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      具有從感測元件讀出的電流的電容式指紋感測裝置的制作方法

      文檔序號:11890733閱讀:348來源:國知局
      具有從感測元件讀出的電流的電容式指紋感測裝置的制作方法

      本發(fā)明涉及電容式指紋感測裝置以及感測指紋圖案的方法。



      背景技術(shù):

      越來越多地使用各種類型的生物測量系統(tǒng)以便提供增加的安全性和/或增強的用戶便利性。

      具體地,由于指紋感測系統(tǒng)的小的形狀因素、高性能以及用戶接受度,指紋感測系統(tǒng)已經(jīng)在例如消費電子裝置中被采用。

      在各種可用的指紋感測原理(如電容性的、光學的、熱的等)之中,電容性感測是最常用的,尤其是在尺寸和功率消耗是重要問題的應(yīng)用中。

      所有的電容式指紋傳感器提供表示以下的測量:數(shù)個感測結(jié)構(gòu)中的每一個與放置在指紋傳感器表面上的或橫跨指紋傳感器表面移動的手指之間的電容。

      一些電容式指紋傳感器被動地讀出感測結(jié)構(gòu)與手指之間的電容。然而,這需要在感測結(jié)構(gòu)與手指之間具有相對較大的電容。因此,這樣的被動式電容式傳感器通常設(shè)置有覆蓋感測結(jié)構(gòu)的非常薄的保護層,這使得這樣的傳感器對于刮擦(scratch)和/或ESD(靜電放電)相當敏感。

      US 7 864 992公開了一種電容式指紋感測系統(tǒng),其中通過以下來將驅(qū)動信號注入到手指中:使布置在傳感器陣列附近的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)產(chǎn)生脈沖;并且測量由傳感器陣列中的感測結(jié)構(gòu)攜帶的電荷的所產(chǎn)生的變化。

      這種類型的所謂的主動式電容式指紋感測系統(tǒng)通常使得能夠使用比上述被動式系統(tǒng)高得多的信噪比來測量手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電容。這繼而允許顯著較厚的保護涂層,并且因此允許更具魯棒性的電容式指紋傳感器,其可以被包括在遭受顯著磨損的物品如移動電話中。

      然而,仍有改進的空間。具體地,將希望的是,提供穿過更厚得多的保護涂層的指紋感測以及/或者提供關(guān)于信噪比進一步改進的性能。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      考慮到現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點和其它缺點,本發(fā)明的目的是實現(xiàn)改進的電容式指紋感測裝置,具體地實現(xiàn)提供用于穿過很厚的保護涂層的改進的感測性能的電容式指紋感測裝置。

      根據(jù)本發(fā)明的第一方面,因此提供了用于感測手指的指紋圖案的電容式指紋感測裝置,電容式指紋感測裝置包括多個感測元件,其中,每個感測元件包括:保護性介電頂層,其要被手指觸碰;導(dǎo)電感測結(jié)構(gòu),其被布置在頂層之下;電荷放大器,其連接到感測結(jié)構(gòu),用于提供表示感測結(jié)構(gòu)所攜帶的電荷的變化的感測電壓信號,電荷的變化由手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的變化產(chǎn)生,電荷放大器包括:第一輸入端,其連接到感測結(jié)構(gòu);第二輸入端;輸出端,用于提供感測電壓信號;反饋電容器,其連接在第一輸入端與輸出端之間;以及至少一個放大器級,其位于第一輸入端和第二輸入端與輸出端之間;以及電壓電流轉(zhuǎn)換器,用于將感測電壓信號轉(zhuǎn)換成表示感測結(jié)構(gòu)所攜帶的電荷的變化的感測電流信號,其中,指紋感測裝置進一步包括:讀出電路,其連接到包括在感測元件中的每一個中的電壓電流轉(zhuǎn)換器,用于從多個感測元件中接收感測電流信號,并且基于感測電流信號來提供指紋圖案的表示。

      電壓電流轉(zhuǎn)換器可以具有連接到電荷放大器的輸出端的輸入端以及用于提供感測電流信號的輸出端。

      感測結(jié)構(gòu)可以有利地被設(shè)置成導(dǎo)電板如金屬板的形式,以便通過感測結(jié)構(gòu)(感測板)、局部手指表面和保護涂層(以及可能在局部手指表面與保護涂層之間局部存在的任何空氣)來形成一種平行板電容器。

      保護涂層可以有利地是至少20μm厚,并且具有高的介電強度,以防止指紋感測裝置的下層結(jié)構(gòu)磨損和撕裂,以及防止ESD。甚至更加有利的是,保護涂層可以是至少50μm厚。在實施例中,保護涂層可以是幾百μm厚。

      感測元件可以是可控的,以執(zhí)行預(yù)定的測量序列,該預(yù)定的測量序列包括以預(yù)定的序列在不同的測量狀態(tài)之間的過渡。測量狀態(tài)可以由被提供到電路(其被包括在感測元件中)的控制信號的某種組合來限定。

      電荷放大器將第一輸入端處的電荷轉(zhuǎn)換成輸出端處的電壓。通過反饋電容器的電容來確定電荷放大器的增益。

      電荷放大器可以有利地被配置成使得電荷放大器的第一輸入端處的電位基本跟隨第二輸入端處的電位。

      以下應(yīng)該被理解為意指第二輸入端處的電位的變化導(dǎo)致第一輸入端處的電位的基本相應(yīng)的變化:電荷放大器可以被配置成使得第一輸入端(有時也被稱為反向輸入端)處的電位基本跟隨第二輸入端(有時也被稱為正向輸入端)處的電位。取決于電荷放大器的實際配置,第一輸入端處的電位可以與第二輸入端處的電位基本相同,或者在第二輸入端與第一輸入端之間可以具有基本恒定的電位差。例如,如果電荷放大器被配置為單級放大器,則電位差可以是感測晶體管的柵極-源極電壓。

      應(yīng)該注意的是,電荷放大器的輸出端無需直接連接到反饋電容器,并且在輸出端和反饋電容器之間可以具有附加的電路。也可以將此電路放置在感測元件矩陣的外部。

      第二輸入端可以連接到感測元件的參考電位,參考電位可以是特定感測元件或一組感測元件的局部參考電位或者電容式感測裝置的參考電位(傳感器接地(sensor ground))。局部參考電位可以被控制以相對于傳感器接地和/或相對于包括電容式指紋感測裝置的電子裝置的參考電位而變化。電子裝置的參考電位可以被稱為裝置接地(device ground)。在實施例中,傳感器接地可以被控制以相對于裝置接地而變化。

