導(dǎo)電電極的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電電極，尤指一種以包含有易蝕刻性質(zhì)的黑化層及極薄的耐候?qū)铀瞥傻膶?dǎo)電電極，降低導(dǎo)電電極的線路導(dǎo)線所造成的光線干涉條紋現(xiàn)象，增加用戶視見于產(chǎn)品的舒適性，同時大幅度地降低于制造過程出現(xiàn)的側(cè)蝕現(xiàn)象，進(jìn)而達(dá)到穩(wěn)定導(dǎo)電電極的線徑。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子信息產(chǎn)品朝輕薄短小化的方向發(fā)展，半導(dǎo)體制造方法亦朝著高密度及自動化生產(chǎn)的方向前進(jìn)，而習(xí)知的具有觸控感應(yīng)面的電子產(chǎn)品或設(shè)備，隨著其觸控感應(yīng)面或觸控面板產(chǎn)品的尺寸由小而逐漸增大，導(dǎo)電電極的制成材料由原本普遍使用的氧化銦錫(ΙΤ0)轉(zhuǎn)變成為金屬導(dǎo)體電極。
[0003]實際上一般金屬導(dǎo)電電極10的結(jié)構(gòu)與制程，請參閱圖1及圖2所示，通常為步驟
(1)透過至少一附著層11(又稱作接著層)將欲制成金屬導(dǎo)電電極10主體的金屬導(dǎo)電電極層附著于基材12上，使金屬導(dǎo)電電極10不易由基板上脫落，步驟(2)而后將至少一耐候?qū)?br>13(抗蝕層)覆合于金屬導(dǎo)電電極10上。
[0004]另外，請參閱圖3所示，所述附著層11設(shè)計為兩層，分別為一與所述基材12結(jié)合的中介層110及一與所述金屬導(dǎo)電電極10結(jié)合的導(dǎo)電基底層111。
[0005]請再參閱圖1所示，步驟(3)接著再利用蝕刻液體進(jìn)行蝕刻程序(wet etching)成為金屬導(dǎo)電電極10電極線路14，便完成初步金屬導(dǎo)電電極10電極線路14的制造，另外，后續(xù)于最終感測電極(Sensor)產(chǎn)品完成后，請參閱圖2所示，本發(fā)明還能夠再以保護(hù)膠膜(0CA) 16進(jìn)行電極線路14的全部表面鋪設(shè)作為一保護(hù)作用。
[0006]而導(dǎo)電電極的設(shè)計上為了使構(gòu)成面板基底的導(dǎo)電電極不被使用者以眼睛明顯地察覺到其存在，亦即不讓金屬導(dǎo)電電極10被使用者視認(rèn)出，而使得目前該產(chǎn)業(yè)中的研發(fā)人員朝向?qū)⒔饘賹?dǎo)電電極10的線徑寬度制成極細(xì)作為其目標(biāo)
[0007]再更進(jìn)一步說明，習(xí)知的感測電極(Sensor)的電極線路14構(gòu)造是透過一具有耐蝕刻性質(zhì)的耐候?qū)?3進(jìn)行保護(hù)能夠做為導(dǎo)電的金屬導(dǎo)電電極10部分，進(jìn)行一蝕刻程序時，濕式蝕刻是等向性的(Isotropic)，而且因于耐候?qū)?3為一耐蝕刻材料，造成耐候?qū)?3以及金屬導(dǎo)電電極10兩者之間對于蝕刻液體的蝕刻速率差距甚大，又，針對步驟(2)所形成的耐候?qū)?3的分布通常為一厚度不均勻樣態(tài)，因此，當(dāng)蝕刻溶液做縱向蝕刻時，恐于蝕刻過程當(dāng)中的金屬導(dǎo)電電極10發(fā)生一嚴(yán)重的側(cè)蝕現(xiàn)象15。
