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      工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法

      文檔序號(hào):8430085閱讀:323來源:國(guó)知局
      工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品工藝管控體系技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及以產(chǎn)品的成熟度作為工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]半導(dǎo)體的工藝流程及其復(fù)雜,變更各種參數(shù)對(duì)制程影響的范圍較大,一個(gè)錯(cuò)誤的變更很可能會(huì)影響產(chǎn)品的良率,導(dǎo)致生產(chǎn)效率的低下,降低客戶滿意度。因此,工藝變更需要通過完整的體系和系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行控制和評(píng)測(cè)。
      [0003]由于集成電路不斷發(fā)展,產(chǎn)品不斷更新?lián)Q代,F(xiàn)ab (工廠)經(jīng)常會(huì)研發(fā)生產(chǎn)很多新產(chǎn)品。由于制造的過程相當(dāng)復(fù)雜,一個(gè)新的產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中會(huì)頻繁發(fā)生工程變更,從而不斷的改善制程,達(dá)到提升良率及生產(chǎn)效率的目的,使產(chǎn)品逐漸成熟。
      [0004]產(chǎn)品初期研發(fā)的工藝變更需要完整的體系和系統(tǒng)控制,否則會(huì)導(dǎo)致研發(fā)生產(chǎn)周期變長(zhǎng)。產(chǎn)品初期的工藝變更具有影響小,頻率高的特點(diǎn),需要通過不斷的工程試驗(yàn),調(diào)整參數(shù),及時(shí)找出工藝流程中存在的問題,通過工藝變更不斷的使得工藝流程符合標(biāo)準(zhǔn)。穩(wěn)定成熟的產(chǎn)品工藝變更具有影響大,頻率低的特點(diǎn)。因此,需要找到有效的工藝變更的臨界點(diǎn),不僅能夠提聞效率又能有效控制風(fēng)險(xiǎn)。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]本發(fā)明的目的在于,提供一種工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法,以改善生產(chǎn)效率,降低風(fēng)險(xiǎn)。
      [0006]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng),包括:
      [0007]產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng),集成系統(tǒng)及客戶端;所述產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng)作為產(chǎn)品成熟度的信息知識(shí)庫(kù),維護(hù)在生產(chǎn)線上生產(chǎn)的產(chǎn)品,并定義產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài);所述客戶端通過集成系統(tǒng)與所述產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng)互通。
      [0008]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng),所述產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài)包括:
      [0009]產(chǎn)生狀態(tài),表示新的產(chǎn)品,未達(dá)到工藝變更系統(tǒng)化的臨界點(diǎn);
      [0010]凍結(jié)狀態(tài),表示成熟產(chǎn)品,達(dá)到工藝變更系統(tǒng)化的臨界點(diǎn);
      [0011]解凍狀態(tài),表示將成熟產(chǎn)品返回到工藝變更且不用系統(tǒng)化。
      [0012]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng),所述客戶端包括報(bào)表系統(tǒng),制造執(zhí)行系統(tǒng)及工藝變更需求系統(tǒng)。
      [0013]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng),所述集成系統(tǒng)定期從報(bào)表系統(tǒng)獲得各個(gè)產(chǎn)品的當(dāng)日的批數(shù)量,統(tǒng)計(jì)該產(chǎn)品的總產(chǎn)量,并更新信息知識(shí)庫(kù)。
      [0014]本發(fā)明提供一種工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,包括;
      [0015]利用集成系統(tǒng)從客戶端獲取信息,在產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng)中設(shè)置相關(guān)產(chǎn)品的產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài),并將設(shè)置產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài)后的產(chǎn)品信息傳遞至客戶端。
      [0016]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài)包括:
      [0017]產(chǎn)生狀態(tài),表示新的產(chǎn)品,未達(dá)到工藝變更系統(tǒng)化的臨界點(diǎn);
      [0018]凍結(jié)狀態(tài),表示成熟產(chǎn)品,達(dá)到工藝變更系統(tǒng)化的臨界點(diǎn);
      [0019]解凍狀態(tài),表示將成熟產(chǎn)品返回到工藝變更且不用系統(tǒng)化。
      [0020]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,所述客戶端包括報(bào)表系統(tǒng),所述集成系統(tǒng)從報(bào)表系統(tǒng)獲取產(chǎn)品信息,當(dāng)產(chǎn)品達(dá)到設(shè)定規(guī)格時(shí),設(shè)置為凍結(jié)狀態(tài)。
      [0021]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,所述客戶端還包括制造執(zhí)行系統(tǒng),所述集成系統(tǒng)將產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài)傳遞至制造執(zhí)行系統(tǒng),進(jìn)行自動(dòng)化的處理。