      本發(fā)明基于以下認識:感測元件的更快運行將允許來自每個感測元件的多個讀出,這繼而將提供例如在信噪比和共模噪聲抑制方面的改進的感測性能。

      本發(fā)明人已經(jīng)進一步認識到的是,可以通過以下來實現(xiàn)感測元件的期望的更快運行,而無需功率消耗的相應(yīng)增加:將在每個感測元件中的電荷放大器所提供的電壓信號轉(zhuǎn)換成電流信號,并且將電流信號通過輸出線路而發(fā)送離開感測元件到讀出電路,其中讀出電路可以被布置在感測元件矩陣的外部。

      感測元件與讀出電路(其被布置在感測元件矩陣的外部)之間的輸出線路的寄生電容可以是數(shù)個pF。通過以電流而非電壓來提供感測信號,將不必以高頻來對此寄生電容進行充電和放電,這提供了每個讀出事件的能量消耗的顯著減少。根據(jù)本發(fā)明的實施例,可以充分減少每個讀出事件的能量消耗,以允許讀出頻率增加例如20倍,而不會增加電容式指紋感測裝置的功率消耗。

      因此,本發(fā)明的實施例提供了更高的讀出頻率,其繼而允許改進的感測性能,并且通過本身已知的濾波技術(shù)來進一步使得多個輸出信號的組合成為可能,從而可以減少共模噪聲并且增加信噪比。

      這繼而允許穿過較厚的涂層如控制按鈕或電子裝置(例如移動電話)的外殼的一部分來進行測量。此外,可以減少指紋傳感器的能量消耗,以及/或者減少獲得指紋表示(圖像)所需的時間。

      另外,從感測元件使用電流信號形式提供感測信號有利于參考信號的讀出,參考信號表示一組感測元件所攜帶的電荷的組合變化??梢酝ㄟ^允許一組感測元件中的每個感測元件提供其感測電流信號到共用的讀出線路來實現(xiàn)期望的參考信號,其中,在共用的讀出線路中電流將自動被加在一起以形成用于一組感測元件的上述參考信號。

      如果一組感測元件中的感測元件被布置成使得感測元件中的至少一個將對應(yīng)于指紋圖案中的脊線,則上述參考信號可以用于處理共模噪聲,以及/或者用于允許更加有效地使用模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC)的動態(tài)范圍,模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器可以被包括在讀出電路中,用于提供呈數(shù)字形式的手指圖案的表示。

      為了實現(xiàn)一組感測元件中的感測元件中的至少一個對應(yīng)于指紋脊線,上述組感測元件可以包括覆蓋足夠大面積的相鄰感測元件和/或足夠數(shù)目的空間分布的感測元件。

      根據(jù)各個實施例,本發(fā)明的電容式指紋感測裝置可以進一步包括用于向手指和感測結(jié)構(gòu)中的至少一個提供時變激勵信號的激勵信號提供電路,以便提供手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的變化。

      激勵信號提供電路可以是開關(guān)電路,其被配置成在不同線路上所提供的兩個或更多個不同電位之間進行切換。替代地或組合地,激勵信號提供電路可以包括:至少一個信號源,其被配置成提供時變電位如方波電壓信號或正弦波電壓信號。

      激勵信號提供電路可以連接到感測結(jié)構(gòu),以便向感測結(jié)構(gòu)提供激勵信號,或者可以使用電容式指紋感測裝置來將激勵信號提供電路連接到導(dǎo)電結(jié)構(gòu),導(dǎo)電結(jié)構(gòu)以導(dǎo)電的方式連接到用戶手指。例如,導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可以是至少部分地圍繞指紋傳感器的邊框。

      根據(jù)各個實施例,包括在感測元件中的電壓電流轉(zhuǎn)換器可以包括:電阻元件,其連接在電荷放大器的輸出端與電壓電流轉(zhuǎn)換器的輸出端之間。

      電阻元件可以有利地由MOS晶體管如PMOS晶體管構(gòu)成,因為這可能會有利于將部件與讀出電路進行匹配,其繼而允許從電容式指紋感測裝置中提供指紋圖案的精確表示。

      替代地或組合地,電阻元件可以由電阻器構(gòu)成。

      此外,讀出電路可以有利地包括可控增益元件,以允許控制讀出電路,從而適應(yīng)不同的電流電平。例如,單個感測元件所輸出的感測電流可以是相對較低的,而由一組感測元件輸出的感測電流的和所形成的組合感測電流(如上述參考信號)可以是相對較高的。例如,可以采用可控放大器的形式來設(shè)置這樣的可控增益元件。

      根據(jù)實施例,讀出電路可以包括至少一個電流電壓轉(zhuǎn)換器??梢栽诘谝徊蓸訒r間(當手指與感測結(jié)構(gòu)之間具有第一電位差時)處以及在第二采樣時間(當手指與感測結(jié)構(gòu)之間具有第二電位差時)處對電流電壓轉(zhuǎn)換器所輸出的電壓進行采樣。這通常被稱為相關(guān)雙采樣。在采樣操作之后,可以將在第二采樣時間/第一采樣時間處采樣到的電壓之間的差以及在第一采樣時間/第二采樣時間處采樣到的電壓提供到模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器,以便將手指圖案的表示轉(zhuǎn)換成數(shù)字形式。

      包括在讀出電路中的電流電壓轉(zhuǎn)換器可以包括所謂的跨阻抗放大器,跨阻抗放大器包括反饋電阻元件。反饋電阻元件可以有利地包括MOS晶體管。

      具體地,在實施例(其中感測元件中的電壓電流轉(zhuǎn)換器中的電阻元件是MOS晶體管如PMOS晶體管)中,同樣向讀出電路中的電流電壓轉(zhuǎn)換器提供相同類型的MOS晶體管可以有利于部件在電壓電流轉(zhuǎn)換器和電流電壓轉(zhuǎn)換器中匹配,這繼而可以改進轉(zhuǎn)換的精度。

