本發(fā)明涉及在氣體供給系統(tǒng)中使用將以一次壓力從上游側(cè)輸送來(lái)的氣體等減壓到二次壓力而供給至下游側(cè)的引導(dǎo)調(diào)節(jié)器(パイロットガバナ)的調(diào)節(jié)器(氣體壓力調(diào)整裝置)。

背景技術(shù)

例如，在城市氣體等的氣體供給中，為了將在上游側(cè)輸送管(以下，稱(chēng)作“上游管”)內(nèi)以一次壓力(高壓/中壓)運(yùn)送的氣體減壓到預(yù)先設(shè)定的二次側(cè)設(shè)定壓力而供給至下游側(cè)輸送管(以下，稱(chēng)作“下游管”)，設(shè)有氣體壓力調(diào)整裝置(氣體調(diào)節(jié)器)。

如圖10所示，以往的氣體調(diào)節(jié)器通常具備：調(diào)整從上游向下游的氣體的量的主閥(調(diào)節(jié)器主體)11；以及連接于下游管13，并根據(jù)下游側(cè)的壓力(以下，稱(chēng)作“二次壓力”)p2的變化控制調(diào)節(jié)器主體11的引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21。引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21以如下方式進(jìn)行設(shè)定，當(dāng)二次壓力p2成為規(guī)定的基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力ps以下時(shí)，使主閥(調(diào)節(jié)器主體)11動(dòng)作而向下游側(cè)供給氣體。

使用了這樣的引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的氣體壓力調(diào)整裝置具有如下相反的特性，當(dāng)改善對(duì)下游側(cè)的壓力變動(dòng)的響應(yīng)性時(shí)，容易發(fā)生晃動(dòng)，當(dāng)抑制晃動(dòng)的發(fā)生時(shí)響應(yīng)性變差。

在設(shè)置于氣體等供給線中的調(diào)節(jié)器等中，不允許使晃動(dòng)發(fā)生。因此，作為確保流量的同時(shí)不發(fā)生晃動(dòng)的方法，可考慮充分縮擠引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的排氣用節(jié)流部22，但是該方法中與二次壓力p2的降低相對(duì)應(yīng)，調(diào)節(jié)器主體打開(kāi)的動(dòng)作的響應(yīng)性顯著降低。特別是，氣體壓力調(diào)整裝置從完全停止的完全關(guān)閉狀態(tài)開(kāi)始下游管13側(cè)的使用而使用量增加的情況下，從開(kāi)始使用而二次壓力p2降低的時(shí)間點(diǎn)至調(diào)節(jié)器主體11實(shí)際進(jìn)行動(dòng)作為止，需要等待時(shí)間，因此，取決于下游側(cè)的使用量和配管容量之間的關(guān)系如何，存在該等待時(shí)間內(nèi)二次壓力降低過(guò)大的情況。

作為為了避免如此響應(yīng)延遲而二次壓力p2極端降低的狀態(tài)，抑制晃動(dòng)的發(fā)生的同時(shí)改善響應(yīng)特性用的現(xiàn)有技術(shù)，提出了圖11所示的專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的技術(shù)。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的技術(shù)中，除主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sb以外，還設(shè)有副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc。副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc的下游管13側(cè)經(jīng)由副引導(dǎo)線s28而連接于將主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sb連接到下游管13主引導(dǎo)線s26。另外，副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc的動(dòng)作設(shè)定壓力設(shè)定得比主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sb低。如此構(gòu)成，以抑制主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sb的晃動(dòng)的方式進(jìn)行調(diào)整的同時(shí)，二次壓力p2降低時(shí)，首先副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc響應(yīng)而使響應(yīng)特性改善。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本實(shí)開(kāi)昭53－78637號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的課題

然而，在對(duì)比文件1中記載的氣體調(diào)節(jié)器中，雖然響應(yīng)特性改善，但是當(dāng)副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc動(dòng)作時(shí)，氣體從副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc經(jīng)由副引導(dǎo)線s28及主引導(dǎo)線s26流向下游管13。

該氣流對(duì)供應(yīng)給主引導(dǎo)線s26的二次壓力p2產(chǎn)生影響。因此，存在當(dāng)副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sc開(kāi)始動(dòng)作時(shí)無(wú)法將下游管的二次壓力p2準(zhǔn)確地傳遞給主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sb，主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器sb的動(dòng)作不穩(wěn)定這樣的問(wèn)題。

