本發(fā)明的實(shí)施方式涉及用于使配方集(recipe set)的執(zhí)行同步的系統(tǒng)和方法。

背景技術(shù)：

等離子體系統(tǒng)被用于執(zhí)行各種操作。例如，等離子體系統(tǒng)具有用于清潔晶片、在晶片上沉積材料、蝕刻晶片等的多個(gè)站。每個(gè)站由用于執(zhí)行這些操作的一個(gè)或多個(gè)處理設(shè)備控制。

信息在處理設(shè)備之間傳輸以執(zhí)行操作。然而，為了傳輸信息，各處理設(shè)備遵循嚴(yán)密的時(shí)間表。例如，各處理設(shè)備必須處理預(yù)先指定的時(shí)間窗內(nèi)的數(shù)據(jù)，然后才將經(jīng)處理的數(shù)據(jù)提供給其它的處理設(shè)備。

這樣的時(shí)間窗要求導(dǎo)致處理設(shè)備昂貴。此外，在使用上述處理設(shè)備時(shí)數(shù)據(jù)傳輸速率在處理設(shè)備之間受到限制。

正是在這種背景下提出本發(fā)明中描述的實(shí)施方式。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的實(shí)施方式提供了用于使配方集的執(zhí)行同步的裝置、方法和計(jì)算機(jī)程序。應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明的實(shí)施方式可以用多種方式實(shí)施，例如，工藝、或裝置、或系統(tǒng)、或一件硬件、或方法、或計(jì)算機(jī)可讀的介質(zhì)。以下描述幾個(gè)實(shí)施方式。

在一實(shí)施方式中，將擬執(zhí)行的配方集從一控制器發(fā)送到另一控制器，然后發(fā)送用于執(zhí)行配方集的信號(hào)。例如，主控制器發(fā)送配方集至從控制器，然后發(fā)送指示從控制器執(zhí)行配方集的脈沖。這種先發(fā)送配方集為從控制器提供了時(shí)間以準(zhǔn)備執(zhí)行配方集。一旦收到指示從控制器執(zhí)行配方集的脈沖，從控制器通過發(fā)送用于處理的配方集來執(zhí)行所述配方集。

在發(fā)送指示執(zhí)行配方集的脈沖之前發(fā)送多個(gè)配方集到多個(gè)從控制器使所述從控制器中的每個(gè)免于在時(shí)間窗內(nèi)執(zhí)行所述配方集。例如，在EtherCAT(用于控制自動(dòng)化技術(shù)的以太網(wǎng))內(nèi)，一個(gè)從控制器接收多個(gè)配方集、識(shí)別配方集中的一個(gè)、并執(zhí)行所識(shí)別的配方集，然后發(fā)送所述多個(gè)配方集到另一個(gè)從控制器。該識(shí)別和執(zhí)行將在時(shí)間窗內(nèi)完成，這是一種約束并增加了成本。而且，由于低容量，這樣的EtherCAT從控制器是昂貴的并且難以獲得。此外，EtherCAT從控制器在速度方面受限制，例如限于兆比特/秒的速度。通過使用使配方集的執(zhí)行同步的系統(tǒng)和方法，所述多個(gè)配方集的發(fā)送以千兆比特(Gbps)/秒或更高的速度完成，并且沒有時(shí)間窗，在時(shí)間窗之前從控制器必須進(jìn)行所述識(shí)別和執(zhí)行。指示從控制器執(zhí)行配方集的脈沖被從控制器收到后，從控制器立即執(zhí)行配方集。

在一實(shí)施方式中，描述了一種使配方集的執(zhí)行同步的方法。該方法包括：由命令控制器發(fā)送配方集到主控制器并且由所述主控制器發(fā)送所述配方集以通過等離子體系統(tǒng)的子系統(tǒng)控制器執(zhí)行。從所述主控制器發(fā)送所述配方集到所述子系統(tǒng)控制器的操作在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間執(zhí)行。所述方法包括：由所述命令控制器產(chǎn)生配方事件信號(hào)以及由所述命令控制器發(fā)送配方事件信號(hào)到所述子系統(tǒng)控制器，所述配方事件信號(hào)指示由所述子系統(tǒng)控制器執(zhí)行所述配方集的時(shí)間。所述執(zhí)行的時(shí)間在所述第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期期間出現(xiàn)。所述第二周期屬于時(shí)鐘信號(hào)。

在一實(shí)施方式中，描述了一種使配方集的執(zhí)行同步的方法。該方法包括：在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間，由主控制器發(fā)送配方集以用于通過子系統(tǒng)控制器執(zhí)行。所述子系統(tǒng)控制器被配置為控制等離子體處理系統(tǒng)的部件。該方法還包括：由所述主控制器產(chǎn)生配方事件信號(hào)以及由所述主控制器發(fā)送指示由所述等離子體處理系統(tǒng)的所述子系統(tǒng)控制器執(zhí)行所述配方集的時(shí)間的所述配方事件信號(hào)。所述配方集的執(zhí)行的時(shí)間在所述第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期期間出現(xiàn)，在所述第一時(shí)鐘周期期間發(fā)送所述配方集。所述第二周期屬于時(shí)鐘信號(hào)。

在一實(shí)施方式中，描述了一種使配方集的執(zhí)行同步的方法。該方法包括：由主控制器發(fā)送配方集到等離子體處理系統(tǒng)的子系統(tǒng)的處理器。在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間發(fā)生從所述主控制器發(fā)送的操作。該方法還包括：由所述主控制器產(chǎn)生配方事件信號(hào)以及由所述主控制器發(fā)送指示所述配方集的執(zhí)行的時(shí)間的所述配方事件信號(hào)到所述子系統(tǒng)的所述處理器。在所述第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期期間進(jìn)行發(fā)送所述執(zhí)行的時(shí)間的操作。

上述實(shí)施方式中的一些的一些優(yōu)點(diǎn)包括在多個(gè)控制器之間使配方集的執(zhí)行同步。例如，第(n+1)個(gè)配方集被以同步方式從發(fā)送控制器發(fā)送到一個(gè)或多個(gè)接收控制器。在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到接收控制器后，所述發(fā)送控制器或另一控制器提供配方事件信號(hào)以通知接收控制器開始配方集的執(zhí)行。在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集和發(fā)送配方事件信號(hào)之間的時(shí)間使得接收控制器能夠?yàn)榈?n+1)個(gè)配方集的執(zhí)行做準(zhǔn)備。例如，在晶片被裝載到等離子體室中的時(shí)間期間，第(n+1)個(gè)配方集被發(fā)送到接收控制器。當(dāng)配方事件信號(hào)被發(fā)送到接收控制器時(shí)，晶片已經(jīng)被裝載。此外，一旦配方事件信號(hào)被接收控制器接收，接收控制器就執(zhí)行配方集以開始處理該晶片。

其它優(yōu)點(diǎn)包括使用具有千兆比特或更高數(shù)據(jù)傳輸速率的通信協(xié)議，例如，以太網(wǎng)協(xié)議、通用數(shù)據(jù)報(bào)協(xié)議(UDP)、因特網(wǎng)協(xié)議上的UDP(IP上的UDP)、以太網(wǎng)上的IP上的UDP、定制的協(xié)議等。第(n+1)個(gè)配方集作為通過應(yīng)用所述通信協(xié)議傳輸?shù)?n+1)個(gè)配方集而產(chǎn)生的數(shù)據(jù)包的有效載荷被嵌入到所述數(shù)據(jù)包中。通信協(xié)議的這種使用使得千兆比特/秒或更高的傳輸速率能夠?qū)崿F(xiàn)。相較EtherCAT協(xié)議，這種通信協(xié)議的使用節(jié)省了時(shí)間并且是更具成本效益的。

具體而言，本發(fā)明的一些方面可以闡述如下：

1.一種方法，其包括：

由命令控制器發(fā)送配方集到主控制器；

由所述主控制器發(fā)送所述配方集以用于通過等離子體系統(tǒng)的子系統(tǒng)控制器執(zhí)行，其中從所述主控制器發(fā)送所述配方集到所述子系統(tǒng)控制器在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間執(zhí)行；

由所述命令控制器產(chǎn)生配方事件信號(hào)；以及

由所述命令控制器發(fā)送所述配方事件信號(hào)到所述子系統(tǒng)控制器，所述配方事件信號(hào)指示由所述子系統(tǒng)控制器執(zhí)行所述配方集的時(shí)間，其中，所述執(zhí)行的時(shí)間在所述第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期期間出現(xiàn)，其中所述第二周期屬于時(shí)鐘信號(hào)。

2.根據(jù)條款1所述的方法，其中從所述命令控制器發(fā)送所述配方集到所述主控制器包括通過傳輸介質(zhì)向所述主控制器發(fā)送數(shù)據(jù)包，其中從所述主控制器發(fā)送所述配方集到所述子系統(tǒng)控制器包括經(jīng)由傳輸介質(zhì)發(fā)送所述數(shù)據(jù)包到所述子系統(tǒng)控制器。

3.根據(jù)條款1所述的方法，其還包括：

在所述第一時(shí)鐘周期期間由所述主控制器發(fā)送另一個(gè)配方集以用于通過所述等離子體系統(tǒng)的另一子系統(tǒng)控制器執(zhí)行，

其中，所述時(shí)間是用于通過所述等離子體系統(tǒng)的所述另一子系統(tǒng)控制器執(zhí)行所述另一個(gè)配方集。

4.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述命令控制器位于計(jì)算設(shè)備內(nèi)，其中，所述計(jì)算設(shè)備包括膝上型計(jì)算機(jī)或臺(tái)式計(jì)算機(jī)或平板電腦或移動(dòng)電話。

5.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述配方集包括將由RF產(chǎn)生器產(chǎn)生的射頻(RF)信號(hào)的功率、或所述RF信號(hào)的頻率、或在所述等離子體系統(tǒng)的等離子體室內(nèi)的壓強(qiáng)、或所述等離子體室內(nèi)的溫度、或在等離子體室內(nèi)的電極之間的間隙、或流向所述等離子體室的氣體流的量、或所述等離子體處理系統(tǒng)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電容器的電容、或所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電感器的電感、或它們的組合。

6.根據(jù)條款1所述的方法，其中在所述配方集從所述子系統(tǒng)控制器發(fā)送到子系統(tǒng)時(shí)，所述配方集由所述子系統(tǒng)控制器執(zhí)行，其中，所述子系統(tǒng)控制器耦合到所述主控制器。

7.根據(jù)條款6所述的方法，其中所述子系統(tǒng)是射頻(RF)產(chǎn)生器、或壓強(qiáng)子系統(tǒng)、或溫度子系統(tǒng)、或間隙子系統(tǒng)、或氣體流子系統(tǒng)、或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。

8.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述等離子體系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)射頻(RF)產(chǎn)生器、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)、和等離子體室，其中，所述一個(gè)或多個(gè)RF產(chǎn)生器通過一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的射頻電纜連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)經(jīng)由RF傳輸線連接到所述等離子體室。

9.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述執(zhí)行的時(shí)間是由所述子系統(tǒng)控制器從所述命令控制器接收所述配方事件信號(hào)的時(shí)間，其中，所述子系統(tǒng)控制器被連接到所述主控制器并控制子系統(tǒng)，其中，由所述子系統(tǒng)控制器接收的所述配方事件信號(hào)導(dǎo)致所述配方集的立即執(zhí)行。

10.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述執(zhí)行的時(shí)間是所述配方集從所述子系統(tǒng)控制器發(fā)送到子系統(tǒng)的時(shí)間，其中所述子系統(tǒng)控制器被連接到所述主控制器，以用于從所述主控制器接收所述配方集。

11.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述配方事件信號(hào)觸發(fā)所述配方集的執(zhí)行。

12.根據(jù)條款1所述的方法，其中，所述配方事件信號(hào)在由用于子系統(tǒng)的所述子系統(tǒng)控制器接收時(shí)表示所述配方集的執(zhí)行的立即激活。

13.一種方法，其包括：

在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間，由主控制器發(fā)送配方集以用于通過子系統(tǒng)控制器執(zhí)行，其中，所述子系統(tǒng)控制器被配置為控制等離子體系統(tǒng)的部件；

由所述主控制器產(chǎn)生配方事件信號(hào)；以及

由所述主控制器發(fā)送指示由所述等離子體系統(tǒng)的所述子系統(tǒng)控制器執(zhí)行所述配方集的時(shí)間的所述配方事件信號(hào)，其中，所述配方集的執(zhí)行的時(shí)間在所述第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期期間出現(xiàn)，在所述第一時(shí)鐘周期期間發(fā)送所述配方集，其中所述第二周期屬于時(shí)鐘信號(hào)。

14.根據(jù)條款13所述的方法，其中發(fā)送所述配方集包括經(jīng)由電纜發(fā)送數(shù)據(jù)包到所述子系統(tǒng)控制器。

15.根據(jù)條款13所述的方法，其中所述等離子體系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)射頻(RF)產(chǎn)生器、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)、和等離子體室，其中，所述一個(gè)或多個(gè)RF產(chǎn)生器連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到所述等離子體室。

16.根據(jù)條款13所述的方法，其進(jìn)一步包括：

在所述時(shí)鐘信號(hào)的第一周期期間由所述主控制器發(fā)送另一配方集以用于通過另一子系統(tǒng)控制器執(zhí)行，其中，所述另一子系統(tǒng)控制器被配置為控制所述等離子體系統(tǒng)的另一部件，

其中，所述時(shí)間是用于通過所述等離子體系統(tǒng)的所述另一子系統(tǒng)控制器執(zhí)行所述另一配方集。

17.根據(jù)條款13所述的方法，其中所述配方集由所述子系統(tǒng)控制器通過發(fā)送所述配方集到所述部件來執(zhí)行。

18.根據(jù)條款13所述的方法，其中所述執(zhí)行的時(shí)間是由所述子系統(tǒng)控制器從所述主控制器接收所述配方事件信號(hào)的時(shí)間，其中，所述子系統(tǒng)控制器被連接到所述主控制器并控制所述部件。

19.根據(jù)條款13所述的方法，其中所述執(zhí)行的時(shí)間是所述配方集從所述子系統(tǒng)控制器發(fā)送到所述部件的時(shí)間。

20.根據(jù)條款13所述的方法，其中所述配方事件信號(hào)觸發(fā)所述配方集的執(zhí)行。

21.根據(jù)條款13所述的方法，其中，所述配方事件信號(hào)在由用于所述子系統(tǒng)的所述子系統(tǒng)控制器接收時(shí)表示所述配方集的執(zhí)行的立即激活。

22.一種方法，其包括：

由主控制器發(fā)送所述配方集到等離子體處理系統(tǒng)的子系統(tǒng)的處理器，其中，自所述主控制器的發(fā)送在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間發(fā)生；

由所述主控制器產(chǎn)生配方事件信號(hào)；以及

由所述主控制器發(fā)送指示所述配方集的執(zhí)行的時(shí)間的所述配方事件信號(hào)到所述子系統(tǒng)的所述處理器，其中，發(fā)送所述執(zhí)行的時(shí)間在所述第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期期間發(fā)生。