      上述相關(guān)雙采樣可以被看作感測元件所提供的感測信號的解調(diào)。根據(jù)進一步實施例,讀出電路可以包括用于在電流域中解調(diào)感測信號的解調(diào)器。解調(diào)器的(電流)輸出可以被提供到模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器。這些實施例的優(yōu)點是:與在電壓域中解調(diào)感測信號相比,可以更加易于在電流域中解調(diào)感測信號。

      根據(jù)又一實施例,讀出電路可以包括用于將電流值直接轉(zhuǎn)換成相應(yīng)數(shù)字表示的所謂的直流模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器。

      此外,根據(jù)本發(fā)明的各個實施例,電荷放大器可以被配置成使得:第一輸入端處的電位基本跟隨第二輸入端處的電位;以及激勵信號提供電路可以連接到電荷放大器的第二輸入端,以便將在第二輸入端處的電位從第一電位改變到第二電位,從而改變感測結(jié)構(gòu)的電位,因此提供手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的變化。

      可以通過改變感測結(jié)構(gòu)的電位來實現(xiàn)手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差,這與手指是否潮濕/正常或干燥基本無關(guān)。這繼而提供了例如干燥手指的手指圖案的改進的感測。

      根據(jù)各個實施例,包括在電荷放大器中的放大器級可以包括:感測晶體管,感測晶體管具有構(gòu)成第一輸入端的柵極。可以在半導(dǎo)體基板中的阱中形成感測晶體管,阱和基板之間的界面被配置成使得可以防止電流在阱與基板之間流動。此外,激勵信號提供電路可以連接到阱,以便將阱的電位從第三電位改變到第四電位,第三電位和第四電位之間的差基本等于上述第一電位和第二電位之間的差,從而減少感測結(jié)構(gòu)與阱之間的寄生電容的影響。

      半導(dǎo)體基板可以有利地是摻雜半導(dǎo)體基板,并且阱可以是基板的以相對于半導(dǎo)體基板相反的極性來摻雜的部分(如果半導(dǎo)體基板是p型摻雜,則阱可以是n型摻雜,而如果半導(dǎo)體基板是n型摻雜,則阱可以是p型摻雜)。這是在阱與基板之間實現(xiàn)界面的方式,界面被配置成使得可以防止電流在阱與基板之間流動。具體地,可以將阱和基板保持在這樣的電位使得無電流流過基板與阱之間的界面處所形成的二極管。

      替代地,可以在基板與阱之間設(shè)置例如呈薄層玻璃的形式的絕緣層。這樣的絕緣層也將可以防止電流在阱與基板之間流動。

      如果將激勵信號施加到手指并且將感測結(jié)構(gòu)保持在固定電位如接地,那么感測結(jié)構(gòu)與手指之間的電容的測量將不會受感測結(jié)構(gòu)與電荷放大器之間的以及/或者感測結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體基板(在其中形成電荷放大器)之間的任何寄生電容的干擾,因為感測結(jié)構(gòu)和電荷放大器的有關(guān)部分(以及半導(dǎo)體基板)的電位將是相同的(或者在感測結(jié)構(gòu)與電荷放大器的輸入級和半導(dǎo)體基板之間將具有恒定電位差)。然而,如果將激勵信號施加到感測結(jié)構(gòu),則在感測結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體基板之間將具有時變電位差。模擬示出了感測結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)(其毗鄰于感測結(jié)構(gòu)與電荷放大器的輸入級之間的連接)(其通常為n阱、p阱和/或半導(dǎo)體基板)之間的寄生電容可能處于10fF的量級,而要被感測的電容(其在感測結(jié)構(gòu)與手指之間)可能低至0.1fF或更小。此外,由于半導(dǎo)體制造工藝的變化,所以上述寄生電容通??赡苁俏粗模⑶覍τ诓煌母袦y元件寄生電容可能是不同的。

      本發(fā)明人已經(jīng)認識到的是,在本發(fā)明的實施例中,可以通過提供激勵信號提供電路來顯著減少指紋感測裝置中的感測結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)之間的此寄生電容的影響,激勵信號提供電路被配置成改變阱的電位,其中在阱中形成電荷放大器的感測晶體管。因此,阱(其是毗鄰于感測結(jié)構(gòu)與感測晶體管(電荷放大器的輸入級)之間的連接的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu))的電位可以被控制以跟隨感測結(jié)構(gòu)的電位,以便至少在與感測結(jié)構(gòu)與手指之間的電容的測量有關(guān)的時間點處,將阱與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差保持基本恒定。

      與測量有關(guān)的時間點可以取決于所使用的測量方法而是不同的,并且本領(lǐng)域的技術(shù)人員將能夠例如基于電路模擬來確定這樣的時間點,而無需過度的負擔。例如,在所謂的相關(guān)雙采樣(其中在兩個采樣時間處對感測信號進行采樣)的情況下,這些采樣時間可以是與測量有關(guān)的時間點。

      此外,根據(jù)各個實施例,指紋感測裝置可以進一步包括布置在感測結(jié)構(gòu)與基板之間的屏蔽結(jié)構(gòu)。激勵信號提供電路可以進一步連接到屏蔽結(jié)構(gòu),并且被配置成將屏蔽結(jié)構(gòu)的電位從第五電位改變到第六電位,第五電位與第六電位之間的差基本等于上述第一電位與第二電位之間的差。

      因此,可以有效地將感測結(jié)構(gòu)與感測元件的其它可能的下層部件(如金屬層中的連接線路以及/或者形成于半導(dǎo)體基板中的連接線路和/或半導(dǎo)體電路)屏蔽開。這將進一步減少感測元件中的寄生電容的影響。

      第五電位可以有利地等于上述第三電位(和/或第一電位),并且第六電位可以有利地等于上述第四電位(和/或第二電位)。例如,屏蔽結(jié)構(gòu)(板)可以有利地直接以導(dǎo)電的方式連接到阱。

      根據(jù)第一組實施例,感測晶體管可以是NMOS晶體管或PMOS晶體管,并且阱可以分別是p阱或n阱。

      根據(jù)第二組實施例,可以在連接到激勵信號提供電路的阱中形成p阱和/或n阱。當在阱中形成至少一個p阱以及至少一個n阱時,該阱往往可以被稱為隔離阱(iso-well)。

