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      一種觸控顯示裝置及其制備方法_2

      文檔序號:8430325閱讀:來源:國知局
      選為I?500nm。本實施例中所述第一電極102為依次堆疊的ITO/Ag/ITO層,厚度為15/110/7nm ;所述有材料層103包括發(fā)光層以及空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層、空穴阻擋層、電子傳輸層以及電子注入層中的一種或多種的組合,本實施例中所述有機材料層103包括依次堆疊設(shè)置的空穴傳輸層、發(fā)光層和電子傳輸層,厚度總共為200nm,所述第二電極為Ag,厚度為5nm。
      [0040]所述基板100上還設(shè)置有隔離相鄰所述有機發(fā)光二極管的像素限定層110,所述像素限定層110上還直接設(shè)置有分隔相鄰所述第一導(dǎo)電條與所述第二導(dǎo)電條的隔離柱層106。
      [0041]本實施例中,將所述第二電極分隔為所述第一導(dǎo)電條和所述第二導(dǎo)電條的隔離柱106優(yōu)選為聚酰亞胺層,其的高度為0.1?5μπ?,本實施例優(yōu)選為Ιμ??,寬度為Ιμπ?。作為本發(fā)明的其他實施例,所述隔離柱106還可以為其他絕緣材料制備,所述第二電極之間也可以不設(shè)置隔離柱106,能保證相鄰所述第一導(dǎo)電條與所述第二導(dǎo)電條絕緣即可實現(xiàn)本發(fā)明的目的,屬于本發(fā)明的保護范圍。
      [0042]本實施例所述的觸控顯示裝置為主動矩陣有機發(fā)光顯示裝置,還包括設(shè)置在所述基板100上的若干驅(qū)動薄膜晶體管,各所述第一電極102與各所述驅(qū)動薄膜晶體管的源極或漏極接觸連接。
      [0043]本發(fā)明所述觸控顯示裝置優(yōu)選為頂發(fā)射有機發(fā)光顯示裝置,即所述第二電極102為透明電極。
      [0044]本實施例中,所述第二電極104和105上還設(shè)置有封裝層109,所述封裝層109包括一層或多層交替設(shè)置的有機薄膜和/或無機薄膜的膜層,無機薄膜選自但不限于氮化硅、氧化硅等薄膜,有機薄膜選自紫外光固化樹脂、二氧化硅-丙烯酸樹脂復(fù)合材料等薄膜。本實施例中,所述封裝層109優(yōu)選為四對交替沉積的聚丙烯酸酯層和氧化鋁層,聚丙烯酸酯層膜厚均為1.5微米,氧化鋁層的膜厚均為50nm。
      [0045]本實施例所述的一種觸控顯示裝置,所述第二電極設(shè)置為分別沿橫向和縱向串聯(lián)連接結(jié)構(gòu),形成彼此絕緣側(cè)交叉網(wǎng)絡(luò),在形成第二電極的同時,形成觸控感測層,將觸控功能集成在所述有機發(fā)光二極管中,結(jié)構(gòu)簡單;而且,將觸控功能集成在所述有機發(fā)光二極管中,無需另外再設(shè)置觸控部件,發(fā)光效率高、相應(yīng)速度快。
      [0046]所述的觸控裝置的制備方法,包括如下步驟:
      [0047]S1、通過濺射工藝在基板101上形成第一導(dǎo)電層,并圖案化形成多個縱向平行設(shè)置的連續(xù)的導(dǎo)電條,即形成導(dǎo)電橋108。
      [0048]作為本發(fā)明的其他實施例,所述第一導(dǎo)電層還可以圖案化形成導(dǎo)線狀的導(dǎo)電橋108,所述導(dǎo)線或?qū)щ姉l還可以為不連續(xù)的。
      [0049]S2、通過等離子增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝,形成覆蓋所述導(dǎo)電橋108的絕緣層101,通過光刻工藝,在同列相鄰所述第二有機發(fā)光二極管之間的絕緣層101中設(shè)置導(dǎo)通同一條所述導(dǎo)電橋108的通孔107。所述通孔107的軸向與所述基板100的夾角為50°,作為本發(fā)明的其他實施例,所述通孔還可以通過激光燒蝕、離子束刻蝕、電子束刻蝕等工藝制備,所述通孔107的軸向與所述基板100的夾角還可以為10°?90°的任意角度,均可以實現(xiàn)本發(fā)明的目的,屬于本發(fā)明的保護范圍。
      [0050]S3、通過濺射工藝在絕緣層101上直接形成第二導(dǎo)電層,并通過光刻和刻蝕工藝圖案化形成彼此獨立的第一電極102。
      [0051]作為本發(fā)明的其他實施例,所述第二導(dǎo)電層還可以通過CVD、電化學(xué)沉積等工藝制備,均可以實現(xiàn)本發(fā)明的目的,屬于本發(fā)明的保護范圍。
      [0052]通過涂覆工藝在基板上形成覆蓋所述第一電極102的像素限定層110,并通過光刻工藝圖案化,暴露所述第一電極102和通孔107。
      [0053]然后通過涂覆和光刻工藝,在像素限定層110上形成隔離柱層106。
      [0054]通過精細掩膜蒸鍍工藝,在所述第一電極102上形成有機材料層103。
      [0055]S4、通過蒸鍍工藝,以所述隔離柱層106為掩膜,在所述有機材料層103上形成沿第一方向同層串聯(lián)連接的第二電極105,以及沿第二方向彼此分離的第二電極104,第二電極104與第二電極105由負角度的隔離柱106層自然隔開。所述第二電極105串聯(lián)形成第一導(dǎo)電條,形成所述第二電極的材料填充在所述通孔107中并與所述導(dǎo)電橋108電接觸連接,使得所述第二電極104得以沿第二方向串聯(lián),形成第二導(dǎo)電條。
      [0056]本實施例中,所述步驟S4之后還包括在所述基板100上制備覆蓋所述第二電極104和105的封裝層109的步驟,【具體實施方式】同現(xiàn)有技術(shù)。
      [0057]本實施例所述的一種觸控顯示裝置的制備方法,將第二電極制備成分別沿橫向和縱向串聯(lián)連接結(jié)構(gòu),在完成有機發(fā)光二極管制備的同時,通過工藝成熟的光刻工藝便可以集成有觸控功能,制備方法簡單,工藝成本低。
