電容式傳感裝置以及電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及電容式傳感技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電容式傳感裝置以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著社會的發(fā)展，越來越多的電子設(shè)備(如:手機(jī)、平板電腦、穿戴式設(shè)備、以及智能家居等各種智能產(chǎn)品)一般都會設(shè)置一種或多種傳感裝置。所述傳感裝置包括如感測用戶觸摸操作的觸摸傳感裝置、感測人體生物信息的生物信息傳感裝置等等。目前，生物信息傳感裝置等多采用電容式傳感裝置來執(zhí)行感測操作。
[0003]電容式傳感裝置一般包括電容式傳感器和控制電路。所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)。所述多個傳感單元接收控制電路的驅(qū)動信號，并在用戶觸摸所述多個傳感單元時對應(yīng)輸出感測信號給所述控制電路，以獲得相應(yīng)的感測信息。
[0004]然，各傳感單元獨立檢測，分別輸出單一感測信號，所述單一感測信號(如:電壓和/或電量)一般強度較弱。另外，電壓、電量等感測信號在被傳輸?shù)倪^程中易受電容式傳感裝置中寄生電容的影響，較不穩(wěn)定，從而導(dǎo)致電容式傳感裝置的感測存在不精確或者出現(xiàn)誤判的情況，影響用戶體驗。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實用新型提供了一種感測精度較高的電容式傳感裝置以及用戶體驗較好的電子設(shè)備。
[0006]本實用新型提供了一種電容式傳感裝置，包括電容式傳感器和控制電路；所述電容式傳感器包括多個傳感單元，每一傳感單元包括:
[0007]感測電極，能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體；和
[0008]傳感電路，包括差分對管，所述差分對管與所述感測電極相關(guān)聯(lián)；
[0009]所述控制電路，用于與所述多個傳感單元分別連接，所述控制電路用于提供參考信號給所述感測電極，提供電流源給所述差分對管；
[0010]其中，所述差分對管用于響應(yīng)感測電極因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應(yīng)于產(chǎn)生二不同的第二交流信號給所述控制電路；所述控制電路根據(jù)所述第二交流信號對應(yīng)獲知目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。
[0011]優(yōu)選地，所述差分對管包括:
[0012]第三晶體管，包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極；其中，第三控制電極與感測電極為二電極，所述第三控制電極與所述感測電極連接，或者，所述第三控制電極與所述感測電極為同一電極；和
[0013]第四晶體管，包括第四控制電極、第七傳輸電極、和第八傳輸電極；其中，第七傳輸電極與第五傳輸電極連接所述電流源；第六傳輸電極與第八傳輸電極用于輸出所述二不同的第二交流信號給所述控制電路。
[0014]優(yōu)選地，當(dāng)?shù)谌刂齐姌O與感測電極為二電極時，第三控制電極直接連接感測電極，或者，第三控制電極通過限流元件連接感測電極。
[0015]優(yōu)選地，所述控制電路用于提供第一參考信號給第三控制電極，提供第二參考信號給第四控制電極，其中，第一參考信號與第二參考信號相同。
[0016]優(yōu)選地，所述電流源用于提供第一恒定直流信號，每一傳感單元所輸出的不同的第二交流信號為差分電流信號，二者之和等于所述第一恒定直流信號。
[0017]優(yōu)選地，當(dāng)所述第三控制電極與所述感測電極通過限流元件連接時，所述參考信號產(chǎn)生電路連接于所述限流元件與第三控制電極之間。
[0018]優(yōu)選地，所述控制電路包括:
[0019]參考信號產(chǎn)生電路，與所述第三控制電極和所述第四控制電極連接，用于提供第一參考信號給所述第三控制電極，提供第二參考信號給所述第四控制電極；和
[0020]處理電路，與所述第六傳輸電極和第八傳輸電極并行連接，所述處理電路接收來自電容式傳感器輸出的第二交流信號，并根據(jù)所述第二交流信號獲知目標(biāo)物體的預(yù)定生物
?目息。
[0021]優(yōu)選地，所述預(yù)定生物信息包括指紋、掌紋、耳紋。
