實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0048] 本發(fā)明實(shí)施例的工藝加工氣路流量控制的方法，如圖1所示，包括以下步驟：
[0049] S100,根據(jù)工藝表單中當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的流量值、設(shè)置溫度值、流量升降 時(shí)間及溫度升降時(shí)間，計(jì)算每路氣體的流量斜率及溫度調(diào)節(jié)速率。
[0050] S200,根據(jù)所述溫度調(diào)節(jié)速率控制調(diào)節(jié)當(dāng)前工藝步驟的工藝腔室的溫度。
[0051] S300,根據(jù)所述每路氣體的流量斜率控制調(diào)節(jié)當(dāng)前工藝步驟的各路氣體的流量。
[0052] 本發(fā)明實(shí)施例中，修改傳統(tǒng)工藝表單模板中增加溫度升降時(shí)間（TempRamp)和流 量升降時(shí)間（MFCRampTime)配置參數(shù)。在編輯工藝表單時(shí)，在對(duì)工藝表單中的傳統(tǒng)參數(shù)，如 每路氣體的氣體流量，工藝加工時(shí)間等進(jìn)行設(shè)置的同時(shí)，設(shè)置所述的溫度升降時(shí)間及流量 升降時(shí)間。使在進(jìn)行工藝加工步驟切換時(shí)，在溫度升降時(shí)間范圍內(nèi)通過溫控器對(duì)溫度進(jìn)行 控制調(diào)節(jié)；在流量升降時(shí)間內(nèi)使每路氣體的流量從上一工藝步驟的流量調(diào)整為當(dāng)前工藝步 驟的氣體流量。
[0053] 本發(fā)明實(shí)施例中每路氣體的氣體流量調(diào)節(jié)按照計(jì)算的流量斜率逐步進(jìn)行調(diào)節(jié)，溫 度通過計(jì)算的溫度調(diào)節(jié)速率相對(duì)緩慢的變化。相對(duì)于傳統(tǒng)技術(shù)中直接將流量控制器開到當(dāng) 前工藝步驟要求的氣體流量，及迅速的溫度控制，本發(fā)明實(shí)施例的工藝加工氣路流量控制 的方法氣路流量的調(diào)節(jié)及溫度的調(diào)節(jié)控制都更加靈活，同時(shí)可提高工藝的穩(wěn)定性。
[0054] 在其中一個(gè)工藝加工氣路流量控制的方法的實(shí)施例中，步驟S100,根據(jù)工藝表單 中當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的流量值、設(shè)置溫度值、流量升降時(shí)間及溫度升降時(shí)間，計(jì)算每 路氣體的流量斜率及溫度調(diào)節(jié)速率，包括以下步驟：
[0055] S110,讀取所述工藝表單中當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的流量值L1、設(shè)置溫度值1\、 流量升降時(shí)間Tl1及溫度升降時(shí)間Tt1。在工藝加工開始時(shí)，首先讀取工藝表單中的各參數(shù) 值。本發(fā)明實(shí)施例中，每一工藝加工步驟開始時(shí)需要使用當(dāng)前工藝步驟的各參數(shù)值及前一 工藝步驟的各參數(shù)值。
[0056] S120,讀取所述工藝表單中前一工藝步驟的每路氣體的流量值L。及設(shè)置溫度值 TO。
[0057] S130,根據(jù)公式，流量斜率=(當(dāng)前工藝步驟的氣體流量值-前一工藝步驟的氣體 流量值）/流量升降時(shí)間，得到當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的流量斜率