本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題點(diǎn)而做出的，其目的在于提供能夠抑制晃動(dòng)產(chǎn)生的同時(shí)獲得迅速的響應(yīng)特性，而且能夠確保穩(wěn)定且充分的流量的氣體壓力調(diào)整裝置(氣體調(diào)節(jié)器)。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置是鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)而做出的，其特征在于，具備：

主閥，其設(shè)置在管路的中途，將以一次壓力從上游側(cè)輸送來(lái)的氣體減壓到二次壓力使其流向下游側(cè)；

主引導(dǎo)環(huán)路，其經(jīng)由限流器連接所述主閥的上游側(cè)的管路和下游側(cè)的管路；

主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器，其設(shè)置于所述主引導(dǎo)環(huán)路內(nèi)的所述限流器的下游側(cè)，在所述二次壓力成為規(guī)定的基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力以下時(shí)，控制通過(guò)所述主引導(dǎo)環(huán)路的氣體的量，以使所述二次壓力成為一定的方式，對(duì)所述主閥進(jìn)行動(dòng)作控制；

副引導(dǎo)環(huán)路，其一端連接在所述主引導(dǎo)環(huán)路的所述限流器與所述主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器之間，另一端通過(guò)與所述主引導(dǎo)環(huán)路不同的路徑與所述下游側(cè)的管路連接；以及

副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器，其設(shè)置在所述副引導(dǎo)環(huán)路內(nèi)，在所述二次壓力成為比所述基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力低的第二基準(zhǔn)壓力時(shí)，控制通過(guò)所述副引導(dǎo)環(huán)路內(nèi)的氣體的量，由此對(duì)所述主閥進(jìn)行動(dòng)作控制。

另外，通過(guò)在下游管側(cè)設(shè)置文丘里管并將副引導(dǎo)環(huán)路與文丘里管的細(xì)管部連接，能夠進(jìn)一步提高響應(yīng)性。

發(fā)明效果

通過(guò)將副引導(dǎo)環(huán)路的向下游管的連接點(diǎn)設(shè)為與主引導(dǎo)環(huán)路不同的位置，使副引導(dǎo)環(huán)路設(shè)為與主引導(dǎo)環(huán)路不同的獨(dú)立的另一路徑，使得即使副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器動(dòng)作也不會(huì)對(duì)主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器產(chǎn)生影響，穩(wěn)定的動(dòng)作成為可能。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置的一個(gè)實(shí)施方式的圖。

圖2是表示本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置中使用的主閥(氣體調(diào)節(jié)器主體)的一例的圖。

圖3是示意性示出表示閉塞狀態(tài)下二次壓力降低時(shí)氣體壓力調(diào)整裝置的動(dòng)態(tài)特性的二次壓力的變化的圖，圖3的(a)是表示無(wú)副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的情況下的二次壓力的變化的圖，圖3的(b)是表示設(shè)有副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的情況下的二次壓力的變化的圖。

圖4是表示本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置的其他實(shí)施方式的圖。

圖5是表示第二實(shí)施方式及其他實(shí)施方式中的、副引導(dǎo)環(huán)路的向下游管的連接方式的示意圖。

圖6是表示上游管側(cè)的一次壓力為0.2mpa且流量為50m³/h的情況下的本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置及現(xiàn)有技術(shù)的p2－q動(dòng)態(tài)特性的圖。

圖7是表示上游管側(cè)的一次壓力為0.25mpa且流量為50m³/h的情況下的本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置及現(xiàn)有技術(shù)的p2－q動(dòng)態(tài)特性的圖。

圖8是表示上游管側(cè)的一次壓力為0.3mpa且流量為50m³/h的情況下的本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置及現(xiàn)有技術(shù)的p2－q動(dòng)態(tài)特性的圖。

圖9是表示使流量增加到100m³/h時(shí)的動(dòng)態(tài)特性的圖。

圖10是表示現(xiàn)有技術(shù)的氣體壓力調(diào)整裝置的構(gòu)成的示意圖。

圖11是表示專(zhuān)利文獻(xiàn)1的氣體壓力裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置10進(jìn)行說(shuō)明。

圖1是表示本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置10的構(gòu)成的一例的圖，圖2是示意性表示主閥(調(diào)節(jié)器主體)11的一例的圖。

在圖1的氣體壓力調(diào)整裝置10中，對(duì)具有與圖10所示的現(xiàn)有技術(shù)相同功能的部分使用相同的附圖標(biāo)記。

該氣體壓力調(diào)整裝置10具有主閥11，主閥11設(shè)置在管路的中途，將以一次壓力p1從上游側(cè)輸送來(lái)的氣體減壓到二次壓力p2使其流向下游側(cè)。