23.根據(jù)條款22所述的方法，其中發(fā)送所述配方集包括經(jīng)由電纜發(fā)送數(shù)據(jù)包到所述子系統(tǒng)的所述處理器。

24.根據(jù)條款22所述的方法，其進(jìn)一步包括：

由所述主控制器發(fā)送另一配方集以用于通過另一子系統(tǒng)的另一處理器執(zhí)行，其中，所述另一處理器被配置為控制所述等離子體系統(tǒng)的所述另一子系統(tǒng)，其中，在所述第一時(shí)鐘周期期間發(fā)生發(fā)送所述另一配方集，

其中，所述時(shí)間是用于通過所述另一子系統(tǒng)的所述另一處理器執(zhí)行所述另一配方集。

25.根據(jù)條款22所述的方法，其中，當(dāng)所述子系統(tǒng)的所述處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器以產(chǎn)生信號(hào)時(shí)由所述處理器執(zhí)行所述配方集。

26.根據(jù)條款22所述的方法，其中所述執(zhí)行的時(shí)間是由所述處理器從所述主控制器接收所述配方事件信號(hào)的時(shí)間，其中，所述處理器被連接到所述主控制器并控制所述子系統(tǒng)。

27.根據(jù)條款22所述的方法，其中所述執(zhí)行的時(shí)間是從所述處理器發(fā)送所述配方集到驅(qū)動(dòng)器來驅(qū)動(dòng)所述等離子體處理系統(tǒng)的組件的時(shí)間。

28.根據(jù)條款22所述的方法，其中所述配方事件信號(hào)觸發(fā)所述配方集的執(zhí)行。

29.根據(jù)條款22所述的方法，其中，所述配方事件信號(hào)在由所述處理器接收時(shí)表示所述配方集的執(zhí)行的立即激活。

結(jié)合附圖，根據(jù)以下詳細(xì)描述，其它方面會(huì)變得明顯。

附圖說明

結(jié)合附圖，參照以下描述理解這些實(shí)施方式。

圖1A-1是一種系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖，用以說明不同子系統(tǒng)控制器之間配方集的同步執(zhí)行。

圖1A-2是與圖1A-1的系統(tǒng)類似的系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖。

圖1B-1是一種系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖，其用于說明在不經(jīng)由輸入裝置從用戶處接收輸入信號(hào)的前提下在子系統(tǒng)控制器和主控制器之間的同步。

圖1B-2是與圖1B-1的系統(tǒng)類似的系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖。

圖1C是一種系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖，其用以說明根據(jù)從主控制器接收到的配方事件信號(hào)的子系統(tǒng)同步。

圖1D是一種系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖，其用以說明子系統(tǒng)控制器和子系統(tǒng)之間的同步。

圖1E是一種系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖，其用以說明使用用戶界面(UI)計(jì)算機(jī)來實(shí)現(xiàn)主控制器和射頻產(chǎn)生器的控制器之間的同步。

圖2A-1是一種時(shí)序圖的一實(shí)施方式，其用以說明發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到控制器和由控制器執(zhí)行配方集的時(shí)間之間的同步。

圖2A-2是一種時(shí)序圖的一實(shí)施方式，其用以說明由控制器執(zhí)行數(shù)據(jù)包的時(shí)間在該數(shù)據(jù)包由控制器接收的時(shí)間和指示數(shù)據(jù)包被執(zhí)行的數(shù)字脈沖被接收的稍后的時(shí)間之間變化。

圖2B是一種時(shí)序圖的一實(shí)施方式，其用以說明圖1E的系統(tǒng)的運(yùn)行。

圖3A是以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包的一實(shí)施方式的簡圖。

圖3B是根據(jù)在本公開中描述的實(shí)施方式示出數(shù)據(jù)包的簡圖。

圖4是一種等離子體處理系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖。

圖5是一種系統(tǒng)的一實(shí)施方式的簡圖，其用以說明子系統(tǒng)。

圖6是一種等離子體室的一實(shí)施方式的簡圖。

具體實(shí)施方式

以下實(shí)施方式描述了用于使配方集的執(zhí)行同步的系統(tǒng)和方法。這些實(shí)施方式可以在沒有這些具體細(xì)節(jié)中的一些或所有的情況下實(shí)施將是顯而易見的。在其它示例中，未詳細(xì)描述公知的工藝操作以免不必要地使這些實(shí)施方式難以理解。

圖1A-1是系統(tǒng)100的一實(shí)施方式的簡圖，用以說明不同子系統(tǒng)控制器之間配方集的同步執(zhí)行。系統(tǒng)100包括命令控制器102，其位于計(jì)算設(shè)備108內(nèi)。如本文所使用的控制器包括一個(gè)或多個(gè)處理器和一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)器設(shè)備。如本文所使用的處理器指的是中央處理單元(CPU)、專用集成電路(ASIC)、或可編程邏輯器件(PLD)被使用，并且這些術(shù)語在本文中可互換使用。存儲(chǔ)器裝置的示例包括只讀存儲(chǔ)器(ROM)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)、硬盤、易失性存儲(chǔ)器、非易失性存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)磁盤的冗余陣列、閃存存儲(chǔ)器等。所述計(jì)算設(shè)備108的實(shí)施例包括膝上型計(jì)算機(jī)、或臺(tái)式計(jì)算機(jī)、或平板電腦、或移動(dòng)電話。

系統(tǒng)100還包括經(jīng)由傳輸介質(zhì)112連接到命令控制器102的主控制器106。如本文所使用的傳輸介質(zhì)的示例包括同軸電纜、導(dǎo)體電纜、有線介質(zhì)、雙絞線、光纖電纜、電纜、以太網(wǎng)電纜、無線介質(zhì)、有線介質(zhì)和無線介質(zhì)的組合等。通信協(xié)議例如通用數(shù)據(jù)報(bào)協(xié)議(UDP)、因特網(wǎng)協(xié)議上的UDP(IP上的UDP)、以太網(wǎng)上的IP上的UDP、定制協(xié)議、串行傳輸協(xié)議、并行傳輸協(xié)議、通用串行總線(USB)協(xié)議、定制的通信協(xié)議等。串行協(xié)議的示例包括，例如，RS 232協(xié)議、RS 422協(xié)議、RS 423協(xié)議、RS 485協(xié)議等等。在各種實(shí)施方式中，在串行協(xié)議中，數(shù)據(jù)以串行方式傳輸。例如，一個(gè)比特在另一個(gè)比特被傳輸后被繼續(xù)傳輸。并行協(xié)議的一個(gè)示例是以并行方式傳輸數(shù)據(jù)的一種協(xié)議。舉例而言，在并行協(xié)議中，多個(gè)比特被同時(shí)傳輸，等等。在一些實(shí)施方式中，術(shù)語傳輸介質(zhì)和鏈路在本文中可互換使用。在若干實(shí)施方式中，串行協(xié)議或并行協(xié)議在本文中稱作非數(shù)據(jù)包協(xié)議。

系統(tǒng)100包括子系統(tǒng)控制器A、子系統(tǒng)控制器B和子系統(tǒng)控制器C。子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A連接到主控制器106，子系統(tǒng)控制器B經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B連接到主控制器106，以及子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C連接到主控制器106。

此外，每個(gè)子系統(tǒng)控制器通過一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的物理介質(zhì)連接到相應(yīng)的子系統(tǒng)，這些物理介質(zhì)在美國專利申請(qǐng)No.14/974915中被描述為物理通信介質(zhì)。例如，子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由專用物理介質(zhì)連接到子系統(tǒng)A，子系統(tǒng)控制器B經(jīng)由專用物理介質(zhì)連接到子系統(tǒng)B，以及子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由專用物理介質(zhì)連接到子系統(tǒng)C。

應(yīng)該注意的是，在一些實(shí)施方案中，術(shù)語子系統(tǒng)和部件在本文中可互換使用。

子系統(tǒng)的示例包括射頻(RF)產(chǎn)生器、或壓強(qiáng)子系統(tǒng)、或溫度子系統(tǒng)、或間隙子系統(tǒng)、或氣體流子系統(tǒng)、或制冷液流子系統(tǒng)、或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。舉例而言，子系統(tǒng)A是x兆赫(MHz)射頻(RF)產(chǎn)生器，例如2MHz射頻(RF)產(chǎn)生器等等，子系統(tǒng)B是y兆赫RF產(chǎn)生器，而子系統(tǒng)C是z兆赫RF產(chǎn)生器。y的示例包括2或27，而z的示例包括27或60。在一實(shí)施方式中，不是使用x MHz RF產(chǎn)生器，而是使用千赫(kHz)RF產(chǎn)生器，例如，為400KHz RF產(chǎn)生器等。

壓強(qiáng)子系統(tǒng)包括多個(gè)組件，例如，壓強(qiáng)控制器、驅(qū)動(dòng)器、馬達(dá)、一個(gè)或多個(gè)桿、約束環(huán)等。壓強(qiáng)控制器通過驅(qū)動(dòng)器與馬達(dá)相連，馬達(dá)經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)桿進(jìn)一步連接等離子體室中的約束環(huán)。等離子體室在下文進(jìn)一步描述。驅(qū)動(dòng)器的示例包括晶體管或晶體管組。壓強(qiáng)控制器的處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器以驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，從而使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)通過一個(gè)或更多個(gè)桿控制約束環(huán)移動(dòng)的量，以進(jìn)一步改變等離子體室內(nèi)的壓強(qiáng)。

在一實(shí)施方式中，不是壓強(qiáng)控制器位于所述壓強(qiáng)子系統(tǒng)內(nèi)，而是壓強(qiáng)控制器為子系統(tǒng)控制器A的示例，并且上述的壓強(qiáng)子系統(tǒng)的其余組件位于壓強(qiáng)子系統(tǒng)內(nèi)。

溫度子系統(tǒng)包括多個(gè)組件，例如，溫度控制器、驅(qū)動(dòng)器、加熱器等。溫度控制器通過驅(qū)動(dòng)器連接到加熱器等、一個(gè)或多個(gè)電阻器、或一個(gè)或多個(gè)桿、或一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)線等。溫度控制器的溫度處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器，以產(chǎn)生一定量的電流。該驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生該一定量的電流，并提供該電流給加熱器。加熱器產(chǎn)生用于加熱等離子體室的熱量。

在一實(shí)施方式中，不是溫度控制器位于所述溫度子系統(tǒng)內(nèi)，而是溫度控制器為子系統(tǒng)控制器B的一個(gè)示例，并且上述的溫度子系統(tǒng)的其余組件位于溫度子系統(tǒng)內(nèi)。

間隙子系統(tǒng)包括一些組件，例如，間隙控制器、間隙驅(qū)動(dòng)器、馬達(dá)、一個(gè)或多個(gè)桿等。間隙控制器通過間隙驅(qū)動(dòng)器連接到馬達(dá)，馬達(dá)經(jīng)由所述一個(gè)或多個(gè)桿連接到等離子體室的上電極。間隙控制器的間隙處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器，以產(chǎn)生一定量的電流，其被提供給馬達(dá)以使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)使一個(gè)或多個(gè)桿旋轉(zhuǎn)以改變等離子體室的上電極和下電極之間的間隙。

在一實(shí)施方式中，不是間隙控制器位于所述間隙子系統(tǒng)內(nèi)，而是間隙控制器為子系統(tǒng)控制器C的一個(gè)示例，而上述的間隙子系統(tǒng)的其余組件位于該間隙子系統(tǒng)內(nèi)。

氣體流子系統(tǒng)包括多個(gè)組件，例如，氣體流控制器、驅(qū)動(dòng)器、馬達(dá)、閥、管、一個(gè)或多個(gè)桿、氣體源等。氣體源存儲(chǔ)處理氣體，處理氣體用于處理在等離子體室中的襯底(例如半導(dǎo)體晶片等)，例如，在襯底上沉積材料，在襯底上濺射材料，蝕刻襯底，清潔襯底等。處理氣體的示例包括含氧氣體或含氟氣體等。氣體流控制器的氣體流處理器將信號(hào)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生電流來驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。馬達(dá)旋轉(zhuǎn)以通過所述一個(gè)或多個(gè)桿改變?cè)诠軆?nèi)的閥的位置，以進(jìn)一步經(jīng)由管從氣體源獲取一定的氣體流量到等離子體室。

在一實(shí)施方式中，不是氣體流控制器位于氣體流子系統(tǒng)內(nèi)，而是氣體流控制器為子系統(tǒng)控制器A的一個(gè)示例，而上述的氣體流子系統(tǒng)的其余組件位于氣體流子系統(tǒng)內(nèi)。

在一個(gè)實(shí)施方式中，不是位于氣體流子系統(tǒng)內(nèi)的馬達(dá)，而是由氣體流子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的電磁流控制氣體流子系統(tǒng)的閥打開或關(guān)閉的量。

制冷流子系統(tǒng)具有與氣體流子系統(tǒng)相同的組件，并以與氣體流子系統(tǒng)的操作方式相同的方式操作，不同的是，不是使用氣體源，而是使用存儲(chǔ)制冷液體的源，并且制冷流子系統(tǒng)的輸出部被連接到離子體室的例如上電極、下電極、上電極延伸部、下電極延伸部等等部件以供給制冷液體到該部件，從而冷卻該部件。

阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)包括多個(gè)組件，例如，阻抗匹配控制器、一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)器、一個(gè)或多個(gè)馬達(dá)、一個(gè)或多個(gè)電容器、一個(gè)或多個(gè)電感器、一個(gè)或者多個(gè)電阻器等。阻抗匹配控制器的處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)，從而產(chǎn)生電流。電流被提供給馬達(dá)中的一個(gè)以使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，從而進(jìn)一步改變一個(gè)或多個(gè)電容器中的一個(gè)的板之間的區(qū)域，以改變?cè)撾娙萜鞯碾娙荨ｎ愃频?，阻抗匹配控制器的處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器中的另一個(gè)，從而產(chǎn)生電流。該電流被提供給馬達(dá)中的另一個(gè)以使該馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，從而進(jìn)一步轉(zhuǎn)動(dòng)電感器中的一個(gè)的芯以改變?cè)撾姼衅鞯碾姼谢蚋淖冸姼衅髦械脑撘粋€(gè)的線圈之間的間距以改變電感。例如，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電感器的電感通過使該電感器的芯滑進(jìn)或滑出該電感器的線圈來進(jìn)行修改。芯被連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的馬達(dá)以使磁芯滑動(dòng)。

命令控制器102通過輸入/輸出(I/O)接口耦合到輸入裝置，例如，耦合到鼠標(biāo)、鍵盤、定位筆、觸摸屏等。I/O接口的示例包括串行端口、或并行端口、或USB端口等。在經(jīng)由輸入裝置和I/O接口接收到來自用戶的信號(hào)時(shí)，命令控制器102通過傳輸介質(zhì)112向主控制器106發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集以用于通過子系統(tǒng)A執(zhí)行，發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集以用于通過子系統(tǒng)B執(zhí)行，以及發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集以用于通過子系統(tǒng)C執(zhí)行。例如，命令控制器應(yīng)用通信協(xié)議以生成包括待由子系統(tǒng)A執(zhí)行的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包，應(yīng)用通信協(xié)議以生成包括待由子系統(tǒng)B執(zhí)行的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包，以及應(yīng)用通信協(xié)議以生成包括待由子系統(tǒng)C執(zhí)行的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包，并且經(jīng)由傳輸介質(zhì)112將這些數(shù)據(jù)包發(fā)送到主控制器106。舉另一示例而言，命令控制器102通過應(yīng)用非數(shù)據(jù)包協(xié)議例如以并行方式或串行方式等發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集。在一些實(shí)施方式中，命令控制器通過傳輸介質(zhì)112例如在時(shí)鐘信號(hào)的相同時(shí)鐘周期內(nèi)、在時(shí)鐘周期的上升沿、在時(shí)鐘周期的下降沿等同時(shí)發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到主控制器。

