接觸的情況等。作為溫度處理控制中的外部干擾,需要考慮該控制對象構造自身變化引起的外部干擾特性和上述外部干擾信號輸入引起的外部干擾特性的兩方特性。

而且,作為抑制外部干擾的技術,已知專利文獻1中記載的技術。在專利文獻1中,相對于將已知會預先發(fā)生的外部干擾施加的控制對象,輸出使來自該控制對象的控制量和預定目標值的偏差為零的主操作量。而且,基于外部干擾指示信號,計算消除外部干擾影響的消除操作量,基于指示下次外部干擾的外部干擾指示信號,向控制對象輸出將消除操作量加到操作量mv上而得到的操作量mv。此時,需要從一次外部干擾發(fā)生時的控制結果開始,計算用于抑制外部干擾影響的兩個前饋量和切換時間與動作時間。

[現(xiàn)有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2004-220195號公報

技術實現(xiàn)要素：

[發(fā)明要解決的問題]

pid控制中,施加外部干擾的情況下,對控制對象進行控制,以使得溫度等控制量進行變動后,進行外部干擾抑制用的控制并且返回原來的溫度。此時,存在以下問題:如果產(chǎn)生超調(diào)量,則產(chǎn)品的品質(zhì)下降(例如,過分加熱),如果應答時間過晚,則返回原來溫度將花費時間,生產(chǎn)周期將變長。為此,將外部干擾抑制功能施加到pid控制,來防止超調(diào)量和減少至穩(wěn)定位置的時間。

上述控制對象的構造進行變化的外部干擾情況下,根據(jù)熱移動,相對于構造變化前的控制對象的時間常數(shù),溫度以可見地非?？斓乃俣认陆怠＠?如果溫度傳感器直接接觸冷的物體,傳感器的測量溫度相對于加熱器的時間常數(shù)急劇下降。在現(xiàn)有技術中,如果配合這種快速控制量變化來進行控制的話,將產(chǎn)生使操作量不必要地輸出的超調(diào)量。

而且,在外部干擾施加前后的負荷率變動小(或者不變動)的控制對象的情況下,外部干擾引起的控制量pv下降將使偏差產(chǎn)生。如果這樣執(zhí)行積分動作的話,為了增大積分值,超調(diào)量發(fā)生,超調(diào)量后積分值如果不返回預定量的話,控制將不穩(wěn)定。這尤其產(chǎn)生于熱容量小的被加熱物接觸時或者脈沖狀外部干擾發(fā)生時。熱容量大的被加熱物接觸時或者階梯狀的外部干擾的情況下,因為負荷率變動大,與上述情況相比,超調(diào)量較小,但是即便如此,在根據(jù)動作被過積分的情況下,超調(diào)量也發(fā)生。

另一方面,在專利文獻1的技術中,需要從一次外部干擾發(fā)生時的控制結果開始進行計算兩個前饋量和切換時間與動作時間的參數(shù)的操作。因此,作為控制方式,在不反饋控制量pv的情況下確定直接施加的操作量的方式“前饋控制”成為基本的功能,所以使該功能有效動作的前提條件為:

·需要根據(jù)外部干擾指示信號來得知外部干擾發(fā)生時刻；

·根據(jù)外部干擾生成的溫度變化特性應該有再現(xiàn)性。

因此,根據(jù)裝置的構成,未獲得外部干擾指示信號的情況下,專利文獻1記載的技術不能使用。而且,如果溫度變化特性中沒有再現(xiàn)性,不能滿足控制性。而且,為了進行自動計算或自動修正,用戶在調(diào)整中花費功夫很多。為了解決上述問題,需要通用性的控制裝置。

鑒于以上,本發(fā)明的目的在于提供一種控制裝置,其可以根據(jù)控制對象上施加的外部干擾特性,自動求取操作量的補正需要與否和補正量,來抑制超調(diào)量。

[解決問題的手段]

概括地說,本發(fā)明根據(jù)控制量pv變化和pid控制的內(nèi)部計算量,在線地分析因外部干擾生成的溫度變化特性,計算合適的控制輸出的修正量,在合適時刻反映到控制輸出中,從而具有抑制外部干擾的功能。例如,可以在外部干擾發(fā)生時自動地檢測外部干擾,來進行上述功能。

