本實用新型涉及MOCVD設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種MOCVD設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

由于之前中國地方政府對MOCVD設(shè)備采購提供了較高補(bǔ)貼，中國外延芯片制造商采購了較多的MOCVD設(shè)備，很多廠家具有多臺MOCVD。由于產(chǎn)能、訂單需求、設(shè)備維護(hù)、場地分配等原因，很多MOCVD設(shè)備分開獨立運行和監(jiān)控。還有部分設(shè)備停機(jī)待命，但其中共用的資源管路，例如氫氣，水管路等仍然處于工作狀態(tài)，但設(shè)備無人看護(hù)。這可能會出現(xiàn)各種問題，如水、氣壓不足、危險氣體泄漏、溫度異常等問題。為了保證這些設(shè)備區(qū)域的安全，MOCVD設(shè)備的正常工作，需要工作人員時時刻刻對設(shè)備的運行及周邊情況進(jìn)行觀察，工作人員的勞動強(qiáng)度大，易疲勞，易出現(xiàn)錯漏。

遠(yuǎn)程監(jiān)控技術(shù)已經(jīng)日趨成熟，設(shè)備成本較低，維護(hù)容易?，F(xiàn)場工控設(shè)備可以進(jìn)行互聯(lián)網(wǎng)連接實現(xiàn)多種設(shè)備之間的互鎖和監(jiān)控。許多企業(yè)都要求實現(xiàn)設(shè)備的遠(yuǎn)程監(jiān)控功能，以便于設(shè)備的管理和數(shù)據(jù)的采集分析。

MOCVD設(shè)備使用的原料很多都是有毒有害物質(zhì)或易燃易爆氣體，例如氨氣、氫氣等。發(fā)生上述氣體泄漏情況時，人員不宜直接進(jìn)入現(xiàn)場處理，需要穿戴防腐裝備才能進(jìn)入，延誤處理時間，容易造成損失擴(kuò)大。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足與缺點，提供一種安全可靠的MOCVD設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，能實現(xiàn)對MOCVD設(shè)備的遠(yuǎn)程實時監(jiān)控。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型所提供的技術(shù)方案為：一種MOCVD設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，主要由現(xiàn)場設(shè)備、環(huán)境檢測系統(tǒng)、集中監(jiān)控系統(tǒng)三者組成；所述現(xiàn)場設(shè)備和環(huán)境檢測系統(tǒng)分別與集中控制系統(tǒng)通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)連接，能夠通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程訪問集中監(jiān)控系統(tǒng)；所述現(xiàn)場設(shè)備主要由現(xiàn)場側(cè)PLC、現(xiàn)場工控機(jī)以及網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)組成，所述現(xiàn)場側(cè)PLC裝有通信模塊，其與現(xiàn)場工控機(jī)通過網(wǎng)線連接到網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)；所述環(huán)境檢測系統(tǒng)主要由PLC、平板電腦、路由器、門禁、監(jiān)控攝像頭、溫度探頭、可燃?xì)怏w檢測器、氨氣檢測器、復(fù)合式火災(zāi)探測器、漏水探測器組成，所述PLC、平板電腦、路由器裝在同一箱體中，所述PLC上裝有通信模塊，其與平板電腦通過網(wǎng)線連接到路由器，所述PLC通過屏蔽電纜分別與溫度探頭、可燃?xì)怏w檢測器、氨氣檢測器、復(fù)合式火災(zāi)探測器、漏水探測器連接，所述平板電腦通過網(wǎng)線分別連接門禁及監(jiān)控攝像頭；所述集中控制系統(tǒng)主要由工控電腦、無線裝置以及交換機(jī)組成，所述交換機(jī)通過網(wǎng)線分別與工控電腦、無線裝置連接，并且連接到互聯(lián)網(wǎng)，能夠通過互聯(lián)網(wǎng)與遠(yuǎn)程電腦或手機(jī)通信，所述無線裝置配有SIM卡；所述網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)、路由器、交換機(jī)三者通過網(wǎng)線互聯(lián)，實現(xiàn)相互間的數(shù)據(jù)信號傳輸。

所述現(xiàn)場設(shè)備的現(xiàn)場側(cè)PLC型號為CJ1G-CPU44H歐姆龍，其通信模塊型號為CJ1W-ETN21。

所述環(huán)境檢測系統(tǒng)的PLC型號為CP1H-XA40DT-D歐姆龍，其通信模塊型號為CP1W-CIF41。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點與有益效果：

1、保證了集中控制室對現(xiàn)場設(shè)備運行狀況和環(huán)境狀況進(jìn)行安全、可靠、準(zhǔn)確無誤的監(jiān)控，從而實現(xiàn)綜合自動化，建立網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能，并且具有通信速率高、抗干擾能力強(qiáng)、擴(kuò)展方便、通信費用低，多終端互聯(lián)監(jiān)控等優(yōu)點。

2、本實用新型的遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)還具有火災(zāi)、水浸、超溫、氣體泄漏檢測等報警功能，并有門禁和遠(yuǎn)程監(jiān)控錄像等視頻功能，能夠及時處理突發(fā)情況，極大地降低生產(chǎn)事故率，提高設(shè)備安全系數(shù)，便于數(shù)據(jù)采集和報警故障分析。

