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      產品生產異常處理的方法

      文檔序號:8923153閱讀:2308來源:國知局
      產品生產異常處理的方法
      【技術領域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種產品生產異常處理的方法,特別涉及一種應用于半導體制造領域的產品生產異常處理的方法。
      【背景技術】
      [0002]在半導體制造的生產過程中,由于機臺或者工人操作的問題,時有異常情況發(fā)生。通常發(fā)生異常后由工程師檢查受影響產品情況,判斷后制定下一步的處理措施。對于產品異常,目前的處理方式是由一線制造工人口頭通知工藝工程師,工藝工程師查詢產品詳細異常信息后,將異常產品信息記錄在紙質表單上,再按照表單手動對產品處理。目前的處理流程無系統(tǒng)自動的記錄,設備工程師的處理意見和工藝工程師的處理意見不能相互比對,容易造成處理失誤,產品異常處理正確率偏低。

      【發(fā)明內容】

      [0003]鑒于此,有必要提供一種應用于半導體制造領域的產品異常處理正確率的產品生產異常處理的方法。
      [0004]一種產品生產異常處理的方法,包括如下步驟:
      [0005]生產系統(tǒng)檢查產品是否發(fā)生異常;
      [0006]當產品發(fā)生異常時,所述生產系統(tǒng)將產品留在所在工位,并提示異常信息;
      [0007]所述生產系統(tǒng)接收一線制造工人輸入的產品基本信息,然后發(fā)出顯示產品基本信息的異常電子通知單;
      [0008]所述生產系統(tǒng)接收設備工程師輸入的異常產品狀況和第一處理方案;
      [0009]所述生產系統(tǒng)接收第一工藝工程師輸入的異常產品狀況和第二處理方案;
      [0010]所述生產系統(tǒng)檢查第一處理方案和第二處理方案是否一致;
      [0011]若所述第一處理方案和第二處理方案一致,所述生產系統(tǒng)接收第二工藝工程師輸入的異常產品狀況和第三處理方案;
      [0012]所述生產系統(tǒng)檢查第一處理方案、第二處理方案和第三處理方案是否一致;
      [0013]若所述第一處理方案、第二處理方案和第三處理方案一致,所述生產系統(tǒng)接收一線制造工人輸入的異常產品狀況和第四處理方案;
      [0014]所述生產系統(tǒng)檢查第一處理方案、第二處理方案、第三處理方案和第四處理方案是否一致;
      [0015]若第一處理方案、第二處理方案、第三處理方案和第四處理方案一致,所述生產系統(tǒng)按照所述一致的處理方案自動執(zhí)行。
      [0016]在其中一個實施例中,所述產品基本信息包括產品在設備端的位置。
      [0017]在其中一個實施例中,若所述第一處理方案和第二處理方案不一致,則所述生產系統(tǒng)執(zhí)行接收第一工藝工程師輸入的異常產品狀況和第二處理方案的步驟。
      [0018]在其中一個實施例中,若第一處理方案、第二處理方案和第三處理方案不一致,則所述生產系統(tǒng)不會向一線制造工人發(fā)送所述設備工程師、所述第一工藝工程師和所述第二工藝工程師填寫的異常產品狀況和處理方案,所述生產系統(tǒng)執(zhí)行接收第一工藝工程師輸入的異常產品狀況和第二處理方案的步驟。
      [0019]在其中一個實施例中,若第一處理方案、第二處理方案、第三處理方案和第四處理方案不一致,所述生產系統(tǒng)執(zhí)行接收第一工藝工程師輸入的異常產品狀況和第二處理方案的步驟。
      [0020]在其中一個實施例中,所述異常產品狀況包括由所述生產系統(tǒng)預定義的狀況分類:未工藝、部分工藝、已工藝。
      [0021]在其中一個實施例中,在所述生產系統(tǒng)中,所述異常產品狀況分別對應由所述生產系統(tǒng)預定義的處理方案。
      [0022]在其中一個實施例中,若所述第二處理方案為產品返工,則所述工藝工程師提交第二處理方案后所述生產系統(tǒng)對比返工工藝菜單和正常工藝菜單,并輸出對比結果。
      [0023]在其中一個實施例中,若所述第二處理方案為產品返工,則所述第二工藝工程師提交第三處理方案后所述生產系統(tǒng)顯示所述返工工藝菜單和所述正常工藝菜單的對比信肩、O
      [0024]在其中一個實施例中,所述輸出對比結果包括彈出對比提示窗口。
