技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及的一種陶瓷電容式壓力控制系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。它包括封閉容器，安裝在封閉容器內(nèi)的陶瓷電容式壓力傳感器和連接在壓力傳感器上的控制開關(guān)，所述壓力傳感器具有陶瓷蓋板和陶瓷基板，所述陶瓷基板上設(shè)置有平板電極，所述陶瓷蓋板與陶瓷基板之間設(shè)有控制間距的隔離墩，所述控制開關(guān)連接有用于調(diào)節(jié)電源的電源控制模塊和用于控制封閉容器換氣的電磁控制閥，所述傳感器外圍設(shè)有用于放置壓力傳感器的測試腔。本發(fā)明的有益之處是：可以實時的檢測出密閉容器的氣壓狀況，可以根據(jù)實際要求來調(diào)節(jié)密閉容器的內(nèi)部壓力，結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便。適用范圍廣，可以有效提高密閉容器使用過程中的安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：吳雯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州倉旻電子科技有限公司
文檔號碼：201610968571
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.27
技術(shù)公布日：2017.05.10