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      磁記錄頭及具備其的盤(pán)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11834585閱讀:208來(lái)源:國(guó)知局
      磁記錄頭及具備其的盤(pán)裝置的制作方法

      技術(shù)領(lǐng)域

      這里所述的實(shí)施方式涉及用于盤(pán)裝置的磁記錄頭及具備該磁記錄頭的盤(pán)裝置。



      背景技術(shù):

      作為盤(pán)裝置,例如,磁盤(pán)裝置具備:殼體內(nèi)配設(shè)的磁盤(pán);支持及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)磁盤(pán)的主軸馬達(dá);對(duì)磁盤(pán)進(jìn)行信息的讀取/寫(xiě)入的磁頭。磁頭包括寫(xiě)入用的記錄頭和讀取用的讀取頭。

      近年,為了實(shí)現(xiàn)磁盤(pán)裝置的高記錄密度化、大容量化或者小型化,提出了垂直磁記錄用的磁頭。這樣的磁頭中,記錄頭具有產(chǎn)生與磁盤(pán)的記錄面垂直的方向的磁場(chǎng)的主磁極和與主磁極夾著寫(xiě)入間隙而相向配置的寫(xiě)入屏蔽磁極。而且,提出了:為了降低來(lái)自主磁極的返回磁場(chǎng)引起的記錄數(shù)據(jù)的劣化而在主磁極的寬度方向的兩側(cè)設(shè)置有側(cè)屏蔽件的頭。

      具有這樣的側(cè)屏蔽件的記錄頭抑制了從主磁極向?qū)挾确较虻拇艌?chǎng)泄漏,期待能防止擦除寬度的增大。但是,由于流經(jīng)主磁極、磁盤(pán)的記錄層、側(cè)屏蔽件的磁通量,有時(shí)側(cè)屏蔽件內(nèi)的部分磁化朝向與記錄層垂直的方向。因此,在同一磁道上反復(fù)進(jìn)行記錄動(dòng)作時(shí),由于從具有跨幾十磁道的寬度的側(cè)屏蔽件正下方產(chǎn)生的磁場(chǎng),在跨該幾十磁道的寬區(qū)域中,有時(shí)已記錄信息被刪除或劣化。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的實(shí)施方式提供:抑制已記錄信息的刪除或劣化,進(jìn)一步提高可靠性的磁記錄頭及具備它的盤(pán)裝置。

      根據(jù)實(shí)施方式,磁記錄頭具備:空氣支持面;具有在上述空氣支持面露出的前端部,產(chǎn)生記錄磁場(chǎng)的主磁極;沿著頭行進(jìn)方向夾著第1間隙與上述主磁極的前端部相向的第1屏蔽件;分別夾著第2間隙配置在上述主磁極的寬度方向的兩側(cè)的第2屏蔽件。第2屏蔽件分別具有夾著上述第2間隙與上述主磁極的前端部相向的第1側(cè)面和位于從上述主磁極的前端部離開(kāi)側(cè)的第2側(cè)面,上述第2側(cè)面隨著從上述空氣支持面朝向從該空氣支持面離開(kāi)的方向,而向上述主磁極側(cè)傾斜。

      附圖說(shuō)明

      圖1是表示第1實(shí)施方式所涉及的硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器(以下稱為HDD)的立體圖。

      圖2是表示上述HDD中的磁頭及懸架的側(cè)視圖。

      圖3是放大表示上述磁頭的頭部及磁盤(pán)的剖視圖。

      圖4是示意表示上述磁頭的記錄頭的立體圖。

      圖5是從滑塊的前導(dǎo)端側(cè)觀察上述記錄頭的空氣支持面(ABS)側(cè)端部的側(cè)視圖。

      圖6是從空氣支持面?zhèn)扔^察上述記錄頭的俯視圖。

      圖7是關(guān)于比較例所涉及的記錄頭(代表性的帶側(cè)屏蔽件的記錄頭)及本實(shí)施方式所涉及的多個(gè)記錄頭比較磁道寬度方向的記錄磁場(chǎng)分布的示圖。

