本發(fā)明涉及圖像采集技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種圖像自動對焦方法和設(shè)備。

背景技術(shù)：

隨著大規(guī)模集成電路的特征尺寸變得越來越小，掃描電子顯微鏡(scanningelectronmicroscope，簡稱sem)在大規(guī)模集成電路檢測設(shè)備中扮演的角色越來越重。當(dāng)sem工作時，會有許多因素造成系統(tǒng)的對焦?fàn)顟B(tài)發(fā)生改變，從而降低sem圖像質(zhì)量。為了提高sem的工作效率，能夠快速獲得清晰的sem圖像，掃描電子顯微鏡需具備快速、精密的自動對焦功能。sem設(shè)備為掃描成像，掃描時間越長，每個像元接收的電子數(shù)目越多，圖像的信噪比越高，但對應(yīng)的圖像的采集時間越長。

本領(lǐng)域技術(shù)人員在日常工作中發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)存在如下問題：

現(xiàn)有的對焦技術(shù)，對圖像的質(zhì)量有一定的要求，相對應(yīng)的需要sem較多的掃描采集時間，降低對焦的靈敏度，不適于實時對焦場合。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本申請實施例提供了一種圖像自動對焦方法和設(shè)備，解決了現(xiàn)有圖像對焦技術(shù)掃描采集時間長，對焦靈敏度低的技術(shù)問題，具有使sem快速、精密對焦的技術(shù)效果。

本申請實施例提供一種圖像自動對焦方法，所述方法包括：獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。

進一步地，所述根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像包括:獲得所述第一圖像的平均像素值；獲得帶通濾波器處理后的所述第一圖像；獲得所述處理后的第一圖像的每個點的像素值；獲得所述處理后的第一圖像的顯著值，其中，所述顯著值是指所述處理后的第一圖像的所述每個點的像素值和所述第一圖像的平均像素值之間的歐幾里得距離；根據(jù)所述處理后的第一圖像的顯著值獲得所述第一目標(biāo)圖像，其中，所述處理后的第一圖像的顯著值可轉(zhuǎn)化為灰度圖像，所述第一目標(biāo)圖像為所述灰度圖像的一部分。

進一步地，所述獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域具體為：根據(jù)凸包法獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域。

進一步地，所述根據(jù)所述第二圖像獲得所述第二目標(biāo)圖像包括:根據(jù)log算子和所述第二圖像獲得所述第二目標(biāo)圖像；其中，所述log算子的公式為其中，所述f(m,n)表示所述第二圖像，h(m,n)表示所述第二目標(biāo)圖像，g(m,n)表示高斯濾波器，表示拉普拉斯算子。

本申請實施例提供一種圖像自動對焦設(shè)備，所述設(shè)備包括：處理器，適用于實現(xiàn)各指令；存儲設(shè)備，適用于存儲多條指令，所述指令適于由處理器加載并執(zhí)行；獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。

進一步地，所述設(shè)備還包括：獲得所述第一圖像的平均像素值；獲得帶通濾波器處理后的所述第一圖像；獲得所述處理后的第一圖像的每個點的像素值；獲得所述處理后的第一圖像的顯著值，其中，所述顯著值是指所述處理后的第一圖像的所述每個點的像素值和所述第一圖像的平均像素值之間的歐幾里得距離；根據(jù)所述處理后的第一圖像的顯著值獲得所述第一目標(biāo)圖像，其中，所述處理后的第一圖像的顯著值可轉(zhuǎn)化為灰度圖像，所述第一目標(biāo)圖像為所述灰度圖像的一部分。

進一步地，所述設(shè)備還包括：根據(jù)凸包法獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域。

進一步地，所述設(shè)備還包括：根據(jù)log算子和所述第二圖像獲得所述第二目標(biāo)圖像；其中，所述log算子的公式為其中，所述f(m,n)表示所述第二圖像，h(m,n)表示所述第二目標(biāo)圖像，g(m,n)表示高斯濾波器，表示拉普拉斯算子。

