技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種射頻阻抗自動匹配裝置包括，第一可調(diào)電容器、第二可調(diào)電容器、第一可調(diào)電容器位置信號變送器、第二可調(diào)電容器位置信號變送器、單片機(jī)、第一可調(diào)電容器驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第二可調(diào)電容器驅(qū)動機(jī)構(gòu)和偏壓計(jì)，其中，第一、第二可調(diào)電容器的輸出端分別與第一、第二可調(diào)電容器位置信號變送器的輸入端連接，第一、第二可調(diào)電容位置信號變送器的輸出端分別與單片機(jī)的輸入端連接，單片機(jī)的輸出端分別與第一、第二可調(diào)電容器驅(qū)動機(jī)構(gòu)的輸入端連接，第一、第二可調(diào)電容器驅(qū)動機(jī)構(gòu)的輸出端分別與第一、第二可調(diào)電容器的輸入端連接，偏壓計(jì)的輸入端與第一、第二可調(diào)電容器的輸出端連接，偏壓計(jì)的輸出端與所述單片機(jī)的輸入端連接。

技術(shù)研發(fā)人員：王佳;許開東;陳璐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇魯汶儀器有限公司
文檔號碼：201621144624
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.20
技術(shù)公布日：2017.05.24