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      半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11252397閱讀:384來源:國知局
      半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置的制造方法

      本發(fā)明涉及一種例如動(dòng)態(tài)存取存儲(chǔ)器(dynamicaccessmemory)(以下稱作dram)等半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置。



      背景技術(shù):

      dram具有易失性存儲(chǔ)器元件,為了保持被保存于該易失性存儲(chǔ)器元件中的數(shù)據(jù)(data),必須進(jìn)行刷新(refresh)。此處,dram的刷新包含自動(dòng)刷新(autorefresh)與自我刷新(selfrefresh)。刷新是使比通常的讀取與寫入操作更多數(shù)的感測(cè)放大器(senseamplifier)啟動(dòng)。

      現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

      專利文獻(xiàn)

      專利文獻(xiàn)1:美國專利第5999471號(hào)說明書

      專利文獻(xiàn)2:美國專利第7535785號(hào)說明書

      專利文獻(xiàn)3:美國專利第6084811號(hào)說明書

      專利文獻(xiàn)4:美國專利第5251176號(hào)說明書

      專利文獻(xiàn)5:美國專利第4912678號(hào)說明書

      [發(fā)明所欲解決的課題]

      所述刷新的大的峰值(peak)電流會(huì)生成dram的電源總線(bus)上的不必要的噪聲(noise),由此會(huì)對(duì)dram的刷新動(dòng)作或系統(tǒng)(system)側(cè)的動(dòng)作造成影響。為了降低刷新的峰值電流,已知有以下二種方法。

      (已知例1)將dram分割為多個(gè)存儲(chǔ)單元(bank)。

      (已知例2)將dram的一個(gè)存儲(chǔ)單元的感測(cè)放大器電路分割為多個(gè)群組(group)。

      圖1a是表示已知例1的分割為四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3的dram的結(jié)構(gòu)例的方塊圖。圖1b是表示在圖1a的dram中將四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3同時(shí)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖(timingchart)。圖1c是表示在圖1a的dram中將各存儲(chǔ)單元b0~b3的每一個(gè)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      在圖1a中,dram例如被分割為四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3,在各存儲(chǔ)單元b0~b3上連接有感測(cè)放大器電路sa。此處,wl0~wl3為字線(wordline),ns0/ps0~ns3/ps3為感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)(activesignal)。如圖1b所示,在圖1a的dram中將四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3同時(shí)啟動(dòng)時(shí),在流經(jīng)電源端子vdd的電源電流idd中,在刷新時(shí)會(huì)有大的峰值電流iddp流動(dòng)。并且,在圖1a的dram中,將各存儲(chǔ)單元b0~b3的每一個(gè)啟動(dòng)時(shí),如圖1c所示,電源電流idd降低至1/4。

      然而,在此情況下,存在下述問題:無法降低各存儲(chǔ)單元b0~b3的刷新峰值電流iddp,詳細(xì)情況如后述般,無法充分保持感測(cè)放大器的感測(cè)容限(sensingmargin)。

      圖2a是表示已知例2的分割為四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3的dram的結(jié)構(gòu)例的方塊圖。圖2b是表示在圖2a的dram中將四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3同時(shí)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。圖2c是表示在圖2a的dram中將感測(cè)放大器電路分割為2個(gè)群組,將各存儲(chǔ)單元b0~b3的每一個(gè)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      在圖2a的已知例2中,特征在于:將dram分割為例如四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3,且將連接于各存儲(chǔ)單元b0~b3的感測(cè)放大器電路分割為2個(gè)感測(cè)放大器電路群組sa、saa。在圖2a中,wl0~wl3為字線,ns0/ps0~ns3/ps3為對(duì)第1感測(cè)放大器電路群組sa的感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào),ns0a/ps0a~ns3a/ps3a為對(duì)第2感測(cè)放大器電路群組saa的感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)。

