技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括水泵、風(fēng)機(jī)、熱交換器、過濾器、溫度傳感器和控制器，風(fēng)機(jī)設(shè)于光刻機(jī)的熱交換室的入口處，熱交換器設(shè)于光刻機(jī)的熱交換室內(nèi)，熱交換器的進(jìn)水端通過伸出熱交換室的管道連接至水泵，過濾器設(shè)于光刻機(jī)的光刻室的入口處，光刻室與熱交換室相鄰，光刻室的入口與熱交換室的入口相對，溫度傳感器設(shè)于光刻室內(nèi)，溫度傳感器連接至控制器。本發(fā)明的光刻機(jī)的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)可保證光刻機(jī)的光刻精度。

技術(shù)研發(fā)人員：黃建
受保護(hù)的技術(shù)使用者：志圣科技（廣州）有限公司
文檔號碼：201610723913
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.25
技術(shù)公布日：2017.01.04