部4的接觸面積逐漸增加。因此，如圖10所示，電阻值平緩地下降。因此，壓敏元件a能夠基于電阻值的變化在寬范圍的應(yīng)力下高精度地檢測按壓力的變化。
[0142]此外，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3之間的接觸電阻值的值例如為1(Γ5 Ω /cm2?1(Γ3Ω/αιι2，彈性電極部4以及導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8的表面電阻值例如為1kQ/sq.以下。
[0143]本實施方式I的壓敏元件I實質(zhì)上構(gòu)成為能夠基于彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3之間的接觸電阻來檢測按壓力。
[0144]在彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3之間的接觸電阻值相對過小的情況下，即便使作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力變小，由此使彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的接觸面積變小，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8之間的電阻值也較低。因此，難以高精度地檢測與按壓力的變化對應(yīng)的電阻值的變化。
[0145]另一方面，在彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3之間的接觸電阻值相對過高的情況下，即便使對電極支承構(gòu)件5的按壓力變大，由此使彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的接觸面積變大，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8之間的電阻值也較高。因此，難以高精度地檢測與按壓力的變化對應(yīng)的電阻值的變化。
[0146]此外，在彈性電極部4以及導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8的表面電阻值比1kQ/sq.高的情況下，與彈性電極部4和導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3之間的接觸電阻相比，彈性電極部4以及導(dǎo)電體層8各自的電阻值變大。結(jié)果，在按壓力作用于電極支承構(gòu)件5時，發(fā)生彈性電極部4與導(dǎo)電體層8之間的電阻值不變化的情況。
[0147]另外，雖然細節(jié)在后面敘述，但在彈性電極部4以及導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8使用在樹脂中混合了導(dǎo)電性粒子的墨水而形成的情況下，通過適當?shù)卣{(diào)整墨水中的導(dǎo)電性粒子的濃度以及形狀等，能夠使這些電阻值成為所希望的電阻值。在這種情況下，將材料選定為與彈性電極部4以及導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的彈性特性兼容。此外，在通過鍍覆來形成彈性電極部4以及導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8的情況下，能夠通過調(diào)整鍍覆液的組成、濃度、溫度等使鍍覆膜的密度等按所希望的那樣變更，從而得到所希望的電阻值。
[0148]如圖7所示，若電極支承構(gòu)件5朝向基板2受到按壓，則該受到按壓的電極支承構(gòu)件5的部分與對應(yīng)的彈性電極部4的部分撓曲變形成向該按壓方向突出的凸形狀。這是由于電極支承構(gòu)件5和彈性電極部4具備可撓性的緣故。
[0149]若電極支承構(gòu)件5發(fā)生撓曲變形，則彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的前端接觸。由此，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8電連接。
[0150]若電極支承構(gòu)件5進一步向基板2側(cè)繼續(xù)撓曲(若按壓力P繼續(xù)增加)，則與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3接觸的彈性電極部4同樣地繼續(xù)變形，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的接觸面積同樣地繼續(xù)變化。因此，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8之間的電阻值連續(xù)下降。
[0151]另外，本說明書中所說的“彈性電極部4的同樣的變形”是指，在以同樣的按壓條件對多個壓敏元件I的電極支承構(gòu)件5進行了按壓的情況下，與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3接觸的彈性電極部4以同樣的形狀發(fā)生變形。如上所述，該彈性電極部4的同樣的變形通過如下方式來實現(xiàn):導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3具備規(guī)則的結(jié)構(gòu)并且即使與彈性電極部4接觸也不發(fā)生變形，并且導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3與彈性電極部4的平面部分接觸。
[0152]圖11示出了與作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力的變化對應(yīng)的彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8之間的電阻值的變化。如圖11所示，隨著作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力連續(xù)增加，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的導(dǎo)電體層8之間的電阻值連續(xù)下降。該電阻值的連續(xù)的下降通過如下方式來實現(xiàn):伴隨按壓力的增加，具備規(guī)則的結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3與彈性電極部4的接觸面積同樣地增加。由此，能夠基于電阻值的變化，高精度地檢測作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力。
[0153]此外，本實施方式I的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的形狀為圓柱形狀，但并不限于此，例如，如圖12所示，導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體也可以是圓錐狀的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體103。即，通過在設(shè)置于基板2上的圓錐狀的結(jié)構(gòu)構(gòu)件107的表面形成導(dǎo)電體層8來形成導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體103。或者也可以是圓錐臺、半球。
[0154]尤其是在導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3為如圓錐、圓錐臺、半球那樣具備錐面的形狀的情況下，伴隨作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力的增加，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的接觸面積連續(xù)增加。即，若著眼于I個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3，則伴隨作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力的增加而彈性電極部4接近基板2，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的錐面的接觸面積連續(xù)增加。
[0155]進而，導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的表面尤其是能與彈性電極部4接觸的表面，例如具備規(guī)則的微小的凹凸部。通過調(diào)整規(guī)則的微小的凹凸部中的高低差等，能夠使與作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力的變化對應(yīng)的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3與彈性電極部4的接觸面積的變化更加連續(xù)。結(jié)果，能夠高精度地檢測作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力的變化。
[0156]以上，根據(jù)本實施方式1，能夠使多個壓敏元件I中與按壓力的變化對應(yīng)的電阻值的變化的偏差減小，并且使壓敏元件I的耐久性提高。