      圖8是描繪磁道寬度方向位置+3μm(側(cè)屏蔽件的與主磁極相反側(cè)的端緣所對(duì)應(yīng)的位置)處的磁場(chǎng)強(qiáng)度和側(cè)屏蔽件的側(cè)面的傾斜角θ2的關(guān)系的圖。

      圖9是關(guān)于本實(shí)施方式所涉及的3個(gè)記錄頭(θ2=20度、12度、5度)比較磁道寬度方向的記錄磁場(chǎng)分布的示圖。

      具體實(shí)施方式

      以下參照?qǐng)D面,說(shuō)明各種實(shí)施方式。

      另外,公開(kāi)只不過(guò)是一例,本專業(yè)技術(shù)人員容易想到的未脫離發(fā)明的主旨的適宜變更的方式當(dāng)然也包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。另外,圖面為了更明確進(jìn)行說(shuō)明,與實(shí)際的形態(tài)比,各部分的寬度、厚度、形狀等有時(shí)示意地進(jìn)行表示,但是只不過(guò)是一例,不限定本發(fā)明的解釋。另外,本說(shuō)明書(shū)和各圖中,對(duì)于與已有圖的前述的要素同樣的要素附上同一符號(hào),詳細(xì)的說(shuō)明有時(shí)適宜省略。

      圖1表示第1實(shí)施方式所涉及的HDD取下頂蓋后的內(nèi)部結(jié)構(gòu),圖2表示上浮狀態(tài)的磁頭33。如圖1所示,HDD具備框體10。該框體10具備頂面開(kāi)口的矩形箱狀的基座10a和與基座10a的頂面對(duì)應(yīng)的未圖示的矩形板狀的頂蓋??蝮w10內(nèi)部保持為氣密,例如僅僅通過(guò)呼吸過(guò)濾器26可與外部通氣。

      在基座10a上,設(shè)置有作為記錄介質(zhì)的磁盤(pán)12及機(jī)構(gòu)部。機(jī)構(gòu)部具備:支持及旋轉(zhuǎn)磁盤(pán)12的主軸馬達(dá)13;對(duì)磁盤(pán)12進(jìn)行信息的記錄、再現(xiàn)的多個(gè)例如2個(gè)磁頭33;以這些磁頭33可相對(duì)于磁盤(pán)12的表面自由移動(dòng)的方式進(jìn)行支持的托架組件14;轉(zhuǎn)動(dòng)及定位該托架組件14的音圈馬達(dá)(以下稱為VCM)16。另外,在基座10a上設(shè)置有:磁頭33移動(dòng)到磁盤(pán)12的最外周時(shí),將磁頭33保持在從磁盤(pán)12離開(kāi)的位置的斜坡加載機(jī)構(gòu)18;沖擊等作用于HDD時(shí),在退避位置保持托架組件14的鎖定機(jī)構(gòu)20;安裝了變換連接器37等的電子部件的基板單元17。

      控制電路基板25螺紋固定到基座10a的外側(cè)的面,位于與基座10a的底壁相向的位置??刂齐娐坊?5控制主軸馬達(dá)13的動(dòng)作,并經(jīng)由基板單元17控制VCM16及磁頭33的動(dòng)作。

      如圖1所示,磁盤(pán)12相互同軸地嵌合到主軸馬達(dá)13的轂,并通過(guò)被螺紋固定于轂的上端的卡簧15夾緊,固定于轂。磁盤(pán)12通過(guò)作為驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的主軸馬達(dá)13,以預(yù)定的速度沿著箭頭B方向旋轉(zhuǎn)。

      托架組件14具備:在基座10a的底壁上固定的軸承部21;從軸承部21伸出的多個(gè)臂27;從臂27伸出的板狀的多個(gè)懸架30。各懸架30由板簧構(gòu)成,其基端通過(guò)點(diǎn)焊或者粘接固定到臂27的前端。各懸架30也可以與對(duì)應(yīng)的各臂27一體形成。在各懸架30的伸出端支持磁頭33。臂27及懸架30構(gòu)成懸架組件,該懸架組件和磁頭33構(gòu)成頭懸架組件。