應(yīng)該注意的是，在多種實(shí)施方式中，第(n+1)個(gè)用于說明：配方集是相比于先前發(fā)送的第n個(gè)配方集的將要執(zhí)行的下一個(gè)配方集，其中n是大于或等于零的整數(shù)。例如，第n個(gè)配方集在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集前發(fā)送。第(n+1)個(gè)配方集接續(xù)發(fā)送第n個(gè)配方集發(fā)送。在一些實(shí)施方式中，第n個(gè)配方集是在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集時(shí)被執(zhí)行。

在從命令控制器102接收到用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)配方時(shí)，主控制器106從包括第(n+1)個(gè)配方集中的一個(gè)的數(shù)據(jù)包內(nèi)的目的地址(例如，媒體訪問控制(MAC)地址等)識(shí)別以確定第(n+1)個(gè)配方集中的該一個(gè)是用于子系統(tǒng)A，從包括第(n+1)個(gè)配方集中的另一個(gè)的數(shù)據(jù)包內(nèi)的目的地址識(shí)別以確定第(n+1)個(gè)配方集中的該另一個(gè)是用于子系統(tǒng)B，以及從包括第(n+1)個(gè)配方集中的又一個(gè)的數(shù)據(jù)包內(nèi)的目的地址識(shí)別以確定第(n+1)個(gè)配方集中的該又一個(gè)是用于子系統(tǒng)C。主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A發(fā)送包含用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包到子系統(tǒng)控制器A，經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B發(fā)送包含用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包到子系統(tǒng)控制器B，以及經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C發(fā)送包含用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包到子系統(tǒng)控制器C。

在其中應(yīng)用非數(shù)據(jù)包協(xié)議的一些實(shí)施方式中，在從命令控制器102接收到用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，主控制器106從第(n+1)個(gè)配方集中的一個(gè)內(nèi)的目的地址識(shí)別第(n+1)個(gè)配方集中的該一個(gè)是用于子系統(tǒng)A，從第(n+1)個(gè)配方集中的另一個(gè)內(nèi)的目的地址識(shí)別第(n+1)個(gè)配方集中的該另一個(gè)是用于子系統(tǒng)B，以及從第(n+1)個(gè)配方集中的又一個(gè)內(nèi)的目的地址識(shí)別第(n+1)個(gè)配方集中的該又一個(gè)是用于子系統(tǒng)C。主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A以并行或串行方式發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器A，經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B以并行或串行方式發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器B，以及經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C以并行或串行方式發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器C。

用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)配方集由主控制器106在時(shí)鐘信號(hào)的例如第一時(shí)鐘周期期間等同時(shí)發(fā)送到相應(yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C。第一時(shí)鐘周期的示例包括時(shí)鐘周期C1，時(shí)間ts等等。舉例而言，用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)配方集在第一時(shí)鐘周期的上升沿或下降沿期間發(fā)送以便以同步方式發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到相應(yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C。時(shí)鐘信號(hào)通過時(shí)鐘源產(chǎn)生，時(shí)鐘源例如，振蕩器、帶有鎖相環(huán)的振蕩器等。

在實(shí)施方式中，時(shí)鐘信號(hào)由位于所述計(jì)算設(shè)備108內(nèi)的時(shí)鐘源所生成。在此實(shí)施方式中，時(shí)鐘信號(hào)從時(shí)鐘源發(fā)送到命令控制器102、主控制器106、子系統(tǒng)控制器A、子系統(tǒng)控制器B、子系統(tǒng)控制器C、和/或在子系統(tǒng)A、B和C內(nèi)的任何控制器或處理器。

在一實(shí)施方式中，時(shí)鐘信號(hào)由位于所述計(jì)算設(shè)備108外并連接到主控制器106的時(shí)鐘源所生成。在此實(shí)施方式中，時(shí)鐘信號(hào)從時(shí)鐘源發(fā)送到命令控制器102、主控制器106、子系統(tǒng)控制器A、子系統(tǒng)控制器B、子系統(tǒng)控制器C、和/或在子系統(tǒng)A、B和C內(nèi)的任何控制器或處理器。

在一些實(shí)施方式中，時(shí)鐘信號(hào)由位于主控制器106內(nèi)的時(shí)鐘源所生成。在此實(shí)施方式中，時(shí)鐘信號(hào)從時(shí)鐘源發(fā)送到命令控制器102、主控制器106的處理器、子系統(tǒng)控制器A、子系統(tǒng)控制器B、子系統(tǒng)控制器C、和/或在子系統(tǒng)A、B和C內(nèi)的任何控制器或處理器。

命令控制器102在通過輸入設(shè)備接收到來自用戶的輸入時(shí)，產(chǎn)生配方事件信號(hào)104。配方事件信號(hào)104的示例包括數(shù)字輸出信號(hào)或模擬輸出信號(hào)。配方事件信號(hào)104從命令控制器102經(jīng)由通信介質(zhì)126和通信介質(zhì)120發(fā)送到主控制器106，經(jīng)由通信介質(zhì)126和通信介質(zhì)124以及通信介質(zhì)122A發(fā)送到子系統(tǒng)控制器A，經(jīng)由通信介質(zhì)126和通信介質(zhì)124以及通信介質(zhì)122B發(fā)送到子系統(tǒng)控制器B，并且經(jīng)由通信介質(zhì)126和通信介質(zhì)124以及通信介質(zhì)122C發(fā)送到子系統(tǒng)控制器C。通信介質(zhì)的示例包括電線、或電纜、或有線介質(zhì)和無線介質(zhì)的組合。

配方事件信號(hào)104指示通過相應(yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集的時(shí)間te。例如，子系統(tǒng)控制器A在接收到配方事件信號(hào)104時(shí)，通過經(jīng)由鏈路114A發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方到子系統(tǒng)A來執(zhí)行用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集。此外，子系統(tǒng)控制器B在接收到配方事件信號(hào)104時(shí)，通過經(jīng)由鏈路114B發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方到子系統(tǒng)B來執(zhí)行用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集。同樣，子系統(tǒng)控制器C在接收到配方事件信號(hào)104時(shí)，通過經(jīng)由鏈路114C發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方到子系統(tǒng)C來執(zhí)行用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集。由相應(yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集的時(shí)間在第一時(shí)鐘周期之后的第二時(shí)鐘周期(例如，C2、C3、C4、C5、C6、時(shí)間te等)期間發(fā)生。例如，第一時(shí)鐘周期在第二時(shí)鐘周期之前。舉另一示例而言，第二時(shí)鐘周期在一個(gè)或多個(gè)時(shí)鐘周期之后發(fā)生，該一個(gè)或多個(gè)時(shí)鐘周期在第一時(shí)鐘周期之后。該一個(gè)或多個(gè)時(shí)鐘周期在第二時(shí)鐘周期之前。第二時(shí)鐘周期以及在第一時(shí)鐘周期和第二時(shí)鐘周期之間的任何時(shí)鐘周期屬于時(shí)鐘信號(hào)。

配方事件信號(hào)104充當(dāng)用于從子系統(tǒng)控制器到相應(yīng)的子系統(tǒng)的第(n+1)個(gè)配方集的執(zhí)行(例如，發(fā)送等)的觸發(fā)器。例如，子系統(tǒng)控制器A在接收到用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集后，等待從命令控制器102接收配方事件信號(hào)104。在該等待后，在接收到事件配方信號(hào)104時(shí)，子系統(tǒng)控制器A立即發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A。舉例而言，在與通過子系統(tǒng)控制器A從命令控制器102接收所述配方事件信號(hào)104的時(shí)鐘周期相同的時(shí)鐘周期期間，子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由鏈路114A發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A。舉另一示例而言，子系統(tǒng)控制器A在接收到用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集之后，等待從命令控制器102接收配方事件信號(hào)104。在等待時(shí)間期間，子系統(tǒng)控制器A根據(jù)在包含用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包內(nèi)的幀校驗(yàn)序列(FCS)字段中的位執(zhí)行錯(cuò)誤校驗(yàn)。舉例而言，子系統(tǒng)控制器A從存儲(chǔ)在以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包的有效載荷字段內(nèi)的第(n+1)個(gè)配方集的位計(jì)算序列，并且子系統(tǒng)控制器A確定所計(jì)算的序列是否匹配FCS字段內(nèi)的位。當(dāng)確定不匹配時(shí)，子系統(tǒng)控制器A產(chǎn)生并發(fā)送錯(cuò)誤標(biāo)志到主控制器106和/或到命令控制器102。在另一方面，在檢測到存在匹配時(shí)，子系統(tǒng)控制器A將以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包從子系統(tǒng)控制器A的接收緩沖器傳輸?shù)阶酉到y(tǒng)控制器A的發(fā)射緩沖器，并等待接收配方事件信號(hào)104。在配方事件信號(hào)被接收的時(shí)鐘周期期間，所述子系統(tǒng)控制器A發(fā)送(例如，發(fā)射等)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包到子系統(tǒng)A。

配方事件信號(hào)104指示第(n+1)個(gè)配方集的執(zhí)行。例如，在通過子系統(tǒng)控制器從命令控制器102或主控制器106接收配方事件信號(hào)104的某一時(shí)間(例如時(shí)鐘周期期間等)，子系統(tǒng)控制器發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到相應(yīng)的子系統(tǒng)以供處理。

配方事件信號(hào)104在由用于子系統(tǒng)的子系統(tǒng)控制器接收時(shí)表示配方集的處理的立即激活。例如，當(dāng)配方事件信號(hào)104在某一時(shí)間(例如，在時(shí)鐘周期期間等)通過子系統(tǒng)控制器A從命令控制器102或者主控制器106接收時(shí)，子系統(tǒng)控制器A立即(例如，在同一個(gè)時(shí)鐘周期期間，在該時(shí)鐘周期的上升沿期間，在該時(shí)鐘周期的下降沿期間等)發(fā)送用于相應(yīng)的子系統(tǒng)的第(n+1)個(gè)配方集以由該子系統(tǒng)處理。

美國專利申請(qǐng)No.14/974915提供了在子系統(tǒng)控制器和相應(yīng)的子系統(tǒng)之間的通信的方式的示例。例如，通過子系統(tǒng)控制器A應(yīng)用通信協(xié)議以經(jīng)由鏈路114A將用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集傳輸?shù)阶酉到y(tǒng)A。舉另一示例而言，通過子系統(tǒng)控制器B應(yīng)用通信協(xié)議以經(jīng)由鏈路114B將用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集傳輸?shù)阶酉到y(tǒng)B。

在接收到用于子系統(tǒng)的第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，子系統(tǒng)處理該用于子系統(tǒng)的第(n+1)個(gè)配方集，以促進(jìn)襯底的處理。例如，當(dāng)子系統(tǒng)A是RF產(chǎn)生器時(shí)，RF產(chǎn)生器的處理器(例如，處理器PA等)發(fā)送RF信號(hào)的功率量和頻率到RF信號(hào)的驅(qū)動(dòng)器和放大器。驅(qū)動(dòng)器根據(jù)從處理器接收到的信號(hào)產(chǎn)生電流信號(hào)，并且所述放大器放大該電流信號(hào)以產(chǎn)生放大的電流信號(hào)。放大的電流信號(hào)被提供給RF電源以產(chǎn)生具有所述功率量和頻率的RF信號(hào)。所述功率量和頻率是在用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)。舉另一示例而言，當(dāng)子系統(tǒng)B是壓強(qiáng)子系統(tǒng)時(shí)，壓強(qiáng)控制器的處理器(例如，處理器PB等)發(fā)送信號(hào)到壓強(qiáng)子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器來驅(qū)動(dòng)壓強(qiáng)子系統(tǒng)的馬達(dá)以使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)控制約束環(huán)的移動(dòng)的量，以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)在等離子體室中的壓強(qiáng)量。壓強(qiáng)量被設(shè)定在用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)。舉又一示例而言，當(dāng)子系統(tǒng)C是溫度子系統(tǒng)時(shí)，溫度控制器的溫度處理器(例如，處理器PC等)將信號(hào)發(fā)送到所述溫度子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器以生成電流量。該驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生電流量，并提供該電流給加熱器。在接收到電流時(shí)，該加熱器產(chǎn)生用于加熱等離子體室的熱量以在等離子體室內(nèi)產(chǎn)生一定的溫度量。該溫度量被設(shè)定在用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)。

舉另一示例而言，當(dāng)子系統(tǒng)A是間隙子系統(tǒng)時(shí)，間隙控制器的間隙處理器(例如，處理器PA等)發(fā)送信號(hào)給間隙子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器以產(chǎn)生電流量，電流被提供給所述子系統(tǒng)A的馬達(dá)以使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)使子系統(tǒng)A的一個(gè)或多個(gè)桿旋轉(zhuǎn)以實(shí)現(xiàn)在上電極和下電極之間的間隙量。間隙量被設(shè)定在用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)。舉又一示例而言，當(dāng)子系統(tǒng)B是氣體流子系統(tǒng)時(shí)，氣體流控制器的氣體流處理器(例如，處理器PB等)將信號(hào)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器，從而產(chǎn)生電流來驅(qū)動(dòng)子系統(tǒng)B的馬達(dá)。馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)以改變閥的位置，從而進(jìn)一步通過子系統(tǒng)B的管道從子系統(tǒng)B的氣體源獲取一定的氣體流量到等離子體室。該氣體流量被設(shè)定在用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)。

舉另一示例而言，當(dāng)子系統(tǒng)C是阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)時(shí)，阻抗匹配控制器的處理器(例如，處理器PC等)將信號(hào)發(fā)送到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)以產(chǎn)生電流。電流被提供給所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的馬達(dá)中的一個(gè)以使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，從而進(jìn)一步改變阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)電容器中的一個(gè)的板之間的區(qū)域，以獲得所述電容器的電容。類似地，阻抗匹配控制器的處理器將信號(hào)發(fā)送到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的驅(qū)動(dòng)器中的另一個(gè)。電流被提供給所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的馬達(dá)中的另一個(gè)以使馬達(dá)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，從而進(jìn)一步改變阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電感器的芯的位置，以獲得電感器的電感。該電容和電感被設(shè)定在用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)。

應(yīng)當(dāng)注意的是，雖然三個(gè)子系統(tǒng)A、B和C示于圖1A-1中，但在一種實(shí)施方式中，使用任何數(shù)目的子系統(tǒng)。例如，不是使用三個(gè)子系統(tǒng)，而是使用兩個(gè)子系統(tǒng)和對(duì)應(yīng)的兩個(gè)子系統(tǒng)控制器。舉另一示例而言，使用一個(gè)子系統(tǒng)和一個(gè)子系統(tǒng)控制器。