根據(jù)本發(fā)明的技術方案,提供了一種控制裝置,包括:

pid運算部,相對于控制對象,來計算與控制對象的控制量和預定目標值的偏差成比例的比例輸出、與該偏差的積分值成比例的積分輸出、和與該偏差的微分值成比例的微分輸出,輸出將比例輸出、積分輸出和微分輸出合成的第一操作量；

外部干擾特性判斷部,根據(jù)在所述控制對象上施加的外部干擾特性,判斷是否補正第一操作量；

補正量運算部,根據(jù)在所述控制對象上施加的外部干擾特性,基于來自所述pid運算部的比例輸出、積分輸出和微分輸出,計算相對于第一操作量的補正量；以及

補正量加法運算部,通過來自所述補正量運算部的補正量,補正來自所述pid運算部的第一操作量,求取第二操作量,輸出到所述控制對象。

[發(fā)明效果]

根據(jù)本發(fā)明,可以提供一種控制裝置,其可以根據(jù)控制對象上施加的外部干擾特性,自動求取操作量的補正需要與否和補正量,來抑制超調(diào)量。

附圖說明

圖1是本實施方式的控制系統(tǒng)的框圖。

圖2a是外部干擾判斷方法的說明圖(1)。

圖2b是外部干擾判斷方法的說明圖(2)。

圖3是半導體制造裝置的基板部上載置晶圓時的示例中的應答波形的示例。

圖4是外部干擾為電源電壓變動時(階梯狀外部干擾的情況)的應答波形的示例。

圖5是前饋量變更需要與否判斷的第一次處理時刻和需要與否判斷的說明圖。

圖6是第一次處理時刻的參數(shù)的說明圖。

圖7是第一次處理時刻的前饋量計算的說明圖。

圖8是前饋量變更需要與否的判斷的第二次處理時刻的說明圖。

圖9是第二次前饋量變更需要與否判斷的說明圖。

圖10是第二次處理時刻的參數(shù)的說明圖。

圖11是第二次處理時刻的前饋量計算的說明圖。

圖12示出外部干擾施加時控制量pv的下降速度快且外部干擾引起的負荷率變動小的對象所應用的應答波形。

圖13示出外部干擾施加時控制量pv的下降速度慢且外部干擾引起的負荷率變動大的對象所應用的應答波形。

具體實施方式

以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實施方式。

(構成)

圖1是本實施方式的控制系統(tǒng)的框圖。

控制系統(tǒng)包括控制裝置10和控制對象20。控制裝置10包括:pid運算部11、外部干擾判斷部12、pid運算值監(jiān)測部13、外部干擾特性判斷部14、ff量運算部(前饋量運算部、補正量運算部)15、ff量加法運算部(前饋量加法運算部、補正量加法運算部)16、和限制部17。

pid運算部11通過pid控制,計算使目標值sv和控制量pv的偏差為零的操作量(第一操作量)。更具體地,pid運算部11求取與偏差(sv-pv)成比例的比例要素輸出(以下稱為p輸出)、基于偏差的積分值的積分要素輸出(以下稱為i輸出)、和基于偏差的微分值的微分要素輸出(以下稱為d輸出),對這些輸出進行加法運算來求取第一操作量。用于求取p輸出、i輸出和d輸出的各參數(shù)根據(jù)控制對象20的特性預先設定。

外部干擾判斷部12根據(jù)目標值(sv)和控制量(pv)的偏差(sv-pv),來判斷有沒有外部干擾。外部干擾判斷部12如果檢測到外部干擾,例如使pid運算值監(jiān)測部13、外部干擾特性判斷部14和ff量運算部15工作,來實現(xiàn)本實施方式的處理的功能。此外,外部干擾的檢測方法可以使用公知的方法(例如參考日本特開2002-297245號公報的第0027段)。