      如圖2所示,各磁頭33具備:大致長(zhǎng)方體形狀的滑塊42;設(shè)置在該滑塊42的流出端(尾隨端)的讀寫(xiě)用的頭部44。磁頭33固定于設(shè)置在懸架30的前端部的萬(wàn)向彈簧41。多個(gè)(例如2個(gè))臂27(參照?qǐng)D1)隔著預(yù)定的間隔相互平行設(shè)置,在這些臂27安裝的懸架30及磁頭33可將磁盤(pán)12夾在其間地相互相向。各磁頭33經(jīng)由在懸架30及臂27上固定的布線部件35,與從基板單元17伸出的中繼FPC38電連接。

      通過(guò)在磁盤(pán)12旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下對(duì)VCM16的音圈通電,托架組件14轉(zhuǎn)動(dòng),磁頭33移動(dòng)及定位到磁盤(pán)12的期望的磁道上。此時(shí),磁頭33沿磁盤(pán)12的徑向在磁盤(pán)12的內(nèi)周緣部和外周緣部之間移動(dòng)。

      接著,詳細(xì)說(shuō)明磁盤(pán)12及磁頭33的構(gòu)成。圖3是放大表示磁頭33的頭部44及磁盤(pán)12的剖視圖。

      如圖1至圖3所示,磁盤(pán)12例如具有形成為直徑65mm(2.5英寸)的圓盤(pán)狀的包含非磁性體的基板101。在基板101的兩表面順序?qū)盈B:作為基底層的包含呈現(xiàn)軟磁特性的材料的軟磁性層102;其上層部的在與磁盤(pán)12的表面垂直的方向具有磁各向異性的記錄層103;其上層部的保護(hù)膜層104。

      如圖2及圖3所示,磁頭33構(gòu)成為上浮型的頭,具備大致長(zhǎng)方體狀地形成的滑塊42和在滑塊42的流出端側(cè)的端部(尾隨端)42b形成的頭部44?;瑝K42例如包含氧化鋁和碳化鈦的燒結(jié)體(AlTiC,鋁鈦碳合金)而形成,頭部44通過(guò)層疊薄膜而形成。

      滑塊42具有與磁盤(pán)12的表面相向的矩形狀的空氣支持面(ABS)43?;瑝K42通過(guò)由磁盤(pán)12的旋轉(zhuǎn)而在磁盤(pán)12的表面和ABS43之間產(chǎn)生的空氣流C而上浮??諝饬鰿的方向與磁盤(pán)12的旋轉(zhuǎn)方向B一致?;瑝K42以相對(duì)于磁盤(pán)12的表面而言ABS43的較長(zhǎng)方向與空氣流C的方向大致一致的方式配置。

      滑塊42具有位于空氣流C的流入側(cè)的前導(dǎo)端42a及位于空氣流C的流出側(cè)的尾隨端42b。在滑塊42的ABS43形成未圖示的前導(dǎo)臺(tái)階、尾隨臺(tái)階、側(cè)臺(tái)階、負(fù)壓腔等。

      如圖3所示,頭部44在滑塊42的尾隨端42b具有通過(guò)薄膜工藝形成的讀取頭54及記錄頭(磁記錄頭)58,形成為分離型的頭。讀取頭54及記錄頭58除了在滑塊42的ABS43露出的部分之外,由非磁性的保護(hù)絕緣膜81覆蓋。保 護(hù)絕緣膜81構(gòu)成頭部44的外形。

      讀取頭54包括呈現(xiàn)磁阻效應(yīng)的磁性膜55和在該磁性膜的尾隨側(cè)及前導(dǎo)側(cè)夾著磁性膜55而配置的屏蔽膜56、57而構(gòu)成。這些磁性膜55、屏蔽膜56、57的下端在滑塊42的ABS43露出。