[0157]S卩，在多個壓敏元件I中，如上所述彈性電極部4同樣地發(fā)生變形，因此伴隨按壓力的增加的彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3的接觸面積的增加成為同樣的。結(jié)果，在一個壓敏元件I中，在相同按壓條件的情況下，能夠使與按壓力的變化對應(yīng)的電阻值的變化的偏差變小。進而，導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體能夠預(yù)先進行設(shè)計，因此也能夠使多個壓敏元件的固體間的偏差降低。
[0158]此外，由于突出的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3與彈性電極部4的平面接觸，因此難以產(chǎn)生裂縫(與較硬的電極部和突出部狀的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體3接觸的情況相比)。由此壓敏元件I具備尚耐久性。
[0159](實施方式2)
[0160]本實施方式2所涉及的壓敏元件與上述的實施方式I所涉及的壓敏元件大致相同，但導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體不同。因此，對于本實施方式2所涉及的壓敏元件的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體進行詳細說明。
[0161]圖13A?圖13C是本實施方式2的壓敏元件201的示意性剖視圖。圖13A示出了未受到按壓力的狀態(tài)下的壓敏元件201。圖13B示出了受到了相對較小的按壓力Pl的狀態(tài)下的壓敏元件201。圖13C示出了受到了相對較大的按壓力P2的狀態(tài)下的壓敏元件201。
[0162]如圖13A?圖13C所示，在壓敏元件201的多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203中，其中至少2個的從基板2到前端的長度不同。即，多個結(jié)構(gòu)構(gòu)件207中的至少2個的長度不同。
[0163]在多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203中從基板2到前端的長度相同的情況下，若電極支承構(gòu)件5受到按壓，則彈性電極部4有可能與多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203同時接觸。由此，彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203的接觸面積急劇增加，彈性電極部4與導(dǎo)電體層8之間的電阻值急劇下降。
[0164]另一方面，在多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203中至少2個的長度不同的情況下，若以相對較小的按壓力Pl按壓電極支承構(gòu)件5，則如圖13B所示，首先，相對較長的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203與彈性電極部4接觸。
[0165]接著，若使按壓力從按壓力Pl增加到按壓力P2，則如圖13C所示，相對較短的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203與彈性電極部4接觸。
[0166]在這樣多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203的長度不同的情況下，伴隨作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力的增加，與彈性電極部4接觸的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203的數(shù)量增加。因此，只要適當?shù)卦O(shè)定導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203的長度，就能夠使與按壓力的變化對應(yīng)的、彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體203的接觸面積的變化成為平緩的變化。即，能夠使與按壓力的變化對應(yīng)的、彈性電極部4與導(dǎo)電體層8之間的電阻值的變化成為平緩的變化。
[0167]根據(jù)本實施方式2，能夠更高精度地檢測作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力。
[0168](實施方式3)
[0169]本實施方式3所涉及的壓敏元件與上述的實施方式2所涉及的壓敏元件大致相同。不同點在于導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體。因此，對于本實施方式3所涉及的壓敏元件的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體進行詳細說明。
[0170]圖14A?圖14C是本實施方式3的壓敏元件301的示意性剖視圖。圖14A示出了未受到按壓力的狀態(tài)下的壓敏元件301。圖14B示出了受到了相對較小的按壓力Pl的狀態(tài)下的壓敏元件301。圖14C示出了受到了相對較大的按壓力P2的狀態(tài)下的壓敏元件301。
[0171]如圖14A?圖14C所示，與上述的實施方式2同樣地，在壓敏元件301的多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303中，其中至少2個的從基板2到前端的長度不同。此外，在基板2與電極支承構(gòu)件5的對置方向上進行了投影的情況下，相對較長的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的投影剖面積比相對較短的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的投影剖面積大。即，相對較長的結(jié)構(gòu)構(gòu)件307的投影剖面積比相對較短的結(jié)構(gòu)構(gòu)件307的投影剖面積大。
[0172]根據(jù)這樣的構(gòu)成，如圖14B所示相對較長的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303與彈性電極部4接觸之后，如圖14C所示，相對較短的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303進行接觸。此時，與先進行了接觸的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的投影剖面積相比，后進行了接觸的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的投影剖面積較小，因而彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的接觸面積平緩地增加(與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體的投影剖面積相同的情況相比)。因此，只要適當?shù)卦O(shè)定導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的投影剖面積的大小，就能夠使與按壓力的變化對應(yīng)的、彈性電極部4與導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體303的接觸面積的變化成為平緩的變化。即，能夠使與按壓力的變化對應(yīng)的、彈性電極部4與導(dǎo)電體層8之間的電阻值的變化成為平緩的變化。
[0173]另外，在通過光刻形成結(jié)構(gòu)構(gòu)件7的情況下，能夠預(yù)先設(shè)計導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體的投影剖面積，并利用蝕刻條件來改變高度。
[0174]根據(jù)本實施方式3，能夠進一步更高精度地檢測作用于電極支承構(gòu)件5的按壓力。
[0175](實施方式4)
[0176]相對于上述的實施方式I?3的壓敏元件具有多個導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體(結(jié)構(gòu)構(gòu)件)，本實施方式4的壓敏元件具有單體的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體(結(jié)構(gòu)構(gòu)件)。關(guān)于本實施方式4的其他構(gòu)成要素，與上述的實施方式相同。因此，對于本實施方式4的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體進行說明。
[0177]圖15示出了本實施方式4所涉及的壓敏元件401的導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體403。導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)體403的結(jié)構(gòu)構(gòu)件407是從基板2上朝向彈性電極部4延伸、并具備遍及基板2的大致整體的大小的單體的構(gòu)件。此外，在基板2與電極支承構(gòu)件5的對置方向上觀察的情況下，結(jié)構(gòu)構(gòu)件407是格子狀。即，結(jié)構(gòu)構(gòu)件407具備在對置方向上貫通的多個貫通孔，相對于基板2與電極支承構(gòu)件5的對置方向而呈正交的剖面是恒定的。在這樣的形狀的結(jié)構(gòu)構(gòu)件407的表面以均勻的厚度形成有導(dǎo)電體