本發(fā)明涉及計(jì)算機(jī)視覺(jué)領(lǐng)域，具體涉及一種圖像處理方法、裝置、設(shè)備及產(chǎn)品。

背景技術(shù)：

1、在晶圓檢測(cè)時(shí)，為了確定晶圓上存在的缺陷，需要將待檢測(cè)圖像與標(biāo)準(zhǔn)的模板圖像進(jìn)行比對(duì)以此獲取待檢測(cè)圖像中的缺陷。但是若模板圖像中并非只有缺陷檢測(cè)所需的關(guān)鍵位置信息，還存在著影響到缺陷檢測(cè)精度的無(wú)關(guān)信息，那么在后續(xù)的缺陷檢測(cè)時(shí)必然會(huì)影響到缺陷檢測(cè)結(jié)果。

2、因此，如何盡可能地保留關(guān)鍵位置信息并去除掉無(wú)關(guān)信息是目前業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種圖像處理方法、裝置、設(shè)備及產(chǎn)品，以解決目前晶圓缺陷檢測(cè)中模板圖像中還存在影響到缺陷檢測(cè)精度的無(wú)關(guān)信息進(jìn)而導(dǎo)致缺陷檢測(cè)結(jié)果不夠精確的問(wèn)題。

2、根據(jù)第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種圖像處理方法，該方法包括：

3、獲取樣品的初始模板圖像；所述樣品的待測(cè)面具有多個(gè)重復(fù)單元，所述初始模板圖像僅包含單個(gè)重復(fù)單元的圖像；

4、獲取樣本圖像，所述重復(fù)單元的圖像在所述樣本圖像中所處的區(qū)域?yàn)橹貜?fù)單元區(qū)，所述樣本圖像包括各重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息；

5、根據(jù)樣本圖像中至少一個(gè)重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息獲取多個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息；

6、分別根據(jù)每個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息對(duì)樣本圖像執(zhí)行模板匹配處理；所述模板匹配處理包括：根據(jù)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息獲取樣本圖像的待匹配區(qū)域；所述樣本圖像包含多個(gè)待匹配區(qū)域，所述待匹配區(qū)域包含完整的重復(fù)單元區(qū)且待匹配區(qū)域的尺寸超過(guò)重復(fù)單元區(qū)尺寸；從所述待匹配區(qū)域中分別獲取與所述初始模板圖像匹配度最高的區(qū)域作為該待匹配區(qū)域的匹配模板圖像；

7、利用多張所述匹配模板圖像對(duì)待檢測(cè)圖像進(jìn)行檢測(cè)，得到檢測(cè)結(jié)果。

8、結(jié)合第一方面，在第一方面第一實(shí)施方式中，所述根據(jù)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息獲取樣本圖像的待匹配區(qū)域，包括：

9、基于每個(gè)重復(fù)單元的預(yù)計(jì)位置信息分別獲取對(duì)應(yīng)的待匹配區(qū)域的初始匹配區(qū)，并根據(jù)預(yù)設(shè)偏差調(diào)整值對(duì)樣本圖像中各個(gè)初始匹配區(qū)進(jìn)行擴(kuò)展，獲取樣本圖像的待匹配區(qū)域。

10、結(jié)合第一方面，在第一方面第二實(shí)施方式中，所述根據(jù)樣本圖像中至少一個(gè)重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息獲取多個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息，包括：將樣本圖像中至少一個(gè)重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息作為對(duì)應(yīng)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息；或者，

11、根據(jù)樣本圖像中至少一個(gè)重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息獲取多個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息，以及分別根據(jù)每個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息對(duì)樣本圖像執(zhí)行模板匹配處理，包括：

12、獲取樣本圖像中任意一個(gè)重復(fù)單元區(qū)作為起始單元區(qū)，并將所述起始單元區(qū)的初始位置信息作為所述起始單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息；

13、根據(jù)所述起始單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息對(duì)樣本圖像執(zhí)行所述模板匹配處理，獲取起始單元區(qū)的匹配模板圖像，得到所述起始單元區(qū)的匹配位置信息，所述匹配位置信息為所述起始單元區(qū)的匹配模板圖像的位置信息；