      根據(jù)圖2b可明確的是,在圖2a的dram中,將四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3同時(shí)啟動(dòng)時(shí),產(chǎn)生大的峰值電流iddp。繼而,圖2c表示將感測(cè)放大器電路分割為2個(gè)群組,且將各存儲(chǔ)單元b0~b3的每一個(gè)啟動(dòng)時(shí)。在圖2c中,101表示針對(duì)存儲(chǔ)單元b0~b3的第1感測(cè)放大器電路群組sa的啟動(dòng),102表示針對(duì)存儲(chǔ)單元b0~b3的第2感測(cè)放大器電路群組saa的啟動(dòng)。根據(jù)圖2c可明確的是,盡管可將峰值電流iddp降低至1/8,但存在無法對(duì)第2感測(cè)放大器電路群組saa保持充分的感測(cè)電壓容限的問題。

      圖3a是表示圖2a的dram的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例的電路圖。在圖3a中,dram是具備x解碼器(decoder)11、字線驅(qū)動(dòng)器(wordlinedriver)電路12、包含2個(gè)感測(cè)放大器電路群組bg0~bg1的存儲(chǔ)器區(qū)域、以及產(chǎn)生感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)ps0、ns0、ps0a、ns0a的控制電路10而構(gòu)成。在各字線wl0~ wln與各位線(bitline)bl_0(0)~bl_m(0)、bl_0(1)~bl_m(1)的交叉點(diǎn)處,連接有作為易失性存儲(chǔ)器元件的存儲(chǔ)器胞元(memorycell,又稱之為“記憶胞元”)mc。

      在感測(cè)放大器電路群組bg0中,在各bl_0(0)~bl_m(0)及/bl_0(0)~/bl_m(0)的每一條上連接有感測(cè)放大器sa,多個(gè)感測(cè)放大器sa經(jīng)由數(shù)據(jù)線(dataline)dl00、dl01而連接于感測(cè)放大器鎖存(senseamplifierlatch)電路sla0。感測(cè)放大器鎖存電路sla0是具備p溝道(pchannel)金屬氧化物半導(dǎo)體(metaloxidesemiconductor,mos)晶體管(transistor)ptr0與n溝道m(xù)os晶體管ntr0而構(gòu)成,數(shù)據(jù)線dl00經(jīng)由mos晶體管ptr0而連接于電源電壓vdd,數(shù)據(jù)線dl01經(jīng)由mos晶體管ntr0而連接于接地電壓vss。來自控制電路10的感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)ps0、ns0被分別施加至mos晶體管ptr0、ntr0的各柵極(gate)。

      在感測(cè)放大器電路群組bg1中,在各bl_0(1)~bl_m(1)及/bl_0(1)~/bl_m(1)的每一條上連接有感測(cè)放大器saa,多個(gè)感測(cè)放大器saa經(jīng)由數(shù)據(jù)線dl10、dl11而連接于感測(cè)放大器鎖存電路sla1。感測(cè)放大器鎖存電路sla1是具備p溝道m(xù)os晶體管ptr0a與n溝道m(xù)os晶體管ntr0a而構(gòu)成,數(shù)據(jù)線dl10經(jīng)由mos晶體管ptr0a而連接于電源電壓vdd,數(shù)據(jù)線dl11經(jīng)由mos晶體管ntr0a而連接于接地電壓vss。來自控制電路10的感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)ps0a、ns0a被分別施加至mos晶體管ptr0a、ntr0a的各柵極。

      圖3b是表示用于對(duì)圖2a及圖3a的dram的第1問題進(jìn)行說明的、存儲(chǔ)單元b0的動(dòng)作例的時(shí)序圖。在圖3b中,將1個(gè)存儲(chǔ)單元分割為2個(gè)感測(cè)放大器電路群組bg0、bg1,在如圖2c般依照各存儲(chǔ)單元b0~b3來依序啟動(dòng)的情況下,必須以相對(duì)較小的電壓保持直至下個(gè)感測(cè)放大器電路群組的啟動(dòng)為止的位線電壓的不同數(shù)據(jù)間的電壓差δv,但若在位線bl、/bl中存在漏電流,則所述電壓差δv會(huì)進(jìn)一步減少而成為δvd,從而有可能導(dǎo)致dram的存儲(chǔ)器胞元mc的刷新失敗。

