本發(fā)明涉及用于制造單獨編碼的讀結(jié)構(gòu)的裝置、對應方法以及通過該方法制造的讀結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的讀結(jié)構(gòu)尤其用作RFID-芯片的組件。

技術實現(xiàn)要素：
RFID組件變得越來越有價值。與還一直廣為流行的條形碼(條碼)相比，RFID組件的優(yōu)點在于，它們可以以電子方式被讀出而無需直接視線接觸(Sichtkontakt)，并且可以以越來越非常節(jié)省成本的方式與越來越復雜的部件連接。因此例如第一RFID組件是針對進入信號供應應答信號的簡單發(fā)射機應答器。目前，朝如下RFID構(gòu)件的方向發(fā)展，所述RFID構(gòu)件可以沒有電流供應僅通過高頻信號的電磁輻射的感應甚至與其他功能部件一起被操作。這里首先提及可以被編程和讀出的存儲器模塊?，F(xiàn)代RFID組件具有線圈(優(yōu)選平面線圈)、用于將交流電信號轉(zhuǎn)換為直流電的整流器、以及上面提及的功能部件。在前些年中，RFID技術已經(jīng)在工業(yè)中使用，以便標記生產(chǎn)線上的商品。半成品得到RFID“標簽”并且可以在工廠中跟蹤、登記并且控制，直至最終裝配。此外，RFID技術也引入零售店中，其中借助于RFID保護商品免于偷竊。通過越來越微型化，這些組件不但配備有更多功能，還變得越來越小并且同時變得越來越便宜。主要問題之一是所謂的代碼-反射器(共振器)的“編碼”。每個RFID組件具有可以被讀出的自有“號碼”(編碼)。在此，該號碼不是以軟件方式存在于必須被讀出的存儲器中，而是以物理方式在代碼-反射器中編碼。在此，進入的電磁“讀取波”在(平面)線圈中感應供給RFID電路的電流。作為應答信號，共振器“供應”回經(jīng)由天線輻射的經(jīng)編碼模擬和/或數(shù)字信號。共振器簡單來說由線結(jié)構(gòu)組成。通過將線結(jié)構(gòu)設置在特定位置，可以設定共振頻率。問題在于，在晶片上生產(chǎn)更多RFID-芯片或者共振器，以便可以成本低廉地制造多個共振器。當然，每個RFID芯片必須具有自有的“標志”，即，自有的并且首先是獨特的(einzigartig)代碼共振器。當然，可以產(chǎn)生證明該情況合理的掩膜(Maske)，其方式是在每個芯片位置上在掩膜中簡單設置對應的模式。然而每晶片創(chuàng)建一掩膜的花費是不成比例的。因為迄今為止生產(chǎn)“動態(tài)變化的掩膜"一直沒有可能，所以，共振器的生產(chǎn)過程必須與芯片的其他結(jié)構(gòu)分開進行。直到今天將光刻方法應用于制造共振器，其中線結(jié)構(gòu)單個地產(chǎn)生。由于波長與孔徑的比率而成為限制因素的分辨率給出技術問題。結(jié)構(gòu)越小，波長也必須越小，并且光刻設備越復雜，這導致對應成本暴漲。因而，本發(fā)明的任務在于，簡化單獨編碼的讀結(jié)構(gòu)的制造并且因此提供成本低廉的RFID-芯片以供使用。這一任務利用如下所述的方案來解決。本發(fā)明的有利改進方案在下文中給出。由在說明書、權(quán)利要求和/或附圖中給出的至少兩個特征組成的全部組合也落在本發(fā)明的范圍中。對于給出的值域，位于所提及邊界內(nèi)的值也要作為邊界值公開并且在任意組合中能要求權(quán)利。本發(fā)明的基本思想在于，首先，要簡單制造的基礎結(jié)構(gòu)、尤其是統(tǒng)一的基礎結(jié)構(gòu)在載體襯底上構(gòu)造并且隨后在該基礎結(jié)構(gòu)的基礎上通過對基礎結(jié)構(gòu)的處理而構(gòu)造單獨編碼的讀結(jié)構(gòu)。因此，可以動用標準方法用于制造基礎結(jié)構(gòu)，使得盡管在制造讀結(jié)構(gòu)之前設置更多步驟，然而與現(xiàn)有技術相比更節(jié)約成本的制造仍成為可能。因此，作為獨立的發(fā)明設置用于制造單獨編碼的讀結(jié)構(gòu)、尤其是共振器的裝置，其具有如下特征:－結(jié)構(gòu)化設備，尤其以光刻設備的形式，其用于在載體襯底上產(chǎn)生具有至少一組單結(jié)構(gòu)的基礎結(jié)構(gòu)，以及－處理設備，尤其是由多個設備組成的處理設備，其用于構(gòu)造至少一個分別單獨編碼的讀結(jié)構(gòu)，所述單獨編碼的讀結(jié)構(gòu)具有來自每組單結(jié)構(gòu)的總量中選擇的或可選擇的部分數(shù)量單結(jié)構(gòu)的讀元件。根據(jù)本發(fā)明的有利實施方式規(guī)定，處理設備具有施加裝置，其用于用液體、尤其是聚合物至少部分地覆蓋每組單結(jié)構(gòu)的總量中的未選擇余量。因此可以通過有目的地操縱施加裝置來防止在被覆蓋的單結(jié)構(gòu)上構(gòu)造讀元件或者讀結(jié)構(gòu)。這導致讀結(jié)構(gòu)的明顯簡化以及更低成本的制造。只要施加裝置具有至少一個分配器、尤其具有噴嘴的分配器，尤其是毫微分配器，則精確并且快速配給甚至極小的液體量是可能的。有利地進一步規(guī)定，結(jié)構(gòu)化設備、尤其是作為壓印設備(Praegeeinrich...