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      半導(dǎo)體存儲裝置的制作方法

      文檔序號:11834645閱讀:226來源:國知局
      半導(dǎo)體存儲裝置的制作方法

      本發(fā)明涉及例如將多值的數(shù)據(jù)以單一存儲單元存儲的動態(tài)隨機存取存儲器(以下稱為DRAM)等的半導(dǎo)體存儲裝置。



      背景技術(shù):

      圖1為如專利文獻1所公開的依據(jù)已知示例1的DRAM構(gòu)成示意框圖。在圖1中,在位線BL與字線WL的交點附近連接有存儲單元MC,此存儲單元MC由選擇MOS晶體管Q與數(shù)據(jù)保持用電容器C所組成。自存儲單元MC讀取數(shù)據(jù)時,將字線WL切換至高電平并且將位線BL預(yù)充電后,電容器C的電壓通過位線BL的寄生電容,藉由鎖存型感測放大器101進行感測而將讀取數(shù)據(jù)讀出。另外,寫入數(shù)據(jù)通過位線BL而寫入電容器C。在此,為了保持電容器C的數(shù)據(jù),對應(yīng)刷新信號將相對于電容器C的預(yù)定值寫入并保持。

      圖2為如專利文獻2所公開的依據(jù)已知示例2的多值DRAM構(gòu)成示意框圖。圖2中,例如為了將蓄電電容器131充電而使用5個不同的電壓電平。在此,5個電壓電平差各自為0.5V。據(jù)此,獲得自0V至2V的范圍于1個DRAM單元中存儲5個不同邏輯值的能力。

      多路復(fù)用器電路130以5個電壓電平的其中1個電壓電平,對蓄電電容器131進行充電。所述電路更具備有提供為了對蓄電電容器131進行充電的電流的恒定電流源125、具備有晶體管的放大器132、以及為了啟動讀取動作的開關(guān)133。模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(以下稱為AD轉(zhuǎn)換器)134將顯示5個不同的邏輯值的蓄電電容器131的電壓電平Vc在“0”與“4”之間的數(shù)字值進行轉(zhuǎn)換。多路復(fù)用器電路130在寫入或刷新動作時,為了啟動5個電壓電平的任一個而具備5個開關(guān)SW1~SW5。在圖2的例子中,1.0V的電壓電平施加于蓄電電容器131而進行充電。

      [現(xiàn)有技術(shù)文獻]

      [專利文獻]

      [專利文獻1]日本專利特開平9-008251號公報

      [專利文獻2]美國專利申請公開第2005/0018501號說明書



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      [本發(fā)明要解決的技術(shù)問題]

      已知示例2雖然已公開多值DRAM,但仍然有形成面積較大的問題點。

      本發(fā)明目的為解決以上的問題點,而提供相較于現(xiàn)有技術(shù),能夠相對于相同存儲容量而以小面積形成的多值DRAM等的半導(dǎo)體存儲裝置。

      [解決本發(fā)明技術(shù)問題的手段]

      有關(guān)于本發(fā)明的半導(dǎo)體存儲裝置,其是具有多個存儲單元的多值DRAM。多個存儲單元各自包括:選擇晶體管,連接至多條字線中的1條字線;以及第1蓄電電容器,存儲各個多值,且經(jīng)由所述選擇晶體管連接至多條位線中的1條位線。所述半導(dǎo)體存儲裝置包括:

      多個采樣保持電路,各自包含第2蓄電電容器,且對應(yīng)所述多條位線而各自設(shè)置;

      多個單斜率型AD轉(zhuǎn)換器,對應(yīng)所述多條位線而各自設(shè)置在各個所述采樣保持電路的后段,經(jīng)由各個所述采樣保持電路從各個所述存儲單元將數(shù)據(jù)各自讀取出來,并轉(zhuǎn)換成數(shù)字值;以及

      控制裝置,為了使各個所述存儲單元刷新,將對應(yīng)所述轉(zhuǎn)換成數(shù)字值的電壓施加于各個所述存儲單元而進行寫入,且將對應(yīng)于預(yù)定寫入數(shù)據(jù)的所述數(shù)字值的電壓施加在各個所述存儲單元而進行寫入。

