于圖27所述的3ym微導(dǎo)體和500ym導(dǎo)電跡線706。該具體實施例提供多種優(yōu)點：
[0115] 1.電極與互連線的對齊自動進行，并且非常準(zhǔn)確；
[0116] 2.相比其它互連線印刷方法（例如導(dǎo)電油墨的絲網(wǎng)印刷），互連線可印刷得更窄 并且更密集的間距；以及
[0117] 3.相比現(xiàn)有互連線印刷方法（例如導(dǎo)電油墨的絲網(wǎng)印刷），互連線厚度（垂直于 基板平面）要小得多。較厚的互連線會在層合層之間引起可見的間隙，并且會降低層合層 之間的密封性。
[0118] 圖8示出了具有位于基板96表面的平行微導(dǎo)體95的微復(fù)制和填充后的"毛坯"構(gòu) 造材料。料片取向為垂直（97)?；蹇梢詾镻ET、PEN或聚碳酸酯，并且微導(dǎo)體可以按本文 和/或3M專利公開申請2011-0111182和2011-0100957所公開的方法沉積在微復(fù)制凹槽 中。在一個實施例中，微導(dǎo)體的間距優(yōu)選地介于50ym和500ym之間。
[0119] 通過將所選微導(dǎo)體與印刷（如噴墨印刷或絲網(wǎng)印刷）電介質(zhì)連接在一起，可以將 該坯料加工成觸摸傳感器元件（例如電極或屏蔽），其中印刷電介質(zhì)具有絕緣跨接作用，使 后印刷（例如噴墨印刷或絲網(wǎng)印刷）的導(dǎo)電油墨（使用本文所述方法印刷）可以跨接一些 微導(dǎo)體，并且只與所選微導(dǎo)體接觸。因此，可以制備圖9所示傳感器的互連線和連接墊，圖 中示出了帶有穿過電介質(zhì)的通孔1000的噴墨印刷的電介質(zhì)表面1002,以及也通過噴墨印 刷的導(dǎo)電跡線1001。雖然圖8和圖9示出了在基板料片方向印刷的微導(dǎo)體，但有時在垂直 于基板料片方向印刷微導(dǎo)體是有利的。
[0120] 圖10示出了矩陣觸摸傳感器的實例的剖面圖，該傳感器由兩層微復(fù)制的微導(dǎo)體 坯料和后印刷的隔離的兩層噴墨導(dǎo)電跡線構(gòu)成。最上層1010包括微復(fù)制的微導(dǎo)體；下一層 1011為印刷的電介質(zhì)；下一層1012包括后處理的導(dǎo)體；下一層1013為粘合劑；下一層1014 為后處理的導(dǎo)體；下一層1015為印刷的電介質(zhì)，并且最終層1016包括微復(fù)制的微導(dǎo)體。
[0121] 在一些實施例中，通過在本來為連續(xù)而均勻的網(wǎng)格內(nèi)的導(dǎo)電跡線中包括選擇性斷 點，可以生成在至少一個方向具有不同薄層電阻的透明導(dǎo)電區(qū)。這個選擇性布局?jǐn)帱c的方 法尤其可用于產(chǎn)生這樣的制品，該制品包括在整個制品上的透光率為均勻的對可見光透明 的導(dǎo)電區(qū)的圖案。初始網(wǎng)格可為各向同性或各向異性的。例如，可制作具有正方形微型網(wǎng)格 的細長矩形透明導(dǎo)電條，以通過生成周期性系列斷點沿其長軸表現(xiàn)出周期性的薄層電阻， 斷點處于在長軸方向具有矢量分量的跡線中，并且周期性地在長軸方向。這種薄層電阻的 周期性可用于解碼矩形條附近物體（例如手指）的位置。通過選擇跡線的寬度、厚度和面 密度以及斷點總數(shù)，可設(shè)計沿透明導(dǎo)電元件的每單位長度的電阻的周期性變化，其特征在 于單位長度電阻的峰值為單位長度電阻最小值的至少2倍，優(yōu)選地為其最小值的至少5倍， 更優(yōu)選地為其最小值的至少10倍。
[0122] 在其它的在本來連續(xù)而均勻的網(wǎng)格內(nèi)包括選擇性斷點的實施例中，可布局?jǐn)帱c， 以在給定方向生成大致連續(xù)變化的薄層電阻。除了僅由元件總體形狀所生成的非線性度 之外，連續(xù)變化的薄層電阻可用于擴大沿透明導(dǎo)電元件的電場的非線性度。例如，如本領(lǐng) 域已知的那樣，對于以細長等腰三角形（該等腰三角形的底邊上施加有相對于其頂點的電 勢）形式存在的具有均勻薄層電阻的透明導(dǎo)電元件，由于沿從底邊到頂點的電場方向的單 位長度電阻存在梯度（由三角形變窄的寬度生成），該導(dǎo)電元件表現(xiàn)出從底邊到頂點的非 線性電場。對于基于此類三角形透明導(dǎo)電元件的指狀交叉陣列的觸摸傳感器，有利的是電 場的非線性度甚至更大，導(dǎo)致用來解碼陣列附近物體（例如手指）位置的電路的信噪比也 更大。通過選擇跡線的寬度、厚度和面密度以及斷點總數(shù)，可設(shè)計沿透明導(dǎo)電元件的單位長 度的薄層電阻，該電阻在1厘米以上的距離內(nèi)增加至少1. 1、或至少1. 2、或至少1. 5、或至少 2倍。