[0008]請再參閱圖1所示，換句話說，亦即是金屬導(dǎo)電電極10的左右側(cè)面部份，尤其是指寬度設(shè)計小于5 μ m以及厚度設(shè)計大于0.3 μ m范圍的金屬導(dǎo)電電極10線徑，更容易發(fā)生一側(cè)蝕現(xiàn)象15，導(dǎo)致金屬導(dǎo)電電極10的蝕刻總面積比例過大、蝕刻局部不均所造成的電極線路14線徑的阻抗數(shù)值太大，更甚者使電極線路14發(fā)生一斷線的結(jié)果，使制造廠商所出產(chǎn)的金屬導(dǎo)電電極10的良率及質(zhì)量不易控管，實為目前極細(xì)的導(dǎo)電電極于發(fā)展制作上的炙手根本問題。
[0009]有據(jù)于前述觸控面板用金屬導(dǎo)電電極10的不足缺失，本發(fā)明為達(dá)到導(dǎo)電電極不被使用者以眼睛明顯地察覺到其存在，以及改善導(dǎo)電電極的側(cè)面蝕刻現(xiàn)象15所造成習(xí)知導(dǎo)電電極的線徑大小不一而最終降低導(dǎo)電電極產(chǎn)品良率等問題，實為本發(fā)明所設(shè)計的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的主要目的在于導(dǎo)電電極提供一種具有至少一易蝕刻性質(zhì)的黑化層的結(jié)構(gòu)設(shè)計，在以蝕刻技術(shù)制成導(dǎo)電電極的情況下，降低導(dǎo)電電極于蝕刻程序中嚴(yán)重的側(cè)向蝕刻現(xiàn)象，提升導(dǎo)電電極產(chǎn)品的生產(chǎn)良率，確保線徑寬度能夠依據(jù)預(yù)定設(shè)計為極細(xì)線徑，增加觸控面板光源的光線穿透率及提高色彩飽和度。
[0011]本發(fā)明的另一目的在于減少耐候?qū)拥暮穸?，并使耐候?qū)拥暮穸认鄬τ诹?xí)知為偏薄或者是極薄樣態(tài)，由減少厚度的耐候?qū)蛹耙孜g刻性質(zhì)的黑化層共同降低導(dǎo)電電極于蝕刻程序中嚴(yán)重的側(cè)向蝕刻現(xiàn)象，提升導(dǎo)電電極產(chǎn)品的生產(chǎn)良率，確保線徑寬度。
[0012]本發(fā)明的另再一目的在于導(dǎo)電電極具有至少一黑化層的結(jié)構(gòu)設(shè)計，能夠避免人眼直接視見觸控面板下的導(dǎo)電電極的存在，也避免人眼能夠視見觸控面板接口表面的干涉條紋現(xiàn)象(Moire)產(chǎn)生，以及減少色偏現(xiàn)象等效果，提供使用者一舒適的人眼能夠視觸控操作接口。
[0013]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
[0014]一種導(dǎo)電電極，其特征在于包含:
[0015]一基材層；
[0016]至少一附著層，具有布設(shè)于所述基材層表面的線路圖案；
[0017]一導(dǎo)電電極層，形成于所述附著層表面，并對應(yīng)所述線路圖案形成一導(dǎo)電線路；
[0018]一第一黑化層，對應(yīng)所述線路圖案并形成于所述導(dǎo)電電極層表面，并由易蝕刻性質(zhì)的材料所制成；以及
[0019]一耐候?qū)?，形成于所述第一黑化層表面，并由耐蝕刻性質(zhì)的材料所制成；
[0020]其中，所述耐候?qū)拥暮穸刃∮谒龅谝缓诨瘜?，所述第一黑化層由具有深色顏色的材料所制成，使光線被所述第一黑化層吸收而無法進(jìn)入所述導(dǎo)電電極層，形成一能夠避免使用者直接視察到所述導(dǎo)電電極層的遮蔽面。
[0021]所述的導(dǎo)電電極，所述耐候?qū)舆M(jìn)一步由具有深色顏色的材料所制成，與所述第一黑化層共同形成一能夠避免使用者直接視察到所述導(dǎo)電電極層的遮蔽面。