例如外部干擾判斷部12檢測到外部干擾,pid運算值監(jiān)測部13監(jiān)測pid運算部11中的p輸出、i輸出和d輸出的各內(nèi)部運算值、和控制量pv。pid運算值監(jiān)測部13檢測p+i+d的最大值,檢測控制量pv的底部位置,在后述的各處理時刻將p、i和d的內(nèi)部運算值和pv底部檢測標記輸出到外部干擾特性判斷部14和ff量運算部15。

外部干擾特性判斷部14輸入pid運算值監(jiān)測部13所輸出的內(nèi)部運算值和pv底部檢測標記,來判斷外部干擾特性。外部干擾特性判斷部14根據(jù)外部干擾特性的判斷結果,來判斷是否變更前饋量(補正操作量),并且將前饋執(zhí)行標記(以下稱為ff執(zhí)行標記)輸出到ff量運算部15。

ff量運算部15如果接收到ff執(zhí)行標記,根據(jù)pid內(nèi)部運算值來計算前饋量(補正量),對于來自pid運算部11的輸出值來進行前饋處理。此外,前饋量的初始值例如可以預設為零。ff量加法運算部16對來自pid運算部11的輸出值(第一操作量)和ff量運算部15輸出的前饋量進行加法運算,來求取操作量(第二操作量),進行輸出。也就是說,通過ff量來補正第一操作量。限制部17將ff量加法運算部16輸入的第二操作量抑制到預定的限制值以下,并且輸出到控制對象20。

此外,可以通過合適的傳感器或計測裝置來檢測控制量pv。

(動作概要)

本實施方式的控制裝置10,為了抑制外部干擾施加時的超調(diào)量,在外部干擾施加后在線確認外部干擾的特性,計算與外部干擾特性相應的合適輸出補正量(前饋量),來進行輸出。據(jù)此,不需要前饋量的調(diào)整操作,用戶可以簡單使用,即使根據(jù)外部干擾的溫度變化特性沒有再現(xiàn)性,也可以合適地抑制超調(diào)量。

本實施方式中,進行兩次前饋量的變更判斷。前饋量的變更功能的on/off根據(jù)外部干擾的特性進行切換。而且,根據(jù)外部干擾特性自動地計算前饋量。此外,前饋量的變更判斷不限于兩次,可以是其他合適的次數(shù)。

(外部干擾特性的測量)

首先,說明外部干擾特性的測量。外部干擾特性判斷部14測量外部干擾施加后馬上的控制量pv的下降速度(第一外部干擾特性)和外部干擾施加前后的負荷率的變動量(第二外部干擾特性),來作為外部干擾特性。

圖2a是外部干擾判斷方法的說明圖(1)。

關于外部干擾施加后立即的控制量pv的下降速度,例如相對于控制對象20的時間常數(shù),來判斷外部干擾施加時的控制量pv的下降速度是快還是慢。外部干擾被施加的情況下,如果根據(jù)控制對象20的特性使用調(diào)整后的pid的各參數(shù)來進行控制的話,微分輸出易于變大。本實施方式中,外部干擾被施加,在從溫度等控制量pv下降開始至達到下降峰值(控制量變?yōu)樽钚〉狞c,以下稱為底部)的期間中,對微分輸出(d輸出)和比例輸出(p輸出)的峰值量(最大值)進行比較,來進行以下判斷。

也就是說,微分輸出的峰值大于比例輸出的峰值時,外部干擾特性判斷部14判斷出控制量pv下降速度快的外部干擾特性。另一方面,微分輸出的峰值小于比例輸出的峰值時,外部干擾特性判斷部14判斷出控制量pv下降速度慢的外部干擾特性。此外,微分輸出的峰值與比例輸出的峰值相同的情況下,判斷結果是設為控制量pv下降速度快的外部干擾特性還是設為控制量pv下降速度慢的外部干擾特性,可以進行預先定義。

圖2b是外部干擾判斷方法的說明圖(2)。

關于外部干擾施加前后的負荷率的變動量,因為根據(jù)負荷率的變動量,超調(diào)量的發(fā)生量進行變化,故在線判斷該變動量。本實施方式中,使用根據(jù)控制對象20的特性而調(diào)整的pid的各參數(shù)來進行控制的情況下,根據(jù)pid運算值的峰值(pid運算部11的最大輸出)的時刻和控制量pv的下降峰值(底部)的時刻,來進行以下判斷。