本申請實施例中的上述一個或多個技術(shù)方案，至少具有如下一種或多種技術(shù)效果：

1、本申請實施例提供一種圖像自動對焦方法和設(shè)備。所述方法包括：獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。通過上述技術(shù)方案，解決了現(xiàn)有圖像對焦技術(shù)掃描采集時間長，對焦靈敏度低的技術(shù)問題，具有有效濾除背景圖像和噪聲，降低計算量，從而增加sem自動對焦技術(shù)的適用范圍和工作效率，實現(xiàn)sem快速、精密對焦的技術(shù)效果。

附圖說明

圖1為本申請實施例提供的一種圖像自動對焦方法流程圖；

圖2為本申請實施例提供的一種獲得顯著圖像的方法流程圖。

具體實施方式

本申請實施例通過提供一種圖像自動對焦方法和設(shè)備，解決了現(xiàn)有圖像對焦技術(shù)掃描采集時間長，對焦靈敏度低的技術(shù)問題，具有有效濾除背景圖像和噪聲，降低計算量，從而增加sem自動對焦技術(shù)的適用范圍和工作效率，實現(xiàn)sem快速、精密對焦的技術(shù)效果。

本申請實施例的技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，總體思路如下：

本申請實施例通過提供一種圖像自動對焦方法和設(shè)備。所述方法包括：獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。通過上述技術(shù)方案，解決了現(xiàn)有圖像對焦技術(shù)掃描采集時間長，對焦靈敏度低的技術(shù)問題，具有有效濾除背景圖像和噪聲，降低計算量，從而增加sem自動對焦技術(shù)的適用范圍和工作效率，實現(xiàn)sem快速、精密對焦的技術(shù)效果。

下面通過附圖以及具體實施例對本發(fā)明技術(shù)方案做詳細(xì)的說明，應(yīng)當(dāng)理解本申請實施例以及實施例中的具體特征是對本申請技術(shù)方案的詳細(xì)的說明，而不是對本申請技術(shù)方案的限定，在不沖突的情況下，本申請實施例以及實施例中的技術(shù)特征可以相互組合。

本文中術(shù)語“和/或”，僅僅是一種描述關(guān)聯(lián)對象的關(guān)聯(lián)關(guān)系，表示可以存在三種關(guān)系，例如，a和/或b，可以表示：單獨存在a，同時存在a和b，單獨存在b這三種情況。另外，本文中字符“/”，一般表示前后關(guān)聯(lián)對象是一種“或”的關(guān)系。

實施例1：

圖1為本申請實施例提供的一種圖像自動對焦方法流程圖。

所述方法包括：

步驟101：獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；

具體來說，所述第一圖像是指掃描電子顯微鏡sem在采集圖像時掃描到的初始圖像，所述sem的初始圖像中包括待獲取的圖像信息、背景圖形和噪聲。所述背景圖像即背景圖形，所述噪聲圖像即所述第一圖像中的噪聲。所述背景圖形和噪聲圖像會導(dǎo)致采集圖像時對焦時間變長，降低對焦靈敏度。

步驟102：根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；

具體來說，由于所述第一圖像中包括的背景圖像和噪聲圖像會導(dǎo)致采集圖像時對焦時間變長，降低對焦靈敏度。因此，在本步驟中，濾除所述第一圖像中的背景圖形和噪聲，獲得所述第一目標(biāo)圖像，所述第一目標(biāo)圖像即是sem顯著圖像。濾除所述背景圖形和噪聲，能夠減少背景圖形和噪聲對對焦技術(shù)的影響，降低對焦技術(shù)對圖像質(zhì)量需求，從而減少圖像的采集時間。

步驟103：根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；

具體來說，所述第一目標(biāo)圖像是顯著圖像，設(shè)定一個灰度的閾值，從所述閾值范圍的區(qū)域中提取顯著區(qū)域，即獲得所述顯著區(qū)域圖像，即所述第一顯著區(qū)域圖像，其中，所述閾值可根據(jù)需求進行自定義設(shè)定。