      此外,對于多個感測元件,阱可以是共用的。例如,阱可以是圍繞數(shù)個感測元件的n阱和p阱的隔離阱。激勵信號提供電路可以連接到隔離阱以及形成在隔離阱的內(nèi)部的(一個或更多個)阱,并且被配置成改變隔離阱以及形成在隔離阱的內(nèi)部的(一個或更多個)阱的電壓。

      根據(jù)各個實施例,感測元件中的每一個可以包括連接到激勵信號提供電路的定時電路,定時電路用于:在第一激勵過渡時間處,向激勵信號提供電路提供第一激勵控制信號,以便觸發(fā)手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的第一變化;并且在第二激勵過渡時間處,向激勵信號提供電路提供第二激勵控制信號,以便觸發(fā)手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的第二變化。

      此外,根據(jù)各個實施例,感測元件中的每一個可以進一步包括:復(fù)位電路,其是可控的以使反饋電容器放電;以及定時電路,其連接到復(fù)位電路,用于將復(fù)位電路控制在復(fù)位狀態(tài)與測量準備狀態(tài)之間,其中在復(fù)位狀態(tài)下,反饋電容器被放電,在測量準備狀態(tài)下,反饋電容器可以被充電,以允許測量感測結(jié)構(gòu)所攜帶的電荷的變化。

      通過在每個感測元件中局部地提供定時電路,可以在每個感測元件中局部地控制包括在感測元件中的電路的至少一些定時控制。

      因此,可以表述的是,定時電路充當局部狀態(tài)機器,其可以是非同步的或同步的,或者可以是同步與非同步的組合。

      通過提供在測量狀態(tài)之間的至少最時間關(guān)鍵的(一個或更多個)過渡的局部定時,可以(針對給定的讀出頻率)增加可用于測量的時間,以及/或者有利于電容式指紋感測裝置的設(shè)計。例如,雖然某些定時控制信號到每個感測元件的謹慎的路由選擇將不是必要的,但是可以通過選擇特定感測元件的外部信號來啟動定時。

      因此,本發(fā)明的這些實施例進一步有利于實現(xiàn)更高的讀出頻率,這繼而允許改進的測量性能,并且(例如通過濾波)進一步使得多個輸出信號的組合成為可能,從而可以減少共模噪聲并且增加信噪比。

      定時電路可以有利地包括:至少一個第一延遲元件,用于在過渡時間處控制感測元件從第一測量狀態(tài)過渡到第二測量狀態(tài),過渡時間由第一事件以及與第一事件有關(guān)的時間延遲來限定,第一延遲元件具有用于接收限定第一事件的第一信號的輸入端和用于提供第二信號的輸出端,第二信號限定從第一測量狀態(tài)到第二測量狀態(tài)的過渡。

      第一信號可以是時變電壓,并且第一事件可以例如由第一信號的上升側(cè)或下降側(cè)來限定。

      可以在感測元件的內(nèi)部生成第一信號,或者根據(jù)各個實施例,第一信號可以被設(shè)置為例如在感測元件的外部所生成的可以被稱為激活信號或選擇信號的信號。

      雖然第二信號可以被看作延遲版本的第一信號,但是應(yīng)該理解的是,可以已經(jīng)在第一信號上施加了除了延遲之外的其它轉(zhuǎn)換以形成第二信號。例如,可以另外地對第一信號進行放大和/或衰減和/或反相(invert)等,以形成第二信號。

      第一延遲元件可以有利地包括半導(dǎo)體電路如一個或多個邏輯門。

      根據(jù)本發(fā)明的各個實施例的電容式指紋感測裝置可以有利地被包括在電子裝置中,電子裝置進一步包括處理電路,處理電路被配置成:從指紋感測裝置中獲取指紋圖案的表示;基于表示來認證用戶;以及只有在用戶基于表示而經(jīng)認證的情況下才執(zhí)行至少一個用戶請求過程。電子裝置可以例如是手持式通信裝置如移動電話或平板電腦、計算機或者電子可穿戴物品如手表等。

      根據(jù)本發(fā)明的第二方面,提供了使用包括多個感測元件的電容指紋傳感器來感測手指的指紋圖案的方法,其中,每個感測元件包括:保護性介電頂層,其要被手指觸碰;導(dǎo)電感測結(jié)構(gòu),其被布置在頂層之下;以及電荷放大器,其連接到感測結(jié)構(gòu),用于提供表示感測結(jié)構(gòu)所攜帶的電荷的變化的感測電壓信號,電荷的變化由手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的變化產(chǎn)生,電荷放大器包括:第一輸入端,其連接到感測結(jié)構(gòu);第二輸入端;輸出端,用于提供感測電壓;反饋電容器,其連接在第一輸入端與輸出端之間;以及至少一個放大器級,其位于第一輸入端和第二輸入端與輸出端之間,其中,該方法包括以下步驟:改變手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差;提供感測電壓;在感測元件中將感測電壓轉(zhuǎn)換成感測電流;以及使用感測元件外部的讀出電路來接收來自感測元件中的每一個的感測電流,并且基于接收到的感測電流來提供指紋圖案的表示。

      本發(fā)明的此第二方面的進一步實施例以及通過本發(fā)明的此第二方面所獲得的效果很大程度上類似于本發(fā)明的第一方面的上述進一步實施例和所獲得的效果。

      總之,本發(fā)明涉及包括多個感測元件的電容式指紋感測裝置。每個感測元件包括:保護性介電頂層,其要被手指觸碰;導(dǎo)電感測結(jié)構(gòu),其被布置在頂層之下;電荷放大器,其連接到感測結(jié)構(gòu),用于提供表示感測結(jié)構(gòu)所攜帶的電荷的變化的感測電壓信號,電荷的變化由手指與感測結(jié)構(gòu)之間的電位差的變化產(chǎn)生;以及電壓電流轉(zhuǎn)換器,用于將感測電壓信號轉(zhuǎn)換成表示感測結(jié)構(gòu)所攜帶的電荷的變化的感測電流信號。因此,可以實現(xiàn)感測元件的精確感測以及更快的運行,而無需功率消耗的相應(yīng)增加。