量升降時(shí)間可根據(jù)實(shí)際工藝加工情況及兩個(gè)工藝加工步驟之間的流量變化情況在編輯工 藝表單時(shí)進(jìn)行設(shè)置，如可設(shè)置為5S等。如此設(shè)置流量控制調(diào)節(jié)的時(shí)間可控制流量逐步變 換，避免流量的突然增大造成工藝腔室中的壓力變化過大影響工藝加工穩(wěn)定性。
[0058] S140,根據(jù)公式，溫度調(diào)節(jié)速率=(當(dāng)前工藝步驟的設(shè)置溫度值-前一工藝步驟的 設(shè)置溫度值）/溫度升降時(shí)間，得到當(dāng)前工藝步驟的溫度調(diào)節(jié)速率
[0059] 此處需要說明的是，在執(zhí)行第一步工藝加工步驟時(shí)，其對(duì)應(yīng)的前一工藝加工步驟 的各參數(shù)值默認(rèn)為0。
[0060] 本發(fā)明實(shí)施例的工藝加工氣路流量控制的方法，結(jié)合前一工藝步驟的各參數(shù)值設(shè) 置當(dāng)前工藝步驟的流量變化速率及溫度變化速度，使工藝腔室中溫度及受氣體流量變化影 響的腔室壓力穩(wěn)定變化，提高工藝的穩(wěn)定性。
[0061] 在其中一個(gè)工藝加工氣路流量控制的方法的實(shí)施例中，步驟S300,根據(jù)所述每路 氣體的流量斜率控制調(diào)節(jié)當(dāng)前工藝步驟的各路氣體的流量，如圖2所示，包括以下步驟：
[0062] S310,設(shè)置初始調(diào)節(jié)時(shí)間Time為0。
[0063]S320,控制當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的氣體流量值為所述調(diào)節(jié)時(shí)間與當(dāng)前工藝步 驟的所述每路氣體的流量斜率的乘積。下發(fā)個(gè)路氣體流量為調(diào)節(jié)時(shí)間與當(dāng)前工藝步驟的每 路氣體的流量斜率的乘積到相應(yīng)的流量控制器。通過所述流量控制器控制通入到工藝腔室 中的各路氣體的氣體流量。
[0064]S330,將所述調(diào)節(jié)時(shí)間增大預(yù)設(shè)時(shí)間，并等待所述預(yù)設(shè)時(shí)間后，返回執(zhí)行控制當(dāng)前 工藝步驟的每路氣體的氣體流量值的步驟，直至所述調(diào)節(jié)時(shí)間達(dá)到當(dāng)前工藝步驟的所述流 量升降時(shí)間。
[0065]本發(fā)明實(shí)施例中，通過循環(huán)增大進(jìn)行氣體流量調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)時(shí)間，使流量調(diào)節(jié)的時(shí) 間間隔得到明確控制，控制更加準(zhǔn)確。同時(shí)流量控制的總時(shí)間受到工藝表單中參數(shù)設(shè)置的 限制，流量調(diào)整的總時(shí)間不變，如此更加靈活的控制氣路流量。
[0066] 在其中一個(gè)工藝加工氣路流量控制的方法，所述預(yù)設(shè)時(shí)間為1秒。每路氣體的流 量間隔IS進(jìn)行一次調(diào)整。在其他實(shí)施例中也可設(shè)置為2秒，此時(shí)氣路流量的調(diào)整間隔變大。 [0067]在其中一個(gè)工藝加工氣路流量控制的方法的實(shí)施例中，還包括以下步驟：
[0068]S400,當(dāng)前工藝步驟的所述流量升降時(shí)間到達(dá)后，根據(jù)工藝表單中的工藝加工時(shí) 間進(jìn)行工藝加工，并在完成當(dāng)前工藝步驟的工藝加工后，返回計(jì)算下一工藝步驟的每路氣 體的流量斜率及溫度調(diào)節(jié)速率。