      在所述的半導(dǎo)體存儲裝置中,還包括位轉(zhuǎn)換器。位轉(zhuǎn)換器將轉(zhuǎn)換的所述數(shù)字值轉(zhuǎn)換成二位數(shù)據(jù)且作為讀取數(shù)據(jù)而輸出,并將所述寫入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成多值的數(shù)字值而輸出至所述控制裝置位轉(zhuǎn)換器。

      另外,在所述的半導(dǎo)體存儲裝置中,所述控制裝置包括電壓產(chǎn)生裝置。電壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生對應(yīng)于所述數(shù)字值的數(shù)目的彼此不同的多個電壓。

      更進一步,所述第1蓄電電容器與所述第2蓄電電容器在同一制造過程中形成。

      基于上述,依據(jù)本發(fā)明有關(guān)的半導(dǎo)體存儲裝置,可提供相較于現(xiàn)有技術(shù)相對于相同存儲容量,能以小面積形成的多值DRAM等的半導(dǎo)體存儲裝置。

      附圖說明

      圖1為示出依據(jù)已知示例1的DRAM構(gòu)成框圖。

      圖2為示出依據(jù)已知示例2的多值DRAM構(gòu)成框圖。

      圖3為示出依據(jù)本發(fā)明的一實施方式的多值DRAM構(gòu)成框圖。

      圖4為示出圖3的存儲陣列10的構(gòu)成電路圖。

      圖5為示出圖3的AD轉(zhuǎn)換器及輸入和輸出柵極電路11的詳細構(gòu)成電路圖。

      圖6為示出依據(jù)圖3的DRAM數(shù)據(jù)保持期間及讀取期間的動作時間圖。

      圖7A為示出圖5的2位AD轉(zhuǎn)換器32的構(gòu)成框圖。

      圖7B為示出圖7A的2位AD轉(zhuǎn)換器32的動作的電壓波形及二進制計數(shù)值的時間圖。

      圖8為示出圖3的位轉(zhuǎn)換器13的位轉(zhuǎn)換的動作說明圖。

      圖9為示出圖3的DRAM整體的動作時間圖。

      具體實施方式

      以下,關(guān)于本發(fā)明的實施方式請參照圖示并進行說明。另外,以下的各實施方式中,關(guān)于同樣的構(gòu)成要件標(biāo)注相同的標(biāo)號。

      圖3為示出依據(jù)本發(fā)明的一實施方式的多值DRAM構(gòu)成框圖。在此,作為多值DRAM,以下說明了4位DRAM的例子,但本發(fā)明不以此為限,可適用于將3位以上的多個數(shù)字值(多值)存儲于各存儲單元MC的多值DRAM等的半導(dǎo)體存儲裝置。

      圖3中,依據(jù)本實施方式的多值DRAM具有存儲陣列10、AD轉(zhuǎn)換器及輸入和輸出柵極電路(以下稱為ADC及I/O柵極電路)11、恒定電壓產(chǎn)生電路12、位轉(zhuǎn)換器13、數(shù)據(jù)輸入緩沖器14、數(shù)據(jù)輸出緩沖器15、附有反相輸入端子的與門16、附有反相輸入端子的與門17、列地址選通(CAS)時鐘產(chǎn)生器18、行地址選通(RAS)時鐘產(chǎn)生器19、刷新控制器20、刷新計數(shù)器21、行地址緩沖器22、列地址緩沖器23、行譯碼器24、列譯碼器25、地址輸入端子61以及數(shù)據(jù)輸入和輸出端子62而構(gòu)成。

      圖4為示出圖3的存儲陣列10的構(gòu)成電路圖。圖4中,存儲陣列10為具備多數(shù)N條的字線WLn(n=1,2,…,N)及多數(shù)M條的位線BLm(m=1,2,…, M)。各字線WLn及各位線BLm以格子狀配置,在各字線與各位線交叉處附近,設(shè)置有多個存儲單元MC,所述多個存儲單元各自具備有連接至多條字線中的1條字線的具有柵極的選擇晶體管Q,以及經(jīng)由所述選擇晶體管Q的源極及漏極各自連接至多條位線中的1條位線BLm且存儲各個多值的蓄電電容器C。