在一種實(shí)施方式中，命令控制器102、主控制器106、子系統(tǒng)控制器A、子系統(tǒng)控制器B和子系統(tǒng)控制器C中的每一個(gè)包括一個(gè)或多個(gè)收發(fā)器，其實(shí)現(xiàn)千兆物理層。該一個(gè)或多個(gè)收發(fā)器用于發(fā)送和接收數(shù)據(jù)包。

在一些實(shí)施方式中，控制器的收發(fā)器耦合到控制器的處理器。

在若干實(shí)施方式中，本文描述的由控制器執(zhí)行的功能由控制器的處理器執(zhí)行。

在多種實(shí)施方式中，配方事件信號(hào)104經(jīng)由類似于傳輸介質(zhì)110A的第一傳輸介質(zhì)發(fā)送至子系統(tǒng)控制器A。第一傳輸介質(zhì)將命令控制器102連接到子系統(tǒng)控制器A。另外，配方事件信號(hào)104經(jīng)由類似于傳輸介質(zhì)110B的第二傳輸介質(zhì)發(fā)送至子系統(tǒng)控制器B。第二傳輸介質(zhì)將命令控制器102連接到子系統(tǒng)控制器B。同樣，配方事件信號(hào)104經(jīng)由類似于傳輸介質(zhì)110C的第三傳輸介質(zhì)發(fā)送至子系統(tǒng)控制器C。第三傳輸介質(zhì)將命令控制器102連接到子系統(tǒng)控制器C。

在一些實(shí)施方式中，子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A發(fā)送每個(gè)配方集(例如，第(n+1)個(gè)配方集等)的接收的確認(rèn)到主控制器106，并且在接收到該確認(rèn)時(shí)，主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)112發(fā)送該確認(rèn)到命令控制器102。類似地，子系統(tǒng)控制器B經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B發(fā)送配方集(例如，第(n+1)個(gè)配方集等)的接收的確認(rèn)到主控制器106，并且在接收到該確認(rèn)時(shí)，主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)112發(fā)送該確認(rèn)到命令控制器102。此外，子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C發(fā)送配方集(例如，第(n+1)個(gè)配方集等)的接收的確認(rèn)到主控制器106，并且在接收到該確認(rèn)時(shí)，主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)112發(fā)送該確認(rèn)到命令控制器102。

在多種實(shí)施方式中，在接收到配方集后，通過子系統(tǒng)控制器將確認(rèn)發(fā)送給主控制器106。例如，在接收到第(n+1)個(gè)配方集后，通過子系統(tǒng)控制器將確認(rèn)發(fā)送給主控制器106，并且在接收到第(n+2)個(gè)配方集后，通過子系統(tǒng)控制器將另一個(gè)確認(rèn)發(fā)送給主控制器106，等等。

在一些實(shí)施方式中，配方集被作為數(shù)據(jù)包內(nèi)的有效載荷發(fā)送，并且每個(gè)配方集在不同的數(shù)據(jù)包中發(fā)送。例如，第(n+1)個(gè)配方集在第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包中發(fā)送，而第(n+2)個(gè)配方集在第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包中發(fā)送。第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包是接續(xù)第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包的。

圖1A-2是系統(tǒng)150的一實(shí)施方式的簡圖，系統(tǒng)150與圖1A-1的系統(tǒng)100類似，不同的是，在系統(tǒng)150中，子系統(tǒng)A、B和C未示出。系統(tǒng)150被用來說明鏈路110A、110B和110C是應(yīng)用通信協(xié)議的鏈路。例如，包含用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)配方集的以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包從主控制器106被傳輸?shù)较鄳?yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C，子系統(tǒng)控制器A、B和C是從控制器。

圖1B-1是系統(tǒng)160的一實(shí)施方式的簡圖，其用于說明在不經(jīng)由輸入裝置從用戶處接收輸入信號(hào)的前提下在子系統(tǒng)控制器A、B和C與主控制器106之間的同步。在第一時(shí)鐘周期期間，主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器A，經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器B，以及經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器C。例如，主控制器106應(yīng)用通信協(xié)議，以生成包含用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包，并且在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期(例如，周期C1等等)期間經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A將數(shù)據(jù)包發(fā)送到子系統(tǒng)控制器A。舉另一示例而言，主控制器106應(yīng)用通信協(xié)議，以生成包含用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包，并且在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B將數(shù)據(jù)包發(fā)送到子系統(tǒng)控制器B。另外，舉又一示例而言，主控制器106應(yīng)用通信協(xié)議，以生成包含用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包，并且在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期期間經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C將數(shù)據(jù)包發(fā)送到子系統(tǒng)控制器C。舉另一示例而言，主控制器106應(yīng)用非數(shù)據(jù)包通信協(xié)議來以串行方式或并行方式經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器A，應(yīng)用非數(shù)據(jù)包通信協(xié)議來以串行方式或并行方式經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器B，以及應(yīng)用非數(shù)據(jù)包通信協(xié)議來以串行方式或并行方式經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)控制器C。

在從主控制器106接收到第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，子系統(tǒng)控制器A、B和C在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到相應(yīng)的子系統(tǒng)A、B和C之前等待接收配方事件信號(hào)104。主控制器106產(chǎn)生配方事件信號(hào)104并經(jīng)由通信介質(zhì)162和通信介質(zhì)164A發(fā)送配方事件信號(hào)104到子系統(tǒng)控制器A。此外，主控制器106經(jīng)由通信介質(zhì)162和通信介質(zhì)164B發(fā)送配方事件信號(hào)104到子系統(tǒng)控制器B，以及經(jīng)由通信介質(zhì)162和通信介質(zhì)164C發(fā)送配方事件信號(hào)104到子系統(tǒng)控制器C。配方事件信號(hào)104指示由子系統(tǒng)控制器A、B和C執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集的時(shí)間。主控制器106在時(shí)鐘信號(hào)的第二時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2等等)期間發(fā)送配方事件信號(hào)104到子系統(tǒng)控制器A、B和C。

由子系統(tǒng)控制器A、B和C執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集的時(shí)間是由子系統(tǒng)控制器A、B和C從主控制器106接收配方事件信號(hào)104的時(shí)間。例如，在由子系統(tǒng)控制器A、B和C接收配方事件信號(hào)104的時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2等等)期間，子系統(tǒng)控制器A、B和C執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集。

子系統(tǒng)控制器A、B和C通過發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到相應(yīng)的子系統(tǒng)A、B和C來執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集。例如，響應(yīng)于接收到配方事件信號(hào)104，子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由鏈路114A立即發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A。舉例而言，在接收配方事件信號(hào)104的時(shí)鐘周期C2期間，子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由鏈路114A發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A以用于通過子系統(tǒng)A處理。舉另一示例而言，響應(yīng)于接收到所述配方事件信號(hào)104，子系統(tǒng)控制器B經(jīng)由鏈路114B立即發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)B以用于通過子系統(tǒng)B處理。舉例而言，在接收配方事件信號(hào)104的時(shí)鐘周期C2期間，子系統(tǒng)控制器B經(jīng)由鏈路114B發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)B。舉又一示例而言，響應(yīng)于接收到所述配方事件信號(hào)104，子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由鏈路114C立即發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)C以用于通過子系統(tǒng)C處理。舉例而言，在接收配方事件信號(hào)104的時(shí)鐘周期C2期間，子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由鏈路114C發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)C。

在多種實(shí)施方式中，配方事件信號(hào)104經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A從主控制器106發(fā)送至子系統(tǒng)控制器A。此外，配方事件信號(hào)104經(jīng)由傳輸介質(zhì)110B從主控制器106發(fā)送至子系統(tǒng)控制器B，以及經(jīng)由傳輸介質(zhì)110C從主控制器106發(fā)送至子系統(tǒng)控制器C。

圖1B-2是系統(tǒng)180的一實(shí)施方式的簡圖，系統(tǒng)180類似于圖1B-1的系統(tǒng)160，不同之處在于，在系統(tǒng)180中，子系統(tǒng)A、B和C未示出。系統(tǒng)180用來說明鏈路110A、110B和110C應(yīng)用通信協(xié)議。例如，將包括用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包從主控制器106傳輸?shù)较鄳?yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C，子系統(tǒng)控制器A、B和C是從控制器。此外，配方事件信號(hào)104通過主控制器106產(chǎn)生并發(fā)送到子系統(tǒng)控制器A、B和C。

圖1C是系統(tǒng)190的一實(shí)施方式的簡圖，其用以說明根據(jù)從主控制器106接收到的配方事件信號(hào)的子系統(tǒng)A、B和C的同步。主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)172A連接到子系統(tǒng)A，經(jīng)由傳輸介質(zhì)172B連接到子系統(tǒng)B，并經(jīng)由傳輸介質(zhì)172C連接到子系統(tǒng)C。此外，主控制器106經(jīng)由通信介質(zhì)192和通信介質(zhì)194A連接到子系統(tǒng)A，經(jīng)由通信介質(zhì)192和通信介質(zhì)194B連接到子系統(tǒng)B，以及經(jīng)由通信介質(zhì)192和通信介質(zhì)194C連接到子系統(tǒng)C。

主控制器106發(fā)送用于由子系統(tǒng)A執(zhí)行與處理的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A的處理器PA，發(fā)送用于由子系統(tǒng)B執(zhí)行與處理的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)B的處理器PB，以及發(fā)送用于由子系統(tǒng)C執(zhí)行與處理的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)C的處理器PC。例如，主控制器106通過應(yīng)用通信協(xié)議以產(chǎn)生包含用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包并通過經(jīng)由傳輸介質(zhì)172A發(fā)送該數(shù)據(jù)包，而經(jīng)由傳輸介質(zhì)172A發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A。舉另一示例而言，主控制器106通過應(yīng)用通信協(xié)議以產(chǎn)生包含用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包并通過經(jīng)由傳輸介質(zhì)172B發(fā)送該數(shù)據(jù)包，而經(jīng)由傳輸介質(zhì)172B發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)B。舉另一示例而言，主控制器106通過應(yīng)用通信協(xié)議以產(chǎn)生包含用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包并通過經(jīng)由傳輸介質(zhì)172C發(fā)送該數(shù)據(jù)包，而經(jīng)由傳輸介質(zhì)172C發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)C。舉又一示例而言，主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)172A以串行方式或并行方式發(fā)送用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A，經(jīng)由傳輸介質(zhì)172B以串行方式或并行方式發(fā)送用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)B，以及經(jīng)由傳輸介質(zhì)172C以串行方式或并行方式發(fā)送用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)C。在時(shí)鐘信號(hào)的第一時(shí)鐘周期(例如，時(shí)間ts、時(shí)鐘周期C1等)期間，發(fā)生第(n+1)個(gè)配方集到子系統(tǒng)A、B和C的發(fā)送。例如，在第一時(shí)鐘周期的上升沿或下降沿期間發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集。

在接收到第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，處理器PA、PB和PC在執(zhí)行所述配方集之前，例如在發(fā)送配方集和/或使用配方集所識(shí)別的參數(shù)到子系統(tǒng)A、B和C的相應(yīng)的組件之前等等，等待接收配方事件信號(hào)104。例如，在等待時(shí)間期間，處理器PA通過解析包含用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包并從該數(shù)據(jù)包提取第(n+1)個(gè)配方集來對(duì)數(shù)據(jù)包進(jìn)行拆包。為了對(duì)數(shù)據(jù)包進(jìn)行拆包，應(yīng)用通信協(xié)議。此外，處理器PA根據(jù)在用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射來識(shí)別該一個(gè)或多個(gè)參數(shù)。在用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射存儲(chǔ)在子系統(tǒng)A的存儲(chǔ)器設(shè)備內(nèi)。參數(shù)的示例包括電流量。變量的示例包括RF信號(hào)的頻率、和/或RF信號(hào)的功率、或在等離子體室中的壓強(qiáng)、或進(jìn)入等離子體室內(nèi)的氣體流、或等離子體室內(nèi)的溫度、或上電極和下電極之間的間隙、或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電容器的電容、或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電感器的電感。舉例而言，處理器PA識(shí)別將被提供到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器以產(chǎn)生具有功率量或頻率的RF信號(hào)的電流。舉另一示例而言，處理器PA識(shí)別將被提供到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器以產(chǎn)生在上電極和下電極之間的間隙量、或?qū)崿F(xiàn)在等離子體室中的壓強(qiáng)、或?qū)崿F(xiàn)在等離子體室中的溫度、或者實(shí)現(xiàn)進(jìn)入等離子體室內(nèi)的氣體流量、或?qū)崿F(xiàn)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電容器的電容、或?qū)崿F(xiàn)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電感器的電感的電流。

類似地，在等待時(shí)間期間，處理器PB通過解析包含用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包并從該數(shù)據(jù)包提取第(n+1)個(gè)配方集來對(duì)數(shù)據(jù)包進(jìn)行拆包。此外，處理器PB根據(jù)在用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射來識(shí)別該一個(gè)或多個(gè)參數(shù)。在用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射存儲(chǔ)在子系統(tǒng)B的存儲(chǔ)器設(shè)備內(nèi)。另外，在等待時(shí)間期間，處理器PC通過解析包含用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集的數(shù)據(jù)包并從該數(shù)據(jù)包提取第(n+1)個(gè)配方集來對(duì)數(shù)據(jù)包進(jìn)行拆包。此外，處理器PC根據(jù)在用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射來識(shí)別該一個(gè)或多個(gè)參數(shù)。在用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射存儲(chǔ)在子系統(tǒng)C的存儲(chǔ)器設(shè)備內(nèi)。

在一種實(shí)施方式中，由子系統(tǒng)的處理器對(duì)數(shù)據(jù)包進(jìn)行解析，從數(shù)據(jù)包提取第(n+1)個(gè)配方集，以及從第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)變量與一個(gè)或多個(gè)參數(shù)之間的映射識(shí)別該一個(gè)或多個(gè)參數(shù)由處理器在接收配方事件信號(hào)104之后進(jìn)行，而不是在用于等待接收該配方事件信號(hào)104的等待時(shí)間期間進(jìn)行。

在應(yīng)用非數(shù)據(jù)包協(xié)議的一些實(shí)施方式中，由處理器PA、PB和PC來執(zhí)行拆包以解析數(shù)據(jù)包并從數(shù)據(jù)包提取第(n+1)個(gè)配方集是沒有必要的。

主控制器106產(chǎn)生配方事件信號(hào)104。配方事件信號(hào)104被從主控制器106經(jīng)由通信介質(zhì)192和194A發(fā)送至處理器PA，從主控制器106經(jīng)由通信介質(zhì)192和194B發(fā)送到處理器PB，以及從主控制器106經(jīng)由通信介質(zhì)192和194C發(fā)送至處理器PC。