      附圖說明

      現(xiàn)在將參考示出了本發(fā)明的示例實施例的附圖來更加詳細地描述本發(fā)明的這些方面和其它方面,在附圖中:

      圖1示意性地圖示了包括根據(jù)本發(fā)明的示例實施例的指紋感測系統(tǒng)的移動電話;

      圖2示意性地示出了圖1中的指紋感測裝置;

      圖3是圖2中的指紋感測裝置的圖示了根據(jù)本發(fā)明的指紋感測裝置的第一實施例的部分的示意性橫截面視圖,其使用電路示意圖來圖示感測元件的配置以及感測信號從感測元件到讀出電路的傳輸;

      圖4a-圖4d是示意性地圖示了圖3中的指紋感測裝置的運行的定時圖;

      圖5a-圖5e示意性地圖示了根據(jù)本發(fā)明的指紋感測裝置的第二實施例,其中每個感測元件包括定時電路;以及

      圖6a-圖6b示意性地圖示了根據(jù)本發(fā)明的指紋感測裝置的第三實施例。

      具體實施方式

      在本具體實施方式中,參考電容式指紋感測裝置來主要描述根據(jù)本發(fā)明的指紋感測裝置和方法的各個實施例,其中每個感測元件包括用于向感測結(jié)構(gòu)提供激勵信號或驅(qū)動信號的激勵信號提供電路。此外,電容式指紋感測裝置被圖示為觸控傳感器,其被形成尺寸并且被配置成從靜止的手指獲取指紋表示。

      應(yīng)該注意的是,這絕不限制本發(fā)明的范圍,其同樣包括例如反而通過以下方式來實現(xiàn)手指電位和感測結(jié)構(gòu)電位之間的電位差的變化的電容式指紋感測裝置:通過直接向手指提供激勵信號,或者經(jīng)由除了目前所選擇用于感測的一個或數(shù)個感測元件之外的其它感測元件來向手指提供激勵信號??梢詫@樣的其它感測元件進行編程以充當驅(qū)動元件。用于從移動的手指獲取指紋表示的其它傳感器陣列配置(如所謂的觸擊傳感器(或線傳感器))同樣落入如所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的范圍之內(nèi)。觸控傳感器還可以具有除了附圖中所圖示的尺寸之外的其它尺寸。

      圖1示意性地圖示了根據(jù)本發(fā)明的示例實施例的用于指紋感測裝置的應(yīng)用,其呈具有集成指紋感測裝置2的移動電話1的形式。例如,指紋感測裝置2可以用于解鎖移動電話1以及/或者用于對使用移動電話來執(zhí)行的交易進行授權(quán)等。

      圖2示意性地示出了包括在圖1中的移動電話1中的指紋感測裝置2。如圖2中可以看到的那樣,指紋感測裝置2包括傳感器陣列5、電源接口6以及通信接口7。傳感器陣列5包括大量的感測元件8(已經(jīng)使用附圖標記來表示感測元件中的僅一個,以避免混淆附圖),每個感測元件是可控的,以感測包括在感測元件8中的感測結(jié)構(gòu)與接觸傳感器陣列5的頂表面的手指表面之間的距離。

      電源接口6包括:第一接觸墊10a和第二接觸墊10b,此處將其示出為接合墊,用于將供應(yīng)電壓Vsupply連接到指紋傳感器2。

      通信接口7包括:多個接合墊,用于允許控制指紋傳感器2并且用于從指紋傳感器2獲取指紋數(shù)據(jù)。

      圖3是圖2中的指紋感測裝置2沿圖2中所指示的線A-A'截取的部分的示意性橫截面,其中在傳感器陣列5的頂部處放置了手指11。參考圖3,指紋感測裝置2包括多個感測元件8,每個感測元件包括保護性介電頂層13、導(dǎo)電感測結(jié)構(gòu)(此處其位于保護性介電頂層13之下呈金屬板17的形式)、電荷放大器18、激勵信號生成電路19、電壓電流轉(zhuǎn)換器20以及選擇電路(此處將其功能性地圖示為用于允許感測元件8的選擇/激活的簡單的選擇開關(guān)21)。

      電荷放大器18包括至少一個放大器級,此處將其示意性地圖示為運算放大器(op amp)24,運算放大器24具有連接到感測結(jié)構(gòu)17的第一輸入端(反向輸入端)25、連接到激勵信號提供電路19的第二輸入端(正向輸入端)26以及輸出端27。另外,電荷放大器18包括連接在第一輸入端25與輸出端27之間的反饋電容器29以及復(fù)位電路(此處將其功能性地圖示為開關(guān)30,用于允許反饋電容器29的可控放電)??梢酝ㄟ^操作復(fù)位電路30來使反饋電容器29放電從而使電荷放大器18復(fù)位。

      對于負反饋配置中的運算放大器24而言通常的情況是,在第一輸入端25處的電壓跟隨施加到第二輸入端26的電壓。取決于特定的放大器配置,第一輸入端25處的電位可以與第二輸入端26處的電位是基本相同的,或者第一輸入端25處的電位與第二輸入端26處的電位之間可以具有基本固定的偏移量。

      當通過激勵信號提供電路19來將時變電位提供到電荷放大器18的第二輸入端26時,相應(yīng)的時變電位因此經(jīng)由電荷放大器18的第一輸入端25被提供到感測結(jié)構(gòu)17。

      由于可以認為手指11的電位在相關(guān)時間尺度上是基本恒定的,所以感測結(jié)構(gòu)17處的時變電位將導(dǎo)致感測結(jié)構(gòu)17與手指11之間的時變電位差。圖3中手指11示意性地被表示為“接地”。應(yīng)該理解的是,手指“接地”可以不同于傳感器接地。例如,手指可以處于電子裝置(其中包括電容式指紋感測裝置)的接地電位。替代地,可以認為人體具有這樣的大的電氣“質(zhì)量”,使得當參考結(jié)構(gòu)17的電位變化時,手指的電位保持基本恒定。