      圖3中,數(shù)據(jù)輸入緩沖器14自數(shù)據(jù)輸入和輸出端子62接收輸入的數(shù)字數(shù)據(jù)IO0~IOp,并且在暫時存儲后,輸出至位轉(zhuǎn)換器13。數(shù)據(jù)輸出緩沖器15將自位轉(zhuǎn)換器13轉(zhuǎn)換后的讀取數(shù)字數(shù)據(jù)IO0~IOp暫時存儲,并且輸出至數(shù)據(jù)輸入和輸出端子62。輸出啟動信號/OE輸入至附有反相輸入端子的與門17的第1反相輸入端子。寫入啟動信號/WE輸入至附有反相輸入端子的與門16的第1輸入端子。列地址選通信號/CAS輸入至附有反相輸入端子的與門16的第2輸入端子以及CAS時鐘產(chǎn)生器18。來自與門16的輸出信號輸入至附有反相輸入端子的與門17的第2輸入端子以及數(shù)據(jù)輸入緩沖器14。另外,來自與門17的輸出信號輸入至數(shù)據(jù)輸出緩沖器15。

      CAS時鐘產(chǎn)生器18依據(jù)列地址選通信號/CAS產(chǎn)生CAS時鐘,并輸出至數(shù)據(jù)輸出緩沖器15、列地址緩沖器23以及刷新控制器20。RAS時鐘產(chǎn)生器19依據(jù)行地址選通信號/RAS產(chǎn)生RAS時鐘,并輸出至CAS時鐘產(chǎn)生器18、ADC及I/O柵極電路11以及行譯碼器24。刷新控制器20依據(jù)CAS時鐘產(chǎn)生刷新信號,并輸出至刷新計數(shù)器21。刷新計數(shù)器21依據(jù)刷新信號將刷新計數(shù)值增大后,將計數(shù)值輸出至行地址緩沖器22。

      輸入的地址A0~Aq輸入至行地址緩沖器22以及列地址緩沖器23。行地址緩沖器22將輸入的地址A0~Aq中的預(yù)定位的行地址暫時存儲后,輸出至行譯碼器24。行譯碼器24依據(jù)輸入的行地址,產(chǎn)生用于選擇1條字線WLn的字線選擇信號并輸出。另外,列地址緩沖器23將輸入的地址A0~Aq中的預(yù)定位的列地址暫時存儲后,輸出至列譯碼器25。列譯碼器25依據(jù)輸入的列地址,產(chǎn)生用于選擇1條位線BLm的位線選擇信號并輸出。

      圖3中,ADC以及I/O柵極電路11連接存儲陣列10的位線BL1~BLM、RAS時鐘產(chǎn)生器19、列譯碼器25、位轉(zhuǎn)換器13以及恒定電壓產(chǎn)生電路12,依據(jù)來自RAS時鐘產(chǎn)生器19的RAS時鐘,使用來自恒定電壓產(chǎn)生電路12的恒定電壓,相對于對應(yīng)來自列譯碼器25的列地址的位線BLm的各個存儲單元MC進行數(shù)據(jù)的讀取、刷新以及寫入。在此,恒定電壓產(chǎn)生電路12產(chǎn) 生電壓Vdd、(3/4)Vdd、(1/2)Vdd、(1/4)Vdd 4個固定電壓。另外,選擇晶體管Q例如是原生晶體管或者是通道晶體管(pass transistor),在蓄電電容C的連接時變成導(dǎo)通。

      圖5為示出圖3的AD轉(zhuǎn)換器及輸入和輸出柵極電路11的詳細構(gòu)成電路圖。圖5中,對應(yīng)1條位線BLm并各自設(shè)置有選擇晶體管Q、采樣保持電路31、2位AD轉(zhuǎn)換器32等。

