一種排風(fēng)穩(wěn)壓器及其排風(fēng)穩(wěn)壓方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種排風(fēng)穩(wěn)壓器及其排風(fēng)穩(wěn)壓方法，適用于有排風(fēng)需求且對排風(fēng)壓力穩(wěn)定狀態(tài)有較高要求的場合，最典型的應(yīng)用是在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，如勻膠顯影機(jī)臺。
【背景技術(shù)】
[0002]勻膠顯影機(jī)臺的排風(fēng)系統(tǒng)是設(shè)備非常重要的組成部分，其主要功能是排除工藝實現(xiàn)過程中的廢氣與多余熱量，其中對勻膠的工藝效果影響最大。作為生產(chǎn)型設(shè)備，勻膠顯影機(jī)臺的工藝一致性是其重要的性能指標(biāo)，因此排風(fēng)系統(tǒng)工作狀態(tài)的穩(wěn)定性就變得尤為重要！
[0003]相對于設(shè)備的其他部分，排風(fēng)系統(tǒng)受到廠務(wù)供給的影響較大，最直接的表現(xiàn)就是廠務(wù)排風(fēng)壓力的不穩(wěn)定。如果廠務(wù)欠壓，設(shè)備內(nèi)多余熱量排不出去；如果廠務(wù)壓力的過量升高，則會導(dǎo)致勻膠過程中膠膜偏厚；種種后果不一而足！因此有必要在設(shè)備與廠務(wù)之間增添一個裝置，在廠務(wù)不論欠壓還是過壓的情況下都能夠保證設(shè)備排風(fēng)壓力處于一個穩(wěn)定的狀態(tài)，這個裝置就是排風(fēng)穩(wěn)壓器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決廠務(wù)欠壓或過壓兩種情形造成的影響，本發(fā)明的目的在于提供一種排風(fēng)穩(wěn)壓器及其排風(fēng)穩(wěn)壓方法。
[0005]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:
[0006]本發(fā)明的排風(fēng)穩(wěn)壓器包括主管道、步進(jìn)電機(jī)、閥板、閥板安裝塊、控制電路板、風(fēng)扇及壓力傳感器，其中主管道串聯(lián)在廠務(wù)端與需要排風(fēng)的設(shè)備端之間，在所述主管道上設(shè)有閥板安裝塊；所述主管道靠近廠務(wù)端的一端內(nèi)設(shè)有風(fēng)扇，靠近設(shè)備端的另一端設(shè)有測量孔接頭，所述壓力傳感器安裝在該測量孔接頭的上方；所述閥板安裝塊上安裝有步進(jìn)電機(jī)，該步進(jìn)電機(jī)的輸出端與位于所述閥板安裝塊內(nèi)的閥板相連接，所述閥板通過步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動旋轉(zhuǎn)；所述控制電路板安裝在閥板安裝塊上，所述步進(jìn)電機(jī)、風(fēng)扇及壓力傳感器分別與該控制電路板電連接。
[0007]其中:所述主管道分為上游管道及下游管道，該上游管道及下游管道的一端分別與所述閥板安裝塊相連通，另一端均設(shè)有用于連接的法蘭；所述步進(jìn)電機(jī)通過電機(jī)安裝架固定在閥板安裝塊上，該步進(jìn)電機(jī)的輸出端通過聯(lián)軸器與閥板上的閥板軸相連接；
[0008]本發(fā)明排風(fēng)穩(wěn)壓器的排風(fēng)穩(wěn)壓方法為:通過所述壓力傳感器監(jiān)測測量孔接頭處的設(shè)備端的壓力，測得的測量壓力與設(shè)定壓力比較，當(dāng)測量壓力大于設(shè)定壓力、即廠務(wù)端處于欠壓狀態(tài)時，所述控制電路板控制所述風(fēng)扇工作，使設(shè)備端的壓力達(dá)到設(shè)定壓力；當(dāng)測量壓力小于設(shè)定壓力、即廠務(wù)端處于超壓狀態(tài)時，所述控制電路板控制所述步進(jìn)電機(jī)工作，驅(qū)動所述閥板轉(zhuǎn)動，調(diào)整該閥板的開合角度，調(diào)節(jié)設(shè)備端的壓力達(dá)到設(shè)定壓力；所述風(fēng)扇的初始轉(zhuǎn)速為Orpm,所述閥板開合至最大角度；具體步驟為:
[0009]步驟一，開機(jī)自檢:風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速設(shè)為Orpm，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動閥板至開合最大角度；
