本技術(shù)涉及潔凈度測試，尤其涉及一種潔凈工作臺潔凈度測試方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、潔凈室或潔凈區(qū)定期進行性能測試或檢測的目的是認證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合標準和規(guī)范的要求。對于保障產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率、監(jiān)測設(shè)備性能以及支持科研創(chuàng)新等方面都具有重要意義。

2、傳統(tǒng)技術(shù)中，對于潔凈工作臺的潔凈度測試是在整體上進行一系列測試，未考慮到不同位置區(qū)域極有可能存在相互之間的關(guān)聯(lián)性影響，進而導(dǎo)致初始測試的各項參數(shù)數(shù)據(jù)存在一定的誤差，降低了測試工作的效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本技術(shù)提供一種潔凈工作臺潔凈度測試方法及系統(tǒng)。

2、第一方面，本技術(shù)提供的一種潔凈工作臺潔凈度測試方法，所述方法包括：

3、獲取目標工作臺的歷史測試記錄數(shù)據(jù)，根據(jù)所述歷史測試記錄數(shù)據(jù)，對演進因果模型進行訓(xùn)練得到訓(xùn)練后的演進因果模型；

4、對所述目標工作臺進行若干各區(qū)域塊劃分得到區(qū)塊集，檢測區(qū)塊集的第一檢測數(shù)據(jù)集和第二檢測數(shù)據(jù)集，根據(jù)第一檢測數(shù)據(jù)集和訓(xùn)練后的演進因果模型，預(yù)測出第三檢測數(shù)據(jù)集，將第二檢測數(shù)據(jù)集和第三檢測數(shù)據(jù)集進行差異比對，以從區(qū)塊集中篩選出待校驗區(qū)塊集；

5、從所述待校驗區(qū)塊集中選取目標區(qū)塊、第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊，將目標區(qū)塊和第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊所屬檢測到的參數(shù)集進行比對處理得到第一預(yù)處理項參數(shù)，將目標區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊所屬檢測到的參數(shù)集進行比對處理得到第二預(yù)處理項參數(shù)；

6、對所述第一預(yù)處理項參數(shù)進行轉(zhuǎn)移量評估得到第一轉(zhuǎn)移量，根據(jù)第一轉(zhuǎn)移量，對第一關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)；

7、對所述第二預(yù)處理項參數(shù)進行轉(zhuǎn)移量評估得到第二轉(zhuǎn)移量，根據(jù)第二轉(zhuǎn)移量，對第二關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)，根據(jù)第一轉(zhuǎn)移量和第二轉(zhuǎn)移量，對目標檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到目標修正檢測數(shù)據(jù)；

8、根據(jù)所述目標修正檢測數(shù)據(jù)、第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)和第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)，統(tǒng)計待校驗區(qū)塊集所屬的修正檢測數(shù)據(jù)集，并對修正檢測數(shù)據(jù)集進行最終潔凈度評估得到潔凈度測試結(jié)果。

9、優(yōu)選的，獲取目標工作臺在歷史時期進行潔凈度測試的歷史測試記錄數(shù)據(jù)，從所述歷史測試記錄數(shù)據(jù)中選取若干個歷史時期的各項參數(shù)測試數(shù)據(jù)，分別評估出若干個歷史時期的各項參數(shù)測試數(shù)據(jù)相互之間的關(guān)聯(lián)性影響程度值得到歷史關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)，根據(jù)歷史關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)，輸出歷史關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)集；

10、將所述歷史關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)集輸入至演進因果模型中進行訓(xùn)練得到訓(xùn)練后的演進因果模型。

11、優(yōu)選的，將所述目標工作臺進行若干區(qū)域塊的劃分得到區(qū)塊集，對區(qū)塊集中各個位置區(qū)域均進行各項關(guān)鍵參數(shù)的數(shù)據(jù)檢測得到第一檢測數(shù)據(jù)集，第一檢測數(shù)據(jù)集中每項參數(shù)在進行檢測時，其他項參數(shù)是處于穩(wěn)定或理想條件下的；

12、對區(qū)塊集中各個位置區(qū)域均進行各項關(guān)鍵參數(shù)的數(shù)據(jù)檢測得到第二檢測數(shù)據(jù)集，第二檢測數(shù)據(jù)集中每項參數(shù)在進行檢測時，其他項參數(shù)是處于非理想條件下的；

13、將所述第二檢測數(shù)據(jù)集輸入至訓(xùn)練后的演進因果模型中進行測試得到預(yù)測關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)集；