也就是說,相對于控制量pv成為底部的時刻,pid運算部11的輸出變成最大的時刻較快的情況下,外部干擾特性判斷部14將外部干擾引起的負荷率變動判斷為小。另一方面,相對于控制量pv成為底部的時刻,pid運算部11的輸出變成最大的時刻較慢的情況下(時間軸上靠后的位置),外部干擾特性判斷部14將外部干擾引起的負荷率變動判斷為大。

這里,示出兩個外部干擾示例和外部干擾特性的關系。圖3為晶圓裝載在半導體制造裝置的基板部的示例。這種情況下,控制量pv的下降速度快,負荷率變動小?？刂屏縫v成為底部之前,pid運算部11的輸出為最大。而且,超調(diào)量比較大。

圖4是外部干擾為電源電壓變動的情況(階梯狀外部干擾的情況)的示例。這種情況下,控制量pv的下降速度慢,負荷率變動大。而且,pid運算部11的最大輸出傾向于出現(xiàn)在控制量pv的底部位置附近。而且,超調(diào)量比較小。

(補正量的自動運算)

接著,說明前饋量(補正量)的運算。圖5是前饋量變更需要與否判斷的第一次處理時刻和需要與否判斷的說明圖。

首先,作為一個示例,在控制量的pv底部檢測之前操作量mv的最大輸出被檢測出的時刻,作為前饋量變更的第一次處理時刻。此外,除了將操作量mv的最大輸出的時刻作為處理時刻之外,也可以在控制量pv的底部檢測之前,以操作量mv的最大輸出被檢測出為契機,將合適的時刻(優(yōu)選地,控制量pv的底部檢測前的時刻)作為處理時刻。此外,本實施方式的處理時刻的示例,不妨礙前饋量變更的需要與否判斷和前饋量的變更時刻中延時的存在。

上述處理時刻中,外部干擾特性判斷部14判斷是否進行前饋量的第一次變更。其中,在操作量mv為最大的時刻時的微分輸出(dmax)大于同時刻的比例輸出(pmax)的情況下,也就是控制量pv的下降速度快的外部干擾特性的情況下,外部干擾特性判斷部14判斷為進行第一次前饋量變更。另一方面,上述微分輸出(dmax)在同時刻的比例輸出(pmax)以下的情況下,也就是控制量pv的下降速度慢的外部干擾特性的情況下,外部干擾特性判斷部14判斷為不進行第一次前饋量變更。

進行第一次前饋量變更的情況下,外部干擾特性判斷部14對示出進行第一次前饋量變更的ff執(zhí)行標記進行設定,并且輸出到ff量運算部15。

ff量運算部15如果收到來自外部干擾特性判斷部14的ff執(zhí)行標記,計算出新的前饋量。例如,ff量運算部15求取:pid運算部11的輸出最大時的從積分要素穩(wěn)定狀態(tài)開始的變化量與比例要素和微分要素的比率(第一參數(shù)比率:ratio_i_pd1)。例如,ff量運算部15根據(jù)以下公式來求取第一參數(shù)比率:ratio_i_pd1)。

(式1)

ratio_i_pd1＝(imove1×2)/(pmax+dmax)

其中,pmax是pid運算部11的輸出最大時刻的比例輸出,imove1是從pid運算部11的輸出最大時刻的積分輸出的穩(wěn)定狀態(tài)開始的變化量,dmax是pid運算部11的輸出最大時刻的微分輸出(參見圖6)。

此外,上述穩(wěn)定狀態(tài)是指控制量pv穩(wěn)定的狀態(tài),例如,控制量pv的變動被收斂至預定允許范圍內(nèi)的狀態(tài)。在穩(wěn)定狀態(tài)中,可以提前適當?shù)卮鎯Ψe分輸出。而且,在式1中,將分子乘以2的目的是調(diào)整因分母和分子而產(chǎn)生的參數(shù)的不同,也可以是2之外的合適的數(shù),也可以省略,也可以將合適的系數(shù)乘以其他參數(shù)。

ff量運算部15基于第一參數(shù)比率,來求取前饋量,例如以使得第一參數(shù)比率越小前饋量的絕對值越大。本實施方式中,因為通過ff量加法運算部16來對pid運算部11的輸出和前饋量進行加法運算的構成,故求取第一參數(shù)比率越小絕對值越大且為負值的前饋量。

