本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理方法、系統(tǒng)、設(shè)備及介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體制造已成為全球范圍內(nèi)的重要產(chǎn)業(yè)，其與多種電子設(shè)備（如智能手機(jī)、計(jì)算機(jī)和物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備）密切相關(guān)，而并非所有半導(dǎo)體制造企業(yè)都實(shí)現(xiàn)了高效的工藝配方參數(shù)管理，這就引出了傳統(tǒng)的手動(dòng)管理方式和自動(dòng)化的數(shù)字化管理方式。傳統(tǒng)手動(dòng)管理和自動(dòng)化數(shù)字化管理的識(shí)別涉及區(qū)分企業(yè)在工藝配方參數(shù)管理效率上的差異。實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化數(shù)字化管理的企業(yè)盡管投入了大量的資金和人力，但能夠顯著提高生產(chǎn)效率、減少錯(cuò)誤、縮短產(chǎn)品上市時(shí)間等；采用傳統(tǒng)手動(dòng)管理的企業(yè)則面臨著效率低下、錯(cuò)誤頻發(fā)等問(wèn)題。因此自動(dòng)化數(shù)字化管理的識(shí)別對(duì)于診斷、預(yù)防及改進(jìn)低效的工藝配方參數(shù)管理尤為重要，有助于提升企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力和盈利能力。當(dāng)前，工藝配方參數(shù)管理方式的識(shí)別主要基于人工統(tǒng)計(jì)、問(wèn)卷調(diào)查以及現(xiàn)場(chǎng)觀察等方法，如統(tǒng)計(jì)人工錄入和轉(zhuǎn)換配方參數(shù)的時(shí)間、調(diào)查工程師對(duì)配方管理系統(tǒng)的使用反饋和觀察生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的工藝執(zhí)行情況等。這些方法雖然在一定程度上有效，但存在一定的局限性，比如人工統(tǒng)計(jì)和問(wèn)卷調(diào)查容易受到主觀因素的影響，現(xiàn)場(chǎng)觀察難以全面評(píng)估整個(gè)生產(chǎn)流程。這些評(píng)估通常還需要投入大量的時(shí)間和人力，給企業(yè)帶來(lái)額外的成本負(fù)擔(dān)。

2、近年來(lái)，隨著信息技術(shù)的進(jìn)步，基于數(shù)據(jù)分析的工藝管理評(píng)估方法逐漸受到關(guān)注。設(shè)備運(yùn)行日志數(shù)據(jù)因其能夠客觀地反映設(shè)備的實(shí)際運(yùn)行狀況而成為研究焦點(diǎn)，其中設(shè)備配方參數(shù)變更記錄可能與工藝管理效率相關(guān)，這為利用設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)進(jìn)行工藝配方管理效率評(píng)估提供了新的途徑。通過(guò)借助于機(jī)器學(xué)習(xí)或者深度學(xué)習(xí)技術(shù)，利用復(fù)雜的算法模型處理大量設(shè)備運(yùn)行日志數(shù)據(jù)并從中學(xué)習(xí)的模式，能夠揭示不同管理方式下的微妙特征。在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中，由于設(shè)備運(yùn)行日志數(shù)據(jù)量巨大且格式多樣，在對(duì)模型訓(xùn)練時(shí)往往需要通過(guò)數(shù)據(jù)清洗和特征工程操作（例如轉(zhuǎn)換）來(lái)提高數(shù)據(jù)質(zhì)量。然而，現(xiàn)有的數(shù)據(jù)處理操作采取的是通用的數(shù)據(jù)處理流程，這會(huì)使得在處理過(guò)程中引入不相關(guān)的信息，導(dǎo)致提取的特征與實(shí)際業(yè)務(wù)場(chǎng)景脫節(jié)，降低模型的實(shí)用性。

3、因此，亟需一種技術(shù)方案，從而能夠提供標(biāo)準(zhǔn)化的半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)相關(guān)數(shù)據(jù)，以標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)輸出給其他系統(tǒng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的一個(gè)目的是提供一種半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理方法、系統(tǒng)、設(shè)備及介質(zhì)，至少用以解決現(xiàn)有技術(shù)查看不同設(shè)備參數(shù)效率較低、生產(chǎn)管理效率低下、錯(cuò)誤頻發(fā)以及管理成本高等技術(shù)問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)的一些實(shí)施例提供了以下幾個(gè)方面：