      如下面將更加詳細地進一步描述的那樣,手指11與參考結(jié)構(gòu)17之間的電位差的上述變化導(dǎo)致電荷放大器18的輸出端27處的感測電壓信號Vs。通過電流電壓轉(zhuǎn)換器20將感測電壓信號Vs轉(zhuǎn)換成感測電流信號Is,電流電壓轉(zhuǎn)換器20此處被設(shè)置為PMOS晶體管31,其中源極連接到激勵信號提供電路19所提供的上述時變電位Vd,柵極連接到電荷放大器的輸出端27,并且漏極經(jīng)由選擇開關(guān)21連接到讀出線路33。

      當選擇所指示的感測元件8用于感測時,閉合選擇開關(guān)21以向讀出線路33提供感測電流信號Is。在圖3中示出了讀出線路33經(jīng)由復(fù)用器36連接到電流電壓轉(zhuǎn)換器35,其中讀出線路33可以是圖2中的用于傳感器陣列5的行或列的共用讀出線路。如圖3中示意性地指示的那樣,另外的讀出線路(其從傳感器陣列5的其它行/列提供感測電流信號)也經(jīng)由復(fù)用器36連接到電流電壓轉(zhuǎn)換器35。

      如圖3中示意性地指示的那樣,在讀出線路33與接地之間具有寄生電容Cp。如果如已知電容式指紋感測系統(tǒng)裝置中通常的情況那樣使用讀出線路33來發(fā)送感測電壓信號Vs(而非感測電流信號Is),則寄生電容Cp將導(dǎo)致能量耗散。在已知電容式指紋感測裝置中所使用的讀出頻率如處于1MHz的量級的情況下,假定良好地設(shè)計感測裝置以便寄生電容處于例如1pF的量級,則由讀出線路的寄生電容引起的功率消耗可以被看做是可接受的。然而,如果讀出頻率顯著增加到例如20MHz或更大,則由寄生電容Cp引起的功率消耗將變得相當大。反而,由于可以將讀出線路33與傳感器接地之間的電位差保持基本不變,所以可以通過沿著讀出線路33發(fā)送感測電流信號Is來有效地消除由寄生電容Cp引起的功率消耗。

      電流電壓轉(zhuǎn)換器35(此處將其示意性地圖示為所謂的跨阻抗放大器)將感測電流信號Is轉(zhuǎn)換回到電壓域,并且向采樣保持電路37提供感測電壓信號。圖3中的電流電壓轉(zhuǎn)換器35包括運算放大器40、作為電阻反饋元件的二極管連接的PMOS晶體管41以及連接到運算放大器40的正向輸入端的偏置電壓源42。由于運算放大器40的反向輸入端虛擬接地(呈現(xiàn)出跟隨運算放大器40的正向輸入端處的電位的電位),所以即使感測電流變化,在電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸入端處也將具有恒定的電位。因此,使寄生電容Cp充電和放電不會浪費能量。

      采樣保持電路37的輸出端連接到模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器38,以便將源于感測元件8中的模擬信號轉(zhuǎn)換成傳感器2上的手指11的指紋圖案的數(shù)字表示。

      現(xiàn)在將參考圖4a-圖4d來描述圖3中的電容式指紋感測裝置2的示例性操作。

      在圖4a-圖4d的示意圖中,圖4a示出了圖3中的激勵信號提供電路19所提供的驅(qū)動信號Vd,圖4b示出了圖3中的電荷放大器18的輸出端27處的感測電壓信號Vs減去驅(qū)動信號Vd,圖4c示出了感測電流信號Is,以及圖4d示出了電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs'。

      首先,參考圖4a,例如通過閉合選擇開關(guān)21來選擇感測元件8,并且驅(qū)動信號Vd在第一時間T1處從低的第一電位V1變至高的第二電位V2。作為結(jié)果,如圖4b中示意性地指示的那樣,水平移位的(level-shifted)感測電壓信號Vs-Vd從高電位變至低電位。

      在閉合選擇開關(guān)21之前,沒有感測電流信號Is(電流為0A),并且因此,電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs'是0V(相對于電流電壓轉(zhuǎn)換器35的參考電位)。這在圖4c-圖4d中示意性地被指示。

      當在時間T1處閉合選擇開關(guān)21時,感測電流信號Is上升至對應(yīng)于水平移位感測電壓信號Vs-Vd的電流。

      在時間T2處,通過使反饋電容器29放電來將復(fù)位電路30控制到其導(dǎo)通狀態(tài)以使電荷放大器18復(fù)位。

      在第三時間T3處,將復(fù)位電路30從其導(dǎo)通狀態(tài)控制到其非導(dǎo)通狀態(tài)(在圖3中示意性地被圖示),以允許電荷放大器18在其輸出端處提供感測電壓信號Vs,感測電壓信號Vs指示感測結(jié)構(gòu)17所攜帶的電荷的變化。當將復(fù)位電路30從其導(dǎo)通狀態(tài)控制到其非導(dǎo)通狀態(tài)時,可能會有小的電荷注入,從而導(dǎo)致圖4b中示出的(水平移位的)感測電壓信號在時間T3處的變化。

      如可以在圖4c和圖4d中看到的那樣,感測電流信號Is和電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs'跟隨感測元件8中的電荷放大器18的輸出端27處的水平移位感測電壓信號Vs-Vd。

      在時間T4處,采樣保持電路37對電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs'進行第一次采樣,從而產(chǎn)生第一采樣值S1

      接著,在時間T5處,驅(qū)動信號Vd從第二電位V2變回至第一電位V1。這導(dǎo)致手指11與感測結(jié)構(gòu)17之間的電位差的變化,這繼而導(dǎo)致感測結(jié)構(gòu)17上的電荷的變化,電荷的變化由與手指11的電容耦合產(chǎn)生。此電荷的變化被轉(zhuǎn)化成由電荷放大器提供的電壓的變化即感測電壓信號Vs的變化。如上所述,感測電壓信號Vs的此變化轉(zhuǎn)化成感測電流信號Is和電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs'的相應(yīng)變化。

      當感測電壓信號Vs(以及感測電流信號Is和電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs')已經(jīng)穩(wěn)定時,在時間T6處,采樣保持電路37對電流電壓轉(zhuǎn)換器35的輸出電壓Vs'進行第二次采樣,從而產(chǎn)生第二采樣值S2。