      圖5中,字線WLn連接至選擇晶體管Q的柵極,數(shù)據(jù)存儲用蓄電電容器C的一端經(jīng)由選擇晶體管Q的漏極·源極連接至位線BLm,另外,另一端連接至例如電壓Vdd/2的電壓源。位線BLm藉由與位線BLm的連接時變成導(dǎo)通的位線選擇晶體管Q10連接至采樣保持電路31。采樣保持電路31以具備采樣保持用蓄電電容器Csh及緩沖放大用運算放大器A1構(gòu)成,將自位線BLm讀取的位線電壓Vb采樣保持后,輸出至2位AD轉(zhuǎn)換器32。2位AD轉(zhuǎn)換器32將輸入的位線電壓轉(zhuǎn)換成2位數(shù)字值的數(shù)據(jù),并且輸出至位轉(zhuǎn)換器13及存儲控制器30。存儲控制器30依據(jù)所述轉(zhuǎn)換的數(shù)字值或者來自位轉(zhuǎn)換器13的寫入數(shù)據(jù)的數(shù)字值,藉由將4個選擇晶體管Q11~Q14其中1個對應(yīng)的晶體管導(dǎo)通,將對應(yīng)的外加電壓施加于蓄電電容器C,并進行寫入或者刷新。在此,例如對應(yīng)數(shù)字值“11”并將電壓Vdd寫入、對應(yīng)數(shù)字值“10”并將電壓(3/4)Vdd寫入、對應(yīng)數(shù)位值“01”并將電壓(1/2)Vdd寫入、對應(yīng)數(shù)位值“00”并將電壓(1/4)Vdd寫入。

      圖5中,存儲單元MC以具備蓄電電容器C和選擇晶體管Q構(gòu)成,但本發(fā)明不以此為限,若為包含蓄電電容器C的構(gòu)成即不能以此為限。

      圖6為示出依據(jù)圖3的DRAM數(shù)據(jù)保持期間及讀取期間的動作時間圖。圖6中,示出對應(yīng)各數(shù)字值的電壓在數(shù)據(jù)保持期間維持著并且隨時間經(jīng)過些微下降,此后,字線電壓自低電平變成高電平時,在讀取期間,由于位線容量的關(guān)系,對應(yīng)各數(shù)字值的電壓雖然彼此不同,但縮小了各鄰接的電壓差。

      圖5及圖6中,1個存儲單元MC里為了寫入2位的數(shù)字數(shù)據(jù)而使用了4個電壓Vdd、(3/4)Vdd、(1/2)Vdd、(1/4)Vdd,但本發(fā)明不以此為限,也可以為使用彼此不同的4個電壓寫入那樣的構(gòu)成。另外,如上所述,也可以為1個存儲單元MC里寫入3位以上的數(shù)字數(shù)據(jù)那樣的構(gòu)成。

      圖7A為示出圖5的2位AD轉(zhuǎn)換器32的構(gòu)成框圖。另外,圖7B為示出圖7A的2位AD轉(zhuǎn)換器32的動作的電壓波形及二進制計數(shù)值的時間圖。

      圖7A中,圖5的2位AD轉(zhuǎn)換器32以具備各位線每個的列AD轉(zhuǎn)換器40以及相對于1個存儲陣列10設(shè)置的ADC控制器50構(gòu)成。圖7A中,ADC控制器50以具備二進制計數(shù)器51以及斜波電壓產(chǎn)生器52構(gòu)成。另外,列AD轉(zhuǎn)換器40以具備比較器41及鎖存器42構(gòu)成。斜波電壓產(chǎn)生器52依據(jù)來自RAS時鐘產(chǎn)生器19的定時控制信號、依據(jù)來自二進制計數(shù)器51的計數(shù)值,產(chǎn)生如圖7B所示具有預(yù)定的傾斜度的單斜率的斜波電壓Vramp,并且輸出至比較器41的反相輸入端子。在采樣保持電路31中,采樣保持的位線電壓Vb輸入至比較器41的非反相輸入端子,且當(dāng)比較器41的Vramp≥Vb時(圖7B的時刻t11),將高電平信號輸出至鎖存器42。鎖存器42對此響應(yīng)后,此時的計數(shù)值B2、B1作為讀取數(shù)據(jù)輸出至存儲控制器30并進行刷新。

      圖8為示出圖3的位轉(zhuǎn)換器13的位轉(zhuǎn)換的動作說明圖。如圖8所示,例如在寫入時,將二值8位轉(zhuǎn)換至四值4位,并且將各位的數(shù)字值各自地寫入各存儲單元MC,另外,在讀取時,將四值4位轉(zhuǎn)換至二值8位并且讀取出來。