本實(shí)施方式中用作主閥11的軸流型調(diào)節(jié)器現(xiàn)在廣泛普及。如圖2所示，軸流型調(diào)節(jié)器的概略構(gòu)造包括：在周面具有多個(gè)狹縫的鼓型的一對(duì)封閉部16；堵塞該封閉部16的狹縫的橡膠制的套筒17；以及收納封閉部16和套筒17的圓筒狀的閥體18，并且通過(guò)在閥體18和套筒17之間的空間施加控制壓力pc，利用套筒17使鼓狀的一對(duì)封閉部16的狹縫開(kāi)閉。

本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置10設(shè)有以繞過(guò)主閥11的方式連接著上游管12和下游管13的引導(dǎo)環(huán)路。引導(dǎo)環(huán)路由主引導(dǎo)環(huán)路20和副引導(dǎo)環(huán)路30構(gòu)成。

主引導(dǎo)環(huán)路20及副引導(dǎo)環(huán)路30均在連接點(diǎn)c1與上游側(cè)管路12連接，上游管側(cè)設(shè)有限流器14。通過(guò)該限流器14，產(chǎn)生對(duì)主閥11進(jìn)行動(dòng)作控制的控制壓力pc。限流器14的輸出側(cè)分成在下游側(cè)管路13的連接點(diǎn)c2與下游側(cè)管路13連接的主引導(dǎo)環(huán)路20、以及在連接點(diǎn)c3與下游管路13連接的副引導(dǎo)環(huán)路30這兩條路徑。

在主引導(dǎo)環(huán)路20，在限流器14和連接點(diǎn)c2之間設(shè)有主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21，在副引導(dǎo)環(huán)路30，在限流器14和連接點(diǎn)c3之間設(shè)有副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31。

另外，限流器14的輸出經(jīng)由管路40與主閥11連接，并將控制壓力pc供給至主閥11。當(dāng)二次壓力p2降低時(shí)，副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31及主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21動(dòng)作而控制壓力pc下降，主閥11與控制壓力pc的降低成比例地打開(kāi)。主閥11打開(kāi)，使得氣體從上游管12供給至下游管13。

下游側(cè)的二次壓力p2經(jīng)由主引導(dǎo)線20供給至主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21。主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21被利用彈簧壓力和大氣壓力調(diào)整為在二次壓力p2成為規(guī)定的基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力ps以下時(shí)，與設(shè)置于內(nèi)部的膜片連接的閥打開(kāi)。排氣用節(jié)流部22是使向大氣壓力的開(kāi)口的大小產(chǎn)生變化的節(jié)流部，由此，調(diào)整主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的響應(yīng)靈敏度。

當(dāng)改善主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的響應(yīng)性時(shí)，主閥11一下子打開(kāi)，二次壓力p2急劇升高，因此，主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的開(kāi)閉會(huì)重復(fù)，容易發(fā)生晃動(dòng)?；蝿?dòng)的發(fā)生從穩(wěn)定控制的觀點(diǎn)而言對(duì)氣體壓力調(diào)整裝置是極不好的，為了即便響應(yīng)性稍微變差也對(duì)晃動(dòng)進(jìn)行抑制，預(yù)先調(diào)整主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的排氣用節(jié)流部22。

副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31也具有與主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21大致相同的結(jié)構(gòu)和功能。但是，在副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31也可以不具有排氣用節(jié)流部的功能。另外，副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31由于是輔助主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的上升響應(yīng)性的部件，因此也可以是與主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21相比流量較小的部件。例如，副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31可以是主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的1/3左右的流量的部件。

副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31被調(diào)整為在比主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力ps高的動(dòng)作控制壓力pss下動(dòng)作，響應(yīng)性也良好。另外，副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31由于流量小，因此控制壓力pc的下降少，難以發(fā)生晃動(dòng)。

例如，可將主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的動(dòng)作控制壓力ps設(shè)定為2.2kpa，將副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的動(dòng)作控制壓力pss設(shè)定為2.5kpa左右。