      圖4是表示用于對(duì)圖2a及圖3a的dram的第2問題進(jìn)行說明的感測(cè)放大器電路群組bg0~bg1的動(dòng)作例的時(shí)序圖。若位線blm(0)、/blm(0)的數(shù)據(jù)與位線bl0(1)、/bl0(1)的數(shù)據(jù)為反相,則例如位線bl0(1)、/bl0(1)間的電壓差δv如圖4所示,在位線blm(0)、/blm(0)的感測(cè)時(shí), 因來自位線blm(0)、/blm(0)的耦合(coupling)而導(dǎo)致位線bl0(1)、/bl0(1)的δv減少,由此存在位線bl0(1)、/bl0(1)的感測(cè)放大器容限變小的問題。另外,在專利文獻(xiàn)1~專利文獻(xiàn)5中亦存在同樣的問題。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的在于解決以上的問題,提供一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置,可降低dram等半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置刷新時(shí)的大峰值電流iddp,并且可確保位線的感測(cè)放大器容限為規(guī)定值以上。

      [解決課題的手段]

      本發(fā)明的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置(或稱之為“半導(dǎo)體記憶裝置”)在多條字線與多條位線的各交叉點(diǎn)處分別具有存儲(chǔ)器胞元,且具備從來自多個(gè)存儲(chǔ)器胞元的多條數(shù)據(jù)線讀出數(shù)據(jù)的感測(cè)放大器、以及具有從多條數(shù)據(jù)線鎖存數(shù)據(jù)的第1晶體管的感測(cè)放大器鎖存電路,所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置的特征在于,

      與多條字線平行的相同列線(columnline)的多個(gè)感測(cè)放大器被分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組,

      經(jīng)分割的所述感測(cè)放大器電路群組還包括第2晶體管,所述第2晶體管基于從數(shù)據(jù)讀出時(shí)的字線啟動(dòng)開始延遲的鎖存信號(hào),來鎖存讀出數(shù)據(jù)。

      在所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置中,其特征在于,經(jīng)分割的所有感測(cè)放大器電路群組的所述感測(cè)放大器藉由共用的所述鎖存信號(hào)來同時(shí)被啟動(dòng)。

      而且,在所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置中,其特征在于,所述第2晶體管的驅(qū)動(dòng)能力構(gòu)成為比所述第1晶體管的驅(qū)動(dòng)能力弱。

      進(jìn)而,在所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置中,其特征在于,

      所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置的存儲(chǔ)器區(qū)域被分割為多個(gè)存儲(chǔ)單元群組,

      與多條字線平行的相同列線的多個(gè)感測(cè)放大器對(duì)應(yīng)于經(jīng)分割的每個(gè)所述存儲(chǔ)單元群組而被分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組。

      再進(jìn)而,在所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置中,其特征在于,所述數(shù)據(jù)讀出時(shí)是所述存儲(chǔ)器胞元的刷新時(shí)。

      再進(jìn)而,在所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置中,其特征在于,在經(jīng)分割且彼此鄰接的所述感測(cè)放大器電路群組之間,形成有接地的虛設(shè)(dummy)位線。

      (發(fā)明的效果)

      因而,根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置,可降低刷新時(shí)的大峰值電流 iddp,并且可確保位線的感測(cè)放大器容限為規(guī)定值以上。

      附圖說明

      圖1a是表示已知例1的分割為四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3的dram的結(jié)構(gòu)例的方塊圖。

      圖1b是表示在圖1a的dram中將四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3同時(shí)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖1c是表示在圖1a的dram中將各存儲(chǔ)單元b0~b3的每一個(gè)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖2a是表示已知例2的分割為四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3的dram的結(jié)構(gòu)例的方塊圖。

      圖2b是表示在圖2a的dram中將四個(gè)存儲(chǔ)單元b0~b3同時(shí)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖2c是表示在圖2a的dram中將感測(cè)放大器電路分割為2個(gè)感測(cè)放大器電路群組,且將各存儲(chǔ)單元b0~b3的每一個(gè)啟動(dòng)時(shí)的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖3a是表示圖2a的dram的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例的電路圖。