配方事件信號(hào)104指示由處理器PA、PB和PC執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集的時(shí)間te。執(zhí)行的時(shí)間是處理器PA、PB和PC接收配方事件信號(hào)104的時(shí)間。例如，在接收到配方事件信號(hào)104時(shí)，處理器PA、PB和PC通過發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)A、B和C的相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器來驅(qū)動(dòng)子系統(tǒng)的組件來立即執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集。向相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器發(fā)送信號(hào)是由處理器PA、PB和PC執(zhí)行第(n+1)個(gè)配方集的一個(gè)示例。舉例而言，一旦接收到配方事件信號(hào)104，處理器PA就立即發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器，使得子系統(tǒng)A產(chǎn)生具有功率量和/或頻率的RF信號(hào)。該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)A內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。舉另一示例而言，配方事件信號(hào)104充當(dāng)處理器PA的觸發(fā)器，例如，激活信號(hào)等，以發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器，并且該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)A內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。舉例而言，在其中配方事件信號(hào)104由處理器PA接收和/或由主控制器106發(fā)送到處理器PA的相同的時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2等)期間，處理器PA發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器。該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)A內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。

舉另一示例而言，一旦接收到配方事件信號(hào)104，處理器PB就發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)B的驅(qū)動(dòng)器以實(shí)現(xiàn)等離子體室中的壓強(qiáng)量或溫度。該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)B內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。舉另一示例而言，配方事件信號(hào)104充當(dāng)處理器PB的觸發(fā)器，例如，激活信號(hào)等，以發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)B的驅(qū)動(dòng)器，并且該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)B內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。舉另一示例而言，在與配方事件信號(hào)104由處理器PB接收的時(shí)鐘周期相同的時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2等)期間，處理器PB發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)B的驅(qū)動(dòng)器。該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)B內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。

舉另一示例而言，一旦接收到配方事件信號(hào)104，處理器PC就發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)C的驅(qū)動(dòng)器以實(shí)現(xiàn)上電極和下電極之間的間隙量。該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)C內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。舉另一示例而言，配方事件信號(hào)104充當(dāng)處理器PC的觸發(fā)器，例如，激活信號(hào)等，以發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)C的驅(qū)動(dòng)器，并且該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)C內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。舉另一示例而言，在與配方事件信號(hào)104由處理器PC接收的時(shí)鐘周期相同的時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2等)期間，處理器PC發(fā)送信號(hào)到子系統(tǒng)C的驅(qū)動(dòng)器。該信號(hào)包括從存儲(chǔ)在子系統(tǒng)C內(nèi)的映射識(shí)別的參數(shù)的值。

在第二時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2、時(shí)間te等)期間，來自處理器PA、PB和PC的信號(hào)被發(fā)送到子系統(tǒng)A、B和C的相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器。第二時(shí)鐘周期在第一時(shí)鐘周期后。例如，第一時(shí)鐘周期在第二時(shí)鐘周期之前。舉另一示例而言，第二時(shí)鐘周期在一個(gè)或多個(gè)時(shí)鐘周期之后發(fā)生，第一時(shí)鐘周期在該一個(gè)或多個(gè)時(shí)鐘周期之前。該一個(gè)或多個(gè)時(shí)鐘周期在第二時(shí)鐘周期之前。第二時(shí)鐘周期以及在第一和第二時(shí)鐘周期之間的任何時(shí)鐘周期屬于時(shí)鐘信號(hào)。

配方事件信號(hào)104指示第(n+1)個(gè)配方集的執(zhí)行。例如，在配方事件信號(hào)104由子系統(tǒng)的處理器從主控制器106接收的某一時(shí)間，例如在時(shí)鐘周期期間等，所述處理器發(fā)送基于第(n+1)個(gè)配方集所識(shí)別的參數(shù)到子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器以供處理。舉例而言，子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)來處理從子系統(tǒng)的處理器接收的信號(hào)以實(shí)現(xiàn)等離子體室中的壓強(qiáng)、或流入等離子體室內(nèi)的氣體流量、或等離子體室內(nèi)的溫度、或在上電極和下電極之間的間隙、或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電容器的電容、或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的電感器的電感。舉另一示例而言，RF產(chǎn)生器的驅(qū)動(dòng)器通過產(chǎn)生用于促進(jìn)具有功率量和頻率的RF信號(hào)的生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來處理從RF產(chǎn)生器的數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)接收的信號(hào)。該RF信號(hào)由RF產(chǎn)生器的RF電源產(chǎn)生。RF電源連接到驅(qū)動(dòng)器。在一些實(shí)施方式中，RF電源經(jīng)由放大器連接到驅(qū)動(dòng)器，放大器放大由驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的電流信號(hào)，并提供放大的電流信號(hào)給RF電源。RF電源在接收到放大的電流信號(hào)時(shí)產(chǎn)生RF信號(hào)。

配方事件信號(hào)104在由子系統(tǒng)的處理器接收到時(shí)表示由處理器對(duì)配方集的執(zhí)行的立即激活。例如，當(dāng)配方事件信號(hào)104由處理器PA在一定時(shí)間(例如，在時(shí)鐘周期期間等)從主控制器106接收到時(shí)，處理器PA立即(例如，在同一時(shí)鐘周期期間等)將信號(hào)發(fā)送到子系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器以獲得從用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集提取的變量。

應(yīng)當(dāng)注意的是，在一些實(shí)施方式中，在上面參照?qǐng)D1A-1和1B-1所述的“第一時(shí)鐘周期”和上面參照?qǐng)D1C所描述的“第一時(shí)鐘周期”之間沒有關(guān)系。類似地，在上面參照?qǐng)D1A-1和1B-1所述的“第二時(shí)鐘周期”和上面參照?qǐng)D1C所描述的“第二時(shí)鐘周期”之間沒有關(guān)系。參照?qǐng)D1C所描述的“第一時(shí)鐘周期”獨(dú)立于參照?qǐng)D1A-1和1B-1所述的“第一時(shí)鐘周期”，并且類似地，參照?qǐng)D1C所描述的“第二時(shí)鐘周期”獨(dú)立于參照?qǐng)D1A-1和1B-1所述的“第二時(shí)鐘周期”。

在一實(shí)施方式中，并非由處理器PA、PB和PC執(zhí)行上述的接收和發(fā)送，而是子系統(tǒng)A、B和C中的每一個(gè)的收發(fā)器執(zhí)行所述接收和發(fā)送，并且處理器PA、PB和PC執(zhí)行上述相對(duì)于基于被接收在第(n+1)個(gè)配方集內(nèi)的變量識(shí)別來自子系統(tǒng)的存儲(chǔ)器設(shè)備的參數(shù)所述的其余操作。子系統(tǒng)的收發(fā)器被連接到子系統(tǒng)的處理器。收發(fā)器實(shí)現(xiàn)用于實(shí)現(xiàn)通信協(xié)議的物理層。

在多種實(shí)施方式中，配方事件信號(hào)104從主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)172A發(fā)送到子系統(tǒng)A。此外，配方事件信號(hào)104從主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)172B發(fā)送到子系統(tǒng)B，以及從主控制器106經(jīng)由傳輸介質(zhì)172C發(fā)送到子系統(tǒng)C。

在一些實(shí)施方式中，處理器PA經(jīng)由傳輸介質(zhì)110A發(fā)送每個(gè)配方集(例如，第(n+1)個(gè)配方集等)的接收的確認(rèn)到主控制器106。類似地，子系統(tǒng)B經(jīng)由傳輸介質(zhì)172B發(fā)送配方集的接收的確認(rèn)到主控制器106。另外，子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由傳輸介質(zhì)172C發(fā)送配方集的接收的確認(rèn)到主控制器106。

在多種實(shí)施方式中，在接收到配方集后，將確認(rèn)通過子系統(tǒng)發(fā)送給主控制器106。例如，在接收到第(n+1)個(gè)配方集后，將確認(rèn)通過子系統(tǒng)控制器發(fā)送給主控制器106，并且在接收到第(n+2)個(gè)配方集后，將另一個(gè)確認(rèn)通過子系統(tǒng)發(fā)送給主控制器106，等等。

圖1D是系統(tǒng)190的一實(shí)施方式的簡圖，其用以說明在子系統(tǒng)控制器A、B和C與子系統(tǒng)A、B和C之間的同步。處理器PA、PB和PC在第一時(shí)鐘周期(例如，周期C1、時(shí)間ts等等)期間從相應(yīng)的子系統(tǒng)控制器A、B和C接收第(n+1)個(gè)配方集。例如，處理器PA從子系統(tǒng)控制器A接收用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)配方集，處理器PB從子系統(tǒng)控制器B接收用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)配方集，以及處理器C從子系統(tǒng)控制器C接收用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)配方集。

在一些實(shí)施方式中，子系統(tǒng)控制器A，B和C被從另一控制器(例如，主控制器106、命令控制器102(圖1A-1)等等)或時(shí)鐘源(例如，振蕩器，具有鎖相環(huán)的振蕩器等等)提供時(shí)鐘信號(hào)，以使由子系統(tǒng)控制器A、B和C進(jìn)行的第(n+1)個(gè)配方集向相應(yīng)的子系統(tǒng)A、B和C的發(fā)送同步。在多種實(shí)施方式中，時(shí)鐘源位于子系統(tǒng)控制器A、B和C中的一個(gè)內(nèi)，并且經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)通信介質(zhì)被連接到子系統(tǒng)控制器A、B和C中的其余控制器內(nèi)。

處理器PA、PB和PC等待將從第(n+1)個(gè)配方集所識(shí)別的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)發(fā)送到子系統(tǒng)A、B和C的對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器，直至從其它控制器(例如，主控制器106或命令控制器102等等)接收到配方事件信號(hào)104。應(yīng)當(dāng)注意的是，其它控制器將配方事件信號(hào)104經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)通信介質(zhì)發(fā)送到處理器PA，經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)通信介質(zhì)發(fā)送到處理器PB，以及經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)通信介質(zhì)發(fā)送到處理器PC。一旦接收到配方事件信號(hào)104，處理器PA就發(fā)送包括使用存儲(chǔ)在子系統(tǒng)A的存儲(chǔ)器設(shè)備中的映射識(shí)別的參數(shù)的信號(hào)到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器。例如，在由處理器PA接收配方事件信號(hào)104的第二時(shí)鐘周期(例如，時(shí)鐘周期C2、時(shí)間te等等)期間，處理器PA發(fā)送包括使用存儲(chǔ)在子系統(tǒng)A中的映射識(shí)別的參數(shù)的信號(hào)到子系統(tǒng)A的驅(qū)動(dòng)器。此外，一旦接收到配方事件信號(hào)104，處理器PB就發(fā)送包括使用存儲(chǔ)在子系統(tǒng)B的存儲(chǔ)器設(shè)備中的映射識(shí)別的參數(shù)的信號(hào)到子系統(tǒng)B的驅(qū)動(dòng)器。例如，在由處理器PB接收配方事件信號(hào)104的第二時(shí)鐘周期期間，處理器PB發(fā)送包括使用存儲(chǔ)在子系統(tǒng)B中的映射識(shí)別的參數(shù)的信號(hào)到子系統(tǒng)B的驅(qū)動(dòng)器。另外，一旦接收到配方事件信號(hào)104，處理器PC就發(fā)送包括使用存儲(chǔ)在子系統(tǒng)C的存儲(chǔ)器設(shè)備中的映射識(shí)別的參數(shù)的信號(hào)到子系統(tǒng)C的驅(qū)動(dòng)器。例如，在由處理器PC接收配方事件信號(hào)104的第二時(shí)鐘周期期間，處理器PC發(fā)送包括使用存儲(chǔ)在子系統(tǒng)C中的映射識(shí)別的參數(shù)的信號(hào)到子系統(tǒng)C的驅(qū)動(dòng)器。配方事件信號(hào)104充當(dāng)觸發(fā)器(例如，激活等等)以從處理器PA、PB和PC中的每個(gè)發(fā)送包含參數(shù)值的信號(hào)到相應(yīng)的子系統(tǒng)A、B和C的相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器。

應(yīng)當(dāng)注意的是，在一些實(shí)施方式中，在上面參照?qǐng)D1A-1和1B-1或圖1C所述的“第一時(shí)鐘周期”和上面參照?qǐng)D1D所描述的“第一時(shí)鐘周期”之間沒有關(guān)系。類似地，在上面參照?qǐng)D1A-1和1B-1或1C所述的“第二時(shí)鐘周期”和上面參照?qǐng)D1D所描述的“第二時(shí)鐘周期”之間沒有關(guān)系。參照?qǐng)D1D所描述的“第一時(shí)鐘周期”獨(dú)立于參照?qǐng)D1A-1和1B-1或圖1C所述的“第一時(shí)鐘周期”，并且類似地，參照?qǐng)D1D所描述的“第二時(shí)鐘周期”獨(dú)立于參照?qǐng)D1A-1和1B-1或1C所述的“第二時(shí)鐘周期”。

在一些實(shí)施方式中，處理器PA經(jīng)由傳輸介質(zhì)114A發(fā)送每個(gè)配方集(例如，第(n+1)個(gè)配方集等)的接收的確認(rèn)到子系統(tǒng)控制器A。類似地，處理器PB經(jīng)由傳輸介質(zhì)114B發(fā)送配方集的接收的確認(rèn)到子系統(tǒng)控制器B。另外，處理器PC經(jīng)由傳輸介質(zhì)114C發(fā)送配方集的接收的確認(rèn)到子系統(tǒng)控制器C。

在多種實(shí)施方式中，通過子系統(tǒng)將確認(rèn)發(fā)送到與該子系統(tǒng)連接的相應(yīng)的子系統(tǒng)。在接收到每個(gè)配方集后發(fā)送該確認(rèn)。例如，在接收到第(n+1)個(gè)配方集后，通過子系統(tǒng)A的處理器PA將確認(rèn)發(fā)送到子系統(tǒng)控制器A，并且在接收到第(n+2)個(gè)配方集后，將另一個(gè)確認(rèn)通過處理器PA發(fā)送到子系統(tǒng)控制器A，等等。

圖1E是系統(tǒng)151的一實(shí)施方式的簡圖，其用于說明在用戶界面(UI)計(jì)算機(jī)153與RF產(chǎn)生器的控制器155A、155B和155C之間的同步。用戶界面計(jì)算機(jī)153是圖1A-1的計(jì)算設(shè)備108的一個(gè)示例。此外，RF產(chǎn)生器的控制器155A是子系統(tǒng)控制器A的一示例(圖1A-1)，RF產(chǎn)生器的控制器155B是子系統(tǒng)控制器B的一示例(圖1A-1)，并且RF產(chǎn)生器的控制器155C是子系統(tǒng)控制器C的一個(gè)示例(圖1A-1)。該系統(tǒng)151還包括RF產(chǎn)生器1、2和3。RF產(chǎn)生器1被標(biāo)記為RFG1，RF產(chǎn)生器2被標(biāo)記為RFG2，并且RF產(chǎn)生器3被標(biāo)記為RFG3。RF產(chǎn)生器1是x MHz射頻產(chǎn)生器的一個(gè)示例，RF產(chǎn)生器2是y MHz射頻產(chǎn)生器的一個(gè)示例，并且RF產(chǎn)生器3是z MHz射頻產(chǎn)生器的一個(gè)示例。

