互電容方式觸摸面板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通過互電容方式感知在觸摸面板上手指等操作物體所接觸的面板上的位置的互電容方式觸摸面板。
【背景技術(shù)】
[0002]電容方式的觸摸面板主要有表面型和投影型這兩種，通過測定觸摸面板的表面與手指等操作物體接觸時所產(chǎn)生的電容的變化而能夠確定檢測點。表面型只能檢測一個點，針對于此，投影型利用以與X方向和Y方向交叉的方式排列的電極來測定電容的變化，能夠確定檢測點的坐標(biāo)，因此對于大多電子設(shè)備來說采用投影型。
[0003]另外，在投影型中，有電容的變化的檢測方式不同的自電容(Self capacitance)方式和互電容(Mutual capacitance)方式。通過測定X電極和Y電極的互電容，從而在檢測到互電容改變了的情況下，直接確定出其檢測點的互電容方式相比自電容方式在多點檢測的應(yīng)用中更為優(yōu)越。因此，在采用假設(shè)多點檢測的用戶接口的電子設(shè)備中，使用互電容方式(例如，參照專利文獻1)。
[0004]在此，關(guān)于以往的互電容方式觸摸面板的電極構(gòu)造，表示于圖9的示意圖。如圖9所示，觸摸面板501具備:沿X方向相互平行地配置的多個下部電極510 ;以及以與各個下部電極交叉(正交)的方式沿Y方向相互平行地配置的多個上部電極520。上部電極520和下部電極510通過對由透明導(dǎo)電材料(例如ΙΤ0、氧化銦以及氧化錫等)構(gòu)成的薄膜進行蝕刻加工而形成，并形成為相互分離的帶狀的電極。
[0005]如圖10的示意圖所示，下部電極510作為發(fā)送側(cè)的電極發(fā)揮功能，上部電極520作為接收側(cè)的電極發(fā)揮功能。在手指等物體200與上部電極520側(cè)、即觸摸面?zhèn)任唇佑|或者未接近的狀態(tài)下，形成有電力線L從發(fā)送側(cè)的下部電極510朝向接收側(cè)的上部電極520的電場。若手指等物體200接近上部電極520為對該電場產(chǎn)生影響的程度，則電力線L的一部分環(huán)繞在上部電極520的周圍而被手指等物體吸收。其結(jié)果，使互電容產(chǎn)生變化，從而能夠以產(chǎn)生了該變化的坐標(biāo)為檢測點來進行檢測。此外，為了除去來自LCD的噪聲的影響，下部電極510的寬度設(shè)定為比上部電極520寬，相反，下部電極510彼此的間隙設(shè)定為比上部電極520彼此的間隙窄。
[0006]另外，作為形成平板顯示器、觸摸面板、太陽電池等裝置的電極圖形的方法，一般是如下方法，即，在利用濺射法形成由透明導(dǎo)電材料構(gòu)成的薄膜(透明導(dǎo)電膜)后，利用光刻法形成抗蝕圖案，并利用濕式蝕刻除去透明導(dǎo)電膜的預(yù)定部分從而形成電極圖形。
[0007]但是，最近，由于成本方面等問題，進行了如下嘗試，即，使用代替ΙΤ0、氧化銦以及氧化錫等的材料(例如，含有銀納米纖維等導(dǎo)電性納米纖維的導(dǎo)電涂料)來形成透明的電極圖形。例如，在專利文獻2中，公開了如下方法，S卩，使用在支撐薄膜11上依次層疊含有導(dǎo)電性納米纖維的導(dǎo)電層12、感光性樹脂層13而成的感光性導(dǎo)電薄膜(干式抗蝕膜)14，以感光性樹脂層13緊貼于基板45上的方式對該感光性導(dǎo)電薄膜14進行層壓后(參照圖11(a)),向感光性樹脂層13照射活性光線L2而對其進行曝光(參照圖11 (b))，并使感光性樹脂層13顯影(參照圖11 (c))，由此形成圖形化的感光性樹脂層13b以及導(dǎo)電層12a。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0009]專利文獻
[0010]專利文獻1:日本特開2012 — 43460號公報
[0011]專利文獻2:日本特開2011 - 175972號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明要解決的課題
[0013]然而，在采用專利文獻2所示那樣的電極圖形的形成方法而得到互電容方式觸摸面板501的上部電極的情況下，如圖12所示，上部電極52以及支撐上部電極520的由感光性樹脂構(gòu)成的絕緣膜503的總厚變厚為10 μ m左右，而且這些邊緣垂直地立起，因此明確地目視確認(rèn)出形成有上部電極520的部分和未形成有上部電極520的部分的邊界線，產(chǎn)生從觸摸面?zhèn)瓤吹缴喜侩姌O520的電極圖形的現(xiàn)象、即所謂圖形可視(也稱為骨架可視性)現(xiàn)象。這種圖形可視現(xiàn)象有在電子設(shè)備中對通過觸摸面板而被目視確認(rèn)的映像帶來視覺上的影響的情況，要求減少圖形可視現(xiàn)象。
[0014]因此，本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種能夠減少上部電極的電極圖形的圖形可視現(xiàn)象的互電容方式觸摸面板。
[0015]用于解決課題的方案