      [0058]顯然,上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例,而并非對實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明的保護范圍之中。
      【主權(quán)項】
      1.一種觸控顯示裝置,包括基板、設(shè)置在基板上的多個有機發(fā)光二極管,所述有機發(fā)光二極管包括依次堆疊設(shè)置的第一電極、有機材料層和第二電極;其特征在于,所述第一電極獨立設(shè)置;所述第二電極分別串聯(lián)形成若干平行排列的第一導(dǎo)電條和若干平行排列的第二導(dǎo)電條,所述第一導(dǎo)電條與所述第二導(dǎo)電條形成彼此絕緣的交叉網(wǎng)絡(luò)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述第一導(dǎo)電條由沿第一方向排布的所述第二電極同層串聯(lián)形成;所述第二導(dǎo)電條由沿第二方排布的所述第二電極通過設(shè)置在所述有機發(fā)光二極管外部的導(dǎo)電橋進行串聯(lián)形成。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述導(dǎo)電橋設(shè)置在所述基板上,并通過直接覆蓋在所述導(dǎo)電橋上的絕緣層與所述有機發(fā)光二極管絕緣。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述導(dǎo)電橋為金屬導(dǎo)電橋。
      5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述導(dǎo)電橋的厚度為10?lOOOnm。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述基板上還設(shè)置有隔離相鄰所述有機發(fā)光二極管的像素限定層。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述像素限定層上還直接設(shè)置有分隔相鄰所述第一導(dǎo)電條與所述第二導(dǎo)電條的隔離柱層。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的觸控顯示裝置,其特征在于,所述第二電極的厚度為I ?500nm。
      9.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的觸控顯示裝置,其特征在于,還包括設(shè)置在所述基板上的若干驅(qū)動薄膜晶體管,各所述第一電極與各所述驅(qū)動薄膜晶體管的源極或漏極接觸連接。
      10.一種權(quán)利要求1-9任一所述的觸控裝置的制備方法,其特征在于,包括如下步驟: 51、在基板上形成第一導(dǎo)電層,并圖案化形成多個沿第二方向平行設(shè)置的導(dǎo)電橋; 52、在基板上形成覆蓋導(dǎo)電橋的絕緣層,在絕緣層中設(shè)置導(dǎo)通導(dǎo)電橋的通孔; 53、在絕緣層上直接形成彼此獨立的第一電極、在各第一電極上形成有機材料層; 54、在有機材料層上形成第二電極,沿第一方向排布的若干第二電極同層串聯(lián),形成多個平行排列的第一導(dǎo)電條,沿第二方向排布的若干第二電極通過通孔與導(dǎo)電橋進行串聯(lián),形成多個平行排列的第二導(dǎo)電條,所述第一導(dǎo)電條與所述第二導(dǎo)電條形成彼此絕緣的交叉網(wǎng)絡(luò)。
      11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的觸控裝置的制備方法,其特征在于,步驟S3中形成所述第一電極后,還包括在所述基板上形成環(huán)繞所述第一電極的像素限定層的步驟。
      12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的觸控裝置的制備方法,其特征在于,步驟S3中還包括在所述像素限定層上形成隔離柱層的步驟;步驟S4中形成的相鄰所述第一導(dǎo)電條與所述第二導(dǎo)電條由所述隔離柱層隔開。
      13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的觸控裝置的制備方法,其特征在于,步驟S2中所述通孔的軸向與所述基板的夾角為10°?90°。
      【專利摘要】本發(fā)明所述的一種觸控顯示裝置,在形成第二電極的同時,第二電極分別沿橫向和縱向串聯(lián)連接,形成彼此絕緣側(cè)交叉網(wǎng)絡(luò),即形成觸控感測層,將觸控功能集成在所述有機發(fā)光二極管中,結(jié)構(gòu)簡單,無需另外再設(shè)置觸控部件,發(fā)光效率高、響應(yīng)速度快。本發(fā)明所述的一種觸控顯示裝置的制備方法,將第二電極制備成分別沿橫向和縱向串聯(lián)連接結(jié)構(gòu),在完成有機發(fā)光二極管制備的同時,通過工藝成熟的光刻和刻蝕工藝便可以集成有觸控功能,制備方法簡單,工藝成本低。
      【IPC分類】G06F3-044, G06F3-041
      【公開號】CN104750284
      【申請?zhí)枴緾N201310737600
      【發(fā)明人】朱少鵬, 邱勇, 平山秀雄, 黃秀頎
      【申請人】昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司
      【公開日】2015年7月1日
      【申請日】2013年12月27日
      【公告號】WO2015096765A1
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