      [0022]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,所述客戶端還包括工藝變更需求系統(tǒng),所述集成系統(tǒng)將產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài)傳遞至工藝變更需求系統(tǒng),以決定產(chǎn)品的工程變更流程管控。
      [0023]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,若設(shè)置為凍結(jié)狀態(tài),則之后該產(chǎn)品的工程變更需要通過FECP的系統(tǒng)流程管控。
      [0024]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,對(duì)于設(shè)置為凍結(jié)狀態(tài)的產(chǎn)品,能夠根據(jù)工藝需求而被設(shè)置為解凍狀態(tài)。
      [0025]可選的,對(duì)于所述的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法,所述解凍狀態(tài)存在一解凍期限,設(shè)置為解凍狀態(tài)的產(chǎn)品在該解凍期限內(nèi)回歸凍結(jié)狀態(tài)。
      [0026]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法中,通過廣品成熟?目息系統(tǒng)對(duì)廣品的成熟度定義等級(jí)狀態(tài),使得客戶端能夠得知相關(guān)廣品的等級(jí)狀態(tài),從而找到有效的工藝變更的臨界點(diǎn);
      [0027]進(jìn)一步的,所述客戶端還包括制造執(zhí)行系統(tǒng),所述集成系統(tǒng)將產(chǎn)品成熟度的狀態(tài)傳遞至制造執(zhí)行系統(tǒng),從而進(jìn)行自動(dòng)化的處理,提高了生產(chǎn)效率;
      [0028]進(jìn)一步的,所述客戶端還包括工藝變更需求系統(tǒng),所述集成系統(tǒng)將產(chǎn)品成熟度的狀態(tài)傳遞至工藝變更需求系統(tǒng),以決定產(chǎn)品的工程變更流程管控,從而有效的控制了風(fēng)險(xiǎn)。
      【附圖說明】
      [0029]圖1為本發(fā)明中工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)的方塊圖;
      [0030]圖2為本發(fā)明中工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法的流程圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0031]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述,其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例,應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明,而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此,下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道,而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
      [0032]為了清楚,不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中,不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu),因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中,必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo),例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制,由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外,應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的,但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
      [0033]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例,僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
      [0034]本發(fā)明的核心思想在于,提供一種工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法,所述工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)包括:產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng),集成系統(tǒng)及客戶端;所述產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng)作為產(chǎn)品成熟度的信息知識(shí)庫(kù),維護(hù)在生產(chǎn)線上生產(chǎn)的產(chǎn)品,并定義產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài);所述客戶端通過集成系統(tǒng)與所述產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng)互通。所述工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)方法包括:利用集成系統(tǒng)從客戶端獲取信息,在產(chǎn)品成熟信息系統(tǒng)中設(shè)置相關(guān)產(chǎn)品的產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài),并將設(shè)置產(chǎn)品成熟度的等級(jí)狀態(tài)后的產(chǎn)品信息傳遞至客戶端。
      [0035]以下列舉所述工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)及確認(rèn)方法的較優(yōu)實(shí)施例,以清楚說明本發(fā)明的內(nèi)容,應(yīng)當(dāng)明確的是,本發(fā)明的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例,其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本發(fā)明的思想范圍之內(nèi)。
      [0036]基于上述思想,下面提供工程變更臨界點(diǎn)的確認(rèn)系統(tǒng)
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