[0016]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明如下構(gòu)成。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的第1方案，提供一種互電容方式觸摸面板，其特征在于，具備:基板；多個下部電極，其由透明導(dǎo)電材料形成為寬幅的帶狀，且沿第一方向相互平行而且隔著較窄的間隙地配置于上述基板的第一面上；多個上部電極，其由透明導(dǎo)電材料形成為窄幅的帶狀，且沿與第一方向交叉的第二方向相互平行而且隔著較寬的間隙地配置于上述基板的第一面以及上述下部電極上；以及絕緣膜，其由具有粘接性的感光性樹脂形成，且以支撐上述上部電極的方式配置于上述上部電極與上述下部電極之間，上述絕緣膜具備與支撐上述上部電極的支撐面共用長邊的帶斜度側(cè)面。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的第2方案，提供第1方案的互電容方式觸摸面板，上述絕緣膜的支撐上述上部電極的部分的厚度T為3?15 μ m。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的第3方案，提供第1方案或第2方案中所述的互電容方式觸摸面板，上述帶斜度側(cè)面的中央部的法線與上述支撐面的法線所成的角度Θ為20?30°。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的第4方案，提供第1?3方案中任一項所述的互電容方式觸摸面板，上述絕緣膜形成于每個上述上部電極。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的第5方案，提供第1?3方案中任一項所述的互電容方式觸摸面板，上述絕緣膜形成為一系列的膜，具有連接上述帶斜度側(cè)面的下邊彼此的凹部底面。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的第6方案，提供第5方案的互電容方式觸摸面板，上述帶斜度側(cè)面的上邊至下邊的高低差D為1 μπι以上。
[0023]發(fā)明效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明，以支撐上部電極的方式在上部電極與下部電極之間配置有絕緣膜的互電容方式觸摸面板中，該絕緣膜具備與支撐上部電極的支撐面共用長邊的帶斜度側(cè)面，因此折射率的變化在形成有上部電極的部分與未形成上部電極的部分之間變得緩慢，能夠使上部電極的邊界線在視覺上不顯眼。因而在互電容方式觸摸面板中能夠減少上部電極的電極圖形的圖形可視現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0025]圖1是表不本發(fā)明的觸摸面板的一個實施例的立體圖。
[0026]圖2是圖1所示的觸摸面板的電極層疊方向的剖視圖。
[0027]圖3是表示形成上部電極以及帶斜度側(cè)面的工序的一個例子的圖。
[0028]圖4是在圖3的曝光工序中使用的掩模的俯視圖。
[0029]圖5是表示本發(fā)明的觸摸面板的其它的實施例的立體圖。
[0030]圖6是圖5所示的觸摸面板的電極層疊方向的剖視圖。
[0031]圖7是表示形成上部電極以及帶斜度側(cè)面的工序的其它的例子的圖。
[0032]圖8是在圖7的曝光工序中使用的掩模的俯視圖。
[0033]圖9是觸摸面板的電極圖形的示意圖。
[0034]圖10是表示圖9的觸摸面板的檢測原理的示意剖視圖。
[0035]圖11是表示以往的使用了干式抗蝕膜的電極圖形的形成工序的圖。
[0036]圖12是采用了圖11所示的電極圖形形成方法的觸摸面板的剖視圖。
【具體實施方式】
[0037]以下，基于附圖對本發(fā)明的實施方式進行詳細(xì)說明。
[0038][第一實施方式]
[0039](觸摸面板的結(jié)構(gòu))
[0040]首先，對本實施方式的觸摸面板的結(jié)構(gòu)進行說明。圖1是表示本發(fā)明的觸摸面板的一個實施例的立體圖，圖2是圖1所示的觸摸面板的電極層疊方向的剖視圖。
[0041]如圖1所示，觸摸面板1具備:基板4 ;形成為帶狀且沿X方向相互平行地配置的多個下部電極10 ;形成為帶狀且以與各個下部電極交叉(正交)的方式沿Y方向相互平行地配置的多個上部電極20 ;以及以支撐上部電極20的方式配置在上部電極20與下部電極10之間的絕緣膜3。此外，在本實施方式中，絕緣膜3在每個上部電極20形成為帶狀，在絕緣膜3間具有間隙。
[0042]基板4是電氣絕緣性的基板，可以是例如玻璃基板、PET(聚乙烯對苯二甲酸酯)薄膜、PC (聚碳酸酯)薄膜、C0P (環(huán)烯烴聚合物)薄膜、PVC (聚氯乙烯)薄膜、C0C (環(huán)烯烴聚合物)薄膜等。特別是C0P薄膜，不僅在光學(xué)各向同性上優(yōu)良，而且在尺寸穩(wěn)定性以及加工精度上也優(yōu)良，因而優(yōu)選。此外，在透明基板4為玻璃基板的情況下，只要是0.3mm?3mm的厚度即可。另外，在透明基板4為樹脂薄膜的情況下，只要是20 μπι?3_的厚度即可。
[0043]并且，如圖1所示，在觸摸面板1的電極圖形中，為了除去來自LCD的噪聲的影響，下部電極10的寬度形成為較寬，下部電極10間的間隙11形成為窄到能夠確保相互電絕緣的程度。
[0044]與此相對，為了確保檢測功能，上部電極20形成為，寬度比下部電極10窄，上部電極20間的間隙21較寬。如在上述的圖10中說明的那樣，在觸摸面板1中，形成有電力線L從發(fā)送側(cè)的下部電極10(相當(dāng)于