[0022]優(yōu)選地，所述控制電路進(jìn)一步包括掃描驅(qū)動電路，所述傳感電路進(jìn)一步包括第一開關(guān)單元，第一開關(guān)單元連接于所述電流源與所述差分對管之間，并進(jìn)一步連接所述掃描驅(qū)動電路，所述掃描驅(qū)動電路通過控制第一開關(guān)單元來對應(yīng)控制是否在電流源與所述差分對管之間傳輸?shù)谝缓愣ㄖ绷餍盘枴?br>[0023]優(yōu)選地，所述第一開關(guān)單元包括第一晶體管；第一晶體管包括第一控制電極、第一傳輸電極、和第二傳輸電極；第一控制電極連接掃描驅(qū)動電路；第一傳輸電極連接所述電流源；第二傳輸電極連接于所述第五傳輸電極和第七傳輸電極之間。
[0024]優(yōu)選地，所述第一開關(guān)單元進(jìn)一步包括第二晶體管；第二晶體管包括第二控制電極、第三傳輸電極、和第四傳輸電極；第二控制電極連接掃描驅(qū)動電路；第三傳輸電極連接所述第二傳輸電極；第四傳輸電極連接于所述第五傳輸電極和第七傳輸電極之間。
[0025]優(yōu)選地，所述傳感電路進(jìn)一步包括第二開關(guān)單元，連接于所述參考信號產(chǎn)生電路與所述差分對管之間，并進(jìn)一步連接所述掃描驅(qū)動電路，所述掃描驅(qū)動電路通過控制第二開關(guān)單元來對應(yīng)控制是否輸出第一參考信號給所述第三控制電極，以及是否輸出第二參考信號給所述第四控制電極。
[0026]優(yōu)選地，所述第二開關(guān)單元包括:
[0027]第五晶體管，包括第五控制電極、第九傳輸電極、和第十傳輸電極，其中，第五控制電極連接所述掃描驅(qū)動電路；第九傳輸電極連接所述參考信號產(chǎn)生電路；第十傳輸電極連接第三控制電極；和
[0028]第六晶體管，包括第六控制電極、第十一傳輸電極、和第十二傳輸電極，其中，第六控制電極連接所述掃描驅(qū)動電路；第十一傳輸電極連接所述參考信號產(chǎn)生電路；第十二傳輸電極連接第四控制電極；
[0029]所述掃描驅(qū)動電路用于同時導(dǎo)通或截止所述第五晶體管與第六晶體管。
[0030]優(yōu)選地，在傳感單元每次執(zhí)行感測的過程中，所述掃描驅(qū)動電路用于按預(yù)定時間間隔導(dǎo)通第五晶體管與第六晶體管。
[0031]優(yōu)選地，所述多個傳感單元呈陣列式排布。
[0032]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括多個掃描線群組、多個信號線群組、和多條參考信號線，所述掃描線群組包括第一掃描線、第二掃描線、和第三掃描線；所述信號線群組包括第一信號線、第二信號線、和第三信號線；第一控制電極通過第一掃描線與所述掃描驅(qū)動電路連接；第二控制電極通過第二掃描線與所述掃描驅(qū)動電路連接；第五控制電極通過第三掃描線與所述掃描驅(qū)動電路連接；第六控制電極通過第三掃描線與所述掃描驅(qū)動電路連接；第一傳輸電極通過第一信號線連接所述電流源；第六傳輸電極通過第二信號線連接所述處理電路；第八傳輸電極通過第三信號線連接所述處理電路；第九傳輸電極通過參考信號線連接所述參考信號產(chǎn)生電路；第十一傳輸電極通過參考信號線連接所述參考信號產(chǎn)生電路。
[0033]優(yōu)選地，對于同一傳感單元:所述第五控制電極與第六控制電極短接；所述第九傳輸電極與所述第十一傳輸電極短接。
[0034]優(yōu)選地，所述信號線群組沿列方向排布；每一列傳感單元連接一信號線群組，不同列傳感單元連接不同信號線群組。
[0035]優(yōu)選地，第一掃描線連接位于同一行的傳感單元，第二掃描線連接位于同一列的傳感單元；或者，第一掃描線連接位于同一列的傳感單元，第二掃描線連接位于同一行的傳感單元。
[0036]優(yōu)選地，第三掃描線連接位于同一行的傳感單元，參考信號線連接位于同一行的傳感單元。
[0037]優(yōu)選地，所述第一掃描線與第二掃描線絕緣交叉排列，所述控制電路進(jìn)一步根據(jù)第一掃描線與第二掃描線的位置關(guān)系獲知各傳感單元的位置。
[0038]優(yōu)選地，所述處理電路對接收到的第二交流信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換以及放大處理，并對同一傳感單元輸出的二第二交流信號進(jìn)行減法運算，以獲知目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。
[0039]優(yōu)選地，所述傳感電路進(jìn)一步包括第一補償單元和第二補償單元；第十傳輸電極與第三控制電極之間串接第一補償單元，所述第一補償單元用于補償?shù)谖寰w管關(guān)閉時第十傳輸電極與第三控制電極之間的電壓；第十二傳輸電極與第四控制電極之間串接第二補償單元，所述第二補償單元用于補償?shù)诹w管關(guān)閉時第十二傳輸電極與第四控制電極之間的電壓。
