產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品加工管控體系技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及用于對同一批產(chǎn)品的多個晶圓進行恢復(fù)處理的一種產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]集成電路晶圓的制造工藝十分復(fù)雜，一片集成電路晶圓從原料晶圓到最終生產(chǎn)成產(chǎn)品，需要經(jīng)歷數(shù)百道工序進行加工，而每道工序又需要經(jīng)過不同的機臺。生產(chǎn)過程中，任何一個機臺狀態(tài)的異常都會影響產(chǎn)品的質(zhì)量，甚至造成產(chǎn)品的直接報廢。因此，工廠(Fab)需要不斷監(jiān)控機臺的工作狀態(tài)，并在機臺出現(xiàn)異常時立即對機臺和正加載到機臺里面的產(chǎn)品進行適當(dāng)處理。
[0003]經(jīng)過適當(dāng)處理之后的產(chǎn)品，可以繼續(xù)完成后續(xù)的生產(chǎn)，并不影響產(chǎn)品質(zhì)量，但是如果處理不當(dāng)，產(chǎn)品的質(zhì)量便不能得到保證，且有可能影響之后要在這個機臺加工的產(chǎn)品。機臺根據(jù)晶圓的加工工藝不同劃分為多個Fab區(qū)域，不同F(xiàn)ab區(qū)域的機臺由于工藝特性的差異，又導(dǎo)致機臺的恢復(fù)方式和產(chǎn)品的處理方式各異。
[0004]產(chǎn)品的處理方式通常有取出機臺(Track out)、取消加載(Cancel Track In)、執(zhí)行特別處理(Follow Run card)幾種。由于現(xiàn)有技術(shù)手段的限制，對于一批產(chǎn)品只能進行單一方式的處理，而某些Fab區(qū)域的產(chǎn)品，要求針對一批產(chǎn)品的不同晶圓，分別進行取出機臺，取消加載或執(zhí)行特別處理，現(xiàn)有的恢復(fù)方法不能滿足這些區(qū)域的要求，那么就需要手工操作機臺進行產(chǎn)品的恢復(fù)處理操作，由于手工操作對技術(shù)人員的要求很高，且容易出錯，因此，不但會影響產(chǎn)品的加工效率、影響工廠的自動化程度，產(chǎn)品的質(zhì)量也得不到保證。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于，提供一種產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法，能夠?qū)ν慌A中進行不同的處理，提高自動化程度，降低人工操作的風(fēng)險。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，用于對同一批產(chǎn)品的多個晶圓進行恢復(fù)處理，包括:
[0007]恢復(fù)系統(tǒng)，用于設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案；
[0008]集成系統(tǒng)及客戶端，所述集成系統(tǒng)連通恢復(fù)系統(tǒng)與客戶端。
[0009]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，所述處理方案包括取出機臺、取消加載和特別處理中至少一種。
[0010]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，所述客戶端包括制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)分別通過集成系統(tǒng)實現(xiàn)與恢復(fù)系統(tǒng)的接通，且所述制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)通過集成系統(tǒng)相互接通。
[0011]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，所述機臺自動化系統(tǒng)還連通至少一機臺，控制所述機臺進行生產(chǎn)。
[0012]本發(fā)明提供一種產(chǎn)品混合處理方法，用于對同一批產(chǎn)品的多個晶圓進行恢復(fù)處理，包括:
[0013]在恢復(fù)系統(tǒng)中設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案；
[0014]由集成系統(tǒng)從客戶端獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進行核實，待所述處理方案正確時，由集成系統(tǒng)將所述處理方案傳遞至客戶端以執(zhí)行。
[0015]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理方法，所述處理方案包括取出機臺、取消加載和特別處理中至少一種。
[0016]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理方法，所述客戶端包括制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)。
[0017]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理方法，所述集成系統(tǒng)從所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進行核實，若所述處理方案正確，則所述集成系統(tǒng)將所述處理方案傳遞至所述機臺自動化系統(tǒng)以執(zhí)行。
[0018]可選的，對于所述的產(chǎn)品混合處理方法，所述集成系統(tǒng)從所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進行核實，若所述處理方案異常，則結(jié)合由所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓的信息加以調(diào)整，直至處理方案正確。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法中，恢復(fù)系統(tǒng)，用于設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案，從而能夠同時對需要進行不同操作的一批晶圓中相應(yīng)晶圓進行不同的操作，避免了人工操作帶來的潛在威脅，提高了自動化程度，此外，還能夠保證晶圓不會被重復(fù)處理或漏處理這種情況發(fā)生，提高了生產(chǎn)效率，并保證了質(zhì)量。
【附圖說明】
[0020]圖1為本發(fā)明中產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)的方塊圖；
[0021]圖2為本發(fā)明中產(chǎn)品混合處理方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0022]下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法進行更詳細的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0023]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0024]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0025]本發(fā)明的核心思想在于，提供一種產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法，用于對同一批產(chǎn)品的多個晶圓進行恢復(fù)處理，引入一恢復(fù)系統(tǒng)，用于設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案，從而解決了對同一批晶圓難以進行不同的處理的情況，提高了自動化程度，降低了人工操作的風(fēng)險。
[0026]以下列舉所述產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法的較優(yōu)實施例，以清楚說明本發(fā)明的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本發(fā)明的內(nèi)容并不限制于以下實施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進亦在本發(fā)明的思想范圍之內(nèi)。
[0027]基于上述思想，下面提供產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法的較優(yōu)實施例，請參考圖1及圖2，圖1為本發(fā)明中產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)的方塊圖；圖2為本發(fā)明中產(chǎn)品混合處理方法的流程圖。如圖1、2所示,包括:
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