      記錄頭58相對(duì)于讀取頭54,設(shè)置在滑塊42的尾隨端42b側(cè)。圖4是示意表示記錄頭及磁盤(pán)的立體圖,圖5是從滑塊的前導(dǎo)端側(cè)觀察記錄頭的ABS側(cè)端部的側(cè)視圖,圖6是從ABS側(cè)觀察記錄頭部分的俯視圖。

      如圖3及圖4所示,記錄頭58具備:產(chǎn)生與磁盤(pán)12的表面(與記錄層103)垂直方向的記錄磁場(chǎng)的包含具有高導(dǎo)磁率、高飽和磁通密度的軟磁性材料的主磁極60;在主磁極60的尾隨側(cè)(頭行進(jìn)方向)隔著寫(xiě)入間隙WG(第1間隙)而配置,為了經(jīng)由主磁極60正下方的磁盤(pán)12的軟磁性層102而高效閉合磁路而設(shè)置的包含軟磁性材料的寫(xiě)入屏蔽磁極(尾隨屏蔽件)62;將主磁極60的上部與寫(xiě)入屏蔽磁極62物理性地接合的接合部67;向磁盤(pán)12寫(xiě)入信號(hào)時(shí)為向主磁極60流通磁通而以卷繞包括主磁極60及寫(xiě)入屏蔽磁極62的磁芯的方式配置的記錄線圈70。記錄頭58還具有:在主磁極60的磁道寬度方向兩側(cè),與主磁極60在ABS43上磁分?jǐn)嗟?夾著第2間隙地)配置的包含軟磁性材料的一對(duì)側(cè)屏蔽件74。

      記錄線圈70例如在主磁極60和寫(xiě)入屏蔽磁極62之間,繞接合部67卷繞。從未圖示的寫(xiě)入放大器供給記錄線圈70的電流由HDD的控制電路基板(控制部)25控制。向磁盤(pán)12寫(xiě)入信號(hào)時(shí),從寫(xiě)入放大器向記錄線圈70供給預(yù)定的電流,向主磁極60流過(guò)磁通,產(chǎn)生磁場(chǎng)。

      如圖3至圖6所示,主磁極60與磁盤(pán)12的表面大致垂直地延伸。主磁極60的磁盤(pán)12側(cè)的前端部60a隨著朝向ABS43及磁盤(pán)12的表面而前端變細(xì)地縮小,形成為相對(duì)于其他部分而言寬度較窄的柱狀。主磁極60的前端面在滑塊42的ABS43露出。主磁極60的前端部60a的寬度(沿磁道寬度方向TW的寬度)W1與磁盤(pán)12中的磁道的寬度大致對(duì)應(yīng)。

      寫(xiě)入屏蔽磁極62形成為大致L狀,其前端部62a形成為細(xì)長(zhǎng)矩形狀。寫(xiě)入屏蔽磁極62的前端面在滑塊42的ABS43露出。寫(xiě)入屏蔽磁極62的前端部62a具有與主磁極60的前端部60a相向的前導(dǎo)側(cè)端面(磁極端面)62b。該前導(dǎo) 側(cè)端面62b與主磁極60的前端部60a的寬度W1及磁盤(pán)12的磁道寬度相比充分長(zhǎng),沿磁盤(pán)12的磁道的寬度方向TW延伸。前導(dǎo)側(cè)端面62b與磁盤(pán)12的記錄層103及滑塊的ABS43大致垂直地延伸。ABS43中,前導(dǎo)側(cè)端面62b的下端緣與主磁極60的尾隨側(cè)端面60b隔著寫(xiě)入間隙WG而平行相向。

      如圖4至圖6所示,在主磁極60的前端部60a的磁道寬度方向的兩側(cè)設(shè)置的一對(duì)側(cè)屏蔽件74由高導(dǎo)磁率材料與寫(xiě)入屏蔽磁極62的前端部62a一體形成,從前端部62a的前導(dǎo)側(cè)端面62b向滑塊42的前導(dǎo)端側(cè)突出。各側(cè)屏蔽件74以從寫(xiě)入屏蔽磁極62的前導(dǎo)側(cè)端面62b超過(guò)主磁極60的前導(dǎo)側(cè)端面60c的寬度或者厚度形成。