[0040]優(yōu)選地，所述第一補償單元包括第七晶體管；所述第七晶體管包括第七控制電極、第十三傳輸電極、和第十四傳輸電極；所述第七控制電極連接所述掃描驅(qū)動電路，所述第十三傳輸電極連接第十傳輸電極，所述第十四傳輸電極連接第三控制電極，且第十三傳輸電極與第十四傳輸電極短接；所述第二補償單元包括第八晶體管；所述第八晶體管包括第八控制電極、第十五傳輸電極、和第十六傳輸電極；所述第八控制電極連接所述掃描驅(qū)動電路，所述第十五傳輸電極連接第十二傳輸電極，所述第十六傳輸電極連接第四控制電極，且第十五傳輸電極與第十六傳輸電極短接。
[0041]優(yōu)選地，所述掃描驅(qū)動電路控制所述第七晶體管與所述第五晶體管交替導(dǎo)通，以及控制第八晶體管與第六晶體管交替導(dǎo)通，其中，導(dǎo)通的第七晶體管用于補償?shù)谖寰w管截止時第三控制電極與第十傳輸電極之間的電壓；導(dǎo)通的第八晶體管用于補償?shù)谄呔w管截止時第四控制電極與第十二傳輸電極之間的電壓。
[0042]優(yōu)選地，所述掃描線群組進(jìn)一步包括第四掃描線，所述第七控制電極通過第四掃描線連接所述掃描驅(qū)動電路，所述第八控制電極通過第四掃描線連接所述掃描驅(qū)動電路。
[0043]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括絕緣基板，用于承載所述多個傳感單元，所述傳感電路的各所述晶體管均采用薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管的柵極用作各晶體管的控制電極，所述薄膜晶體管的源極與漏極分別用作傳輸電極
[0044]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括導(dǎo)電層和接地線，所述導(dǎo)電層與所述多個傳感單元位于所述基板的相對二側(cè)，所述接地線與所述多個傳感單元位于所述基板的同偵h所述接地線與所述導(dǎo)電層用于傳輸調(diào)制信號，所述控制電路提供給所述差分對管的第一、第二參考信號隨所述調(diào)制信號的升高而升高、隨所述調(diào)制信號的降低而降低。
[0045]優(yōu)選地，所述調(diào)制信號包括接地信號和驅(qū)動信號，所述驅(qū)動信號不同于所述接地信號；當(dāng)所述掃描驅(qū)動電路控制第二開關(guān)單元閉合時，所述參考信號產(chǎn)生電路通過第二開關(guān)單元提供第一參考信號對第三控制電極充電，以及提供第二參考信號對第四控制電極充電，且，所述接地線與所述導(dǎo)電層傳輸?shù)恼{(diào)制信號為接地信號；當(dāng)所述掃描驅(qū)動電路控制第二開關(guān)單元斷開時，第一參考信號與第二參考信號被停止傳輸給差分對管，且，所述接地線與所述導(dǎo)電層傳輸?shù)恼{(diào)制信號至少包括驅(qū)動信號，所述感測電極執(zhí)行感測操作。
[0046]優(yōu)選地，所述傳感電路包括二串聯(lián)的第一晶體管、和/或二串聯(lián)的第二晶體管、和/或二串聯(lián)的第三晶體管、和/或二串聯(lián)的第四晶體管、和/或二串聯(lián)的第五晶體管、和/或二串聯(lián)的第六晶體管。
[0047]優(yōu)選地，所述電容式傳感裝置進(jìn)一步包括第三開關(guān)單元，設(shè)置在所述控制電路與所述電容式傳感器之間，通過第三開關(guān)單元，同一行的傳感單元分時復(fù)用電流源，或/和，同一行的傳感單元分時復(fù)用處理電路。
[0048]優(yōu)選地，所述控制電路集成在一硅晶圓為襯底的控制芯片上，所述控制芯片壓合在所述絕緣基板上。
[0049]優(yōu)選地，所述電容式傳感裝置為指紋傳感裝置。
[0050]優(yōu)選地，各傳感單元所產(chǎn)生的二不同的第二交流信號為放大的差分電流信號。
[0051]本實用新型還提供一種電子設(shè)備，包括電容式傳感裝置，所述電容式傳感裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置。
[0052]由于所述電容式傳感裝置的電容式傳感器的各傳感單元包括差分對管，所述差分對管用于響應(yīng)感測電極因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應(yīng)產(chǎn)生二不同的第二交流信號給所述控制電路；所述控制電路根據(jù)所述第二交流信號對應(yīng)獲知目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息，其中，各傳感單元輸出的二不同第二交流信號較穩(wěn)定，因此，所述電容式傳感裝置的感測精度較準(zhǔn)。相應(yīng)地，具有所述電容式傳感裝置的電子設(shè)備的用戶體驗較好。