[0069]如圖2所示，流量調(diào)整結(jié)束后，進(jìn)行工藝加工，工藝完成后將工藝步數(shù)參數(shù)StepNum增大1進(jìn)行下一工藝步驟，直至完成工藝表單中的所有工藝加工步驟，即工藝步數(shù) StepNum大于工藝總步數(shù)TotalNum。工藝總步數(shù)為工藝表單中要進(jìn)行工藝加工的步驟總 和。工藝加工從第一工藝步驟開始。
[0070] 基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例提供一種工藝加工氣路流量控制的系統(tǒng)，由于 此系統(tǒng)解決問題的原理與前述一種工藝加工氣路流量控制的方法相似，因此，該系統(tǒng)的實(shí) 施可以按照前述方法的具體步驟實(shí)現(xiàn)，重復(fù)之處不再贅述。
[0071] 本發(fā)明實(shí)施例的工藝加工氣路流量控制的系統(tǒng)，如圖3所示，包括控制速率計(jì)算 模塊1〇〇,溫度控制模塊200,以及流量控制模塊300。其中：所述控制速率計(jì)算模塊100,用 于根據(jù)工藝表單中當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的流量值、設(shè)置溫度值、流量升降時(shí)間及溫度 升降時(shí)間，計(jì)算每路氣體的流量斜率及溫度調(diào)節(jié)速率；所述溫度控制模塊200,用于根據(jù)所 述溫度調(diào)節(jié)速率控制調(diào)節(jié)當(dāng)前工藝步驟的工藝腔室的溫度；所述流量控制模塊300,用于 根據(jù)所述每路氣體的流量斜率控制調(diào)節(jié)當(dāng)前工藝步驟的各路氣體的流量。
[0072] 本發(fā)明實(shí)施例中，修改傳統(tǒng)工藝表單模板中增加溫度升降時(shí)間（TempRamp)和流 量升降時(shí)間（MFCRampTime)配置參數(shù)。在編輯工藝表單時(shí)，在對(duì)工藝表單中的傳統(tǒng)參數(shù)，如 每路氣體的氣體流量，工藝加工時(shí)間等進(jìn)行設(shè)置的同時(shí)，設(shè)置所述的溫度升降時(shí)間及流量 升降時(shí)間。使在進(jìn)行工藝加工步驟切換時(shí)，在溫度升降時(shí)間范圍內(nèi)通過溫控器對(duì)溫度進(jìn)行 控制調(diào)節(jié)；在流量升降時(shí)間內(nèi)使每路氣體的流量從上一工藝步驟的流量調(diào)整為當(dāng)前工藝步 驟的氣體流量。
[0073] 本發(fā)明實(shí)施例中每路氣體的氣體流量調(diào)節(jié)按照計(jì)算的流量斜率逐步進(jìn)行調(diào)節(jié)，溫 度通過計(jì)算的溫度調(diào)節(jié)速率相對(duì)緩慢的變化。相對(duì)于傳統(tǒng)技術(shù)中直接將流量控制器開到當(dāng) 前工藝步驟要求的氣體流量，及迅速的溫度控制，本發(fā)明實(shí)施例的工藝加工氣路流量控制 的系統(tǒng)氣路流量的調(diào)節(jié)及溫度的調(diào)節(jié)控制都更加靈活，同時(shí)可提高工藝的穩(wěn)定性。
[0074] 在其中一個(gè)工藝加工氣路流量控制的系統(tǒng)的實(shí)施例中，所述控制速率計(jì)算模塊 100包括當(dāng)前步驟參數(shù)讀取子模塊110,前一步驟參數(shù)讀取子模塊120,流量斜率計(jì)算子模 塊130,以及溫度速率計(jì)算子模塊140。其中：所述當(dāng)前步驟參數(shù)讀取子模塊110,用于讀取 所述工藝表單中當(dāng)前工藝步驟的每路氣體的流量值L1、設(shè)置溫度值T1、流量升降時(shí)間Tl1及 溫度升降時(shí)間Tt1 ;所述前一步驟參數(shù)讀取子模塊120,用于讀取所述工藝表單中前一工藝 步驟的每路氣體的流量值L。及設(shè)置溫度值T。；所述流量斜率計(jì)算子模塊130,用于根據(jù)公 式，流量斜率=(當(dāng)前工藝