14、基于所述起始單元區(qū)的匹配位置信息以及待測(cè)面的重復(fù)單元的分布規(guī)則獲取其他一個(gè)或多個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息；

15、根據(jù)所述起始單元區(qū)之外的重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息對(duì)樣本圖像執(zhí)行所述模板匹配處理，獲取至少一個(gè)匹配模板圖像。

16、結(jié)合第一方面，在第一方面第三實(shí)施方式中，所述從所述待匹配區(qū)域中分別獲取與所述初始模板圖像匹配度最高的區(qū)域作為該待匹配區(qū)域的匹配模板圖像，具體包括：

17、分別使每個(gè)待匹配區(qū)域與初始模板圖像進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，并在移動(dòng)過(guò)程中獲取每個(gè)待匹配區(qū)域與初始模板圖像處于多個(gè)相對(duì)位置處的重疊區(qū)域，作為第一重疊區(qū)域；

18、獲取待匹配區(qū)域的每個(gè)第一重疊區(qū)域與初始模板圖像的匹配度；

19、將匹配度最高的第一重疊區(qū)域作為匹配模板圖像。

20、結(jié)合第一方面，在第一方面第四實(shí)施方式中，所述從所述待匹配區(qū)域中分別獲取與所述初始模板圖像匹配度最高的區(qū)域作為該待匹配區(qū)域的匹配模板圖像，具體包括：

21、獲取初始模板圖中的感興趣區(qū)域；

22、分別使每個(gè)待匹配區(qū)域與所述感興趣區(qū)域進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，并在移動(dòng)過(guò)程中獲取每個(gè)待匹配區(qū)域與感興趣區(qū)域處于多個(gè)相對(duì)位置處的重疊區(qū)域，作為第二重疊區(qū)域；

23、獲取待匹配區(qū)域的每個(gè)第二重疊區(qū)域與感興趣區(qū)域的匹配度；

24、將匹配度最高的第二重疊區(qū)域所處的相對(duì)位置處，待匹配區(qū)域與所述初始模板的第一重疊區(qū)域作為匹配模板圖像。

25、結(jié)合第一方面，在第一方面第五實(shí)施方式中，所述感興趣區(qū)域包含初始模板圖像中的感興趣特征，所述感興趣特征包含幾何圖形區(qū)域、邊緣區(qū)域、中心區(qū)域中的至少一項(xiàng)。

26、結(jié)合第一方面，在第一方面第六實(shí)施方式中，所述利用多張所述匹配模板圖像對(duì)待檢測(cè)圖像進(jìn)行檢測(cè)，得到檢測(cè)結(jié)果，具體包括：

27、根據(jù)多張所述匹配模板圖像得到目標(biāo)模板圖像；

28、利用所述目標(biāo)模板圖像對(duì)待檢測(cè)圖像進(jìn)行比較處理，獲取待檢測(cè)圖像中的待測(cè)目標(biāo)。

29、結(jié)合第一方面第六實(shí)施方式，在第一方面第七實(shí)施方式中，所述根據(jù)多張所述匹配模板圖像得到目標(biāo)模板圖像，具體包括：

30、獲取每張所述匹配模板圖像各像素的平均灰度值以及待檢測(cè)圖像各像素的平均灰度值；

31、將與待檢測(cè)圖像的平均灰度值差值最小的所述匹配模板圖像作為目標(biāo)模板圖像。

32、結(jié)合第一方面第六實(shí)施方式，在第一方面第八實(shí)施方式中，所述根據(jù)多張所述匹配模板圖像得到目標(biāo)模板圖像，具體包括：

33、獲取多個(gè)所述匹配模板圖像的同一匹配點(diǎn)的平均灰度值；所述同一匹配點(diǎn)為匹配模板圖像與初始模板圖像中同一物理位置的像素點(diǎn)；