[0053]盡管公開了多個實施例，包括其變化，但是通過示出并描述了本實用新型公開的說明性實施例的下列詳細(xì)描述，本實用新型公開的其他實施例將對所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見。將認(rèn)識到，本實用新型公開能夠在各種顯而易見的方面修改，所有修改都不會偏離本實用新型的精神和范圍。相應(yīng)地，附圖和詳細(xì)描述本質(zhì)上應(yīng)被視為說明性的，而不是限制性的。
【附圖說明】
[0054]通過參照附圖詳細(xì)描述其示例實施方式，本實用新型的特征及優(yōu)點將變得更加明顯。
[0055]圖1為本實用新型電容式傳感裝置的第一實施方式的示意圖。
[0056]圖2為圖1所示電容式傳感裝置的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0057]圖3為圖2所示電容式傳感器的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0058]圖4為圖2所示電容式傳感裝置的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0059]圖5與圖6為圖3所示傳感電路的其它變更實施方式的示意圖。
[0060]圖7為圖1所示電容式傳感器的示意圖。
[0061]圖8至圖11中主要示出電容式傳感器的一傳感單元的第三晶體管與感測電極的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0062]圖12為圖2所示的電容式傳感裝置的工作時序圖。
[0063]圖13為圖1所示電容式傳感器的部分方框示意圖。
[0064]圖14為本實用新型電容式傳感裝置的第二實施方式的示意圖。
[0065]圖15為圖14所示一行方向上相鄰二傳感單元的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0066]圖16為圖14的電容式傳感裝置的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0067]圖17為圖14所示電容式傳感器的方框結(jié)構(gòu)示意圖。
[0068]圖18為本實用新型電容式傳感裝置的其它變更實施方式的示意圖。
[0069]圖19為在一片玻璃基板上形成多個電容式傳感裝置的示意圖。
[0070]圖20為圖19所示的一電容式傳感裝置的側(cè)視示意圖。
[0071]圖21和圖22為電容式傳感裝置的其它變更實施方式的側(cè)視圖。
[0072]圖23為本實用新型芯片組的一較佳實施方式的示意圖。
[0073]圖24為本實用新型電容式感測系統(tǒng)的第一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0074]圖25為本實用新型電容式感測系統(tǒng)的第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0075]圖26為本實用新型電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)第一實施方式的示意圖。
[0076]圖27與圖28為本實用新型電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)其它實施方式的示意圖。
[0077]圖29為本實用新型電容式感測模組的一較佳實施方式的示意圖。
[0078]圖30為本實用新型在電子設(shè)備的保護(hù)蓋板下方設(shè)置電容式感測模組的示意圖。
[0079]圖31是圖30沿r-r’方向的部分剖面示意圖。
[0080]圖32為電子設(shè)備的顯示裝置的TFT陣列基板的示意圖。
[0081]圖33為本實用新型電子設(shè)備的一較佳實施方式的示意圖。
【具體實施方式】
[0082]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實施方式；相反，提供這些實施方式使得本實用新型將全面和完整，并將示例實施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。為了方便或清楚，可能夸大、省略或示意地示出在附圖中所示的每層的厚度和大小、以及示意地示出相關(guān)元件的數(shù)量。另外，元件的大小不完全反映實際大小，以及相關(guān)元件的數(shù)量不完全反應(yīng)實際數(shù)量。在圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的結(jié)構(gòu)。
