1.一種溫度控制裝置，控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度，其特征在于，設置于各溫度控制區(qū)的溫度控制單元以使各溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度的時間一致的方式，將規(guī)定的輸出限幅值作為操作量的上限，根據(jù)目標溫度值和測定溫度，計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量，在計算出的操作量小于所述輸出限幅值的情況下，將計算出的操作量作為要輸出的操作量，在計算出的操作量大于所述輸出限幅值的情況下，將輸出限幅值作為要輸出的操作量，控制該溫度控制區(qū)的溫度。
2.一種溫度控制裝置，控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度，其特征在于，具備：
第一溫度控制單元，其計算以使各溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度的時間一致的方式校正后的目標溫度，根據(jù)該溫度控制區(qū)的所述校正后的目標溫度和測定溫度，計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量，并按照該計算出的操作量控制該溫度控制區(qū)的溫度；
操作量積分值存儲單元，其在所述第一溫度控制單元進行溫度控制從而該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度時，計算并存儲從溫度控制開始到該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度為止的、所述第一溫度控制單元的操作量的積分值；
輸出限幅值計算單元，其基于將利用所述操作量積分值存儲單元計算出的各溫度控制區(qū)的操作量的積分值除以所述操作量的積分值中最大的操作量的積分值得到的值，計算相應的溫度控制區(qū)的輸出限幅值，將所述輸出限幅值設定作為各溫度控制區(qū)的第二溫度控制單元的輸出限幅值；以及
第二溫度控制單元，其根據(jù)目標溫度和測定溫度計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量，在計算出的操作量小于所述輸出限幅值的情況下，輸出計算出的所述操作量，在計算出的所述操作量大于所述輸出限幅值的情況下，將輸出限幅值作為輸出，控制該溫度控制區(qū)的溫度。
3.一種溫度控制裝置，控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度，其特征在于，具備：
第一溫度控制單元，其計算以使各溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度的時間一致的方式校正后的目標溫度，根據(jù)該溫度控制區(qū)的所述校正后的目標溫度和測定溫度，計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量，并按照該計算出的操作量控制該溫度控制區(qū)的溫度；
操作量積分值存儲單元，其在所述第一溫度控制單元進行溫度控制從而該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度時，計算并存儲從溫度控制開始到該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度為止的、所述第一溫度控制單元的操作量的積分值；
校正系數(shù)值計算單元，其基于將利用所述操作量積分值存儲單元計算出的各溫度控制區(qū)的操作量的積分值除以所述操作量的積分值中最大的操作量的積分值得到的值，計算校正相應的溫度控制區(qū)的操作量的系數(shù)，將校正該操作量的系數(shù)設定作為校正各溫度控制區(qū)的第二溫度控制單元的操作量的系數(shù)；以及
第二溫度控制單元，其根據(jù)目標溫度和測定溫度計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量，將計算出的所述操作量乘以校正所述操作量的系數(shù)得到的值作為各溫度控制區(qū)的操作量，控制該溫度控制區(qū)的溫度。
4.一種溫度控制方法，其特征在于，在控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度的溫度控制裝置中，具有：
第一溫度控制處理，其具有計算以使各溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度的時間一致的方式校正后的目標溫度的步驟、以及根據(jù)該溫度控制區(qū)的所述校正后的目標溫度和測定溫度計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量的步驟，并按照該計算出的操作量控制該溫度控制區(qū)的溫度；
操作量積分值存儲處理，在通過所述第一溫度控制處理，該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度時，計算并存儲從溫度控制開始到該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度為止的、基于所述第一溫度控制處理的操作量的積分值；
輸出限幅值計算處理，利用所述操作量的積分值中最大的操作量的積分值將由所述操作量積分值存儲處理計算出的各溫度控制區(qū)的操作量的積分值歸一化，并基于該歸一化結果，計算并設定相應的溫度控制區(qū)的所述輸出限幅值；以及
第二溫度控制處理，其具有：根據(jù)目標溫度和測定溫度計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量的步驟；在計算出的操作量小于所述輸出限幅值的情況下，將計算出的所述操作量作為輸出的步驟；以及在計算出的所述操作量大于所述輸出限幅值的情況下，將該輸出限幅值作為輸出的步驟，所述第二溫度控制處理控制該溫度控制區(qū)的溫度。
5.一種溫度控制方法，其特征在于，在控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度的溫度控制裝置中，具有：
第一溫度控制處理，其具有計算以使各溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度的時間一致的方式校正后的目標溫度的步驟、以及根據(jù)該溫度控制區(qū)的所述校正后的目標溫度和測定溫度計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量的步驟，并按照該計算出的操作量控制該溫度控制區(qū)的溫度；
操作量積分值存儲處理，在通過所述第一溫度控制處理，該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度時，計算并存儲從溫度控制開始到該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度為止的、基于所述第一溫度控制處理的操作量的積分值；
校正系數(shù)值計算處理，基于利用所述操作量的積分值中最大的操作量的積分值將由所述操作量積分值存儲處理計算出的各溫度控制區(qū)的操作量的積分值歸一化后的結果，計算并設定校正相應的溫度控制區(qū)的操作量的系數(shù)；以及
第二溫度控制處理，根據(jù)目標溫度和測定溫度計算該溫度控制區(qū)中溫度控制用的操作量，并將計算出的所述操作量乘以校正所述操作量的系數(shù)得到的值作為各溫度控制區(qū)的操作量，控制該溫度控制區(qū)的溫度。
6.一種溫度控制裝置，控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度，其特征在于，具備：
溫度控制單元，其設置于各溫度控制區(qū)；以及
存儲單元，其存儲輸出限幅值，所述輸出限幅值是針對規(guī)定的控制方法中所述溫度控制區(qū)的溫度控制開始之后直至該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度為止的操作量的積分值變?yōu)樽畲蟮臏囟瓤刂茀^(qū)以外的溫度控制區(qū)，基于該溫度控制區(qū)的所述所定控制方法中直至達到目標溫度為止的操作量的積分值和所述操作量的積分值變?yōu)樽畲蟮臏囟瓤刂茀^(qū)的操作量的積分值所計算出的輸出限幅值，
如果根據(jù)各溫度控制區(qū)的目標溫度和測定溫度計算出的操作量大于所述輸出限幅值，則所述各溫度控制單元按照該輸出限幅值控制該溫度控制區(qū)的溫度。
7.根據(jù)權利要求6所述的溫度控制裝置，其特征在于，基于利用所述操作量的積分值變?yōu)樽畲蟮臏囟瓤刂茀^(qū)的操作量的積分值將設定有該輸出限幅值的所述溫度控制區(qū)的操作量的積分值歸一化，計算所述輸出限幅值。
8.一種溫度控制方法，控制溫度相互干擾的多個溫度控制區(qū)的溫度，其特征在于，
針對規(guī)定的控制方法中所述溫度控制區(qū)的溫度的控制開始之后直至該溫度控制區(qū)的溫度達到目標溫度為止的操作量的積分值變?yōu)樽畲蟮臏囟瓤刂茀^(qū)以外的溫度控制區(qū)，設定基于該溫度控制區(qū)的所述規(guī)定控制方法中直至達到目標溫度為止的操作量的積分值和所述操作量的積分值變?yōu)樽畲蟮臏囟瓤刂茀^(qū)的操作量的積分值所計算出的輸出限幅值，
如果根據(jù)各溫度控制區(qū)的目標溫度和測定溫度計算出的操作量大于所述輸出限幅值，則按照該輸出限幅值控制該溫度控制區(qū)的溫度。