附圖說明

圖1為本實用新型的MOCVD設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1所示，本實施例所述的MOCVD設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，主要由現(xiàn)場設(shè)備、環(huán)境檢測系統(tǒng)、集中監(jiān)控系統(tǒng)三者組成；所述現(xiàn)場設(shè)備和環(huán)境檢測系統(tǒng)分別與集中控制系統(tǒng)通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)連接，能夠通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程訪問集中監(jiān)控系統(tǒng)；所述現(xiàn)場設(shè)備主要由現(xiàn)場側(cè)PLC4、現(xiàn)場工控機(jī)3以及網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)2組成，所述現(xiàn)場側(cè)PLC4型號為CJ1G-CPU44H歐姆龍，裝有CJ1W-ETN21通信模塊，其與現(xiàn)場工控機(jī)3通過網(wǎng)線連接到網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)2；所述環(huán)境檢測系統(tǒng)主要由PLC11、平板電腦12、路由器10、門禁13、監(jiān)控攝像頭14、溫度探頭5、可燃?xì)怏w檢測器6、氨氣檢測器7、復(fù)合式火災(zāi)探測器8、漏水探測器9組成，所述PLC11、平板電腦12、路由器10裝在同一箱體中，所述PLC11型號為CP1H-XA40DT-D歐姆龍，裝有CP1W-CIF41通信模塊，其與平板電腦12通過網(wǎng)線連接到路由器10，所述PLC11通過屏蔽電纜分別與溫度探頭5、可燃?xì)怏w檢測器6、氨氣檢測器7、復(fù)合式火災(zāi)探測器8、漏水探測器9連接，所述平板電腦12通過網(wǎng)線分別連接門禁13及監(jiān)控攝像頭14；所述集中控制系統(tǒng)主要由工控電腦17、無線裝置15以及交換機(jī)16組成，所述交換機(jī)16通過網(wǎng)線分別與工控電腦17、無線裝置15連接，并且連接到互聯(lián)網(wǎng)18，能夠通過互聯(lián)網(wǎng)18與遠(yuǎn)程電腦19或手機(jī)1通信，所述無線裝置配有SIM卡，可以給預(yù)設(shè)的手機(jī)號碼發(fā)送信息和接受預(yù)設(shè)指令以及4G聯(lián)網(wǎng)；所述網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)2、路由器10、交換機(jī)16三者也通過網(wǎng)線互聯(lián)；上述設(shè)備都設(shè)置在同一IP地址段，能夠?qū)崿F(xiàn)相互間的數(shù)據(jù)信號傳輸，相互監(jiān)控。

MOCVD的控制系統(tǒng)比較復(fù)雜，很多精密電子元件參與控制。現(xiàn)場溫度過高會對電子元件造成損害，當(dāng)溫度探頭5檢測到超溫，PLC11將發(fā)出停機(jī)信號給現(xiàn)場側(cè)PLC4，平板電腦12將報警信息記錄并發(fā)送到指定設(shè)備。當(dāng)發(fā)生氣體泄漏或檢測到火災(zāi)煙霧等情況時，可燃?xì)怏w檢測器6、氨氣檢測器7、復(fù)合式火災(zāi)探測器8等傳感器將檢測到的信號發(fā)給PLC11進(jìn)行判斷，PLC11將發(fā)出停機(jī)信號給現(xiàn)場設(shè)備立即停機(jī)，監(jiān)控攝像頭14攝像記錄，平板電腦12將信息發(fā)送到遠(yuǎn)程電腦19和手機(jī)1上，進(jìn)行緊急情況相關(guān)處理。當(dāng)發(fā)生暴雨水浸或設(shè)備用水管道破裂時，漏水探測器9將檢測到的信號反饋給PLC11，也會對MOCVD設(shè)備及時的進(jìn)行停機(jī)操作，并發(fā)送給遠(yuǎn)程端，通知維護(hù)人員及時進(jìn)行維修處理。通過門禁13和監(jiān)控攝像頭14可以有效記錄操作人員的考勤情況，防止設(shè)備應(yīng)無人查看而發(fā)生事故，并能增強(qiáng)設(shè)備及周邊防盜能力。發(fā)生異常時遠(yuǎn)程電腦19和手機(jī)1可以立刻得到信息。本實用新型的遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)還能夠提供給MOCVD制造商的技術(shù)人員進(jìn)行遠(yuǎn)程維護(hù)和故障排除，隨時提供技術(shù)支持，以便于生產(chǎn)效率的良好保證和減少設(shè)備故障時間和機(jī)率。此外，本實用新型的遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)多人同時監(jiān)控，減少操作失誤和故障損失。各種突發(fā)狀況和運行參數(shù)被記錄于工控電腦17和遠(yuǎn)程電腦19中，以便于日后分析處理，實現(xiàn)大數(shù)據(jù)的采集。

以上所述之實施例子只為本實用新型之較佳實施例，并非以此限制本實用新型的實施范圍，故凡依本實用新型之形狀、原理所作的變化，均應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。