      各側(cè)屏蔽件74具備:在ABS43露出的大致矩形狀的底面(第1面)76a;從ABS43向高度方向內(nèi)里側(cè)(從ABS離開(kāi)的方向)以長(zhǎng)度STH離開(kāi),與底面76a大致平行相向的頂面(第2面)76b;與主磁極60的前端部60a夾著第2間隙而相向的第1側(cè)面76c;位于與主磁極60相反側(cè)的第2側(cè)面76d。底面76a的主磁極側(cè)的端部與主磁極60隔著間隙相向。頂面76b的沿磁道寬度方向的長(zhǎng)度SSW2例如也可以形成為底面76a的沿磁道寬度方向的長(zhǎng)度SSW1的1/2以下。

      各側(cè)屏蔽件74的第1側(cè)面76c從底面76a的主磁極側(cè)端到頂面76b的主磁極側(cè)端為止,以隨著朝向高度方向內(nèi)里側(cè)而從主磁極60遠(yuǎn)離的方式即與主磁極的間隔變寬的方式,以傾斜角θ1傾斜。

      各側(cè)屏蔽件74的第2側(cè)面76d從底面76a的另一端即主磁極60相反側(cè)的端部到頂面76b的另一端為止,以隨著朝向高度方向內(nèi)里側(cè)而靠近主磁極60的方式,以傾斜角θ2傾斜。相對(duì)于ABS43的傾斜角θ2設(shè)定成85度以下,優(yōu)選設(shè)定成12~60度。長(zhǎng)度STH以與寫(xiě)入屏蔽磁極62的前導(dǎo)側(cè)端面62b的高度或者寬度同等以上的高度或者寬度形成。

      傾斜角θ2形成為與傾斜角θ1相同(θ2=θ1),但是也可以設(shè)為θ2<θ1。從而,各側(cè)屏蔽件74的從滑塊的前導(dǎo)端側(cè)觀察的形狀,即側(cè)屏蔽件74的膜面制膜方向的形狀,或與ABS43及頭行進(jìn)方向D正交的截面的形狀,成為梯形形狀。

      根據(jù)以上那樣構(gòu)成的HDD,通過(guò)驅(qū)動(dòng)VCM16,托架組件14轉(zhuǎn)動(dòng),磁頭33移動(dòng)、定位到磁盤(pán)12的期望的磁道上。另外,磁頭33通過(guò)由磁盤(pán)12的旋轉(zhuǎn) 而在磁盤(pán)12的表面和ABS43之間產(chǎn)生的空氣流C而上浮。在HDD動(dòng)作時(shí),滑塊42的ABS43與磁盤(pán)12的表面保持間隙而相向。在該狀態(tài)下,讀取頭54對(duì)磁盤(pán)12進(jìn)行記錄信息的讀取,并由記錄頭58進(jìn)行信息的寫(xiě)入。

      在信息的寫(xiě)入中,由記錄線圈70對(duì)主磁極60勵(lì)磁,通過(guò)從該主磁極60向正下方的磁盤(pán)12的記錄層103施加垂直方向的記錄磁場(chǎng),以期望的磁道寬度記錄信息。如圖5箭頭所示,信息記錄時(shí),各側(cè)屏蔽件74的內(nèi)部的磁疇形成閉合磁疇。因此,在側(cè)屏蔽件74,相對(duì)于記錄層103,按面內(nèi)方向(與記錄層103平行的方向)確立磁化的朝向。結(jié)果,可以抑制:從側(cè)屏蔽件74對(duì)記錄層103施加使已記錄信息刪除或劣化的磁場(chǎng)。

      圖7對(duì)比較例所涉及的記錄頭(代表性的帶側(cè)屏蔽件的記錄頭)及本實(shí)施方式所涉及的記錄頭58比較表示了磁道寬度方向的記錄磁場(chǎng)分布的曲線。對(duì)于本實(shí)施方式所涉及的記錄頭58,表示了側(cè)屏蔽件74的第2側(cè)面76d的傾斜角θ2為12度、20度、34度這3個(gè)實(shí)施例。