根據(jù)如上構(gòu)成的氣體壓力調(diào)整裝置10，當(dāng)下游側(cè)的二次壓力p2下降，成為副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的動(dòng)作控制壓力pss以下時(shí)，首先，副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31打開(kāi)，氣體從上游管12經(jīng)由副引導(dǎo)環(huán)路30流至下游管13。于是，限流器14的下游側(cè)管路40的控制壓力pc降低。當(dāng)主閥11的控制壓力pc降低時(shí)，主閥11打開(kāi)，氣體從上游管12供給至下游管13。此外，在使用了流量較大的副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31的情況等需要抑制晃動(dòng)的情況下，如圖1所示，也可以構(gòu)成為在副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管13側(cè)設(shè)置可調(diào)節(jié)流部23。是否設(shè)置可調(diào)節(jié)流部23是任意的。

當(dāng)副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31打開(kāi)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后，為了抑制晃動(dòng)，通過(guò)排氣用節(jié)流部22抑制了響應(yīng)性的主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的閥打開(kāi)。由此，主閥11的控制壓力pc進(jìn)一步下降，大量的氣體從主閥11供給至下游側(cè)，二次壓力p2被調(diào)整為規(guī)定的設(shè)定壓力(基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力ps)。

使用圖3進(jìn)行說(shuō)明。圖3是示意性表示從主閥11閉塞的狀態(tài)開(kāi)始?xì)怏w壓力調(diào)整裝置發(fā)生了動(dòng)作的情況下的二次壓力的變動(dòng)的曲線。圖3的(a)表示通過(guò)僅使用主引導(dǎo)環(huán)路20而不具有副引導(dǎo)環(huán)路30的結(jié)構(gòu)的氣體壓力調(diào)整裝置進(jìn)行了調(diào)整的情況，圖3的(b)表示通過(guò)本發(fā)明的構(gòu)成即具備主引導(dǎo)環(huán)路20及副引導(dǎo)環(huán)路30雙方的構(gòu)成的氣體壓力調(diào)整裝置進(jìn)行了調(diào)整的情況。

在主閥11閉塞而流量為“0”的狀態(tài)下，由于閉鎖，變得比基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力ps略高。

由圖3的(a)可見(jiàn)，在不具有副引導(dǎo)環(huán)路30的情況下，為了抑制晃動(dòng)而縮擠排氣用節(jié)流部22，因此響應(yīng)性延遲，在下游側(cè)的使用量多的情況下，還有可能發(fā)生二次壓力p2降至“0”的情況。

相對(duì)于此，在具有副引導(dǎo)環(huán)路30的情況下，二次壓力降至副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31的動(dòng)作控制壓力pss之后副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31立即啟動(dòng)，主閥11的控制壓力pc下降。由此，主閥11打開(kāi)，因此，即使主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21不立即響應(yīng)，氣體也從上游管12供給至下游管13。因此，二次壓力p2不會(huì)極端下降。另外，當(dāng)副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31開(kāi)始動(dòng)作經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后，延遲而主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21也會(huì)啟動(dòng)，因此二次壓力p2立即被調(diào)整為規(guī)定的設(shè)定壓力(動(dòng)作控制壓力ps)，晃動(dòng)也不會(huì)發(fā)生。

通過(guò)如此設(shè)置副引導(dǎo)環(huán)路30，即便使主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21的響應(yīng)性下降以抑制晃動(dòng)，作為氣體壓力調(diào)整裝置整體，也能夠改善響應(yīng)性。

另外，在主引導(dǎo)環(huán)路20和副引導(dǎo)環(huán)路30中，將從主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21和副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31向下游管13的連接路徑構(gòu)成為各自獨(dú)立的不同的路徑。因此，即使副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31動(dòng)作，也不會(huì)對(duì)向主引導(dǎo)環(huán)路20供給的二次壓力p2產(chǎn)生影響。

因此，主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器21能夠根據(jù)下游管13的實(shí)際的二次壓力p2進(jìn)行穩(wěn)定的控制動(dòng)作。

圖4是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的圖，圖5是表示第二實(shí)施方式及其他實(shí)施方式中副引導(dǎo)環(huán)路30的向下游管13的連接方式的示意圖。

在第二實(shí)施方式中，將副引導(dǎo)環(huán)路30的向下游側(cè)管路13的連接位置c3’與設(shè)置于下游管的文丘里管的細(xì)管部53連接。當(dāng)主閥11打開(kāi)而供給氣體時(shí)，氣體流入下游管13，此時(shí)，由于文丘里管51的細(xì)管部53比二次壓力p2低，因此緊接著主閥11打開(kāi)后的副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31的響應(yīng)性變得更好。