3、第一方面，本技術(shù)的一些實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理方法，包括：對(duì)采集到的一種或多種數(shù)據(jù)格式的工藝配方進(jìn)行數(shù)據(jù)解析，以轉(zhuǎn)化為目標(biāo)數(shù)據(jù)格式，并存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中；響應(yīng)于通過(guò)數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請(qǐng)求，基于配置的映射關(guān)系將數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)應(yīng)的工藝配方數(shù)據(jù)以數(shù)據(jù)請(qǐng)求的格式通過(guò)所述數(shù)據(jù)接口返回；其中，對(duì)采集到的一種或多種數(shù)據(jù)格式的工藝配方進(jìn)行數(shù)據(jù)解析，以轉(zhuǎn)化為目標(biāo)數(shù)據(jù)格式，并存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中，包括：接收包含一個(gè)或多個(gè)制程步驟信息的工藝配方；其中每個(gè)制程步驟包含一個(gè)控制編碼和多個(gè)參數(shù)；根據(jù)預(yù)定義的設(shè)備手冊(cè)，確定每個(gè)控制編碼下各參數(shù)的含義；將各參數(shù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)化格式，以存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中；其中，根據(jù)預(yù)定義的解析規(guī)則，將所述二進(jìn)制數(shù)據(jù)流解析為多個(gè)數(shù)據(jù)段，包括：根據(jù)預(yù)設(shè)字節(jié)標(biāo)識(shí)對(duì)二進(jìn)制數(shù)據(jù)流進(jìn)行預(yù)處理并定義數(shù)據(jù)段類型，讀取前置預(yù)設(shè)字節(jié)提取文件頭信息后建立段間關(guān)系圖；將數(shù)據(jù)流劃分為多個(gè)數(shù)據(jù)塊并在塊間保留重疊區(qū)域，通過(guò)特征庫(kù)匹配確認(rèn)段有效性后按統(tǒng)一格式組織數(shù)據(jù)段。

4、進(jìn)一步的，其中，根據(jù)預(yù)設(shè)字節(jié)標(biāo)識(shí)對(duì)二進(jìn)制數(shù)據(jù)流進(jìn)行預(yù)處理并定義數(shù)據(jù)段類型，讀取前置預(yù)設(shè)字節(jié)提取文件頭信息后建立段間關(guān)系圖，包括：預(yù)處理所述二進(jìn)制數(shù)據(jù)流，通過(guò)識(shí)別特定字節(jié)模式作為段落標(biāo)識(shí)符，其中使用第一預(yù)設(shè)字節(jié)作為起始標(biāo)識(shí)，使用第二預(yù)設(shè)字節(jié)作為結(jié)束標(biāo)識(shí)；基于狀態(tài)轉(zhuǎn)移方法定義三種數(shù)據(jù)段類型，包括以第三預(yù)設(shè)字節(jié)開頭的參數(shù)名稱段、以第四預(yù)設(shè)字節(jié)開頭的參數(shù)值段和以第五預(yù)設(shè)字節(jié)開頭的控制段；讀取數(shù)據(jù)流前置預(yù)設(shè)字節(jié)進(jìn)行初始分析以提取文件頭信息，其中所述文件頭包含數(shù)據(jù)版本號(hào)、時(shí)間戳和段數(shù)量信息；建立段間關(guān)系圖并使用鄰接矩陣表示，通過(guò)基準(zhǔn)關(guān)聯(lián)度、距離衰減因子及段長(zhǎng)度計(jì)算關(guān)聯(lián)強(qiáng)度。

5、進(jìn)一步的，其中，將數(shù)據(jù)流劃分為多個(gè)數(shù)據(jù)塊并在塊間保留重疊區(qū)域，通過(guò)特征庫(kù)匹配確認(rèn)段有效性后按統(tǒng)一格式組織數(shù)據(jù)段，包括：將數(shù)據(jù)流劃分為大小相近的多個(gè)數(shù)據(jù)塊，對(duì)每個(gè)數(shù)據(jù)塊搜索段邊界標(biāo)識(shí)符并構(gòu)建段位置索引；在相鄰數(shù)據(jù)塊之間保留重疊區(qū)域，通過(guò)計(jì)算局部上下文相似度確定重疊區(qū)域中數(shù)據(jù)段的歸屬；維護(hù)動(dòng)態(tài)更新的段特征庫(kù)，通過(guò)特征權(quán)重和相似度分?jǐn)?shù)計(jì)算特征匹配度，當(dāng)特征匹配度超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)確認(rèn)段的有效性；按照統(tǒng)一的內(nèi)部格式組織解析得到的數(shù)據(jù)段，包括段類型標(biāo)識(shí)、段長(zhǎng)度信息、段屬性標(biāo)志、數(shù)據(jù)負(fù)載與校驗(yàn)和。

6、進(jìn)一步的，其中所述標(biāo)準(zhǔn)化格式包括將每個(gè)制程步驟的參數(shù)分別存儲(chǔ)為獨(dú)立的數(shù)據(jù)條目，每個(gè)數(shù)據(jù)條目包含參數(shù)名稱、參數(shù)值、下限值和上限值字段；當(dāng)參數(shù)名稱為步驟時(shí)，參數(shù)值配置為步驟標(biāo)識(shí)符，并將數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)應(yīng)的下限值和上限值字段留空。