[0022]所述的導(dǎo)電電極，所述導(dǎo)電線路呈現(xiàn)一網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)。
[0023]所述的導(dǎo)電電極，所述附著層包含一位于所述基材層表面的中介層、一形成于所述中介層表面的導(dǎo)電基底層以及一位于所述導(dǎo)電基底層表面的抗氧化層。
[0024]所述的導(dǎo)電電極，所述附著層包含一位于所述基材層表面的第二黑化層、一形成于所述第二黑化層表面的中介層、以及一形成于所述中介層表面的導(dǎo)電基底層。
[0025]所述的導(dǎo)電電極，所述附著層包含一位于所述基材層表面的中介層、一位于所述中介層表面的第二黑化層、一形成于所述第二黑化層表面的導(dǎo)電基底層以及一位于所述導(dǎo)電基底層表面的抗氧化層。
[0026]所述的導(dǎo)電電極，所述附著層是由金屬、金屬氧化物、高分子材料或者是其復(fù)合材料其中一種所制成。
[0027]所述的導(dǎo)電電極，所述金屬是選自于鎢、鎳、鉻、銅、釩、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈦、鈮、鋁或其合金其中一種所制成，所述金屬氧化物分別是由鎢、鎳、鉻、銅、釩、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈦、鈮、鋁或其合金其中一種氧化所制成。
[0028]所述的導(dǎo)電電極，所述耐候?qū)邮怯墒?、金屬、金屬氧化物、能夠?qū)щ姷母叻肿硬牧匣蛘呤瞧鋸?fù)合材料其中一種所制成。
[0029]所述的導(dǎo)電電極，所述金屬是選自于鎢、鎳、鉻、銅、鋁、銀、鈦、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈮或其合金其中一種所制成，所述金屬氧化物分別是由鎢、鎳、鉻、銅、鋁、銀、鈦、鑰、錫、鋅、鈷、鐵、鈮或其合金其中一種氧化所制成。
[0030]所述的導(dǎo)電電極，所述附著層的厚度介于0.01 μπι?1 μ m，所述導(dǎo)電電極層的厚度介于0.1 μ m?6 μ m,所述耐候?qū)拥暮穸冉橛?nm?50nm,而所述第一黑化層的厚度介于0.01 μ m ?1 μ m。
[0031]其中，設(shè)計上為了達(dá)到減少所述耐候?qū)拥暮穸瘸蔀闃O薄，以減少蝕刻發(fā)生側(cè)蝕現(xiàn)象，本發(fā)明的所述耐候?qū)拥暮穸刃∮谒龅谝缓诨瘜?，也就是說，所述耐候?qū)拥暮穸饶軌蛟O(shè)計成相對小于或者是極小于所述黑化層的厚度，所述第一黑化層的厚度與習(xí)知的厚度相同。
[0032]而且，所述第一黑化層由具有深色顏色的材料所制成，使光線于所述耐候?qū)颖砻婕八龅谝缓诨瘜颖砻娌粫l(fā)生光線反射、折射及色偏的現(xiàn)象，同時，使光線被所述第一黑化層吸收而無法進(jìn)入所述導(dǎo)電電極層，形成一能夠避免使用者直接視察到所述導(dǎo)電電極層的遮蔽面。
[0033]由前述說明可知，本發(fā)明的特點在于:耐候?qū)拥暮穸仍O(shè)計為相對小于或者是相對極小于第一黑化層的厚度；再者，透過黑化層及帶有深色顏色(黑化性質(zhì))的耐候?qū)拥脑O(shè)計，將導(dǎo)電線路進(jìn)行完整的遮蔽，大幅降低導(dǎo)電電極表面產(chǎn)生干涉條紋的現(xiàn)象，藉此完成一能夠供人眼睛舒適地可視的觸控操作接