另外，作為其他的實(shí)施方式，也可以將副引導(dǎo)環(huán)路30的向下游管13的連接位置設(shè)置在從主閥向下游管路的入口附近的管路急劇變寬的部分附近c(diǎn)3”。通過(guò)以這種方式構(gòu)成，氣體從主閥11的輸出側(cè)的細(xì)的管向粗的下游管13流出時(shí)的負(fù)壓作用于副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31的動(dòng)作控制壓力pss，能夠改善副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器31的響應(yīng)性。

圖6－圖8是將本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置和以往的壓力調(diào)整裝置的壓力調(diào)整時(shí)的二次壓力p2和流量q的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行比較后的曲線。

圖6－圖8的(a)表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)、即如圖1所示將主引導(dǎo)環(huán)路20的下游管側(cè)連接到下游管13的二次壓力p2從穩(wěn)定的部位c2分支后的整壓管，將副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)連接到與主引導(dǎo)環(huán)路30的連接位置c2不同的下游管13的出口附近的位置c3的結(jié)構(gòu)(以下，稱(chēng)作“實(shí)施例1”)的氣體壓力調(diào)整裝置的p2－q動(dòng)態(tài)特性的測(cè)量結(jié)果。圖6－圖8的(b)表示將圖1的氣體壓力調(diào)整裝置的主引導(dǎo)環(huán)路20的下游管側(cè)與實(shí)施例1同樣地連接到整壓管，將副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)連接到與主引導(dǎo)環(huán)路20相同的位置c2即整壓管的結(jié)構(gòu)(以下，稱(chēng)作“比較例1”)的p2－q動(dòng)態(tài)特性的測(cè)量結(jié)果。圖6－圖8的(c)表示不設(shè)置副引導(dǎo)環(huán)路30而僅通過(guò)主引導(dǎo)環(huán)路控制二次壓力p2的調(diào)整的結(jié)構(gòu)的氣體壓力調(diào)整裝置的p2－q的動(dòng)態(tài)特性的測(cè)量結(jié)果(以下，稱(chēng)作“比較例2”)。

圖6－圖8分別表示使一次壓力p1變化到0.2mpa、0.25mpa、及0.3mpa的情況。另外，圖6－圖8的任一情況都表示流量q為流動(dòng)50m³/h的情況。

由圖6－8可知，在本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置10(實(shí)施例1)及比較例1中，與比較例2相比，任一情況下二次壓力p2都較快地穩(wěn)定。這是設(shè)置副引導(dǎo)環(huán)路得到的效果。

另外，由圖6－圖8的曲線(a)可知，在實(shí)施例1中，二次壓力p2的過(guò)渡性的振動(dòng)平息后，無(wú)論一次壓力p1如何，二次壓力p2都維持在穩(wěn)定的狀態(tài)。相對(duì)于此，尤其在未設(shè)置副引導(dǎo)環(huán)路30的結(jié)構(gòu)(比較例2)的p2－q動(dòng)態(tài)特性測(cè)量結(jié)果(c)中，調(diào)整開(kāi)始時(shí)的過(guò)渡性的振動(dòng)平息后，二次壓力p2仍上下較大程度地變動(dòng)(振動(dòng))(參照?qǐng)D6－圖8的(c))。

可見(jiàn)，將副引導(dǎo)環(huán)路的下游端連接到主環(huán)路的下游端側(cè)的結(jié)構(gòu)(比較例1)的動(dòng)態(tài)特性(參照?qǐng)D6－圖8的(b))雖然沒(méi)有比較例2的結(jié)構(gòu)(參照?qǐng)D6－圖8的(c))明顯，但是，與本發(fā)明的實(shí)施例1的動(dòng)態(tài)特性(參照?qǐng)D6－圖8的(a))相比，二次壓力p2轉(zhuǎn)移到穩(wěn)定狀態(tài)之后的二次壓力p2的上下振動(dòng)較大，與實(shí)施例1相比，缺乏穩(wěn)定性。

初始的過(guò)渡性振動(dòng)平息后盡可能穩(wěn)定是所期望的，對(duì)這樣的上下振動(dòng)幅度(振幅)而言，大致0.1kpa是容許極限值，比較例1的動(dòng)態(tài)特性為臨近極限的振動(dòng)值(尤其參照?qǐng)D7、圖8的(b))。