7、進(jìn)一步的，其中，響應(yīng)于通過(guò)數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請(qǐng)求，基于配置的映射關(guān)系將數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)應(yīng)的工藝配方數(shù)據(jù)以數(shù)據(jù)請(qǐng)求的格式通過(guò)所述數(shù)據(jù)接口返回，包括：建立并存儲(chǔ)映射關(guān)系，所述映射關(guān)系用于將目標(biāo)系統(tǒng)的配方名稱和參數(shù)名稱映射到數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)應(yīng)的名稱；接收來(lái)自目標(biāo)系統(tǒng)通過(guò)數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請(qǐng)求，所述數(shù)據(jù)請(qǐng)求包含系統(tǒng)名稱、配方列表，所述配方列表包括工具標(biāo)識(shí)、配方名稱和參數(shù)列表；根據(jù)配置的所述映射關(guān)系，將所述數(shù)據(jù)請(qǐng)求中的配方名稱和參數(shù)名稱轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)應(yīng)的配方名稱和參數(shù)名稱；基于轉(zhuǎn)換后的名稱，在數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢對(duì)應(yīng)的配方參數(shù)信息和參數(shù)控制范圍；生成響應(yīng)數(shù)據(jù)，所述響應(yīng)數(shù)據(jù)包括系統(tǒng)名稱、配方列表，其中配方列表包括工具標(biāo)識(shí)、配方名稱和參數(shù)信息，參數(shù)信息包括參數(shù)名稱、參數(shù)設(shè)定值、參數(shù)控制下限值和參數(shù)控制上限值；將所述響應(yīng)數(shù)據(jù)通過(guò)所述數(shù)據(jù)接口返回至目標(biāo)系統(tǒng)。

8、第二方面，本技術(shù)的一些實(shí)施例還提供了一種應(yīng)用如上述實(shí)施例任一項(xiàng)所述數(shù)據(jù)管理方法的半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，包括：配方采集單元和數(shù)據(jù)管理單元；其中，所述配方采集單元用于從一個(gè)或多個(gè)設(shè)備采集一種或多種格式包含半導(dǎo)體工藝配方的數(shù)據(jù)；所述數(shù)據(jù)管理單元用于對(duì)采集到的一種或多種數(shù)據(jù)格式的工藝配方進(jìn)行數(shù)據(jù)解析，以轉(zhuǎn)化為目標(biāo)數(shù)據(jù)格式，并存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中；響應(yīng)于通過(guò)數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請(qǐng)求，基于配置的映射關(guān)系將數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)應(yīng)的工藝配方數(shù)據(jù)以數(shù)據(jù)請(qǐng)求的格式通過(guò)所述數(shù)據(jù)接口返回。

9、第三方面，本技術(shù)的一些實(shí)施例還提供了一種電子設(shè)備，所述電子設(shè)備包括：一個(gè)或多個(gè)處理器；以及存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序指令的存儲(chǔ)器，所述計(jì)算機(jī)程序指令在被執(zhí)行時(shí)使所述處理器執(zhí)行如上所述方法的步驟。

10、第四方面，本技術(shù)的一些實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序指令，所述計(jì)算機(jī)程序指令可被處理器執(zhí)行以實(shí)現(xiàn)如上所述的方法。

11、第五方面，本技術(shù)的一些實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)程序/指令，該計(jì)算機(jī)程序/指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如上所述方法的步驟。

12、與相關(guān)技術(shù)相比，本技術(shù)實(shí)施例提供的方案中，通過(guò)將設(shè)備不同格式的半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)數(shù)據(jù)解析成為標(biāo)準(zhǔn)格式的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到rms中，能夠提供標(biāo)準(zhǔn)化的半導(dǎo)體工藝配方參數(shù)相關(guān)數(shù)據(jù)，以標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)輸出給其他系統(tǒng)。進(jìn)一步地，在一些實(shí)施例中，通過(guò)rms的離線和在線分享能力，工程師能夠快速訪問(wèn)和應(yīng)用經(jīng)過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化的配方數(shù)據(jù)，從而減少了生產(chǎn)準(zhǔn)備時(shí)間，加快了響應(yīng)速度，顯著提升了生產(chǎn)效率和工藝流程的流暢性。進(jìn)一步地，在一些實(shí)施例中，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化的數(shù)據(jù)管理和自動(dòng)化的分享機(jī)制減少了手動(dòng)輸入和轉(zhuǎn)換配方參數(shù)的過(guò)程，能夠降低因人為操作導(dǎo)致的錯(cuò)誤，提高了生產(chǎn)過(guò)程的準(zhǔn)確性和可靠性。