[0083]此外，所描述的特征、結(jié)構(gòu)可以以任何合適的方式結(jié)合在一個或更多實施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細(xì)節(jié)從而給出對本實用新型的實施方式的充分理解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)意識到，沒有所述特定細(xì)節(jié)中的一個或更多，或者采用其它的結(jié)構(gòu)、組元等，也可以實踐本實用新型的技術(shù)方案。在其它情況下，不詳細(xì)示出或描述公知結(jié)構(gòu)或者操作以避免模糊本實用新型。
[0084]在本實用新型的描述中，需要理解的是:“多個”包括兩個和兩個以上，除非另有明確具體的限定?！斑B接”可為電連接、機(jī)械連接、親接、直接連接、以及間接連接等多種實施方式，除非本實用新型下述特別說明，否則并不做特別限制。另外，各元件名稱以及信號名稱中出現(xiàn)的“第一”、“第二 ”等詞語并不是限定元件或信號出現(xiàn)的先后順序，而是為方便元件命名，清楚區(qū)分各元件，使得描述更簡潔。
[0085]進(jìn)一步需要說明的是:本實用新型提供的電容式傳感裝置適用于生物信息傳感裝置，尤其指紋傳感裝置。然，本實用新型并不限于此，所述電容式傳感裝置也可適用其它合適類型的傳感裝置，如觸摸傳感裝置。所述生物信息傳感裝置用于感測目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。所述目標(biāo)物體如為用戶的手指，也可為用戶身體的其它部分、如手掌、腳趾、耳朵等，甚至也可為其它合適類型的物體，而并不局限為人體。所述預(yù)定生物信息如為指紋、掌紋、耳紋等。
[0086]所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器(sensors)和控制電路。所述控制電路連接電容式傳感器，用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測操作。
[0087]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括感測電極和差分對管。所述感測電極能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體，用于加載參考信號。所述差分對管與所述感測電極相關(guān)聯(lián)，用于響應(yīng)感測電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應(yīng)產(chǎn)生差分信號。
[0088]所述控制電路接收所述差分信號，并根據(jù)所述差分信號對應(yīng)獲得相應(yīng)的感測信息。所述感測信息如為目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。類似地，所述控制電路也可根據(jù)差分信號獲知目標(biāo)物體接近或觸摸了電容式傳感裝置這一感測信息。
[0089]由于本實用新型的電容式傳感器傳輸給控制電路的感測信號為差分信號，所述差分信號較強，且差分信號在傳輸給控制電路的過程中受電容式傳感裝置中的寄生電容的影響較小，因此，所述控制電路根據(jù)差分信號獲得的感測信息相對較準(zhǔn)而能減少誤判，從而能夠提升用戶體驗。
[0090]優(yōu)選地，所述差分信號為差分電流信號。
[0091]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括多個感測電極和多個差分對管。同一差分對管所產(chǎn)生的差分信號為同幅同頻反相的第二交流信號。另外，所述差分對管用于與一電流源連接，所述電流源用于提供一第一恒定直流信號。所述二不同的第二交流電流信號之和與所述電流源提供的第一恒定直流信號相等。
[0092]所述差分對管與所述感測電極相關(guān)聯(lián)，其中，所述差分對管或者與所述感測電極為二元件，所述差分對管與所述感測電極連接；又或者，所述差分對管包括所述感測電極，即，所述感測電極為差分對管的一部分。
[0093]所述差分對管包括二晶體管，所述二晶體管包括一第三晶體管，所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極。當(dāng)所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極連接；當(dāng)所述差分對管包括所述感測電極時，所述第三控制電極與所述感測電極為同一電極。
[0094]當(dāng)所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極直接連接；或者，所述第三控制電極通過一限流元件與所述感測電極連接。優(yōu)選地，所述限流元件包括電阻。相應(yīng)地，所述限流元件可以起到防ESD、保護(hù)電容式傳感器的作用。
[0095]所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)