步驟104：獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；

根據(jù)凸包法獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形，所述最小外接矩形所包括的最大區(qū)域即為所述最小外接矩形區(qū)域。

步驟105：將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；

將最小外接矩形區(qū)域確定為所述對焦窗口區(qū)域，掃描電子顯微鏡可以在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)自動提取圖像，對所述對焦窗口區(qū)域提取的圖像截取面積為m×n的圖像，即為所述第二圖像。

步驟106：根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像。

經(jīng)過去除背景圖像和噪音圖像后，得到顯著圖像，并提取顯著區(qū)域。在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)提取的所述第二圖像仍具有一些孤立的噪點，對所述第二圖像進行平滑處理后，獲得所述第二目標(biāo)圖像。

進一步地，使用log算子對所述第二圖像進行平滑處理，獲得所述第二目標(biāo)圖像；其中，所述log算子的公式為其中，所述f(m,n)表示所述第二圖像，h(m,n)表示所述第二目標(biāo)圖像，g(m,n)表示高斯濾波器，表示拉普拉斯算子。使用log算子對所述第二圖像處理后，能夠有效濾除噪點圖像。

步驟107：獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；

具體來說，此步驟計算并獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)。

步驟108：獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值

具體來說，此步驟根據(jù)平均值計算方法，計算并獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的圖像像素灰度的平均值以對焦窗口區(qū)域的尺寸大小為x*y為例，則所述第二目標(biāo)圖像的像素灰度平均值：

步驟109：根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)

根據(jù)所述對焦評價函數(shù)的公式計算得到所述對焦評價函數(shù)的值，對焦評價函數(shù)的值越大，則最終得到的sem圖像越清晰，說明當(dāng)前sem的對焦?fàn)顟B(tài)越好。

步驟110：獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；

具體來說，所述對焦評價函數(shù)的值的大小反應(yīng)了對焦圖像的清晰度，因此，重復(fù)步驟101至109，獲得一系列離焦圖像，根據(jù)對焦窗口區(qū)域內(nèi)的圖像，對每張圖像計算并獲得對應(yīng)的對焦評價函數(shù)的值，不同圖像的對焦評價函數(shù)的值描述了該圖像的清晰度。根據(jù)所述每張圖像的對焦評價函數(shù)的值獲得所述對焦評價函數(shù)值的極值點，所述極值點對應(yīng)的圖像即為最清晰的圖像，即完成對焦過程。

步驟111：根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。

如步驟110中所述，所述極值點對應(yīng)的圖像即為最清晰的圖像，即為所述第三目標(biāo)圖像，也就是完成對焦過程得到的最終對焦圖像。

如圖2所示，本申請實施例還提供一種獲得顯著圖像的方法流程圖，所述方法包括：

步驟201：獲得所述第一圖像的平均像素值；

具體來說，所述第一圖像是指掃描電子顯微鏡sem在采集圖像時掃描到的初始圖像，計算并獲得所述初始圖像的平均像素值。

步驟202：獲得帶通濾波器處理后的所述第一圖像；

具體來說，使用多個高斯差分結(jié)合的帶通濾波器對所述第一圖像進行處理后，獲得處理后的所述第一圖像。

步驟203：獲得所述處理后的第一圖像的每個點的像素值；

具體來說，獲得所述處理后的第一圖像后，計算并獲得所述處理后的第一圖像的每個點的像素值。

步驟204：獲得所述處理后的第一圖像的顯著值，其中，所述顯著值是指所述處理后的第一圖像的所述每個點的像素值和所述第一圖像的平均像素值之間的歐幾里得距離；

具體來說，本步驟獲得處理后的第一圖像的顯著值。計算并獲得所述處理后的第一圖像的每個點的像素值和所述第一圖像的平均像素值之間的歐幾里得距離，所述歐幾里得距離即是所述處理后的第一圖像的顯著值。