      圖9為示出圖3的DRAM整體的動作時間圖。如圖9所示,于時刻t1行地址選通信號/RAS變成低電平時,確定行地址并且輸出后,列地址選通信號/CAS變成低電平時,確定列地址并將列地址輸出。接著,輸出啟動信號/OE將在低電平的最終階段讀取出的數(shù)據(jù)Dout輸出。

      依據(jù)如上構(gòu)成的實施方式,還具有對應(yīng)多條位線BL1~BLm,各自設(shè)置在各采樣保持電路31的后段,自各存儲單元MC藉由各采樣保持電路31將數(shù)據(jù)各自讀取出來并轉(zhuǎn)換成數(shù)字值的多個單斜率型AD轉(zhuǎn)換器32,以及將對應(yīng)轉(zhuǎn)換數(shù)字值的電壓為了將存儲單元進行刷新而施加并寫入,并且將對應(yīng)預(yù)定寫入數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)施加于各存儲單元的寫入存儲控制器30。在此,存儲控制器30包含產(chǎn)生對應(yīng)數(shù)字值的數(shù)值的不同的4個電壓的恒定電壓產(chǎn)生電路12。另外,還具有將轉(zhuǎn)換的數(shù)字值轉(zhuǎn)換成二位數(shù)據(jù)并作為讀取數(shù)據(jù)而輸出,并將寫入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為多值的數(shù)字值輸出至控制裝置的位轉(zhuǎn)換器13。

      在以上的實施方式中,選擇晶體管Q10、采樣保持電路31以及包含2進制AD轉(zhuǎn)換器32的ADC以及I/O柵極電路11的各位線對應(yīng)部分在各位線線幅中形成,且特別地是,采樣保持電路31的采樣保持用蓄電電容器Csh在各位線的線幅中,相應(yīng)地與數(shù)據(jù)存儲用蓄電電容器C在同一CMOS制造 過程中形成,與使用感測放大器101的現(xiàn)有技術(shù)相較,可減少其占有面積,而且能藉由以多值存儲于存儲單元MC內(nèi),相對于相同存儲容量可大幅減少所需的面積。

      在以上的說明中,原生晶體管為其臨界值例如約為0V,可藉由不注入相對于通道臨界值調(diào)整用的摻雜而形成。另外,通道晶體管為依據(jù)柵極電壓在源極·漏極間可選擇地導(dǎo)通或關(guān)閉的可切換的開關(guān)晶體管。

      [產(chǎn)業(yè)上的利用可能性]

      如上所詳述,依據(jù)本發(fā)明有關(guān)的半導(dǎo)體存儲裝置,可提供與現(xiàn)有技術(shù)相較,相對于相同存儲容量能以小面積形成的多值DRAM等的半導(dǎo)體存儲裝置。

      附圖標(biāo)記列表

      10:存儲陣列

      11:AD轉(zhuǎn)換器以及輸入和輸出柵極電路(ADC以及I/O柵極電路)

      12:恒定電壓產(chǎn)生電路

      13:位轉(zhuǎn)換器

      14:數(shù)據(jù)輸入緩沖器

      15:數(shù)據(jù)輸出緩沖器

      16,17:與門

      18:CAS時鐘產(chǎn)生器

      19:RAS時鐘產(chǎn)生器

      20:刷新控制器

      21:刷新計數(shù)器

      22:行地址緩沖器

      23:列地址緩沖器

      24:行譯碼器

      25:列譯碼器

      30:存儲控制器

      31:采樣保持電路

      32:2位AD轉(zhuǎn)換器

      40:列AD轉(zhuǎn)換器

      41:比較器

      42:鎖存器

      50:ADC控制器

      51:二進制計數(shù)器

      52:斜波電壓產(chǎn)生器

      61:地址輸入端子

      62:數(shù)據(jù)輸出端子

      A1:運算放大器

      BL、BL1~BLm:位線

      C、Csh:蓄電電容器

      MC:存儲單元

      Q、Q10~Q14:MOS晶體管

      WL、WL1~WLN:字線

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