[0123] 在一些實施例中，通過在兩個區(qū)中的每一個內(nèi)包括具有其特有設(shè)計的鄰接的網(wǎng) 格，并且每一個網(wǎng)格不必包括選擇性設(shè)置的斷點，可在至少一個方向生成兩個具有不同薄 層電阻的透明導(dǎo)電區(qū)。兩個具有會導(dǎo)致對于在單個方向（例如圖2的X方向）流過的電流 而言不同薄層電阻值的設(shè)計的網(wǎng)格，其例子包括兩個這樣的網(wǎng)格，這兩個網(wǎng)格具有相同厚 度（圖2的z方向尺寸）的相同導(dǎo)電材料的沉積物，但在y方向具有不同的單位寬度載流 橫截面積（圖2的y-z平面）。這樣一對網(wǎng)格區(qū)的一個例子是兩個正方形柵格區(qū)，這兩個區(qū) 各包括寬度2微米但間距不同（例如100微米和200微米）的導(dǎo)電跡線。這樣一對網(wǎng)格區(qū) 的另一個例子是兩個矩形柵格區(qū)（非正方形，一個方向間距為100微米，與之正交方向間距 為200微米），這兩個區(qū)各包括寬度2微米但取向不同（例如第一區(qū)內(nèi)的矩形單元的長軸相 對于第二區(qū)內(nèi)的矩形單元呈90度取向）的導(dǎo)電跡線。
[0124] 在一些實施例中，傳感器包括用來承載導(dǎo)體圖案的對可見光透明的絕緣基板層， 該圖案包括對可見光透明的微圖案區(qū)和具有不透明的較大特征的區(qū)，其中對可見光透明的 微圖案區(qū)和較大特征區(qū)包括相同導(dǎo)體（例如金屬）的大約相同厚度的圖案化沉積物。較大 特征可以采取例如與對可見光透明的導(dǎo)電微圖案區(qū)接觸的寬導(dǎo)電跡線的形式，或采取用于 接觸電子解碼、信號發(fā)生或信號處理裝置的墊的形式。在相同絕緣層上與對可見光透明的 導(dǎo)電微圖案區(qū)組合的有用較大特征的寬度介于例如25微米至3毫米之間、25微米至1毫米 之間、25微米至500微米之間、25微米至250微米之間或50微米至100微米之間。
[0125] 一種示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基板 之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案，以及第二區(qū)微圖 案。導(dǎo)電微圖案包括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于0. 5 微米與5微米之間。第一區(qū)微圖案在第一方向的第一薄層電阻值介于每平方5Q和500Q 之間，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95%和99. 5%之間。第二區(qū)微圖案在第 一方向具有不同于第一薄層電阻值的第二薄層電阻值。
[0126] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。導(dǎo)電微圖案包 括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于0. 5微米與5微米之 間。第一區(qū)微圖案具有各向異性的第一薄層電阻，并且相互正交方向的薄層電阻值為至少 1. 5倍的關(guān)系，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95%和99. 5%之間。
[0127] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案，以及第二區(qū)微 圖案。導(dǎo)電微圖案包括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度小于500納米，并且寬度介于1微 米與4微米之間。第一區(qū)微圖案的第一薄層電阻值在第一方向為介于每平方5Q和100Q 之間，該微圖案對可見光透明，并且具有介于96%和99. 5%之間的開放面積。第二區(qū)微圖 案在第一方向具有不同于第一薄層電阻值的第二薄層電阻值。