系統(tǒng)151的運(yùn)行將參照?qǐng)D2B說明。如圖2B所示，用戶界面計(jì)算機(jī)153經(jīng)由主-主控制器通過經(jīng)由傳輸介質(zhì)應(yīng)用以太網(wǎng)協(xié)議和傳輸控制協(xié)議(TCP)/因特網(wǎng)協(xié)議(IP)或用戶數(shù)據(jù)報(bào)協(xié)議(UDP)/IP將第(n+1)個(gè)配方集發(fā)送到主控制器106。在一實(shí)施方式中，系統(tǒng)151不包括主-主控制器。在一實(shí)施方式中，主控制器106執(zhí)行由主-主控制器執(zhí)行的功能。

主控制器106應(yīng)用TCP/IP協(xié)議或UDP/IP協(xié)議和以太網(wǎng)協(xié)議來發(fā)送用于RF產(chǎn)生器1的第(n+1)個(gè)配方集到RF產(chǎn)生器的控制器155A，發(fā)送用于RF產(chǎn)生器2的第(n+1)個(gè)配方集到RF產(chǎn)生器的控制器155B，以及發(fā)送用于RF產(chǎn)生器3的第(n+1)個(gè)配方集到RF產(chǎn)生器的控制器155C。例如，返回參考圖1E，用于RF產(chǎn)生器1的第(n+1)個(gè)配方集從主控制器106經(jīng)由交換機(jī)157發(fā)送到RF產(chǎn)生器的控制器155A。舉另一示例而言，如圖1E所示，用于RF產(chǎn)生器2的第(n+1)個(gè)配方集從主控制器106經(jīng)由交換機(jī)157發(fā)送到RF產(chǎn)生器的控制器155B。舉另一示例而言，如圖1E所示，用于RF產(chǎn)生器3的第(n+1)個(gè)配方集從主控制器106經(jīng)由交換機(jī)157發(fā)送到RF產(chǎn)生器的控制器155C。交換機(jī)157的一個(gè)示例在美國專利申請(qǐng)No.14/974915中被描述。

參見圖2B，一旦從主控制器106接收到第(n+1)個(gè)配方集，RF產(chǎn)生器的控制器155A、155B和155C在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到對(duì)應(yīng)的RF產(chǎn)生器1、2和3之前等待從UI計(jì)算機(jī)153接收配方事件信號(hào)。再參照?qǐng)D1E，信號(hào)產(chǎn)生器159，例如，數(shù)字脈沖信號(hào)產(chǎn)生器、模擬脈沖信號(hào)產(chǎn)生器、處理器等，經(jīng)由輸入/輸出接口(I/O)耦合到用戶界面計(jì)算機(jī)153。信號(hào)產(chǎn)生器159產(chǎn)生通用I/O(GPIO)信號(hào)，例如，數(shù)字信號(hào)、模擬信號(hào)等，并經(jīng)由主-主控制器和相應(yīng)的RF產(chǎn)生器的控制器155A、155B和155C的相應(yīng)的GPIO引腳提供該信號(hào)到RF產(chǎn)生器的控制器155A、155B和155C。GPIO信號(hào)是配方事件信號(hào)104的一個(gè)示例。在一些實(shí)施方式中，信號(hào)產(chǎn)生器159位于用戶界面計(jì)算機(jī)153內(nèi)。在一些實(shí)施方式中，當(dāng)通過用戶界面計(jì)算機(jī)153經(jīng)由輸入設(shè)備從用戶處接收到輸入(例如，選擇、點(diǎn)擊等)時(shí)，產(chǎn)生GPIO信號(hào)。輸入設(shè)備是連接到UI計(jì)算機(jī)153的外圍設(shè)備。

參考圖2B，一旦接收到GPIO信號(hào)(例如在接收GPIO信號(hào)的相同時(shí)鐘周期期間等)，RF產(chǎn)生器的控制器155A就立即應(yīng)用以太網(wǎng)協(xié)議和UDP/IP協(xié)議來發(fā)送用于RF產(chǎn)生器1的第(n+1)個(gè)配方集到RF產(chǎn)生器1，RF產(chǎn)生器的控制器155B就立即應(yīng)用以太網(wǎng)協(xié)議和UDP/IP協(xié)議來發(fā)送用于RF產(chǎn)生器2的第(n+1)個(gè)配方集到RF產(chǎn)生器2，以及RF產(chǎn)生器的控制器155C就立即應(yīng)用以太網(wǎng)協(xié)議和UDP/IP協(xié)議來發(fā)送用于RF產(chǎn)生器3的第(n+1)個(gè)配方集到RF產(chǎn)生器3。

圖2A-1是時(shí)序圖200的一實(shí)施方式，其用以說明在發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集到控制器與由控制器執(zhí)行配方集的時(shí)間之間的同步。時(shí)序圖200示出了序列202A，其中第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包、第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包和第(n+3)個(gè)數(shù)據(jù)包被從主控制器106發(fā)送到子系統(tǒng)控制器A(圖1A-1)。此外，時(shí)序圖200示出了序列202B，其中第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包、第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包和第(n+3)個(gè)數(shù)據(jù)包被從主控制器106發(fā)送到子系統(tǒng)控制器B(圖1A-1)。另外，時(shí)序圖200示出了序列202C，其中第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包、第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包和第(n+3)個(gè)數(shù)據(jù)包被從主控制器106發(fā)送到子系統(tǒng)控制器C(圖1A-1)。

在參照?qǐng)D1C示出的一實(shí)施方式中，數(shù)據(jù)包的序列202A從主控制器106發(fā)送到子系統(tǒng)A，數(shù)據(jù)包的序列202B從主控制器106發(fā)送到子系統(tǒng)B，以及數(shù)據(jù)包的序列202C從主控制器106發(fā)送到子系統(tǒng)C。

在參照?qǐng)D1D示出的一實(shí)施方式中，數(shù)據(jù)包的序列202A從子系統(tǒng)控制器A發(fā)送到子系統(tǒng)A，數(shù)據(jù)包的序列202B從子系統(tǒng)控制器B發(fā)送到子系統(tǒng)B，以及數(shù)據(jù)包的序列202C從子系統(tǒng)控制器C發(fā)送到子系統(tǒng)C。

時(shí)序圖200還包括脈沖信號(hào)204A，脈沖信號(hào)204A是配方事件信號(hào)104的一示例。時(shí)序圖200包括時(shí)鐘信號(hào)202，時(shí)鐘信號(hào)202由主控制器106、或命令控制器102、或位于主控制器106外部的時(shí)鐘源、或位于命令控制器102外部的時(shí)鐘源產(chǎn)生(圖1A-1)。

在一些實(shí)施方式中，在脈沖信號(hào)204A的時(shí)間te1的脈沖是配方事件信號(hào)104的一示例。

在時(shí)間ts1，用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包由如本文所述的一個(gè)或多個(gè)控制器發(fā)送。在執(zhí)行時(shí)間te1，由如本文中所描述的一個(gè)或多個(gè)控制器接收數(shù)字脈沖以指示執(zhí)行第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包。此外，在與時(shí)間te1一致的時(shí)間ts2，用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包由如本文所述的一個(gè)或多個(gè)控制器發(fā)送。在執(zhí)行時(shí)間te2期間，由如本文中所描述的一個(gè)或多個(gè)控制器接收數(shù)字脈沖以指示由如本文中所描述的一個(gè)或多個(gè)控制器執(zhí)行第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包。此外，在與時(shí)間te2一致的時(shí)間ts3，用于子系統(tǒng)A、B和C的第(n+3)個(gè)數(shù)據(jù)包由如本文所述的一個(gè)或多個(gè)控制器發(fā)送。在執(zhí)行時(shí)間te3期間，由如本文中所描述的一個(gè)或多個(gè)控制器接收數(shù)字脈沖以指示由一個(gè)或多個(gè)控制器執(zhí)行第(n+3)個(gè)數(shù)據(jù)包。

在一些實(shí)施方式中，處理器，例如，處理器PA、或處理器PB，或處理器PC等，位于控制器內(nèi)。

應(yīng)當(dāng)注意的是，時(shí)間ts1在時(shí)鐘信號(hào)202的第一時(shí)鐘周期C1期間發(fā)生，時(shí)間te1和時(shí)間ts2在時(shí)鐘信號(hào)202的第二時(shí)鐘周期C2期間發(fā)生，時(shí)間te2和時(shí)間ts3在時(shí)鐘信號(hào)202的第二時(shí)鐘周期C3期間發(fā)生，并且時(shí)間te3在時(shí)鐘信號(hào)202的第四時(shí)鐘周期C4期間發(fā)生。

還應(yīng)當(dāng)注意的是，在一些實(shí)施方式中，參照?qǐng)D1A-1、1B-1、1C和1D中的每一個(gè)所描述的第一時(shí)鐘周期是參照?qǐng)D2A-1所描述的第一時(shí)鐘周期的一個(gè)示例。此外，在這些實(shí)施方式中，參照?qǐng)D1A-1、1B-1、1C和1D中的每一個(gè)所描述的第二時(shí)鐘周期是參照?qǐng)D2A-1所描述的第二時(shí)鐘周期的一個(gè)示例。

應(yīng)當(dāng)注意的是，在多種實(shí)施方式中，在圖2A-1所示的數(shù)據(jù)包的尺寸是不同的。例如，在序列202A中的用于子系統(tǒng)A的第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包相比于在序列202B中的用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包的有效載荷的尺寸具有較小尺寸或較大尺寸的有效載荷。此外，在序列202B中的用于子系統(tǒng)B的第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包相比于在序列202C中的用于子系統(tǒng)C的第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包的有效載荷的尺寸具有較小尺寸或較大尺寸的有效載荷。

圖2A-2是一種時(shí)序圖210的實(shí)施方式，其用以說明由控制器執(zhí)行數(shù)據(jù)包的時(shí)間從在該數(shù)據(jù)包由控制器接收的時(shí)間變化至指示數(shù)據(jù)包被執(zhí)行的數(shù)字脈沖被接收的稍后的時(shí)間。該數(shù)字脈沖屬于數(shù)字脈沖信號(hào)212，數(shù)字脈沖信號(hào)212是配方事件信號(hào)104的一示例。在一些實(shí)施方式中，在脈沖信號(hào)212的時(shí)間te1的脈沖是配方事件信號(hào)104的一個(gè)示例。

如在時(shí)序圖中所示，在圖2A-2中示出的執(zhí)行時(shí)間te2在時(shí)序圖200中所示的執(zhí)行時(shí)間te2之前發(fā)生(圖2A-1)。例如，在圖2A-2中示出的執(zhí)行時(shí)間te2與時(shí)間ts3不一致，并且在時(shí)間ts3發(fā)生之前發(fā)生。舉另一示例而言，執(zhí)行時(shí)間te2在第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包被接收到的時(shí)間和第(n+3)個(gè)數(shù)據(jù)包的接收結(jié)束之間發(fā)生。

在一些實(shí)施方式中，在圖2A-2中示出的執(zhí)行時(shí)間te1在時(shí)序圖200中所示的執(zhí)行時(shí)間te1之前發(fā)生(圖2A-1)。例如，在圖2A-2中示出的執(zhí)行時(shí)間te1與時(shí)間ts2不一致，并且在時(shí)間ts2發(fā)生之前發(fā)生。舉另一示例而言，執(zhí)行時(shí)間te1在第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包被接收到的時(shí)間和第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包的接收結(jié)束之間發(fā)生。

在一些實(shí)施方式中，脈沖信號(hào)212的數(shù)字脈沖在從已接收到配方集的所有控制器接收配方集的接收的確認(rèn)之后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)發(fā)送。例如，脈沖信號(hào)212的數(shù)字脈沖在接收到第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)和接收到第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)之間發(fā)送。舉例而言，在通過主控制器106從子系統(tǒng)控制器A、B和C接收到第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te1，命令控制器102發(fā)送配方事件信號(hào)104的第一數(shù)字脈沖到主控制器106。由子系統(tǒng)控制器A、B和C自主控制器106接收第(n+1)個(gè)配方集。第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)被從子系統(tǒng)控制器A、B和C發(fā)送到主控制器106，主控制器106發(fā)送第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)到命令控制器102。舉例而言，配方集的接收的確認(rèn)從子系統(tǒng)控制器A通過傳輸介質(zhì)發(fā)送到主控制器106，主控制器106通過傳輸介質(zhì)112將該確認(rèn)發(fā)送到命令控制器102。此外，在通過主控制器106從子系統(tǒng)控制器A、B和C接收到第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te2，命令控制器102發(fā)送配方事件信號(hào)104的第二數(shù)字脈沖到主控制器106。第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)從子系統(tǒng)控制器A、B和C發(fā)送到主控制器106，主控制器106發(fā)送第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)到命令控制器102。由子系統(tǒng)控制器A、B和C自主控制器106接收第(n+2)個(gè)配方集。在一些實(shí)施方式中，配方集的接收的確認(rèn)被從子系統(tǒng)控制器A經(jīng)由通信介質(zhì)122A、124和126發(fā)送到命令控制器102，配方集的接收的確認(rèn)被從子系統(tǒng)控制器B經(jīng)由通信介質(zhì)122B、124和126發(fā)送到命令控制器102，以及配方集的接收的確認(rèn)被從子系統(tǒng)控制器C經(jīng)由通信介質(zhì)122C、124和126發(fā)送到命令控制器102。

舉另一示例而言，在從子系統(tǒng)控制器A、B和C接收到第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te1，主控制器106發(fā)送配方事件信號(hào)104的第一數(shù)字脈沖到子系統(tǒng)控制器A、B和C。此外，在從子系統(tǒng)控制器A、B和C接收到第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te2，主控制器106發(fā)送配方事件信號(hào)104的第二數(shù)字脈沖到子系統(tǒng)控制器A、B和C。在一些實(shí)施方式中，確認(rèn)被從子系統(tǒng)控制器經(jīng)由將子系統(tǒng)控制器連接到主控制器106的傳輸介質(zhì)發(fā)送到主控制器106。在多種實(shí)施方式中，確認(rèn)被從子系統(tǒng)控制器經(jīng)由將子系統(tǒng)控制器連接到主控制器106的一個(gè)或多個(gè)通信介質(zhì)發(fā)送到主控制器106。舉另一示例而言，在從處理器PA、PB和PC接收到第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te1，主控制器106發(fā)送配方事件信號(hào)104的第一數(shù)字脈沖到處理器PA、PB和PC。此外，在從處理器PA、PB和PC接收到第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te2，主控制器106發(fā)送配方事件信號(hào)104的第二數(shù)字脈沖到處理器PA、PB和PC。在一些實(shí)施方式中，確認(rèn)被從子系統(tǒng)經(jīng)由將子系統(tǒng)連接到主控制器106的傳輸介質(zhì)發(fā)送到主控制器106。在多種實(shí)施方式中，確認(rèn)被從子系統(tǒng)經(jīng)由將子系統(tǒng)連接到主控制器106的一個(gè)或多個(gè)通信介質(zhì)發(fā)送到主控制器106。舉又一示例而言，在從子系統(tǒng)的處理器接收到第(n+1)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te1，子系統(tǒng)控制器發(fā)送配方事件信號(hào)104的第一數(shù)字脈沖到該處理器。此外，在從該處理器接收到第(n+2)個(gè)配方集的接收的確認(rèn)后在預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)在時(shí)間te2，子系統(tǒng)控制器發(fā)送配方事件信號(hào)104的第二數(shù)字脈沖到該處理器。

