本實用新型屬于光機電裝備領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

平行光光刻機是采用平行光光刻法(又稱光刻法)來實現(xiàn)印刷電路板(PCB)成像的設(shè)備，其光刻精度(工件臺與底片對位精度)決定PCB產(chǎn)品的線寬和線距精度，因而決定電子產(chǎn)品的電路集成度和大小。

光刻機主要由精密工件臺系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、環(huán)控系統(tǒng)、機架系統(tǒng)、輸送系統(tǒng)等組成。影響平行光光刻機精度的主要因素是精密工件臺的傳動機構(gòu)和環(huán)境溫度的干擾。由于光刻機的平行光系統(tǒng)采用大功率光源，在光刻過程中產(chǎn)生大量的熱量，這將引起光刻室內(nèi)空氣溫度升高，導(dǎo)致精密工件臺結(jié)構(gòu)熱變形，嚴重影響光刻機的光刻精度。因此，對光刻機光刻室內(nèi)空氣的溫度進行恒溫精確控制具有重要的工程實際意義。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種光刻機的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可保證光刻機的光刻精度。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種光刻機的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括水泵、風(fēng)機、熱交換器、過濾器、溫度傳感器和控制器，風(fēng)機設(shè)于光刻機的熱交換室的入口處，熱交換器設(shè)于光刻機的熱交換室內(nèi)，熱交換器的進水端通過伸出熱交換室的管道連接至水泵，過濾器設(shè)于光刻機的光刻室的入口處，光刻室與熱交換室相鄰，光刻室的入口與熱交換室的入口相對，溫度傳感器設(shè)于光刻室內(nèi)，溫度傳感器連接至控制器。

作為本實用新型的進一步改進，還包括水泵變頻器，水泵與水泵變頻器連接，水泵變頻器和控制器連接。

作為本實用新型的進一步改進，還包括風(fēng)機變頻器，風(fēng)機與風(fēng)機變頻器連接，風(fēng)機變頻器和控制器連接。

作為本實用新型的進一步改進，所述熱交換器由多個V字形結(jié)構(gòu)并列并依次連接而成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的光刻機的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)的有益效果如下：

1)采用變頻調(diào)速方式分別調(diào)節(jié)水泵的輸水量和風(fēng)機的送風(fēng)量，便于實現(xiàn)光刻室溫度的恒溫控制。

2)采用溫度傳感器檢測光刻室內(nèi)空氣溫度，構(gòu)成溫度閉環(huán)控制系統(tǒng)，可提高在水源溫度、空氣溫度變化等干擾下的恒溫控制精度。

3)采用數(shù)字控制器通過軟件編程實現(xiàn)溫度控制策略，可提高熱滯后系統(tǒng)的恒溫控制精度。

4)采用水泵輸送冷水、風(fēng)機抽取空氣的技術(shù)方案，工程上易于實現(xiàn)。

5)采用過濾器濾除空氣中雜質(zhì)，可確保光刻室內(nèi)空氣的清潔度。

通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實用新型的實施例。

附圖說明

圖1為本實用新型的光刻機的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)的示意圖。

具體實施方式

現(xiàn)在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。

請參考圖1，所述的光刻機的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括水泵1、水泵變頻器2、風(fēng)機3、風(fēng)機變頻器4、熱交換器5、過濾器6、溫度傳感器7和控制器8，水泵1與水泵變頻器2連接，風(fēng)機3與風(fēng)機變頻器4連接，風(fēng)機3設(shè)于光刻機的熱交換室a的入口處，熱交換器5設(shè)于光刻機的熱交換室a內(nèi)，熱交換器5的進水端通過伸出熱交換室a的管道連接至水泵1，過濾器6設(shè)于光刻機的光刻室b的入口處，光刻室b與熱交換室a相鄰，光刻室b的入口與熱交換室a的入口相對，溫度傳感器7設(shè)于光刻室b內(nèi)，水泵變頻器2、風(fēng)機變頻器4和溫度傳感器7均連接至控制器8。

其中，上述的水泵1是將恒壓水源的冷水傳送給熱交換器5的輸水裝置。上述的風(fēng)機3是將空氣抽入光刻室b內(nèi)的通風(fēng)裝置。上述的變頻器是通過改變電機工作電源頻率來控制電機轉(zhuǎn)速的裝置。上述的熱交換器5是使冷水與空氣進行熱交換的裝置。上述的溫度傳感器7是檢測光刻室b內(nèi)空氣溫度的裝置。上述的控制器8是實現(xiàn)溫度控制運算并輸出控制電壓信號的裝置。

水泵1將恒壓水源的冷水送入交換室內(nèi)的熱交換器5后從出水口流出。空氣經(jīng)風(fēng)機2抽入熱交換室a，與熱交換器5內(nèi)冷水進行熱交換后，經(jīng)過濾器6進入光刻室。光刻室b內(nèi)空氣溫度由溫度傳感器7檢測后送入控制器8?？刂破?經(jīng)過控制運算后，分別輸出控制電壓信號給水泵變頻器2和風(fēng)機變頻器4，調(diào)節(jié)電機的工作電源頻率，進而控制水泵和風(fēng)機的輸水量和送風(fēng)量。

當光刻室內(nèi)空氣溫度高于溫度設(shè)定值時，控制器8輸出的控制電壓信號增大，水泵變頻器2和風(fēng)機變頻器4輸出的電機工作電源頻率增大，水泵1和風(fēng)機3的輸水量和送風(fēng)量增大，熱交換器5內(nèi)外的冷水流量和空氣流量增大，水與空氣的熱交換速率增高，使光刻室b內(nèi)空氣溫度下降，直至恢復(fù)到設(shè)定的溫度。當光刻室b內(nèi)空氣溫度低于溫度設(shè)定值時，控制器8輸出的控制電壓信號減小，水泵變頻器2和風(fēng)機變頻器4輸出的電機工作電源頻率減小，熱交換器5內(nèi)外的冷水流量和空氣流量減小，與空氣的熱交換速率降低，使光刻室b內(nèi)空氣溫度增高，直至恢復(fù)到設(shè)定的溫度。

以上結(jié)合最佳實施例對本實用新型進行了描述，但本實用新型并不局限于以上揭示的實施例，而應(yīng)當涵蓋各種根據(jù)本實用新型的本質(zhì)進行的修改、等效組合。