[0010]步驟二，設(shè)定參數(shù):設(shè)定目標(biāo)排風(fēng)壓力，如果未設(shè)置采用默認(rèn)壓力值或上一次設(shè)定值；
[0011]步驟三，廠務(wù)狀態(tài)檢驗:讀取壓力傳感器的測量值，比較設(shè)定壓力與測量壓力，對比結(jié)果分為以下兩種情況:
[0012]情況A:設(shè)定壓力低于測量壓力:調(diào)整閥板的開合角度，如果閥板開合至最大時，仍然是情況A，則啟動風(fēng)扇轉(zhuǎn)動；提高風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，直至設(shè)定壓力與測量壓力相符；如果風(fēng)扇轉(zhuǎn)至最大轉(zhuǎn)速，仍然是情況A，則發(fā)出報警，停止工作；
[0013]情況B:設(shè)定壓力高于測量壓力:降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，如果風(fēng)扇轉(zhuǎn)速為Orpm,仍然是情況B，則減小閥板的開合角度，直至設(shè)定壓力與測量壓力相符；
[0014]步驟四，中斷:在步驟三完成后等待5秒，之后跳至步驟二，重復(fù)循環(huán)。
[0015]本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:
[0016]1.本發(fā)明的排風(fēng)穩(wěn)壓器結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)性好，通過步進(jìn)電機(jī)調(diào)整閥板的開合角度，及通過調(diào)整風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，在廠務(wù)欠壓或超壓狀態(tài)時，均可以調(diào)節(jié)設(shè)備端排風(fēng)接口壓力到設(shè)定值。
[0017]2.本發(fā)明的排風(fēng)穩(wěn)壓方法操作簡便，快速。
【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0019]圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0020]圖3為圖2的C一C剖視圖；
[0021]圖4為本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖5為本發(fā)明的控制流程圖；
[0023]其中:1為主管道，101為上游管道，102為下游管道，2為步進(jìn)電機(jī)，3為電機(jī)安裝架，4為聯(lián)軸器,5為閥板軸,6為閥板,7為閥板安裝塊,8為控制電路板,9為風(fēng)扇，10為測量孔接頭，11為壓力傳感器。
【具體實施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0025]如圖1?4所示，本發(fā)明的排風(fēng)穩(wěn)壓器包括主管道1、步進(jìn)電機(jī)2、電機(jī)安裝架3、聯(lián)軸器4、閥板軸5、閥板6、閥板安裝塊7、控制電路板8、風(fēng)扇9、測量孔接頭10及壓力傳感器11，其中主管道I串聯(lián)在廠務(wù)端A與需要排風(fēng)的設(shè)備端B之間，在主管道I上連通有閥板安裝塊7 ;本實施例的主管道I分為上游管道101及下游管道102，該上游管道101及下游管道102的一端分別與閥板安裝塊7相連通，另一端均設(shè)有用于連接的法蘭。下游管道102靠近廠務(wù)端A的另一端內(nèi)設(shè)有風(fēng)扇9，該風(fēng)扇9具有反饋轉(zhuǎn)速的功能；上游管道101靠近設(shè)備端B的另一端設(shè)有測量孔接頭10，壓力傳感器11位于該測量孔接頭10的正上方，固定在需要排風(fēng)的設(shè)備主機(jī)架上。
[0026]步進(jìn)電機(jī)2通過電機(jī)安裝架3固定在閥板安裝塊7上，該步進(jìn)電機(jī)2的輸出端通過聯(lián)軸器4與位于閥板安裝塊7內(nèi)的閥板6上的閥板軸5相連接，閥板6通過步進(jìn)電機(jī)2的驅(qū)動可旋轉(zhuǎn)。
[0027]控制電路板8安裝在閥板安裝塊7上，步進(jìn)電機(jī)2、風(fēng)扇9及壓力傳感器11分別與該控制電路板8電連接。
[0028]本發(fā)明排風(fēng)穩(wěn)壓器的排風(fēng)穩(wěn)壓方法為:
[0029]風(fēng)扇9的初始轉(zhuǎn)速為Orpm，閥板6開合至最大角度。通過壓力傳感器11監(jiān)測測量孔接頭