[0128] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案，以及第二區(qū)微 圖案。導(dǎo)電微圖案包括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于 0.5微米與5微米之間。第一區(qū)微圖案在第一方向的第一薄層電阻值介于每平方5Q和 500D之間，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95 %和99. 5 %之間。第二區(qū)微圖案 在第一方向具有不同于第一薄層電阻值的第二薄層電阻值。該微圖案也包括電隔離的導(dǎo)體 沉積物。對于位于對可見光透明的感測區(qū)域內(nèi)的所有1毫米Xl毫米傳感器正方形區(qū)，該 區(qū)當(dāng)中沒有一個被遮擋的面積分率與所有區(qū)的平均值之差為大于75 %。
[0129] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案，以及第二區(qū)微 圖案。導(dǎo)電微圖案包括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于 0. 5微米與5微米之間。第一區(qū)微圖案在第一方向的第一薄層電阻值介于每平方5Q和 500D之間，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95 %和99. 5 %之間。第二區(qū)微圖案 在第一方向具有不同于第一薄層電阻值的第二薄層電阻值。該微圖案也包括電隔離的導(dǎo)體 沉積物。對于位于對可見光透明的感測區(qū)域內(nèi)的所有5毫米X5毫米傳感器正方形區(qū)，該 區(qū)當(dāng)中沒有一個被遮擋的面積分率與所有區(qū)的平均值之差為大于50 %。
[0130] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。導(dǎo)電微圖案包 括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度小于500納米，并且寬度介于1微米與4微米之間。第 一區(qū)微圖案具有各向異性的第一薄層電阻，并且相互正交方向的薄層電阻值為至少1.5倍 的關(guān)系，該微圖案對可見光透明，并具有介于96%和99. 5%之間的開放面積。
[0131] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。導(dǎo)電微圖案包 括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于0. 5微米與5微米之 間。第一區(qū)微圖案具有各向異性的第一薄層電阻，并且相互正交方向的薄層電阻值為至少 1. 5倍的關(guān)系，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95%和99. 5%之間。該微圖案也 包括電隔離的導(dǎo)體沉積物。對于位于對可見光透明的感測區(qū)域內(nèi)的所有1毫米X1毫米傳 感器正方形區(qū)，該區(qū)當(dāng)中沒有一個被遮擋的面積分率與所有區(qū)的平均值之差為大于75%。
[0132] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。導(dǎo)電微圖案包 括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于0. 5微米與5微米之 間。第一區(qū)微圖案具有各向異性的第一薄層電阻，并且相互正交方向的薄層電阻值為至少 1. 5倍的關(guān)系，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95%和99. 5%之間。該微圖案也 包括電隔離的導(dǎo)體沉積物。對于位于對可見光透明的感測區(qū)域內(nèi)的所有5毫米X5毫米傳 感器正方形區(qū)，該區(qū)當(dāng)中沒有一個被遮擋的面積分率與所有區(qū)的平均值之差為大于50%。