34、根據(jù)匹配模板圖像的所有同一匹配點(diǎn)的平均灰度值得到的圖像作為目標(biāo)模板圖像。

35、結(jié)合第一方面第六實(shí)施方式，在第一方面第九實(shí)施方式中，所述待測(cè)目標(biāo)為缺陷；所述利用所述目標(biāo)模板圖像對(duì)待檢測(cè)圖像進(jìn)行比較處理，獲取待檢測(cè)圖像中的待測(cè)目標(biāo)，具體包括：

36、從待檢測(cè)圖像中提取與目標(biāo)模板圖像匹配度最高的區(qū)域作為所述待檢測(cè)圖像的目標(biāo)檢測(cè)區(qū)域；

37、獲取目標(biāo)模板圖像相對(duì)于目標(biāo)檢測(cè)區(qū)域各個(gè)像素點(diǎn)的灰度差值；比較灰度差值與預(yù)設(shè)閾值得到待檢測(cè)圖像的待測(cè)目標(biāo)。

38、根據(jù)第三方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種圖像處理裝置，所述裝置包括：

39、第一獲取模塊，用于獲取樣品的初始模板圖像；所述樣品的待測(cè)面具有多個(gè)重復(fù)單元，所述初始模板圖像僅包含單個(gè)重復(fù)單元的圖像；

40、第二獲取模塊，用于獲取樣本圖像，所述重復(fù)單元的圖像在所述樣本圖像中所處的區(qū)域?yàn)橹貜?fù)單元區(qū)，所述樣本圖像包括各重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息；

41、第三獲取模塊，用于根據(jù)樣本圖像中至少一個(gè)重復(fù)單元區(qū)的初始位置信息獲取多個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息；

42、圖像匹配模塊，用于分別根據(jù)每個(gè)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息對(duì)樣本圖像執(zhí)行模板匹配處理；所述模板匹配處理包括：根據(jù)重復(fù)單元區(qū)的預(yù)計(jì)位置信息獲取樣本圖像的待匹配區(qū)域；所述樣本圖像包含多個(gè)待匹配區(qū)域，所述待匹配區(qū)域包含完整的重復(fù)單元區(qū)且待匹配區(qū)域的尺寸超過(guò)重復(fù)單元區(qū)的尺寸；從所述待匹配區(qū)域中分別獲取與所述初始模板圖像匹配度最高的區(qū)域作為該待匹配區(qū)域的匹配模板圖像；

43、檢測(cè)模塊，用于利用多張所述匹配模板圖像對(duì)待檢測(cè)圖像進(jìn)行檢測(cè)，得到檢測(cè)結(jié)果。

44、根據(jù)第三方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種電子設(shè)備，包括存儲(chǔ)器、處理器及存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器上并可在處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序，所述處理器執(zhí)行所述程序時(shí)實(shí)現(xiàn)如上述任一種所述圖像處理方法的步驟。

45、根據(jù)第四方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，該計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如上述任一種所述圖像處理方法的步驟。

46、本發(fā)明提供的圖像處理方法、裝置、設(shè)備及產(chǎn)品，通過(guò)獲取僅包含完整重復(fù)單元且與重復(fù)單元尺寸相同的初始模板圖像，再通過(guò)從樣本圖像中確定至少一個(gè)包含完整重復(fù)單元且尺寸超過(guò)重復(fù)單元尺寸的待匹配區(qū)域，并將每個(gè)待匹配區(qū)域中與初始模板圖像匹配度最高的區(qū)域分別作為一張匹配模板圖像，這樣就利用一張的初始模板圖像擴(kuò)展得到若干同樣僅包含完整重復(fù)單元的匹配模板圖像，匹配模板圖像中不會(huì)包含缺陷檢測(cè)的無(wú)關(guān)信息，解決了目前晶圓缺陷檢測(cè)中模板圖像中還存在影響到缺陷檢測(cè)精度的無(wú)關(guān)信息進(jìn)而導(dǎo)致缺陷檢測(cè)結(jié)果不夠精確的問(wèn)題，利用這些僅包含完整重復(fù)單元的匹配模板圖像比對(duì)待檢測(cè)圖像中存在的待測(cè)目標(biāo)時(shí)，既提升了檢測(cè)效率也提升了檢測(cè)精度。