      [0025]上述的產品生產異常處理的方法,產品發(fā)生異常后,生產系統(tǒng)將產品留在所在工位,經過設備工程師、第一工藝工程師、第二工藝工程師和一線制造工人確認異常產品狀況和處理方案一致后,按照處理方案自動執(zhí)行,經多名技術人員確認異常產品狀況和處理方案,大大提高了產品異常處理正確率。
      [0026]異常產品信息記錄可以保存在電子系統(tǒng)中,便于追溯查詢。對于已完成工藝或未進行工藝的異常產品,相對于目前采用的人為手動進出工藝站點,本發(fā)明是由系統(tǒng)自動控制處理,處理風險大大降低。
      【附圖說明】
      [0027]圖1為本發(fā)明一個實施例的流程圖。
      【具體實施方式】
      [0028]下面結合附圖,對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細描述。
      [0029]圖1為本發(fā)明一個實施例的流程圖,包括:
      [0030]步驟SlOO:生產系統(tǒng)檢查產品是否發(fā)生異常。生產系統(tǒng)通過生產設備檢測產品是否發(fā)生異常。
      [0031]步驟SllO:當產品發(fā)生異常時,生產系統(tǒng)將產品留在所在工位,并提示異常信息。生產設備檢測到產品發(fā)生異常,生產系統(tǒng)控制生產設備將異常產品暫時留在生產線上的所在工位,并向相關工作人員提示異常信息,包括各種提示燈或蜂鳴器,以及在相關工作人員的電腦上提示并顯示異常產品的相關信息,包括異常產品所在位置等信息。一出現(xiàn)異常生產系統(tǒng)就把異常產品留在所在工位,并記錄位置信息,讓工作人員知道異常產品所在位置,方便處置。
      [0032]步驟S120:生產系統(tǒng)接收一線制造工人輸入的產品基本信息,然后發(fā)出顯示產品基本信息的異常電子通知單,產品基本信息包括異常產品在生產線設備端的位置信息。
      [0033]步驟S130:生產系統(tǒng)接收設備工程師輸入的異常產品狀況和第一處理方案。設備工程師根據異常產品狀況處理生產設備的對應操作,確認異常產品所在位置,并檢查和判斷異常產品的工藝狀況。異常產品狀況包括由生產系統(tǒng)預定義的狀況分類:未工藝、部分工藝、已工藝這三種工藝,分別由生產系統(tǒng)提供選項由操作者選擇,并且分別對應有各自統(tǒng)一的由生產系統(tǒng)預定義的處理方案。例如,如果判斷為未工藝,則對應的由生產系統(tǒng)預定義的處理方案為:產品取消進站,重新按原菜單作業(yè)。如果判斷為部分工藝或已工藝,則對應的由生產系統(tǒng)預定義的處理方案為:返工。由于每種工藝狀況分別對應有各自統(tǒng)一的處理方案,工作人員只需判斷了異常產品的工藝狀況,生產系統(tǒng)即自動對應有統(tǒng)一的處理方案,既減輕了工作人員的工作量,也大大提高了產品處理的一致性和正確率。
      [0034]步驟S140:生產系統(tǒng)接收第一工藝工程師輸入的異常產品狀況和第二處理方案。第一工藝工程師填寫異常產品的工藝信息,并判斷異常產品的工藝狀況和處理方案。和上述一樣,異常產品狀況包括由生產系統(tǒng)預定義的狀況分類:未工藝、部分工藝、已工藝這三種工藝,分別由生產系統(tǒng)提供選項由操作者選擇,并且分別對應有各自統(tǒng)一的由生產系統(tǒng)預定義的處理方案。如果第一工藝工程師的第二處理方案為產品返工,則第一工藝工程師提交第二處理方案后生產系統(tǒng)對比返工工藝菜單和正常工藝菜單,并在第一工藝工程師操作界面彈出對比提示窗口輸出對比結果。工藝菜單的改變可能會對產品產生重大的影響,通過在第一工藝工程師操作界面彈出對比提示窗口來警示第一工藝工程師,進一步確保工藝菜單的改變的正確性。
      [0035]步驟S150:生產系統(tǒng)檢查第一處理方案和第二處理方案是否一致,若第一處理方案和第二處理方案一致,則執(zhí)行步驟S160,否則執(zhí)行步驟S140。生產系統(tǒng)對設備工程師的第一處理方案和第一工藝工程師的第二處理方案進行對比,判斷是否一致。若生產系統(tǒng)檢查第一處理方案和第二處理方案不一致,則生產系統(tǒng)不會向第二工藝工程師發(fā)送設備工程師和第一工藝工程師填寫的異常產品狀況和第二處理方案,生產系統(tǒng)執(zhí)行步驟S140。
      [0036]步驟S160:生
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