[0133] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。第一區(qū)微圖案 包括寬度介于〇. 5微米和5微米之間的金屬線性導(dǎo)電特征。第一區(qū)微圖案對可見光透明， 并且開放面積介于95%和99. 5%之間。對于第一區(qū)微圖案的所有1毫米X1毫米正方形 區(qū)，該區(qū)當(dāng)中沒有一個被遮擋的面積分率與所有正方形區(qū)的平均值之差為大于75%。在一 個實施例中，第一區(qū)微圖案也包括電隔離的導(dǎo)體沉積物。在一個實施例中，金屬線性導(dǎo)電特 征的厚度為小于500納米。在一個實施例中，第一區(qū)微圖案在第一方向的第一薄層電阻值 介于每平方5D和100Q之間。
[0134] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。第一區(qū)微圖案 包括寬度介于〇. 5微米和5微米之間的金屬線性導(dǎo)電特征。第一區(qū)微圖案對可見光透明， 并且開放面積介于95%和99. 5%之間。對于第一區(qū)微圖案的所有5毫米X5毫米正方形 區(qū)，該區(qū)當(dāng)中沒有一個被遮擋的面積分率與所有正方形區(qū)的平均值之差為大于50%。在一 個實施例中，金屬線性導(dǎo)電特征的厚度為小于500納米。在一個實施例中，第一區(qū)微圖案也 包括電隔離的導(dǎo)體沉積物。
[0135] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。導(dǎo)電微圖案包 括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于0. 5微米與5微米之 間。第一區(qū)微圖案的第一薄層電阻值在第一方向介于每平方5D和100D之間，該微圖案 對可見光透明，并且開放面積介于95%和99. 5%之間。該微圖案也包括電隔離的導(dǎo)體沉積 物。對于位于對可見光透明的感測區(qū)域內(nèi)的所有1毫米Xl毫米傳感器正方形區(qū)，該區(qū)當(dāng) 中沒有一個被遮擋的面積分率與所有區(qū)的平均值之差為大于75%。
[0136] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案。導(dǎo)電微圖案包 括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于0. 5微米與5微米之 間。第一區(qū)微圖案的第一薄層電阻值在第一方向介于每平方5D和100D之間，該微圖案 對可見光透明，并且開放面積介于95%和99. 5%之間。該微圖案也包括電隔離的導(dǎo)體沉積 物。對于位于對可見光透明的感測區(qū)域內(nèi)的所有5毫米X5毫米傳感器正方形區(qū)，該區(qū)當(dāng) 中沒有一個被遮擋的面積分率與所有區(qū)的平均值之差為大于50%。
[0137] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包括對可見光透明基板和設(shè)置在對可見光透明基 板之上或之內(nèi)的導(dǎo)電微圖案。微圖案包括觸摸感測區(qū)域內(nèi)的第一區(qū)微圖案，以及第二區(qū)微 圖案。導(dǎo)電微圖案包括金屬線性導(dǎo)電特征，該特征的厚度為小于500納米，并且寬度介于 0. 5微米與5微米之間。第一區(qū)微圖案在第一方向的第一薄層電阻值介于每平方5Q和 500D之間，該微圖案對可見光透明，并且開放面積介于95 %和99. 5 %之間。第二區(qū)微圖案 在第一方向具有不同于第一薄層電阻值的第二薄層電阻值。該傳感器也包括設(shè)置在對可見 光透明基板之上或之內(nèi)的較大導(dǎo)電特征，該較大特征包括與微圖案中所包括的相同材料和 厚度的連續(xù)導(dǎo)體沉積物，并且測得的最小尺寸為至少25微米。
[0138] 另一個示例性的觸摸屏傳感器包