本實(shí)用新型涉及一種環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，特別涉及一種芯片生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

生產(chǎn)監(jiān)控系統(tǒng)中的一項(xiàng)重要內(nèi)容就是生產(chǎn)環(huán)境的監(jiān)控。在各類(lèi)礦井、化工廠、天然氣站、危險(xiǎn)品倉(cāng)庫(kù)等場(chǎng)所，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的有毒、有害、可燃和易爆氣體等的含量，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境的溫度、濕度、氣壓等指標(biāo)，監(jiān)測(cè)地下巷道支撐物及建筑結(jié)構(gòu)的受力變形等情況，對(duì)于確保安全生產(chǎn)是非常重要的。在芯片生產(chǎn)、制藥等企業(yè)中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、氣壓、潔凈度等指標(biāo)，并確保這些指標(biāo)在規(guī)定的范圍內(nèi)，是保證產(chǎn)品質(zhì)量的必要條件。

集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備必須在超凈環(huán)境下存放和運(yùn)行，對(duì)環(huán)境的溫度、相對(duì)濕度、壓差、照度等指標(biāo)都有嚴(yán)格的要求。按照國(guó)家潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范，以及潔凈室施工和驗(yàn)收規(guī)范的要求，潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合規(guī)定；潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于10 Pa，相鄰不同潔凈度級(jí)別潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5 Pa，潔凈室與室外靜壓差應(yīng)大于12 Pa；無(wú)采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應(yīng)低于規(guī)定的數(shù)值。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種芯片生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，部署靈活，成本較低。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種芯片生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括：

無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)，用以監(jiān)測(cè)生產(chǎn)間內(nèi)的溫度數(shù)據(jù)、濕度數(shù)據(jù)、壓差、光照強(qiáng)度，并通過(guò)建立的無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)經(jīng)基站發(fā)送給系統(tǒng)控制中心；

基站，負(fù)責(zé)網(wǎng)絡(luò)的啟動(dòng)，并監(jiān)控?zé)o線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的工作狀態(tài)，發(fā)出用于建立網(wǎng)絡(luò)的控制指令、轉(zhuǎn)發(fā)無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)；

系統(tǒng)控制中心，用以接受來(lái)自無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，對(duì)其進(jìn)行統(tǒng)計(jì)、處理和顯示，并將數(shù)據(jù)反饋給設(shè)備控制系統(tǒng)；

設(shè)備控制系統(tǒng)，通過(guò)控制設(shè)備調(diào)節(jié)生產(chǎn)間內(nèi)的溫度、濕度、壓力以及光照強(qiáng)度；

所述無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)經(jīng)基站與系統(tǒng)控制中心相連，系統(tǒng)控制中心與設(shè)備控制系統(tǒng)相連。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步限定，所述設(shè)備控制系統(tǒng)包括冷源控制系統(tǒng)、熱源控制系統(tǒng)、空氣壓縮機(jī)以及光源。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步限定，所述系統(tǒng)控制中心選用PC機(jī)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于，本實(shí)用新型通過(guò)使用無(wú)線傳感器作為網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)，用以監(jiān)測(cè)生產(chǎn)間內(nèi)的各項(xiàng)參數(shù)，保證了信號(hào)傳輸?shù)姆€(wěn)定性，避免有線線路敷設(shè)的空間限制，同時(shí)，該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，部署方便，維護(hù)方便，降低了成本。本實(shí)用新型可用于芯片生產(chǎn)中。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的架構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示的一種芯片生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括：

無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)，用以監(jiān)測(cè)生產(chǎn)間內(nèi)的溫度數(shù)據(jù)、濕度數(shù)據(jù)、壓差、光照強(qiáng)度，并通過(guò)建立的無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)經(jīng)基站發(fā)送給系統(tǒng)控制中心；

基站，負(fù)責(zé)網(wǎng)絡(luò)的啟動(dòng)，并監(jiān)控?zé)o線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的工作狀態(tài)，發(fā)出用于建立網(wǎng)絡(luò)的控制指令、轉(zhuǎn)發(fā)無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的數(shù)據(jù)；

系統(tǒng)控制中心，用以接受來(lái)自無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，對(duì)其進(jìn)行統(tǒng)計(jì)、處理和顯示，并將數(shù)據(jù)反饋給設(shè)備控制系統(tǒng)，系統(tǒng)控制中心選用PC機(jī)；

設(shè)備控制系統(tǒng)，通過(guò)控制設(shè)備調(diào)節(jié)生產(chǎn)間內(nèi)的溫度、濕度、壓力以及光照強(qiáng)度，所述設(shè)備控制系統(tǒng)包括冷源控制系統(tǒng)、熱源控制系統(tǒng)、空氣壓縮機(jī)以及光源；

所述無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)經(jīng)基站與系統(tǒng)控制中心相連，系統(tǒng)控制中心與設(shè)備控制系統(tǒng)相連。

本實(shí)用新型通過(guò)使用無(wú)線傳感器作為網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)，用以監(jiān)測(cè)生產(chǎn)間內(nèi)的各項(xiàng)參數(shù)，保證了信號(hào)傳輸?shù)姆€(wěn)定性，避免有線線路敷設(shè)的空間限制，同時(shí)，該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，部署方便，維護(hù)方便，降低了成本。

本實(shí)用新型并不局限于上述實(shí)施例，在本實(shí)用新型公開(kāi)的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)所公開(kāi)的技術(shù)內(nèi)容，不需要?jiǎng)?chuàng)造性的勞動(dòng)就可以對(duì)其中的一些技術(shù)特征作出一些替換和變形，這些替換和變形均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。