14、根據(jù)預(yù)測關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)集，預(yù)測出所述第一檢測數(shù)據(jù)集在預(yù)測關(guān)聯(lián)程度數(shù)據(jù)集作用下的第三檢測數(shù)據(jù)集；

15、將所述第二檢測數(shù)據(jù)集和第三檢測數(shù)據(jù)集進行各項參數(shù)差異程度比對得到差異程度比對結(jié)果集；

16、預(yù)設(shè)差異判定閾值，從所述區(qū)塊集中篩選出差異程度比對結(jié)果集中存在大于差異判定閾值的比對結(jié)果對應(yīng)的區(qū)塊，輸出待校驗區(qū)塊集。

17、優(yōu)選的，從所述待校驗區(qū)塊集中選取目標區(qū)塊，根據(jù)目標區(qū)塊，從待校驗區(qū)塊集中篩選出與目標區(qū)塊位置相鄰的第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊，第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊的位置非相鄰；

18、根據(jù)所述目標區(qū)塊、第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊，從檢測數(shù)據(jù)集中提取出相應(yīng)的目標檢測數(shù)據(jù)、第一關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)和第二關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)；

19、將所述目標檢測數(shù)據(jù)和第一關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行各項參數(shù)的差異比較得到第一差異項參數(shù)集；

20、從所述第一差異項參數(shù)集中提取出可轉(zhuǎn)移的參數(shù)項數(shù)據(jù)得到第一預(yù)處理項參數(shù)；

21、將所述目標檢測數(shù)據(jù)和第二關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行各項參數(shù)的差異比較得到第二差異項參數(shù)集；

22、從所述第二差異項參數(shù)集中提取出可轉(zhuǎn)移的參數(shù)項數(shù)據(jù)得到第二預(yù)處理項參數(shù)。

23、優(yōu)選的，將所述第一預(yù)處理項參數(shù)中兩個同類別的差異項參數(shù)進行求差值得到第一預(yù)處理差值；

24、根據(jù)所述第一預(yù)處理差值，從第一關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)中剔除掉與第一預(yù)處理差值所屬同類別的參數(shù)數(shù)據(jù)得到第一篩選關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)；

25、將所述第一預(yù)處理差值和第一篩選關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)輸入至訓(xùn)練后的演進因果模型中進行測試得到第一轉(zhuǎn)移關(guān)聯(lián)影響程度數(shù)據(jù)集；

26、根據(jù)所述第一轉(zhuǎn)移關(guān)聯(lián)影響程度數(shù)據(jù)集和第一預(yù)處理差值，評估出相應(yīng)的第一轉(zhuǎn)移量；

27、根據(jù)第一轉(zhuǎn)移量，對第一關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)。

28、優(yōu)選的，將所述第二預(yù)處理項參數(shù)中兩個同類別的差異項參數(shù)進行求差值得到第二預(yù)處理差值；

29、根據(jù)所述第二預(yù)處理差值，從第二關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)中剔除掉與第二預(yù)處理差值所屬同類別的參數(shù)數(shù)據(jù)得到第二篩選關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)；

30、將所述第二預(yù)處理差值和第二篩選關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)輸入至訓(xùn)練后的演進因果模型中進行測試得到第二轉(zhuǎn)移關(guān)聯(lián)影響程度數(shù)據(jù)集；

31、根據(jù)所述第二轉(zhuǎn)移關(guān)聯(lián)影響程度數(shù)據(jù)集和第二預(yù)處理差值，評估出相應(yīng)的第二轉(zhuǎn)移量；

32、根據(jù)第二轉(zhuǎn)移量，對第二關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)；

33、根據(jù)所述第一轉(zhuǎn)移量和第二轉(zhuǎn)移量，對目標檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到目標修正檢測數(shù)據(jù)。

34、優(yōu)選的，根據(jù)所述目標區(qū)塊、第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊，對待校驗區(qū)塊集中剩余區(qū)塊進行預(yù)處理得到預(yù)處理剩余區(qū)塊集；

35、根據(jù)所述預(yù)處理剩余區(qū)塊集，從檢測數(shù)據(jù)集中篩選出相應(yīng)的預(yù)處理剩余檢測數(shù)據(jù)集；

36、根據(jù)所述目標修正檢測數(shù)據(jù)、第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)和第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)，對預(yù)處理剩余檢測數(shù)據(jù)集進行數(shù)據(jù)修正處理得到剩余修正檢測數(shù)據(jù)；

37、所述目標修正檢測數(shù)據(jù)、第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)、第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)和剩余修正檢測數(shù)據(jù)組合成修正檢測數(shù)據(jù)集；