步驟205：根據(jù)所述處理后的第一圖像的顯著值獲得所述第一目標(biāo)圖像，其中，所述處理后的第一圖像的顯著值可轉(zhuǎn)化為灰度圖像，所述第一目標(biāo)圖像為所述灰度圖像的一部分。

具體來說，將所述處理后的第一圖像的顯著值轉(zhuǎn)化為灰度圖像，從所述灰度圖像中提取設(shè)定范圍內(nèi)的顯著值部分作為顯著圖像，即所述第一目標(biāo)圖像，其中，所述顯著值的設(shè)定范圍可根據(jù)需求進行自定義設(shè)定。

本申請實施例提供一種圖像自動對焦設(shè)備，所述設(shè)備包括：處理器，適用于實現(xiàn)各指令；存儲設(shè)備，適用于存儲多條指令，所述指令適于由處理器加載并執(zhí)行；獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。

進一步地，所述設(shè)備還包括：獲得所述第一圖像的平均像素值；獲得帶通濾波器處理后的所述第一圖像；獲得所述處理后的第一圖像的每個點的像素值；獲得所述處理后的第一圖像的顯著值，其中，所述顯著值是指所述處理后的第一圖像的所述每個點的像素值和所述第一圖像的平均像素值之間的歐幾里得距離；根據(jù)所述處理后的第一圖像的顯著值獲得所述第一目標(biāo)圖像，其中，所述處理后的第一圖像的顯著值可轉(zhuǎn)化為灰度圖像，所述第一目標(biāo)圖像為所述灰度圖像的一部分。

進一步地，所述設(shè)備還包括：根據(jù)凸包法獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域。

進一步地，所述設(shè)備還包括：根據(jù)log算子和所述第二圖像獲得所述第二目標(biāo)圖像；其中，所述log算子的公式為其中，所述f(m,n)表示所述第二圖像，h(m,n)表示所述第二目標(biāo)圖像，g(m,n)表示高斯濾波器，表示拉普拉斯算子。

本申請實施例中一種圖像自動對焦方法和設(shè)備，至少具有如下技術(shù)效果：

1、本申請實施例提供一種圖像自動對焦方法和設(shè)備。所述方法包括：獲得第一圖像，其中，所述第一圖像包括背景圖像和噪聲圖像；根據(jù)所述第一圖像獲得第一目標(biāo)圖像，其中，所述第一目標(biāo)圖像為從所述第一圖像中濾除所述背景圖像和所述噪聲圖像后獲得的圖像；根據(jù)所述第一目標(biāo)圖像獲得第一顯著區(qū)域圖像；其中，所述第一顯著區(qū)域圖像為所述第一目標(biāo)圖像的顯著區(qū)域圖像；獲得所述第一顯著區(qū)域圖像的最小外接矩形區(qū)域；將所述最小外接矩形區(qū)域確定為對焦窗口區(qū)域，其中，所述對焦窗口區(qū)域中包括第二圖像；根據(jù)所述第二圖像獲得第二目標(biāo)圖像，其中，所述第二目標(biāo)圖像為所述第二圖像經(jīng)平滑處理后的圖像；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度值hlv(m,n)；獲得所述第二目標(biāo)圖像在所述對焦窗口區(qū)域內(nèi)的像素灰度平均值根據(jù)所述像素灰度值和所述像素灰度平均值獲得所述第二目標(biāo)圖像的對焦評價函數(shù)的值，其中，所述對焦評價函數(shù)獲得所述對焦評價函數(shù)的極值；根據(jù)所述極值獲得第三目標(biāo)圖像，其中，所述第三目標(biāo)圖像為最終對焦圖像。通過上述技術(shù)方案，解決了現(xiàn)有圖像對焦技術(shù)掃描采集時間長，對焦靈敏度低的技術(shù)問題，具有有效濾除背景圖像和噪聲，降低計算量，從而增加sem自動對焦技術(shù)的適用范圍和工作效率，實現(xiàn)sem快速、精密對焦的技術(shù)效果。

盡管已描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本發(fā)明范圍的所有變更和修改。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。