      S2和S1之間的差(該差表示感測板17與手指11之間的電容耦合的測量)被提供到ADC 38,以便被數(shù)字化并且被輸出為例如指紋圖案圖像的像素值。

      現(xiàn)在已經(jīng)描述了根據(jù)本發(fā)明的實施例的指紋感測裝置的總體配置連同指紋感測裝置的示例性操作,下面將參考圖5a-圖5e來描述另一實施例,其提供用于通過在每個感測元件中進行局部定時控制而進一步改進的高頻讀出性能。

      首先參考圖5a,示出了來自圖2中的傳感器陣列5的感測元件8連同與其最接近的相鄰元件??梢允褂脕碜孕羞x擇電路和列選擇電路的激活信號來選擇要感測電容耦合(其是感測元件8的感測結(jié)構(gòu)17與手指11之間的電容耦合)的(一個或更多個)感測元件8。這樣的激活信號在圖5a中被表示為R-ACT和C-ACT。

      參考圖5b,電容式指紋感測裝置2中的每個感測元件8包括電荷測量電路50(如圖3中的電荷放大器18、激勵信號提供電路19以及電壓電流轉(zhuǎn)換器20)和定時電路51。

      電荷測量電路50連接到感測結(jié)構(gòu)(板)17,用于測量由手指11與感測結(jié)構(gòu)17之間的電位差的變化產(chǎn)生的感測結(jié)構(gòu)17所攜帶的電荷的變化。如以上參考圖4a-圖4d所描述的那樣,通過執(zhí)行測量序列來實現(xiàn)測量,測量序列包括通過一系列測量狀態(tài)的過渡。電荷測量電路50具有用于向讀出線路33提供上述感測電流信號Is的輸出端。

      定時電路51連接到電荷測量電路50,用于控制測量狀態(tài)中的至少一個的定時。

      如圖5b中示意性地圖示的那樣,定時電路可以接收一個或數(shù)個控制信號,用于觸發(fā)感測元件8的測量操作。例如,如圖5b中的箭頭示意性地指示的那樣,可以通過定時電路51來接收上述的行激活信號R-ACT和列激活信號C-ACT,在這之后定時電路51可以獨立地向電荷測量電路50提供各種定時控制信號。

      通過對包括在測量序列中的測量狀態(tài)中的至少一個的定時進行此局部控制,可以更加精確地和/或更加均勻地控制測量狀態(tài)之間的過渡的定時,這允許過渡之間的更短時間,繼而允許更高的測量頻率。

      在圖5c中更加詳細地示出了圖5b中的電荷測量電路50的示例。

      另外,圖5c中的箭頭指示了定時電路51所提供的控制信號(激活信號ACT、復(fù)位信號RST以及驅(qū)動控制信號DRV)。

      圖5c中的電荷測量電路不同于以上參考圖3所描述的電荷測量電路的是,在反饋回路中已經(jīng)包括:PMOS晶體管31,其位于反饋電容器29與運算放大器24的輸出端27之間。同樣已經(jīng)加入了串聯(lián)電阻器43。應(yīng)該注意的是,本文所描述的電壓電流轉(zhuǎn)換器配置僅是適當?shù)呐渲玫囊恍┱f明性示例,并且對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言可以實施多個其它配置,而無需過度的負擔。

      參考圖5d,現(xiàn)在將描述圖5b中的定時電路51的示例性配置。如可以在圖5d中看到的那樣,定時電路51包括第一與門53、第一延遲元件54、第二延遲元件55、第二與門56、第一反相器57、第三延遲元件58、第三與門59以及第二反相器60。

      如圖5d中示意性地指示的那樣,行激活信號R-ACT和列激活信號C-ACT被輸入到第一邏輯與門53。同樣參考圖5c,第一與門53的輸出被提供到電荷測量電路50的放大器24和選擇開關(guān)21以作為激活/選擇信號ACT,被提供到第一延遲元件54的輸入端,并且被提供到第三與門58。第一延遲元件54的輸出被提供到第二與門56,并且被提供到第二延遲元件55的輸入端。第二延遲元件55的輸出經(jīng)由第一反相器57被提供到第二與門56,并且被提供到第三延遲元件58的輸入端。第三延遲元件58的輸出經(jīng)由第二反相器60被提供到第三與門59的輸入端。

      當通過設(shè)定行激活信號R-ACT和列激活信號C-ACT來選擇感測元件8(其包括圖5c中的電荷測量電路50和圖5d中的定時電路51)時,用于感測元件8的激活信號ACT變高(在圖4a-圖4d中的時間T1處)。來自第一與門53的輸出經(jīng)過第一延遲元件54并且被延遲第一時間延遲ΔT1,以向第二與門56提供第一延遲版本的激活信號ACT。第一時間延遲ΔT1對應(yīng)于圖4a-圖4d中的T2–T1。

      來自第一延遲元件54的輸出也被提供到第二延遲元件55的輸入端并且被延遲以提供第二延遲版本的激活信號ACT。

      第二延遲版本的激活信號ACT經(jīng)由第一反相器57被提供到第二與門56的輸入端,以在第二與門56的輸出端上實現(xiàn)復(fù)位控制信號RST。

      第二時間延遲ΔT2對應(yīng)于圖4中的T3–T2,并且確定測量狀態(tài)的持續(xù)時間,其中復(fù)位控制信號RST是高的(復(fù)位電路30被控制為導(dǎo)通)。

      如圖5d中指示的那樣,來自第二延遲元件55的輸出也經(jīng)過第三延遲元件58。因此,延遲后的信號(激活信號ACT被延遲了ΔTtot=ΔT1+ΔT2+ΔT3)經(jīng)由第二反相器60被提供到第三與門59。如圖5c中指示的那樣,總的延遲時間ΔTtot對應(yīng)于圖4a-圖4d中的T5–T1,并且控制激勵信號提供電路19的運行。

      應(yīng)該注意的是,定時電路51是用于說明以下原理的簡化示例:使用延遲元件和邏輯門的組合,以便局部地控制包括在感測元件8中的電荷測量電路50的測量狀態(tài)的定時。取決于實際實施,定時電路可以包括用于例如信號整形和/或定時的另外的或其它的電路。基于本文所提供的描述,本領(lǐng)域的技術(shù)人員將能夠設(shè)計出定時電路的適當?shù)膶嵤鵁o需過度的負擔。