另外，觀察圖7的動(dòng)態(tài)特性可知，一次壓力p1升高時(shí)，在比較例1、2中，與本發(fā)明的實(shí)施例的動(dòng)態(tài)特性(a)相比，緊接著關(guān)閉主閥后的二次壓力p2大幅度壓力上升。該二次壓力p2的壓力上升越小越好，但是，在圖7所示的動(dòng)態(tài)特性中，與實(shí)施例1相比，在比較例1、2中，存在大2倍左右的壓力上升，二次壓力p2變得穩(wěn)定所需的時(shí)間也花費(fèi)2倍左右的時(shí)間，與實(shí)施例1相比，非常不穩(wěn)定。

該現(xiàn)象(動(dòng)態(tài)特性)在流量較少的50m³/h左右的情況下，未那么顯著地表現(xiàn)出來(lái)，但是，流量q越多并且一次壓力p1越高，表現(xiàn)越顯著。作為參考，圖9中示出了流量增至100m³/h時(shí)的動(dòng)態(tài)特性。圖9的(a)－(c)表示將流量q增至100m³/h、將一次壓力p1分別增加成為0.2mpa、0.25mpa、0.3mpa的情況下的動(dòng)態(tài)特性。圖9的(a)－(c)均是在左側(cè)表示本發(fā)明的實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性，在右側(cè)比較示出比較例1的動(dòng)態(tài)特性。此外，圖9中，未示出比較例2，但是關(guān)閉主閥11時(shí)，比較例2也與比較例1同樣或者比其更甚地，二次壓力p2急劇壓力上升。

由圖9可知，將流量q增至100m³/h時(shí)，一次壓力p1為0.2mpa、0.25mpa、0.3mpa時(shí)的任一情況下，緊接著主閥11關(guān)閉后的二次壓力p2與本發(fā)明的實(shí)施例1相比，都存在2倍以上大的壓力上升。二次壓力p2變得穩(wěn)定所需的時(shí)間也與其成比例地需要大約2倍左右的時(shí)間。

此外，在將比較例1的副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)連接到主引導(dǎo)環(huán)路20的結(jié)構(gòu)中，偶爾主閥11未打開(kāi)的狀態(tài)下二次壓力也經(jīng)常變動(dòng)。該現(xiàn)象在圖7的(b)中顯著表現(xiàn)出來(lái)。這表示在主閥11大致閉塞狀態(tài)下僅1m³/h左右的少量的氣體從上游管12向下游管13流動(dòng)時(shí)發(fā)生二次壓力p2波動(dòng)而不穩(wěn)定的現(xiàn)象。這種波動(dòng)現(xiàn)象通過(guò)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)、即將副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)和主引導(dǎo)環(huán)路20的下游管側(cè)設(shè)為獨(dú)立的不同路徑而完全消失(參照?qǐng)D6－圖8的(a)及圖9)。

由上述可知，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種氣體壓力調(diào)整裝置，所述氣體壓力調(diào)整裝置通過(guò)將主引導(dǎo)環(huán)路20和副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)的連接設(shè)在各不相同的位置c2、c3，將各環(huán)路20、30設(shè)為各自獨(dú)立的不同的路徑，響應(yīng)特性好，晃動(dòng)少且能夠穩(wěn)定地將二次壓力p2維持在一定值。

另外，通過(guò)在下游管設(shè)置文丘里管51而將副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)與文丘里管51的細(xì)管部連接，能夠進(jìn)一步提高主閥11開(kāi)閥時(shí)的響應(yīng)性。

另外，通過(guò)將副引導(dǎo)環(huán)路30的下游管側(cè)連接至下游管的主閥11的輸出附近，也能夠提高主閥11開(kāi)閥時(shí)的響應(yīng)性。

附圖標(biāo)記的說(shuō)明

10本發(fā)明的氣體壓力調(diào)整裝置

11主閥(調(diào)節(jié)器主體)

12上游側(cè)輸送管(上游管)

13下游側(cè)輸送管(下游管)

14限流器

16封閉部

17套筒

18閥體

19上游側(cè)連接管路

20主引導(dǎo)環(huán)路

21主引導(dǎo)調(diào)節(jié)器

22排氣用節(jié)流部

23可調(diào)節(jié)流部23

30副引導(dǎo)環(huán)路

31副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器

50第二實(shí)施方式的氣體壓力調(diào)整裝置

51文丘里管

53細(xì)管部

p1一次壓力

p2二次壓力

pc控制壓力

ps基準(zhǔn)動(dòng)作控制壓力

pss副引導(dǎo)調(diào)節(jié)器的動(dòng)作控制壓力

q流量