      圖7中,磁道寬度方向位置=0的位置是記錄頭58的主磁極60的磁道寬度方向中心位置??芍诺缹挾确较蛭恢?3μm(側(cè)屏蔽件74的與主磁極相反側(cè)的端緣74b)處,磁場(chǎng)強(qiáng)度增大。比較例的記錄頭中,8000[Oe]程度的泄漏磁場(chǎng)施加到記錄介質(zhì)。采用記錄層103的矯頑(磁)力例如為6000[Oe]的記錄介質(zhì)時(shí),在比較例的記錄頭中,已記錄信號(hào)有可能被刪除。

      相對(duì)于此,本實(shí)施方式的記錄頭58中,可知任一實(shí)施例都可以將端緣74b處的磁場(chǎng)強(qiáng)度抑制到4000[Oe]左右。從而,通過(guò)采用本實(shí)施方式所涉及的記錄頭58,可以抑制相鄰磁道的已記錄信息的刪除或劣化,能長(zhǎng)期保存數(shù)據(jù)、有效提高可靠性。

      圖8是描繪磁道寬度方向位置+3μm(側(cè)屏蔽件74的與主磁極相反側(cè)的端緣74b)處的磁場(chǎng)強(qiáng)度和側(cè)屏蔽件74的傾斜角θ2的關(guān)系的圖。前述比較例所涉及的磁頭的傾斜角θ2相當(dāng)于θ2=90度。存在:傾斜角θ2越小則側(cè)屏蔽件74的端緣74b處的磁場(chǎng)強(qiáng)度越小的傾向。采用記錄層的矯頑力例如為6000[Oe]的磁盤(pán)時(shí),若在θ2<60度的范圍,則側(cè)屏蔽件的磁場(chǎng)強(qiáng)度比6000[Oe]小,因此可以抑制已記錄信號(hào)的刪除。

      圖9關(guān)于本實(shí)施方式所涉及的3個(gè)實(shí)施例的記錄頭58(θ2=20度、12度、 5度),比較表示了磁道寬度方向的記錄磁場(chǎng)分布。在θ2=5度時(shí),在磁道寬度方向位置+100~200nm的范圍內(nèi),磁場(chǎng)強(qiáng)度轉(zhuǎn)為正。這表示側(cè)屏蔽件74達(dá)到磁飽和,意味著無(wú)法發(fā)揮屏蔽件的功能。從而,側(cè)屏蔽件74的第2側(cè)面76d的傾斜角θ2優(yōu)選在12度<θ2<60度的范圍。另外,SSW2的大小優(yōu)選為SSW2>0。

      以上,根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的磁記錄頭及HDD,在維持磁盤(pán)12的在軌信號(hào)品質(zhì)不變的情況下,可以抑制使磁盤(pán)12上的跨幾十磁道的寬相鄰磁道區(qū)域中的已記錄信息刪除或劣化的磁場(chǎng)。從而,可以提供:可長(zhǎng)期保存數(shù)據(jù)的可靠性提高的磁記錄頭及HDD。

      本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式原狀不變,在實(shí)施階段,在不脫離其要旨的范圍可以使構(gòu)成要素變形而具體化。另外,通過(guò)上述實(shí)施方式公開(kāi)的多個(gè)構(gòu)成要素的適宜組合,可以形成各種發(fā)明。例如,也可以從實(shí)施方式所示的全部構(gòu)成要素刪除幾個(gè)構(gòu)成要素。而且,不同實(shí)施方式的構(gòu)成要素也可以適宜組合。

      例如,構(gòu)成頭部的要素的材料、形狀、大小等可以根據(jù)需要變更。另外,磁盤(pán)裝置中,磁盤(pán)及磁記錄頭的數(shù)目可以根據(jù)需要增加,磁盤(pán)的尺寸也可以有各種選擇。

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