38、對所述修正檢測數(shù)據(jù)集中各修正檢測數(shù)據(jù)進行最終潔凈度評估得到潔凈度測試結(jié)果。

39、第二方面，一種潔凈工作臺潔凈度測試系統(tǒng)，包括：

40、模型訓(xùn)練單元，用于獲取目標工作臺的歷史測試記錄數(shù)據(jù)，根據(jù)歷史測試記錄數(shù)據(jù)，對演進因果模型進行訓(xùn)練得到訓(xùn)練后的演進因果模型；

41、待測區(qū)塊篩選單元，用于對目標工作臺進行若干各區(qū)域塊劃分得到區(qū)塊集，檢測區(qū)塊集的第一檢測數(shù)據(jù)集和第二檢測數(shù)據(jù)集，根據(jù)第一檢測數(shù)據(jù)集和訓(xùn)練后的演進因果模型，預(yù)測出第三檢測數(shù)據(jù)集，將第二檢測數(shù)據(jù)集和第三檢測數(shù)據(jù)集進行差異比對，以從區(qū)塊集中篩選出待校驗區(qū)塊集；

42、差異項參數(shù)提取單元，用于從待校驗區(qū)塊集中選取目標區(qū)塊、第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊，將目標區(qū)塊和第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊所屬檢測到的參數(shù)集進行比對處理得到第一預(yù)處理項參數(shù)，將目標區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊所屬檢測到的參數(shù)集進行比對處理得到第二預(yù)處理項參數(shù)；

43、關(guān)聯(lián)區(qū)塊參數(shù)修正單元一，用于對第一預(yù)處理項參數(shù)進行轉(zhuǎn)移量評估得到第一轉(zhuǎn)移量，根據(jù)第一轉(zhuǎn)移量，對第一關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)；

44、關(guān)聯(lián)區(qū)塊參數(shù)修正單元二，用于對第二預(yù)處理項參數(shù)進行轉(zhuǎn)移量評估得到第二轉(zhuǎn)移量，根據(jù)第二轉(zhuǎn)移量，對第二關(guān)聯(lián)檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)，根據(jù)第一轉(zhuǎn)移量和第二轉(zhuǎn)移量，對目標檢測數(shù)據(jù)進行相應(yīng)轉(zhuǎn)移項參數(shù)的修正處理得到目標修正檢測數(shù)據(jù)；

45、潔凈度最終評估單元，用于根據(jù)目標修正檢測數(shù)據(jù)、第一關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)和第二關(guān)聯(lián)修正檢測數(shù)據(jù)，統(tǒng)計待校驗區(qū)塊集所屬的修正檢測數(shù)據(jù)集，并對修正檢測數(shù)據(jù)集進行最終潔凈度評估得到潔凈度測試結(jié)果。

46、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下特點和有益效果：

47、通過將潔凈工作臺進行若干各區(qū)域塊的劃分，以便于進行各個劃分出的區(qū)塊所屬各項參數(shù)的單獨性檢測，以此提高了數(shù)據(jù)檢測的精確度，并規(guī)避了因傳統(tǒng)技術(shù)的統(tǒng)一化數(shù)據(jù)檢測造成的較大誤差，即未考慮到不同位置區(qū)域的所屬各項參數(shù)信息具有不同程度的差異性，并進行兩種條件下各項參數(shù)的比對分析來判斷出區(qū)塊集中哪些區(qū)塊是需要進行二次參數(shù)重新檢測評估的，即一種條件是在進行某項參數(shù)檢測時，其他項參數(shù)是處于穩(wěn)定或是理想條件下，一種條件是進行某項參數(shù)檢測時，其他項參數(shù)是處于非理想條件下的，并利用歷史檢測記錄數(shù)據(jù)來進行演進因果模型的訓(xùn)練，充分提高了數(shù)據(jù)資源的利用率，并對有效數(shù)據(jù)資源信息進行了可持續(xù)發(fā)展的科學(xué)性研究，增強了后續(xù)數(shù)據(jù)信息處理結(jié)果的可靠性，通過對相鄰關(guān)聯(lián)的第一關(guān)聯(lián)區(qū)塊和第二關(guān)聯(lián)區(qū)塊對目標區(qū)塊的參數(shù)轉(zhuǎn)移影響，來對目標區(qū)塊所屬的差異項參數(shù)進行修正，以實現(xiàn)對目標區(qū)塊進行二次的潔凈度重新評估，以此類推，對待校驗區(qū)塊集中剩余的其他待測區(qū)塊進行同樣的步驟處理，以實現(xiàn)對待校驗區(qū)塊集進行最終的潔凈度評估，整個處理過程提高了工作臺潔凈度評估的準確度和工作效率。