觸控感測結(jié)構(gòu)及其形成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)于觸控技術(shù)，特別有關(guān)于觸控感測結(jié)構(gòu)及其形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，觸控面板逐漸成為最主要的輸入界面，被廣泛應(yīng)用在各種電子產(chǎn)品中，例如手機(jī)、個人數(shù)字助理(PDA)或掌上型個人計算機(jī)等。觸控面板的觸控感測結(jié)構(gòu)通常由第一氧化銦錫(indium tin oxide ；ΙΤ0)層和第二氧化銦錫層組成,其中第一氧化銦錫層可形成復(fù)數(shù)個排列成行且互相連接的感測電極圖案，以及復(fù)數(shù)個排列成列且互相分開的感測電極圖案，而第二氧化銦錫層則形成電性連接該些排列成列且互相分開的感測電極圖案之跨接線。
[0003]第二氧化銦錫層的跨接線通常藉由蝕刻制程形成，然而，若第一氧化銦錫層與第二氧化銦錫層采用相同材料制成，蝕刻第二氧化銦錫層的蝕刻液會破壞第一氧化銦錫層，因此需要采用結(jié)晶型氧化銦錫鍍膜作為第一氧化銦錫層，非晶型氧化銦錫鍍膜作為第二氧化銦錫層的材料，再以只能蝕刻非晶型氧化銦錫而對結(jié)晶型氧化銦錫無作用的蝕刻液蝕刻非晶型氧化銦錫鍍膜，以避免損傷第一氧化銦錫層。
[0004]但是，在傳統(tǒng)的觸控面板中，使用非晶型氧化銦錫鍍膜制成的第二氧化銦錫層在制程中與結(jié)晶型氧化銦錫接觸容易產(chǎn)生結(jié)晶化現(xiàn)象，使得蝕刻液無法完全蝕刻出第二氧化銦錫層需要的圖案，造成觸控感測結(jié)構(gòu)的感測電極圖案之間發(fā)生短路或斷路問題，導(dǎo)致觸控功能失效或不良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于習(xí)知技術(shù)存在的上述問題，本發(fā)明于是提供一種觸控感測結(jié)構(gòu)及其形成方法，藉由在觸控感測的第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層之間設(shè)置中間導(dǎo)電層，使得第二導(dǎo)電層不會結(jié)晶化，進(jìn)而避免第二導(dǎo)電層蝕刻不完全的問題發(fā)生。
[0006]依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，提供觸控感測結(jié)構(gòu)，包括:第一導(dǎo)電層包含復(fù)數(shù)個沿第一軸向排列的第一導(dǎo)電單元、復(fù)數(shù)個連接線及復(fù)數(shù)個沿第二軸向排列的第二導(dǎo)電單元，其中在每一連接線的兩側(cè)配置有對應(yīng)的第二導(dǎo)電單元，而在每一連接線的兩端會連接兩個相鄰的第一導(dǎo)電單元；第二導(dǎo)電層包含復(fù)數(shù)個跨接線，每一跨接線的兩端分別電性連接配置在每一連接線兩側(cè)的第二導(dǎo)電單元；復(fù)數(shù)絕緣隔點(diǎn)分別設(shè)置于對應(yīng)之各連接線與各跨接線之間，以電性絕緣該些第一導(dǎo)電單元與第二導(dǎo)電單元；以及中間導(dǎo)電層至少設(shè)置于跨接線與第二導(dǎo)電單元之間的搭接處，以隔離第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層的直接接觸，中間導(dǎo)電層具備導(dǎo)電性，以電性連接每一跨接線與對應(yīng)之第二導(dǎo)電單元。
[0007]在一些實(shí)施例中，觸控感測結(jié)構(gòu)更包含基板，第一導(dǎo)電層設(shè)置于基板上，其中第一導(dǎo)電層的材料為結(jié)晶型氧化銦錫，且第二導(dǎo)電層的材料為非結(jié)晶型氧化銦錫。
[0008]在一實(shí)施例中，中間導(dǎo)電層更設(shè)置于第一導(dǎo)電單元、連接線與第二導(dǎo)電單元上，且中間導(dǎo)電層與第一導(dǎo)電單元、連接線及第二導(dǎo)電單元的圖案對應(yīng)。
