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      一種光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法、裝置、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品

      文檔序號:40425945發(fā)布日期:2024-12-24 14:59閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,包括:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,調(diào)整所述第二矩陣的元素值,以使得對應(yīng)的所述目標(biāo)矩陣滿足第一預(yù)設(shè)要求,包括:

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,基于所述第二矩陣,確定對應(yīng)的所述目標(biāo)矩陣,包括:

      4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,所述第一結(jié)果為所述矩陣相似度值以及所述約束參數(shù)值之和;所述第一預(yù)設(shè)要求包括所述第一結(jié)果大于預(yù)設(shè)閾值;

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,所述相似度函數(shù)用于計算以下任意一項或任意組合:

      6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,所述約束參數(shù)值包括以下任意一項或任意組合:光子器件的最小特征尺寸、最小間距以及最小曲率半徑。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,所述性能條件包括光子器件的能量損耗值小于損耗閾值;

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,基于所述目標(biāo)矩陣,獲取性能目標(biāo)函數(shù)輸出的光子器件的能量損耗值,包括:

      9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法,其特征在于,所述在光子器件不滿足所述性能條件的情況下,調(diào)整所述第一矩陣的元素值,包括:

      10.一種光子器件的結(jié)構(gòu)確定裝置,其特征在于,所述裝置包括:

      11.一種光子器件的結(jié)構(gòu)確定設(shè)備,其特征在于,所述設(shè)備包括:處理器以及存儲有計算機程序指令的存儲器;

      12.一種計算機可讀存儲介質(zhì),其特征在于,所述計算機可讀存儲介質(zhì)上存儲有計算機程序指令,所述計算機程序指令被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權(quán)利要求1至9任意一項所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法。

      13.一種計算機程序產(chǎn)品,其特征在于,所述計算機程序產(chǎn)品中的指令由電子設(shè)備的處理器執(zhí)行時,使得所述電子設(shè)備執(zhí)行如權(quán)利要求1至9任意一項所述的光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法。


      技術(shù)總結(jié)
      本申請公開了一種光子器件的結(jié)構(gòu)確定方法、裝置、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品,應(yīng)用于光子器件設(shè)計領(lǐng)域。先單獨調(diào)整第二矩陣的元素值,以使得光子器件滿足制造約束條件。若不滿足性能條件,則調(diào)整第一矩陣優(yōu)化一次性能,然后繼續(xù)調(diào)整第二矩陣使得光子器件滿足約束條件。本方案將光子器件逆向設(shè)計問題轉(zhuǎn)換為雙層數(shù)值優(yōu)化問題,使得在光子器件逆向設(shè)計優(yōu)化的整個過程中,每次性能優(yōu)化迭代時獲得的光子器件均能夠滿足給定的最小制造約束條件,實現(xiàn)快速搜索和優(yōu)化收斂,使得最終得到的設(shè)計能夠在滿足約束條件的同時最大化地提高光子器件的性能。該方法可同時應(yīng)用于光刻、電子束光刻系統(tǒng)等微納加工中,減少逆向設(shè)計的所需的計算資源和仿真時間,并提高通過逆向設(shè)計獲得的光子器件的可制造性和良率。

      技術(shù)研發(fā)人員:童業(yè)煜,陳昊,郝沁汾,臧益鵬
      受保護的技術(shù)使用者:香港科技大學(xué)(廣州)
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/23
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