在一些實(shí)施方式中，預(yù)先確定的時(shí)間間隔通過輸入設(shè)備從用戶接收。例如，預(yù)先確定的時(shí)間間隔是兩個(gè)連續(xù)的數(shù)據(jù)包(例如，第(n+1)個(gè)數(shù)據(jù)包和第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包，等)的接收的確認(rèn)的接收之間的時(shí)間間隔。

在多種實(shí)施方式中，在沒有發(fā)送控制器從相應(yīng)的一個(gè)或多個(gè)接收控制器接收一個(gè)或多個(gè)確認(rèn)的情況下并且基于被用來從發(fā)送控制器向一個(gè)或多個(gè)接收控制器發(fā)送配方集的預(yù)定時(shí)間量，從發(fā)送控制器發(fā)送脈沖信號(hào)212的數(shù)字脈沖。所述一個(gè)或多個(gè)接收控制器被耦合到發(fā)送控制器。例如，由用戶經(jīng)由輸入裝置為發(fā)送控制器規(guī)定被用來將配方集從發(fā)送控制器傳送到一個(gè)或多個(gè)接收控制器的預(yù)先確定的時(shí)間量為x單位，例如x微秒或x毫秒或x納秒等。在每x單位后，發(fā)送控制器發(fā)送脈沖信號(hào)212的脈沖給一個(gè)或多個(gè)接收控制器。當(dāng)一個(gè)或多個(gè)接收控制器是子系統(tǒng)控制器A、B和C時(shí)，發(fā)送控制器的一個(gè)示例是命令控制器102。當(dāng)一個(gè)或多個(gè)接收控制器是子系統(tǒng)控制器A、B和C時(shí)，發(fā)送控制器的另一個(gè)示例是主控制器106。當(dāng)一個(gè)或多個(gè)接收控制器是處理器PA、PB和PC時(shí)，發(fā)送控制器的又一個(gè)示例是主控制器106。

在多種實(shí)施方式中，用來將配方集從發(fā)送控制器發(fā)送到一個(gè)或多個(gè)接收控制器的預(yù)先確定的時(shí)間量在學(xué)習(xí)例程期間由發(fā)送控制器確定。例如，發(fā)送控制器發(fā)送各種尺寸的數(shù)據(jù)包(例如，具有不同的位的作為有效載荷的配方集，等等)到一個(gè)或多個(gè)接收控制器。發(fā)送控制器確定被用來發(fā)送在不同尺寸的數(shù)據(jù)包中的最大尺寸的數(shù)據(jù)包的最長的時(shí)間量，并確定該最長的時(shí)間量為預(yù)先確定的時(shí)間量。

在若干實(shí)施方式中，時(shí)間te2介于時(shí)間ts3和由一個(gè)或多個(gè)接收控制器接收第(n+2)個(gè)數(shù)據(jù)包的時(shí)間之間。

圖2B是上文參考圖1E描述的時(shí)序圖230。

圖3A是以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包300的實(shí)施方式的簡圖。以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包300包括前導(dǎo)碼字段、幀起始定界符字段、目的媒體訪問控制(MAC)地址字段、源MAC地址字段、以太網(wǎng)類型字段、有效載荷字段、幀校驗(yàn)序列(FCS)字段、和數(shù)據(jù)包間間隔。前導(dǎo)碼字段和幀起始定界符字段被填充以指示以太網(wǎng)幀的開始。以太網(wǎng)幀包括目的MAC地址字段、源MAC地址字段，以太網(wǎng)類型字段、有效載荷字段和FCS字段。

MAC目的地址字段包括唯一地標(biāo)識(shí)接收以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包300的網(wǎng)絡(luò)接口的地址，該網(wǎng)絡(luò)接口如主控制器106的網(wǎng)絡(luò)接口、或子系統(tǒng)控制器A的網(wǎng)絡(luò)接口、或子系統(tǒng)控制器B的網(wǎng)絡(luò)接口、或子系統(tǒng)控制器C的網(wǎng)絡(luò)接口、或子系統(tǒng)A的網(wǎng)絡(luò)接口、或子系統(tǒng)B的網(wǎng)絡(luò)接口、或子系統(tǒng)C的網(wǎng)絡(luò)接口等等。網(wǎng)絡(luò)接口的示例包括網(wǎng)絡(luò)接口控制器、網(wǎng)絡(luò)接口卡等。

主控制器106的網(wǎng)絡(luò)接口連接到一個(gè)或多個(gè)傳輸介質(zhì)以及連接到主控制器106的處理器。例如，主控制器106的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)110A、110B和110C(圖1A-1)。舉另一示例而言，主控制器106的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)164A、164B、和164C(圖1B-1)。舉又一示例而言，主控制器106的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)172A、172B、和172C(圖1C)。

類似地，子系統(tǒng)控制器的網(wǎng)絡(luò)接口連接到一個(gè)或多個(gè)傳輸介質(zhì)以及連接到子系統(tǒng)控制器的處理器。例如，子系統(tǒng)控制器A的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)110A和114A(圖1A-1)，子系統(tǒng)控制器B的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)110B和114B(圖1A-1)，而子系統(tǒng)控制器C的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)110C和114C(圖1A-1)。

此外，子系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)接口連接到一個(gè)或多個(gè)傳輸介質(zhì)以及連接到子系統(tǒng)的處理器。例如，子系統(tǒng)A的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)114A(圖1A-1)，子系統(tǒng)B的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)114B(圖1A-1)，而子系統(tǒng)C的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)114C(圖1A-1)。舉另一示例而言，子系統(tǒng)A的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)172A(圖1C)，子系統(tǒng)B的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)172B(圖1C)，而子系統(tǒng)C的網(wǎng)絡(luò)接口連接到傳輸介質(zhì)172C(圖1C)。

在一實(shí)施方式中，網(wǎng)絡(luò)接口在控制器內(nèi)實(shí)施，例如，本文中所描述的主控制器106、或子系統(tǒng)控制器A、或子系統(tǒng)控制器B、或子系統(tǒng)控制器C、或處理器PA、或處理器PB、或處理器PC等。

MAC源地址字段包括唯一地標(biāo)識(shí)發(fā)送以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包300的網(wǎng)絡(luò)接口的地址。以太網(wǎng)類型字段包括數(shù)據(jù)以指示有效載荷的長度或封裝在有效載荷內(nèi)的協(xié)議，例如，因特網(wǎng)協(xié)議版本4、Apple Talk^TM等。有效載荷字段可容納一個(gè)或多個(gè)配方集(例如，第(n+1)個(gè)配方集，第(n+2)個(gè)配方集，第(n+3)個(gè)配方集等)的不同數(shù)目的位，例如，范圍從42個(gè)八位位組到1500個(gè)八位位組，等等。FCS字段是用來檢查幀的完整性。包間間隔是兩個(gè)連續(xù)包之間的空閑時(shí)間。

圖3B是說明數(shù)據(jù)包320(例如，數(shù)據(jù)報(bào)等等)的一實(shí)施方式的簡圖。數(shù)據(jù)包320包括報(bào)頭字段和有效載荷字段，例如，包含配方集的字段等。報(bào)頭字段包括：用于源地址(例如，網(wǎng)絡(luò)接口的地址等)的身份的字段，數(shù)據(jù)包320被從該源地址發(fā)送；用于目的地址(例如，網(wǎng)絡(luò)接口的地址等)的身份的字段，該目的地址被指定來接收數(shù)據(jù)包320；用于報(bào)頭和附連到報(bào)頭的有效載荷的組合長度的字段；以及用于校驗(yàn)和值的字段。

在多種實(shí)施方式中，數(shù)據(jù)包320被定制，例如，使用定制的通信協(xié)議等產(chǎn)生，以排除用于標(biāo)識(shí)源地址的源地址字段和用于標(biāo)識(shí)目的地址的目的地址字段。在點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的通信中，無需標(biāo)識(shí)源地址和目的地址。這種排除增大了主控制器106和連接到主控制器106的子系統(tǒng)控制器之間的數(shù)據(jù)速率，或子系統(tǒng)控制器和連接到子系統(tǒng)控制器的子系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)速率，或主控制器和連接到主控制器的子系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)速率。

在一些實(shí)施方式中，報(bào)頭被定制，例如，使用定制的通信協(xié)議等等產(chǎn)生，以排除用于校驗(yàn)和值的字段和/或用于報(bào)頭和有效載荷的組合長度的字段。這種排除增大了主控制器106和連接到主控制器106的子系統(tǒng)控制器之間的數(shù)據(jù)速率，或子系統(tǒng)控制器和連接到子系統(tǒng)控制器的子系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)速率，或主控制器和連接到主控制器的子系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)速率。

在多種實(shí)施方式中，通過發(fā)送數(shù)據(jù)包320的網(wǎng)絡(luò)接口產(chǎn)生校驗(yàn)和值。該校驗(yàn)和值從數(shù)據(jù)包320的有效載荷、或數(shù)據(jù)包320的報(bào)頭、或它們的組合產(chǎn)生。該校驗(yàn)和值與由數(shù)據(jù)包320的接收器(例如，目的網(wǎng)絡(luò)接口等)計(jì)算出的另一校驗(yàn)和值進(jìn)行比較，以確定數(shù)據(jù)包320的有效載荷和/或報(bào)頭在從發(fā)送網(wǎng)絡(luò)接口向接收網(wǎng)絡(luò)接口的傳輸過程中是否改變。

在一些實(shí)施方式中，數(shù)據(jù)報(bào)，例如，UDP數(shù)據(jù)報(bào)，等等，被嵌入IP數(shù)據(jù)包內(nèi)，IP數(shù)據(jù)包被進(jìn)一步嵌入在以太網(wǎng)數(shù)據(jù)包內(nèi)。

在多種實(shí)施方式中，數(shù)據(jù)包320被定制，例如，使用定制的協(xié)議等產(chǎn)生，使得字段是在與圖3B中所示的位置不同的位置。例如，用于有效載荷的字段是在用于長度的字段之前。舉另一示例而言，用于目的地址的字段在用于源地址的字段之前或在用于長度的字段后。定制的協(xié)議是由產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)定制的數(shù)據(jù)包的物理層施加。

圖4是等離子體處理系統(tǒng)400的一實(shí)施方式的簡圖。等離子體處理系統(tǒng)400包括主控制器106、x兆赫射頻(MHz RF)產(chǎn)生器、y MHz RF產(chǎn)生器、z MHz RF產(chǎn)生器、子系統(tǒng)控制器A、子系統(tǒng)控制器B和子系統(tǒng)控制器C。此外，等離子體處理系統(tǒng)400包括阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402和等離子體室404。

在一實(shí)施方式中，不使用x MHz RF產(chǎn)生器，而使用kHz RF產(chǎn)生器。

在接收到第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，x MHz RF產(chǎn)生器產(chǎn)生RF信號(hào)。例如，由x MHz RF產(chǎn)生器產(chǎn)生的RF信號(hào)具有在由x MHz RF產(chǎn)生器接收的第(n+1)個(gè)配方集中規(guī)定的功率量和/或頻率量。類似地，在接收到第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，y MHz RF產(chǎn)生器產(chǎn)生RF信號(hào)，以及在接收到第(n+1)個(gè)配方集時(shí)，z MHz RF產(chǎn)生器產(chǎn)生RF信號(hào)。例如，由y MHz RF產(chǎn)生器產(chǎn)生的RF信號(hào)具有在由y MHz RF產(chǎn)生器接收的第(n+1)個(gè)配方集中規(guī)定的功率量和/或頻率量。舉另一示例而言，由z MHz RF產(chǎn)生器產(chǎn)生的RF信號(hào)具有在由z MHz RF產(chǎn)生器接收的第(n+1)個(gè)配方集中規(guī)定的功率量和/或頻率量。RF信號(hào)經(jīng)由相應(yīng)的RF電纜406A、406B和406C提供到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402使連接至阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402的輸出的負(fù)載的阻抗與連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402的一個(gè)或多個(gè)輸入的源的阻抗相匹配，以產(chǎn)生經(jīng)修改的RF信號(hào)。例如，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402使等離子體室404和RF傳輸線408的阻抗與RF電纜406A、406B和406C、x MHz RF產(chǎn)生器、y MHz RF產(chǎn)生器和z RF MHz產(chǎn)生器的阻抗相匹配。

經(jīng)修改的RF信號(hào)經(jīng)由RF傳輸線408發(fā)送到等離子體室404的下電極410。下電極410是卡盤的一部分，例如，靜電卡盤(ESC)等的一部分。等離子體室404的上電極412面對(duì)下電極410，并被定位成與下電極410相對(duì)。上電極412和下電極410中的每一個(gè)都由金屬制成，金屬例如，鋁、鋁合金等。

當(dāng)處理氣體被供給到等離子體室404，并且經(jīng)修改的RF信號(hào)被提供給下電極時(shí)，等離子體被激勵(lì)或被保持在等離子體室404內(nèi)以處理放置在下電極410的上表面上的晶片416。

圖5是一種系統(tǒng)的實(shí)施方式的簡圖，其用以說明子系統(tǒng)500，例如，子系統(tǒng)A、或子系統(tǒng)B、或子系統(tǒng)C等。子系統(tǒng)500包括處理器502，例如，處理器PA、或處理器PB、或處理器PC等。處理器502被連接到驅(qū)動(dòng)器502，例如，一個(gè)或多個(gè)晶體管，一個(gè)或多個(gè)電流產(chǎn)生設(shè)備等。該驅(qū)動(dòng)器連接到機(jī)械或電氣組件506。組件506的示例包括馬達(dá)或放大器。

當(dāng)子系統(tǒng)500是RF產(chǎn)生器時(shí)，組件506包括連接到RF電源的放大器。此外，當(dāng)子系統(tǒng)500是壓強(qiáng)子系統(tǒng)、或間隙子系統(tǒng)、或氣體流子系統(tǒng)、或制冷液流子系統(tǒng)時(shí)，組件506是馬達(dá)。

處理器502產(chǎn)生被提供給驅(qū)動(dòng)器504的信號(hào)。驅(qū)動(dòng)器504在從處理器502接收到該信號(hào)時(shí)產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)，該驅(qū)動(dòng)信號(hào)被提供給組件506以操作組件506。當(dāng)組件506是馬達(dá)時(shí)，該馬達(dá)控制制冷流子系統(tǒng)的閥打開或關(guān)閉的量，或氣體流子系統(tǒng)的閥打開或關(guān)閉的量，或約束環(huán)打開或關(guān)閉的量，或上電極412(圖4)和下電極410(圖4)之間的間隙的量。當(dāng)組件506是加熱器時(shí)，在驅(qū)動(dòng)器504提供電流信號(hào)提供給加熱器時(shí)，加熱器加熱。當(dāng)組件506是放大器時(shí)，該放大器在從驅(qū)動(dòng)器504接收到電流信號(hào)時(shí)產(chǎn)生放大信號(hào)，并且將放大的信號(hào)提供給RF電源，以生成RF信號(hào)。