[0009]在一實(shí)施例中，第一導(dǎo)電層包含第一區(qū)域與第二區(qū)域，第一區(qū)域?yàn)榈谝粚?dǎo)電層與絕緣隔點(diǎn)重疊之區(qū)域，第二區(qū)域?yàn)榈谝粚?dǎo)電層未與絕緣隔點(diǎn)重疊之區(qū)域，中間導(dǎo)電層更設(shè)置于第一導(dǎo)電層的第二區(qū)域內(nèi)，并與第一導(dǎo)電層直接接觸，中間導(dǎo)電層與位于第二區(qū)域內(nèi)的第一導(dǎo)電層的圖案對應(yīng)且相互重疊。
[0010]在一實(shí)施例中，中間導(dǎo)電層更設(shè)置于彼此對應(yīng)之各跨接線與各絕緣隔點(diǎn)之間，且中間導(dǎo)電層與跨接線的圖案對應(yīng)。
[0011]在一些實(shí)施例中，觸控感測結(jié)構(gòu)更包含基板，第二導(dǎo)電層設(shè)置于基板上，其中第二導(dǎo)電層的材料為結(jié)晶型氧化銦錫，且第一導(dǎo)電層的材料為非結(jié)晶型氧化銦錫。
[0012]在一實(shí)施例中，中間導(dǎo)電層設(shè)置于跨接線與第二導(dǎo)電單元之間的搭接處，并包覆于跨接線的外緣。
[0013]在一實(shí)施例中，中間導(dǎo)電層更設(shè)置于彼此對應(yīng)之各連接線與各絕緣隔點(diǎn)之間，以及第一導(dǎo)電單元和第二導(dǎo)電單元與基板之間，且中間導(dǎo)電層與第一導(dǎo)電單元、連接線及第二導(dǎo)電單元的圖案對應(yīng)。
[0014]在一些實(shí)施例中，中間導(dǎo)電層由透明導(dǎo)電材料組成，透明導(dǎo)電材料系選自于由氧化錫、氧化鋅、鋁摻雜氧化鋅、氧化鋅鎵、氧化銦鋅、銦鎵鋅氧化物及銦鎢鋅氧化物所組成的群組。
[0015]依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，提供觸控感測結(jié)構(gòu)的形成方法，包括以下步驟:形成第一導(dǎo)電層，第一導(dǎo)電層包含復(fù)數(shù)個沿第一軸向排列的第一導(dǎo)電單元、復(fù)數(shù)個連接線及復(fù)數(shù)個沿第二軸向排列的第二導(dǎo)電單元，其中在每一連接線的兩側(cè)配置有對應(yīng)的第二導(dǎo)電單元，而在每一連接線的兩端會連接兩個相鄰的第一導(dǎo)電單元；形成第二導(dǎo)電層，第二導(dǎo)電層包含復(fù)數(shù)個跨接線，每一跨接線的兩端分別電性連接配置在每一連接線兩側(cè)的第二導(dǎo)電單元；形成復(fù)數(shù)絕緣隔點(diǎn)，該些絕緣隔點(diǎn)分別設(shè)置于對應(yīng)之各連接線與各跨接線之間，以電性絕緣該些第一導(dǎo)電單元與第二導(dǎo)電單元；在形成該些絕緣隔點(diǎn)之前，形成中間導(dǎo)電材料層全面覆蓋第一導(dǎo)電層或第二導(dǎo)電層，以隔離第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層的直接接觸；以及圖形化中間導(dǎo)電材料層成為中間導(dǎo)電層，中間導(dǎo)電層至少位于跨接線與第二導(dǎo)電單元之間的搭接處，并且中間導(dǎo)電層具備導(dǎo)電性，以電性連接每一跨接線與對應(yīng)之第二導(dǎo)電單元。
[0016]依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，提供觸控感測結(jié)構(gòu)的形成方法，包括以下步驟:形成第一導(dǎo)電層，第一導(dǎo)電層包含復(fù)數(shù)個沿第一軸向排列的第一導(dǎo)電單元、復(fù)數(shù)個連接線及復(fù)數(shù)個沿第二軸向排列的第二導(dǎo)電單元，其中在每一連接線的兩側(cè)配置有對應(yīng)的第二導(dǎo)電單元，而在每一連接線的兩端會連接兩個相鄰的第一導(dǎo)電單元；形成第二導(dǎo)電層，第二導(dǎo)電層包含復(fù)數(shù)個跨接線，每一跨接線的兩端分別電性連接配置在每一連接線兩側(cè)的第二導(dǎo)電單元；形成復(fù)數(shù)絕緣隔點(diǎn)，該些絕緣隔點(diǎn)分別形成于對應(yīng)之各連接線與各跨接線之間，以電性絕緣該些第一導(dǎo)電單元與第二導(dǎo)電單元；在形成該些絕緣隔點(diǎn)之后，形成中間導(dǎo)電材料層部分覆蓋第一導(dǎo)電層或第二導(dǎo)電層，中間導(dǎo)電材料層與該些絕緣隔點(diǎn)的形成面積足以隔離第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層的直接接觸；以及圖形化中間導(dǎo)電材料層成為中間導(dǎo)電層，中間導(dǎo)電層至少位于跨接線與第二導(dǎo)電單元之間的搭接處，并且中間導(dǎo)電層具備導(dǎo)電性，以電性連接每一跨接線與對應(yīng)之第二導(dǎo)電單元。
