一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控方法及系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)氣相淀積(Chemical Vapor Deposit1n,以下簡(jiǎn)稱CVD)設(shè)備是利用不同氣體在一定壓強(qiáng)、溫度條件的相互反應(yīng)來(lái)制備外延薄膜層，且集成了精密機(jī)械、電子、物理、光學(xué)、化學(xué)和計(jì)算機(jī)控制等學(xué)科的綜合設(shè)備。由于CVD設(shè)備的控制信號(hào)量大、工藝步驟復(fù)雜、工藝溫度高以及同時(shí)需要使用危險(xiǎn)氣體，因而CVD設(shè)備需要很高的控制要求，以實(shí)現(xiàn)CVD設(shè)備的安全性。
[0003]為此，該CVD設(shè)備的控制系統(tǒng)往往需要對(duì)多個(gè)監(jiān)控量進(jìn)行監(jiān)控，且每個(gè)監(jiān)控量對(duì)應(yīng)一種報(bào)警，當(dāng)每個(gè)監(jiān)控量滿足報(bào)警條件時(shí)拋出與之對(duì)應(yīng)的報(bào)警，以通知操作人員。具體地，控制系統(tǒng)采用“上位機(jī)+PLC”的控制方式，上位機(jī)和PLC通過(guò)Ethernet或者DeviceNet實(shí)現(xiàn)，請(qǐng)一并參閱圖1和圖2，其中，PLC采用循環(huán)掃描的工作方式掃描多個(gè)監(jiān)控量，對(duì)當(dāng)前監(jiān)控量的bool值賦值，具體地，判斷當(dāng)前監(jiān)控量是否滿足與之對(duì)應(yīng)的報(bào)警條件，若是，PLC對(duì)該監(jiān)控量的bool值賦值為true ( “ 1”)，若否，PLC對(duì)該監(jiān)控量的bool值賦值為false(“0”)；判斷當(dāng)前監(jiān)控量的bool值是否為true，若是，PLC發(fā)出一系列安全操作，以使CVD設(shè)備處于安全狀態(tài)，安全操作包括關(guān)閉閥門(mén)、關(guān)閉加熱器或者停止工藝氣體進(jìn)氣等，若否，PLC繼續(xù)掃描工作，且繼續(xù)對(duì)每個(gè)監(jiān)控量的bool值賦值；上位機(jī)啟動(dòng)獨(dú)立的線程不斷地讀取PLC當(dāng)前監(jiān)控量的bool值，并判斷bool值是否為true，若否，則繼續(xù)查詢；若是，拋出與當(dāng)前監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的報(bào)警；判斷報(bào)警是否已經(jīng)拋出，若是，上位機(jī)繼續(xù)讀??；若否，拋出報(bào)警，告知操作人員；操作人員進(jìn)行恢復(fù)操作來(lái)消除報(bào)警，進(jìn)而解決設(shè)備的異常狀態(tài)，避免危險(xiǎn)的發(fā)生。
[0004]然而，采用上述CVD設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中不可避免地會(huì)存在以下技術(shù)問(wèn)題:由于上位機(jī)和PLC之間通訊具有一定的通訊周期，即，上位機(jī)每間隔該通訊周期與PLC進(jìn)行通訊，假使在通訊周期內(nèi)某一個(gè)監(jiān)控量的bool值由true變?yōu)閒alse,在這種情況下，PLC在判斷bool值為true時(shí)會(huì)發(fā)出一系列安全操作,但是，由于bool值的變化時(shí)間小于通訊周期，因此，在上述情況下上位機(jī)不能查詢到bool值為true的情況，因此，在瞬間偶發(fā)的監(jiān)控量變化造成該監(jiān)控量的bool值的變化時(shí)間小于通訊周期的情況下，上位機(jī)無(wú)法準(zhǔn)確、及時(shí)地獲知CVD設(shè)備的當(dāng)前狀態(tài)，從而造成操作人員無(wú)法正常使用該CVD設(shè)備；而如果縮短上位機(jī)和PLC之間的通訊周期，這會(huì)在很大程度上增加上位機(jī)和PLC的通訊量，因而會(huì)增大上位機(jī)系統(tǒng)的開(kāi)銷(xiāo)，容易導(dǎo)致上位機(jī)系統(tǒng)發(fā)生死鎖甚至崩潰造成無(wú)法接受新的命令，從而降低了 CVD設(shè)備的穩(wěn)定性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一，提出了一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控方法及系統(tǒng)，可以使得上位機(jī)在瞬間偶發(fā)的監(jiān)控量變化造成該監(jiān)控量的bool值的變化時(shí)間小于通訊周期的情況下，可以準(zhǔn)確、及時(shí)地獲知半導(dǎo)體加工設(shè)備的偶發(fā)報(bào)警情況，從而可以增加半導(dǎo)體加工設(shè)備的安全性和可維護(hù)性；而且不需要縮短上位機(jī)和控制器之間的通訊周期，因而不會(huì)增加上位機(jī)和控制器的通訊量，從而不會(huì)增加上位機(jī)系統(tǒng)的開(kāi)銷(xiāo)。
[0006]為解決上述問(wèn)題之一，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控方法，所述半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控方法采用監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，所述監(jiān)控系統(tǒng)包括上位機(jī)和控制器，所述控制器預(yù)設(shè)有多個(gè)地址用于分別存儲(chǔ)與多個(gè)監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool值；所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值與報(bào)警一一對(duì)應(yīng)；所述監(jiān)控方法包括以下步驟:
[0007]步驟S1，所述控制器依次掃描多個(gè)所述監(jiān)控量，并判斷當(dāng)前監(jiān)控量是否滿足報(bào)警條件，若是，則進(jìn)入步驟S2 ;若否，則進(jìn)入步驟S3 ；
[0008]步驟S2,當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值賦值為true,則存儲(chǔ)與當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值為1，并發(fā)出安全操作，然后進(jìn)入步驟S4 ；
[0009]步驟S3，當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值賦值為false，則存儲(chǔ)與當(dāng)前所述監(jiān)控量對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值保持不變，然后進(jìn)入步驟S4 ；
[0010]步驟S4，所述上位機(jī)讀取所述控制器存儲(chǔ)的當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值；
