技術(shù)特征：

1.一種基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.如權(quán)利要求1所述的基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法，其特征在于：

3.如權(quán)利要求2所述的基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法，其特征在于：

4.如權(quán)利要求3所述的基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法，其特征在于：

5.如權(quán)利要求4所述的基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法，其特征在于：

6.一種光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度系統(tǒng)，與晶圓制造系統(tǒng)通信連接，其特征在于，包括：模型模塊、數(shù)據(jù)交互模塊、光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度控制模塊，

7.如權(quán)利要求6所述的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度系統(tǒng)，其特征在于：

8.如權(quán)利要求6所述的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度系統(tǒng)，其特征在于：

9.一種計算機可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計算機程序指令，所述計算機程序指令被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權(quán)利要求1～8中任意一項所述的基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法中的步驟。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法及系統(tǒng)，該方法包括以下步驟：對晶圓制造系統(tǒng)光刻加工區(qū)數(shù)據(jù)進行采集與預(yù)處理；定義光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度馬爾科夫貫序決策過程，建立基于深度強化學(xué)習(xí)的光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度方法模型；基于深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)構(gòu)建光刻加工區(qū)自調(diào)度智能體；構(gòu)建光刻加工區(qū)調(diào)度環(huán)境并與該智能體交互，訓(xùn)練并優(yōu)化調(diào)度決策；將自調(diào)度智能體模型部署至深度強化學(xué)習(xí)光刻加工區(qū)快響應(yīng)調(diào)度系統(tǒng)中實時監(jiān)測環(huán)境狀態(tài)并做出調(diào)度決策。本發(fā)明實時性與動態(tài)響應(yīng)能力較強，能夠?qū)崿F(xiàn)光刻區(qū)多種目標的自適應(yīng)優(yōu)化，提升了光刻加工區(qū)調(diào)度效率與生產(chǎn)效能，為光刻加工區(qū)實時調(diào)度問題提供了有效解決方案。

技術(shù)研發(fā)人員：吳立輝,石津銘,董婉嬌,李春俊,顧天鑫,金克山
受保護的技術(shù)使用者：上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23