[0017]在一些實(shí)施例中，第一導(dǎo)電層是直接形成于基板上，且中間導(dǎo)電材料層覆蓋第一導(dǎo)電層，其中第一導(dǎo)電層的材料為結(jié)晶型氧化銦錫，且第二導(dǎo)電層的材料為非結(jié)晶型氧化銦錫。
[0018]在一實(shí)施例中，形成第二導(dǎo)電層的步驟包含圖形化第二導(dǎo)電材料層形成第二導(dǎo)電層，而圖形化第二導(dǎo)電材料層的步驟與圖形化中間導(dǎo)電材料層的步驟是于同一制程步驟中完成。
[0019]在一些實(shí)施例中，第二導(dǎo)電層是直接形成于基板上，且中間導(dǎo)電材料層覆蓋第二導(dǎo)電層，其中第二導(dǎo)電層的材料為結(jié)晶型氧化銦錫，且第一導(dǎo)電層的材料為非結(jié)晶型氧化銦錫。
[0020]在一實(shí)施例中，形成第一導(dǎo)電層的步驟包含圖形化第一導(dǎo)電材料層形成第一導(dǎo)電層，而圖形化第一導(dǎo)電材料層的步驟與圖形化中間導(dǎo)電材料層的步驟是于同一制程步驟中完成。
[0021]依據(jù)本發(fā)明之實(shí)施例，可以避免觸控感測結(jié)構(gòu)的第二導(dǎo)電層受到第一導(dǎo)電層的影響而結(jié)晶化，進(jìn)而避免第二導(dǎo)電層發(fā)生蝕刻不良，以防止觸控感測結(jié)構(gòu)的短路問題，并確保觸控功能不會失效，因此可提升觸控面板的產(chǎn)品良率。
【附圖說明】
[0022]圖1顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例的觸控感測結(jié)構(gòu)的局部平面示意圖；
[0023]圖2、4、6、8、10和12顯示依據(jù)本發(fā)明之各實(shí)施例的觸控感測結(jié)構(gòu)的剖面示意圖；
[0024]圖3A至3C顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，形成圖2的觸控感測結(jié)構(gòu)之中間階段的剖面示意圖；
[0025]圖5A至5C顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，形成圖4的觸控感測結(jié)構(gòu)之中間階段的剖面示意圖；
[0026]圖7A至7C顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，形成圖6的觸控感測結(jié)構(gòu)之中間階段的剖面示意圖；
[0027]圖9A至9D顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，形成圖8的觸控感測結(jié)構(gòu)之中間階段的剖面示意圖；
[0028]圖1lA至IlD顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，形成圖10的觸控感測結(jié)構(gòu)之中間階段的剖面示意圖；以及
[0029]圖13A至13C顯示依據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，形成圖12的觸控感測結(jié)構(gòu)之中間階段的剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]在以下所說明的本發(fā)明的各種實(shí)施例中，所稱的方位“上”及“下”，僅是用來表示相對的位置關(guān)系，并非用來限制本發(fā)明。
[0031]在全部圖式中，系以基板在下的方位說明各種實(shí)施例之觸控感測結(jié)構(gòu)及其形成方法，然而，在實(shí)際的應(yīng)用上，觸控感測結(jié)構(gòu)亦可以基板在上的方位提供操作者使用。
[0032]參閱圖