[0011 ] 步驟S5，所述上位機(jī)判斷當(dāng)前所述邏輯監(jiān)控量的bool值是否為1，若是，則進(jìn)入步驟S6 ；
[0012]步驟S6，所述上位機(jī)拋出與當(dāng)前所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的報(bào)警。
[0013]具體地，所述控制器還設(shè)置有與所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的ClearPLCAlarmDO,所述監(jiān)控方法還包括以下步驟:
[0014]步驟S7，所述上位機(jī)判斷操作人員是否處理所述報(bào)警，若是，則進(jìn)入步驟S8 ；
[0015]步驟S8，所述上位機(jī)將與當(dāng)前所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的所述 ClearPLCAlarmDO 設(shè)為 1 ;
[0016]步驟S9，所述控制器根據(jù)所述ClearPLCAlarmDO為1存儲(chǔ)與之對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值為0。
[0017]具體地，所述報(bào)警包括報(bào)警編號(hào)和與所述報(bào)警編號(hào)一一對(duì)應(yīng)的報(bào)警信息。
[0018]具體地，所述控制器采用循環(huán)掃描的方式依次掃描多個(gè)所述監(jiān)控量。
[0019]具體地，所述控制器包括PLC。
[0020]本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)，包括上位機(jī)和控制器，所述控制器預(yù)設(shè)有多個(gè)地址用于分別存儲(chǔ)與多個(gè)監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool值；并且，所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值與報(bào)警一一對(duì)應(yīng)；所述控制器被設(shè)置為:依次掃描多個(gè)所述監(jiān)控量，一旦判斷當(dāng)前監(jiān)控量滿足報(bào)警條件，則當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值賦值為true，并存儲(chǔ)與當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值為1，發(fā)出安全操作；一旦判斷當(dāng)前監(jiān)控量不滿足報(bào)警條件，則當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值賦值為false,并存儲(chǔ)與當(dāng)前所述監(jiān)控量對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值保持不變；所述上位機(jī)被設(shè)置為:一旦讀取所述控制器存儲(chǔ)的當(dāng)前所述監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的所述邏輯監(jiān)控量的bool值為1，則拋出與當(dāng)前所述監(jiān)控量或邏輯監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的報(bào)警。
[0021]具體地，所述控制器還設(shè)置有與所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的ClearPLCAlarmDO，所述上位機(jī)還被設(shè)置為:一旦判斷操作人員處理所述報(bào)警，則將與當(dāng)前所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的ClearPLCAlarmDO設(shè)為1 ;所述控制器設(shè)置為:一旦與當(dāng)前所述監(jiān)控量或所述邏輯監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的ClearPLCAlarmDO值設(shè)為1，則存儲(chǔ)當(dāng)前所述邏輯監(jiān)控量的bool值為0。
[0022]具體地，所述報(bào)警包括報(bào)警編號(hào)和與所述報(bào)警編號(hào)一一對(duì)應(yīng)的報(bào)警信息。
[0023]具體地，所述控制器采用循環(huán)掃描的方式依次掃描多個(gè)所述監(jiān)控量。
[0024]具體地，所述控制器包括PLC。
[0025]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0026]本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備的監(jiān)控方法，其在控制器內(nèi)預(yù)設(shè)有多個(gè)地址用于分別存儲(chǔ)與多個(gè)監(jiān)控量的bool值一一對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool值，并當(dāng)判斷當(dāng)前監(jiān)控量滿足報(bào)警條件時(shí)，當(dāng)前監(jiān)控量的bool值賦值為true，存儲(chǔ)與當(dāng)前監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的邏輯邏輯監(jiān)控量的bool為1，并發(fā)出安全操作；以及當(dāng)判斷當(dāng)前監(jiān)控量不滿足不報(bào)警條件時(shí)，當(dāng)前監(jiān)控量的bool值賦值為true，存儲(chǔ)與當(dāng)前監(jiān)控量的bool對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool保持不變；上位機(jī)讀取控制存儲(chǔ)的當(dāng)前監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool，并當(dāng)該當(dāng)前邏輯監(jiān)控量的bool為1時(shí)，拋出與當(dāng)前邏輯監(jiān)控量的bool (或者當(dāng)前監(jiān)控量)一一對(duì)應(yīng)的報(bào)警，在上述情況下，若在上位機(jī)和控制器的通訊周期內(nèi)，某一個(gè)監(jiān)控量的bool值由true變?yōu)閒alse，與該監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool會(huì)一直為1，即，該邏輯監(jiān)控量的bool值記錄了在通訊周期內(nèi)監(jiān)控量的bool值由true變?yōu)閒alse,這與現(xiàn)有技術(shù)相比，上位機(jī)通過(guò)讀取當(dāng)前監(jiān)控量的bool值對(duì)應(yīng)的邏輯監(jiān)控量的bool值，就可以查詢到在通訊周期內(nèi)監(jiān)控量的bool值由true變?yōu)閒alse，因而可以使得上