圖7是計算前饋量的說明圖。在圖示的圖表中,橫軸示出第一參數(shù)比率ratio_i_pd1,縱軸示出前饋量。例如,預設前饋量的最大值(縱軸的-100％),根據(jù)第一參數(shù)比率ratio_i_pd1,前饋量在0至前饋量最大值之間變化。此外,第一參數(shù)比率ratio_i_pd1大于1的情況下,也可以將前饋量設為0,不進行根據(jù)前饋量的補正。

例如可以基于上述imove1值來求取前饋量的最大值。

此外,雖然在圖7中相對于第一參數(shù)比率ratio_i_pd1使前饋量線性變化,但是也可以是非線性的。例如,也可以將第一參數(shù)比率ratio_i_pd1分成多個區(qū)間,在每個區(qū)間中確定前饋量等,前饋量相對于第一參數(shù)比率ratio_i_pd1呈階梯狀變化。在這種情況下也是,當比較各區(qū)間的代表值(例如中間值)時,可以是第一參數(shù)比率ratio_i_pd1的代表值越小,前饋量的代表值的絕對值越大的關系。

而且,雖然在圖7的示例中相對于第一參數(shù)比率ratio_i_pd1的前饋量的變化比例為固定的(斜率相同),但是將第一參數(shù)比率ratio_i_pd1分成多個區(qū)間,各區(qū)間的斜率也可以不同。而且,不限于直線形狀,前饋量也可為曲線狀變化。

圖8是前饋量變更需要與否的判斷的第二次處理時刻的說明圖。作為一個示例,控制量pv的底部被檢測到的時刻,作為前饋量變更的第二次處理時刻。此外,也可以是控制量pv的底部的前后規(guī)定范圍的時刻。

上述處理時刻中,外部干擾特性判斷部14判斷是否進行前饋量的第二次變更。圖9是第二次前饋量變更需要與否判斷的說明圖。其中,檢測pid運算部11的輸出最大值的時刻早于控制量pv的底部的時刻的情況下(也就是負荷率變動小的情況),外部干擾特性判斷部14判斷執(zhí)行第二次前饋量變更。另一方面,檢測pid運算部11的輸出最大值的時刻晚于控制量pv的底部的時刻的情況下(也就是負荷率變動大的情況),外部干擾特性判斷部14判斷不執(zhí)行第二次前饋量變更。此外,該處理時刻的時點前,如果檢測到pid運算部11的輸出成為最大的點,若檢測到pid運算部11的輸出的最大值的時刻在控制量pv的底部的時刻之后,在該處理時刻的時點,可以判斷為不執(zhí)行第二次前饋量變更。

進行第二次前饋量變更的情況下,外部干擾特性判斷部14對示出進行第二次前饋量變更的ff執(zhí)行標記進行設定,并且輸出到ff量運算部15。

ff量運算部15如果收到來自外部干擾特性判斷部14的ff執(zhí)行標記,計算出新的前饋量。雖然計算方法可以與第一次前饋量變更相同,但是計算用的參數(shù)可以不同。

例如,ff量運算部15求取:控制量pv從底部時的積分要素的穩(wěn)定狀態(tài)開始的變化量、和控制量pv至成為底部的比例要素的最大值和微分要素的最大值的比率(第二參數(shù)比率:ratio_i_pd2)。例如,ff量運算部15根據(jù)以下公式來求取第二參數(shù)比率(ratio_i_pd2)。

(式2)

ratio_i_pd2＝(imove2×2)/(pbtm+dbtm)

