1.一種晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述獲取晶圓原始掃描圖像，并對(duì)原始掃描圖像進(jìn)行預(yù)處理，獲取目標(biāo)圖像包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述將所述目標(biāo)圖像進(jìn)行邊緣檢測，獲取二進(jìn)制圖像包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述對(duì)晶圓灰度圖像進(jìn)行灰度梯度計(jì)算，以獲取梯度幅度和方向包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述對(duì)晶圓灰度圖像進(jìn)行非極大值抑制包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述對(duì)晶圓灰度圖像進(jìn)行雙閾值設(shè)定方法如下：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述對(duì)目標(biāo)圖形輪廓值進(jìn)行雙閾值設(shè)定，以抑制弱邊緣，保留強(qiáng)邊緣還包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述從所述二進(jìn)制圖像中抽取輪廓，并對(duì)抽取的輪廓做篩選和補(bǔ)全處理，得到二進(jìn)制圖像輪廓包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取方法，其特征在于，所述對(duì)所述二進(jìn)制圖像輪廓進(jìn)行篩選處理，并輸出晶圓圖像輪廓，將所述晶圓圖像輪廓疊加至所述原始掃描圖像中，以進(jìn)行圖形化顯示包括：
10.一種晶圓電鏡掃描圖像輪廓的提取系統(tǒng)，其特征在于，包括：