      應(yīng)該理解的是,可以取決于特定的實施例來獨立地將較少的或另外的定時控制信號從定時電路51提供至電荷測量電路50。

      圖5e示出了延遲元件62的說明性示例,延遲元件62可以被包括在圖5d中的定時電路51中。

      延遲元件62包括串聯(lián)連接的第一CMOS反相器63和第二CMOS反相器63。此延遲元件的時間延遲將取決于包括在延遲元件62中的部件的尺寸,并且可以因此在設(shè)計延遲元件時設(shè)定時間延遲。如果希望顯著較長的延遲時間,則可以串聯(lián)耦接附加的CMOS反相器。

      現(xiàn)在將參考圖6a-圖6b來描述圖2中的指紋感測裝置2的第三實施例。圖6a-圖6b的實施例提供用于消除或至少顯著減少感測元件8中的寄生電容的影響,這繼而進一步有利于感測元件8的高頻運行。

      圖6a是形成在摻雜半導(dǎo)體基板上的圖2中的感測元件8的實施例的部分結(jié)構(gòu)示意圖和部分電路示意圖的混合。在分解透視圖中示意性地示出了保護介電層13、感測板17、屏蔽板65以及基準板66,而以晶體管級電路示意圖的形式圖示了電荷放大器18。

      如圖6a中示出的那樣,簡單的電荷放大器18的示例包括感測晶體管68、級聯(lián)(cascode)晶體管69、呈復(fù)位晶體管30形式的復(fù)位電路以及偏置電流源71。感測晶體管68、級聯(lián)晶體管69和復(fù)位晶體管30均形成在相同的阱73(n阱、p阱或隔離阱)中。

      為了幫助理解圖6a中的部件和連接,圖6b在更加抽象的程度上同樣示出了相同的示意配置,其中圖6a的晶體管電路由用于電荷放大器的一般符號替換,電荷放大器具有以下特征:其反向輸入端25連接到感測板17;其正向輸入端26連接到此處呈脈沖生成器形式的激勵信號提供電路19;以及其輸出端27提供表示由感測板17攜帶的電荷的變化的感測電壓信號Vs,該電荷的變化由手指11與感測板17之間的電位差的變化產(chǎn)生。如上面說明的那樣,手指11與感測板17之間的電位差的變化由脈沖生成器19經(jīng)由電荷放大器施加到感測板17的變化的電位所產(chǎn)生。感測板17和基準板66所形成的反饋電容器連接在電荷放大器的反向輸入端25與輸出端27之間。應(yīng)該注意的是,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言電荷放大器的總體功能性是眾所周知的。圖6b也示意性地指示:阱73連接到激勵信號提供電路19,并且電壓電流轉(zhuǎn)換器20將感測電壓信號Vs轉(zhuǎn)換成感測電流信號Is。

      回到圖6a,可以看到的是,感測晶體管66的柵極構(gòu)成電荷放大器的反向輸入端25,并且感測晶體管66的源極構(gòu)成電荷放大器的正向輸入端26。電荷放大器的正向輸入端26連接到屏蔽板65,屏蔽板65繼而連接到阱73和脈沖生成器19,在阱73中形成感測晶體管68。

      感測元件8進一步包括驅(qū)動晶體管75、驅(qū)動控制開關(guān)76以及復(fù)位控制開關(guān)77。驅(qū)動控制開關(guān)76能夠在第一狀態(tài)與第二狀態(tài)之間進行控制,其中,在第一狀態(tài)下,驅(qū)動晶體管75的柵極連接到脈沖生成器19,在第二狀態(tài)下,驅(qū)動晶體管75的柵極連接到傳感器接地。當驅(qū)動控制開關(guān)76處于其第一狀態(tài)下時,驅(qū)動晶體管75將是導(dǎo)通的,并且因此將感測結(jié)構(gòu)17直接連接到脈沖生成器19。當驅(qū)動控制開關(guān)處于其第二狀態(tài)下時,驅(qū)動晶體管75將是非導(dǎo)通的。在后者的情況下,因此在感測結(jié)構(gòu)17與脈沖生成器19之間將不具有通過驅(qū)動晶體管75的直接連接。如圖6a中可以看到的那樣,在阱73中形成驅(qū)動晶體管75。偏置電流源71可以位于感測元件中或位于傳感器陣列5的外部。

      同樣地,復(fù)位控制開關(guān)77能夠在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間進行控制,其中,在第一狀態(tài)下,復(fù)位晶體管30是非導(dǎo)通的,以允許感測板17與反饋板66之間具有電位差,在第二狀態(tài)下,復(fù)位晶體管30是導(dǎo)通的,以均衡感測板17與反饋板66的電位。

      如以上參考圖3來進一步描述的那樣,圖6a中的感測元件8進一步包括:電流電壓轉(zhuǎn)換器20,其被設(shè)置為PMOS晶體管31,PMOS晶體管31具有連接到脈沖生成器19的源極、連接到放大器的輸出端27的柵極以及提供感測電流Is的漏極。

      通過圖6a中的感測元件8的配置,消除了或者至少顯著減少了內(nèi)部寄生電容Cp1和Cp3的影響。此外,驅(qū)動相鄰感測結(jié)構(gòu)將消除或至少顯著減少相鄰感測板之間的寄生電容的影響。

      本領(lǐng)域的技術(shù)人員認識到的是,本發(fā)明絕不受限于上述優(yōu)選實施例。反之,可以在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)進行多個修改和變化。

      在權(quán)利要求中,詞“包括”并不排除其它的元素或步驟,并且不定冠詞“一”或“一個”并不排除多個。單個處理器或其它單元可以實現(xiàn)權(quán)利要求中所述的數(shù)個項目的功能。單純的事實(在相互不同的附屬權(quán)利要求中記載了某些測量)并非指示這些測量的組合無法用來帶來好處。雖然計算機程序可以存儲/分發(fā)在適當?shù)慕橘|(zhì)如連同其它硬件所供應(yīng)的或者作為其它硬件的一部分的光存儲介質(zhì)或固態(tài)介質(zhì)上,但是計算機程序也可以采用其它形式(如經(jīng)由因特網(wǎng)或者其它有線或無線通信系統(tǒng))來進行分發(fā)。權(quán)利要求中的任何附圖標記不應(yīng)該被理解為限制范圍。

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