其中,imove2為控制量pv從底部時的積分輸出的穩(wěn)定狀態(tài)開始的變化量,pbtm為控制量pv至成為底部的比例輸出的最大值,dbtm為控制量pv至成為底部的微分輸出的最大值(參見圖10)。此外,式2中分子乘以2的點與第一參數(shù)比率相同。

ff量運算部15基于第二參數(shù)比率,來求取前饋量,例如以使得第二參數(shù)比率越小前饋量的絕對值越大。本實施方式中,因為通過ff量加法運算部16來對pid運算部11的輸出和前饋量進行加法運算的構成,故求取第二參數(shù)比率越小絕對值越大且為負值的前饋量。

圖11是計算前饋量的說明圖。在圖示的圖表中,橫軸示出第二參數(shù)比率ratio_i_pd2,縱軸示出前饋量。例如,預設前饋量的最大值(相當于縱軸的-100％),根據(jù)第二參數(shù)比率ratio_i_pd2,前饋量在0至前饋量最大值之間變化。此外,第二參數(shù)比率ratio_i_pd2大于1的情況下,也可以將前饋量設為0,不進行根據(jù)前饋量的補正。

例如可以基于上述的imove2值來求取前饋量的最大值。因此,可以與第一次前饋量變更時所求取的前饋量的最大值不同。

此外,相對于第二參數(shù)比率ratio_i_pd2的前饋量的變更方法,可以與第一次前饋量變更相同,不限于線形,也可以為其他變更方式。

(動作結果的示例)

圖12和圖13示出了本實施方式的控制裝置應用于特性不同的兩個對象的應答波形。

圖12為外部干擾施加時控制量pv的下降速度快且根據(jù)外部干擾的負荷率變動小的情況下的示例。與使用通常的pid控制的情況相比,可以抑制超調(diào)量并且使控制量盡快地穩(wěn)定。

圖13為外部干擾施加時控制量pv的下降速度慢且根據(jù)外部干擾的負荷率變動大的情況下的示例。與使用通常的pid控制的情況相比,這種情況也可以抑制超調(diào)量并且使控制量盡快地穩(wěn)定。

這樣,本實施方式中,根據(jù)控制對象上施加的外部干擾特性,可以自動求取操作量的前饋執(zhí)行與否和前饋量,以及抑制超調(diào)量。而且,本實施方式中,可以在線自動計算出前饋量,所以用戶可以簡單地抑制外部干擾。

根據(jù)本實施方式,即使不是已知的外部干擾,也可以使控制系統(tǒng)適當?shù)貏幼?。例?不知道外部干擾發(fā)生時刻,外部干擾不定期地發(fā)生的情況下,也可以適當?shù)厥箍刂葡到y(tǒng)動作。而且,即使外部干擾沒有再現(xiàn)性,也可以使控制系統(tǒng)適當?shù)貏幼鳌＠?熱容量不同的物體順序地裝載在加熱器的情況下,也可以使控制系統(tǒng)適當?shù)貏幼鳌?/p>

此外,在上述實施方式中,雖然進行了兩次前饋量變更需要與否的判斷,但是也可以進行其中的一次。而且,第一次前饋量變更判斷為不需要,判斷為進行第二次前饋量變更的情況下,與第二次判斷對應的前饋量變更實質(zhì)上是第一次變更。

而且,在上述實施方式中,最大和最小分別可以是極大和極小。上述各判斷中使用的操作量可以是pid運算部11的輸出(第一操作量),可以是ff量加法運算部16的輸出(第二操作量),可以是實際上輸入控制對象20的操作量(圖1的示例中為限制部17的輸出)。

以上,雖然相對于本實施方式的控制裝置進行了說明,但是不限于控制裝置,也可以根據(jù)執(zhí)行上述各處理的控制方法、計算機處理部中執(zhí)行上述各處理的程序或程序制品、存儲程序的非臨時記錄媒體等,來實現(xiàn)本發(fā)明。

[工業(yè)上的應用可能性]

本發(fā)明可用于例如控制溫度的控制裝置。

[符號說明]

10控制裝置

20控制對象

11pid運算部

12外部干擾判斷部

13pid運算值監(jiān)測部

14外部干擾特性判斷部

15ff量運算部(前饋量運算部)

16ff量加法運算部(前饋量加法運算部)

17限制部