圖6是系統(tǒng)600的一實(shí)施方式的簡圖，其用來說明等離子體室626，等離子體室626是等離子體室404(圖4)的一個(gè)示例。系統(tǒng)600包括等離子體反應(yīng)器620和RF傳輸線624，RF傳輸線624是RF傳輸線408(圖4)的一個(gè)示例。RF傳輸線624被連接到等離子體反應(yīng)器620。RF傳輸線624包括RF桿661和RF隧道662。RF桿661被用來促進(jìn)從阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)402(圖4)接收到的經(jīng)修改的RF信號(hào)的傳輸。

所述等離子體反應(yīng)器620包括等離子體室626和RF柱體660，RF柱體660經(jīng)由RF帶668連接到RF桿661。等離子體反應(yīng)器620還包括射頻帶674和677、接地屏蔽件680和下電極殼體676。

等離子體室626包括上電極660、上電極延伸部628、C形護(hù)罩670、接地環(huán)672、和卡盤組件?？ūP組件包括卡盤658和設(shè)施板630。上電極660是上電極412(圖4)的一個(gè)示例。襯底416放置在卡盤658的頂部以便處理襯底416。處理襯底416的示例包括清潔襯底416、或蝕刻襯底416、或蝕刻襯底416的頂部上的氧化物、或在襯底416上沉積材料(例如，氧化物、二氧化物、光致抗蝕劑材料等)、或它們的組合。

C形護(hù)罩670包括用于控制等離子體室626內(nèi)的壓強(qiáng)的槽。例如打開槽以增加通過槽的氣體流量，從而減小在等離子體室626的間隙671內(nèi)的氣體壓強(qiáng)。將板關(guān)閉以減少氣體流量，從而增大在間隙671內(nèi)的氣體壓強(qiáng)。

在多種實(shí)施方式中，下電極殼體676是任意形狀，例如，圓筒形、正方形、多邊形等。

在多種實(shí)施方式中，RF柱體660不是圓筒形，而具有多邊形形狀，例如矩形形狀、正方形形狀等。

上電極延伸部628圍繞上電極660。C形護(hù)罩670包括部分670A和670B。接地環(huán)672包括接地環(huán)部分672A和另一接地環(huán)部分672B。下電極殼體676包括下電極殼體部分676A、另一下電極殼體部分676B和又一下電極殼體部分676C。每個(gè)下電極殼體部分676A和676B形成下電極殼體676的側(cè)壁。下電極殼體676C形成下電極殼體676的底壁。接地屏蔽件680包括屏蔽部分680A和另一屏蔽部分680B。

卡盤658的頂表面朝向上電極660的底表面636。等離子體室626由上電極660和上電極延伸部628圍繞。等離子體室626進(jìn)一步由C形護(hù)罩670和卡盤658圍繞。

接地環(huán)672位于C形護(hù)罩670下。在一些實(shí)施方式中，接地環(huán)672位于C形護(hù)罩670下面并鄰近C形護(hù)罩670。返回RF帶674被連接到接地環(huán)部分672A，而返回RF帶677被連接到接地環(huán)部分672B。返回RF帶674被連接至下電極殼體部分676A，而返回RF帶677被連接至下電極殼體部分676B。下電極殼體部分676A被連接到屏蔽部分680A，而下電極殼體部分676B被連接到屏蔽部分680B。屏蔽部分680A經(jīng)由下電極殼體部分676A連接到RF隧道662，而屏蔽部分680B經(jīng)由下電極殼體部分676C連接到接地RF隧道662。

在一些實(shí)施方式中，下電極殼體部分676是圍繞RF柱體660的柱體。RF柱體660是用于傳送經(jīng)修改的RF信號(hào)的介質(zhì)。經(jīng)修改的RF信號(hào)經(jīng)由RF桿661、RF帶668以及RF柱體660被提供到卡盤658的下電極以產(chǎn)生或維持等離子體室626的間隙671內(nèi)的等離子體。間隙671在上電極660和卡盤658的下電極之間形成。

在一些實(shí)施方式中，上電極660接地。

在多種實(shí)施方式中，不是使用RF帶668，而是使用多個(gè)RF帶將RF柱體660連接到RF桿661。

在一實(shí)施方式中，不是C形護(hù)罩670，而是約束環(huán)被提供來控制氣體從等離子體室626的排出，以進(jìn)一步控制等離子體室626內(nèi)的壓強(qiáng)。

應(yīng)當(dāng)注意，在上述實(shí)施方式的一些中，經(jīng)修改的RF信號(hào)被提供給下電極410(圖4)，而上電極412(圖4)接地。在多種實(shí)施方式中，經(jīng)修改的RF信號(hào)被提供給上電極412，而下電極410接地。

在一個(gè)實(shí)施方式中，本文描述的由一個(gè)處理器執(zhí)行的功能由多個(gè)處理器執(zhí)行，例如在多個(gè)處理器之間分布。

在一實(shí)施方式中，本文所描述的由一個(gè)控制器所執(zhí)行的功能由多個(gè)控制器執(zhí)行，例如，在多個(gè)控制器之間分布。

在一些實(shí)施方式中，本文所描述的由一個(gè)控制器所執(zhí)行的功能由多個(gè)控制器執(zhí)行，由控制器執(zhí)行。

本發(fā)明描述的實(shí)施方式可以用包括手持式硬件單元、微處理器系統(tǒng)、基于微處理器的或可編程的消費(fèi)電子產(chǎn)品、小型計(jì)算機(jī)、大型計(jì)算機(jī)等的各種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置來實(shí)施。本發(fā)明所描述的實(shí)施方式也可以在其中由通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈接的遠(yuǎn)程處理硬件單元執(zhí)行任務(wù)的分布式計(jì)算環(huán)境中實(shí)施。

在一些實(shí)施方式中，控制器是系統(tǒng)的一部分，該系統(tǒng)可以是上述實(shí)施例的一部分。這種系統(tǒng)包括半導(dǎo)體處理設(shè)備，該半導(dǎo)體處理設(shè)備包括一個(gè)或多個(gè)處理工具、一個(gè)或多個(gè)處理室、用于處理的一個(gè)或多個(gè)平臺(tái)和/或特定的處理組件(晶片基座、氣體流系統(tǒng)等)。該系統(tǒng)可以與用于控制其在處理半導(dǎo)體晶片或襯底之前、期間和之后的操作的電子器件一體化。所述電子器件被稱為“控制器”，該控制器可以控制系統(tǒng)的各種元件或子部件。根據(jù)處理要求和/或系統(tǒng)的類型，控制器被編程以控制本發(fā)明公開的任何工藝，包括控制工藝氣體輸送、溫度設(shè)置(例如，加熱和/或冷卻)、壓強(qiáng)設(shè)置、真空設(shè)置、功率設(shè)置、RF產(chǎn)生器設(shè)置、RF匹配電路設(shè)置、頻率設(shè)置、流速設(shè)置、流體輸送設(shè)置、位置及操作設(shè)置、晶片轉(zhuǎn)移進(jìn)出工具和其它轉(zhuǎn)移工具和/或與系統(tǒng)連接或接合(interface)的裝載鎖。

寬泛地講，在多種實(shí)施方式中，控制器定義為接收指令、發(fā)布指令、控制操作、啟用清潔操作、啟用端點(diǎn)測量等等的具有各種集成電路、邏輯、存儲(chǔ)器和/或軟件的電子器件。集成電路包括存儲(chǔ)程序指令的固件形式的芯片、數(shù)字DSP、定義為專用集成電路(ASIC)的芯片、PLD、一個(gè)或多個(gè)微處理器或執(zhí)行程序指令(例如，軟件)的微控制器。程序指令是以各種單獨(dú)設(shè)置(或程序文件)的形式發(fā)送到控制器、定義用于在半導(dǎo)體晶片上或針對(duì)半導(dǎo)體晶片執(zhí)行工藝的操作參數(shù)的指令。在一些實(shí)施方式中，操作參數(shù)是由工藝工程師定義的用于在一個(gè)或多個(gè)層、材料、金屬、氧化物、硅、二氧化硅、表面、電路和/或晶片的裸片的制備期間完成一個(gè)或多個(gè)處理步驟的配方的一部分。

在一些實(shí)施方式中，控制器是與系統(tǒng)集成、耦接或者說是通過網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng)或它們的組合的計(jì)算機(jī)的一部分或者與該計(jì)算機(jī)耦接。例如，控制器在“云端”或者是fab主機(jī)系統(tǒng)的全部或一部分，從而使得能遠(yuǎn)程訪問晶片處理?？刂破鲉⒂脤?duì)系統(tǒng)的遠(yuǎn)程訪問以監(jiān)測制造操作的當(dāng)前進(jìn)程，檢查過去的制造操作的歷史，從多個(gè)制造操作檢查趨勢(shì)或性能標(biāo)準(zhǔn)，改變當(dāng)前處理的參數(shù)，設(shè)置處理步驟以跟隨當(dāng)前的處理或者開始新的工藝。

在一些實(shí)施方式中，遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)(例如，服務(wù)器)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)給系統(tǒng)提供工藝配方，計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)包括本地網(wǎng)絡(luò)或互聯(lián)網(wǎng)。遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)包括允許輸入或編程參數(shù)和/或設(shè)置的用戶界面，該參數(shù)和/或設(shè)置然后從遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)傳輸?shù)较到y(tǒng)。在一些實(shí)施例中，控制器接收以用于處理晶片的設(shè)置形式的指令。應(yīng)當(dāng)理解，設(shè)置針對(duì)將要在晶片上執(zhí)行的工藝類型以及與控制器接合或受控制器控制的工具類型而言是特定的。因此，如上所述，控制器例如通過包括一個(gè)或多個(gè)分立的控制器而分布，這些分立的控制器通過網(wǎng)絡(luò)連接在一起并且朝著共同的目標(biāo)(例如，本文所述的實(shí)現(xiàn)工藝)工作。用于這些目的的分布式控制器的實(shí)施例包括與結(jié)合以控制室內(nèi)工藝的一個(gè)或多個(gè)遠(yuǎn)程集成電路(例如，在平臺(tái)水平或作為遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)的一部分)通信的室上的一個(gè)或多個(gè)集成電路。

在非限制性的條件下，在多種實(shí)施方式中，系統(tǒng)包括等離子體蝕刻室、沉積室、旋轉(zhuǎn)清洗室、金屬電鍍室、清潔室、倒角邊緣蝕刻室、物理氣相沉積(PVD)室、化學(xué)氣相沉積(CVD)室、原子層沉積(ALD)室、原子層蝕刻(ALE)室、離子注入室、徑跡室、以及在半導(dǎo)體晶片的制備和/或制造中關(guān)聯(lián)或使用的任何其它的半導(dǎo)體處理室。

進(jìn)一步指出的是，雖然上述的操作參照平行板等離子體室(例如，電容耦合等離子室等)進(jìn)行了描述，但在一些實(shí)施方式中，上述操作適用于其它類型的等離子體室，例如，包括感應(yīng)耦合等離子體(ICP)反應(yīng)器、變壓器耦合等離子體(TCP)反應(yīng)器、導(dǎo)體工具、電介質(zhì)工具的等離子體室，包括電子回旋共振(ECR)反應(yīng)器的等離子體室，等。例如，x MHz RF產(chǎn)生器、y MHz RF產(chǎn)生器和z MHz RF產(chǎn)生器經(jīng)由阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)被耦合到ICP等離子體室內(nèi)的電感器。

如上所述，根據(jù)工具將要執(zhí)行的工藝操作，控制器與其它工具電路或模塊、其它工具組件、集群工具、其它工具界面、相鄰工具、鄰接工具、位于整個(gè)工廠中的工具、主機(jī)、另一個(gè)控制器、或者在將晶片的容器往來于半導(dǎo)體制造工廠中的工具位置和/或裝載口搬運(yùn)的材料搬運(yùn)中使用的工具中的一個(gè)或多個(gè)通信。

考慮到上述實(shí)施方式，應(yīng)該理解的是，一些實(shí)施方式采用涉及存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)的各種計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的操作。這些計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的操作是那些操縱物理量的操作。

一些實(shí)施方式還涉及用于執(zhí)行這些操作的硬件單元或裝置。該裝置具體針對(duì)專用計(jì)算機(jī)構(gòu)造。當(dāng)被定義為專用計(jì)算機(jī)時(shí)，該計(jì)算機(jī)執(zhí)行不屬于專用部分的其它處理、程序執(zhí)行或例程，同時(shí)仍能夠操作以供專用。

在一些實(shí)施方式中，本發(fā)明描述的操作通過選擇性地激活的計(jì)算機(jī)來執(zhí)行，或通過存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器中的一個(gè)或多個(gè)計(jì)算機(jī)程序配置或者通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)得到數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)可以由其它計(jì)算機(jī)在計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)(例如，計(jì)算資源的云)上進(jìn)行處理。

本發(fā)明所描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式也可以制造為在非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上的計(jì)算機(jī)可讀代碼。非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)是存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的任何數(shù)據(jù)存儲(chǔ)硬件單元(例如，存儲(chǔ)器設(shè)備等)，這些數(shù)據(jù)之后由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)讀取。非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的示例包括硬盤驅(qū)動(dòng)器、網(wǎng)絡(luò)附加存儲(chǔ)器(NAS)、只讀存儲(chǔ)器、隨機(jī)訪問存儲(chǔ)器、光盤只讀存儲(chǔ)器(CD-ROM)、可錄光盤(CD-R)、可重寫CD(CD-RW)、磁帶和其它光學(xué)以及非光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)硬件單元。在一些實(shí)施方式中，非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括分布在與網(wǎng)絡(luò)耦合的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中的計(jì)算機(jī)可讀有形介質(zhì)，使得計(jì)算機(jī)可讀代碼以分布的方式存儲(chǔ)和執(zhí)行。

盡管如上所述的一些方法操作以特定的順序呈現(xiàn)，但應(yīng)當(dāng)理解，在多種實(shí)施方式中，其它內(nèi)務(wù)操作在方法操作之間執(zhí)行，或者方法操作被調(diào)整，使得它們?cè)谏晕⒉煌臅r(shí)間發(fā)生，或分布在允許方法操作在不同的時(shí)間間隔發(fā)生，或以不同于上述順序的順序執(zhí)行的系統(tǒng)中。

還應(yīng)該注意的是，在一實(shí)施方式中，在不脫離本公開內(nèi)容所描述的各種實(shí)施方式中描述的范圍的情況下，來自上述的任何實(shí)施方式的一個(gè)或多個(gè)特征與任何其它實(shí)施方式的一個(gè)或多個(gè)特征組合。

雖然為了清晰理解的目的，已經(jīng)在一定程度上詳細(xì)描述了上述實(shí)施方式，但顯而易見，可以在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)實(shí)行某些變化和改變。因此，本發(fā)明的實(shí)施方式應(yīng)被視為說明性的，而不是限制性的，并且本發(fā)明的實(shí)施方式并不受限于本文給出的細(xì)節(jié)，而是可以在所附權(quán)利要求的范圍和等同方案內(nèi)進(jìn)行修改。