      圖3b是表示用于對(duì)圖2a及圖3a的dram的第1問題進(jìn)行說明的存儲(chǔ)單元b0的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖4是表示用于對(duì)圖2a及圖3a的dram的第2問題進(jìn)行說明的感測(cè)放大器電路群組bg0~bg1的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖5a是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1的dram的結(jié)構(gòu)例的方塊圖。

      圖5b是表示圖5a的dram的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例的電路圖。

      圖5c是表示圖5b的dram的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      圖6a是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2的dram的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例的電路圖。

      圖6b是表示圖6a的dram的動(dòng)作例的時(shí)序圖。

      【符號(hào)說明】

      10、10a:控制電路

      11:x解碼器

      12:字線驅(qū)動(dòng)器電路

      13:虛設(shè)位線

      101、102:?jiǎn)?dòng)

      111、112、113:時(shí)間點(diǎn)

      b0~b3:存儲(chǔ)單元

      bg0~bg1:感測(cè)放大器電路群組

      bl_0(0)~bl_m(0)、bl_0(1)~bl_m(1)、/bl_0(0)~/bl_m(0)、/bl_0(1)~/bl_m(1)、bl0(0)、/bl0(0)、bl0(1)、/bl0(1)、blm(0)、/blm(0):位線

      dl00~dl11:數(shù)據(jù)線

      idd:電源電流

      iddp:峰值電流

      mc:存儲(chǔ)器胞元

      ns0~ns3、ns0a~ns3a、ps0~ps3、ps0a~ps3a:感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)

      nsa、psa:鎖存信號(hào)

      ptr0、ptr0a、ntr0、ntr0a、ptra、ntra:mos晶體管

      sa、saa:感測(cè)放大器

      sla0、sla1、sla0a、sla1a:感測(cè)放大器鎖存電路

      t:時(shí)間

      vdd:電源端子(電源電壓)

      vss:接地電壓

      wl0~wln:字線

      δv、δvd:電壓差

      具體實(shí)施方式

      以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。另外,在以下的各實(shí)施形態(tài)中,對(duì)于同樣的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的符號(hào)。

      實(shí)施形態(tài)1.

      圖5a是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1的dram的結(jié)構(gòu)例的方塊圖。而且,圖5b是表示圖5a的dram的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例的電路圖。在圖5a及圖5b中,實(shí)施形態(tài)1的dram的特征在于,與已知例的圖2a及圖3a的dram相比,以下方面不同。

      (1)取代控制電路10而具備控制電路10a,該控制電路10a進(jìn)而產(chǎn)生 鎖存信號(hào)psa、nsa,該鎖存信號(hào)psa、nsa用于在數(shù)據(jù)感測(cè)的最初的規(guī)定的短時(shí)間內(nèi)鎖存數(shù)據(jù)線dl00、dl01、dl10、dl11的數(shù)據(jù)。此處,鎖存信號(hào)psa、nsa是在數(shù)據(jù)感測(cè)時(shí)的字線的啟動(dòng)時(shí)延遲規(guī)定時(shí)間后,使處于不同的感測(cè)放大器電路群組bg0、bg1內(nèi)的感測(cè)放大器同時(shí)啟動(dòng)。

      (2)取代感測(cè)放大器鎖存電路sla0而具備感測(cè)放大器鎖存電路sla0a,該感測(cè)放大器鎖存電路sla0a具備:p溝道m(xù)os晶體管ptra,基于鎖存信號(hào)psa來鎖存數(shù)據(jù)線dl00的數(shù)據(jù);以及n溝道m(xù)os晶體管ntra,基于鎖存信號(hào)nsa來鎖存數(shù)據(jù)線dl01的數(shù)據(jù)。

      (3)取代感測(cè)放大器鎖存電路sla1而具備感測(cè)放大器鎖存電路sla1a,該感測(cè)放大器鎖存電路sla1a具備:p溝道m(xù)os晶體管ptra,基于鎖存信號(hào)psa來鎖存數(shù)據(jù)線dl10的數(shù)據(jù);以及n溝道m(xù)os晶體管ntra,基于鎖存信號(hào)nsa來鎖存數(shù)據(jù)線dl11的數(shù)據(jù)。

      另外,與多條字線wl0~wln平行的相同列線的多個(gè)感測(cè)放大器例如對(duì)應(yīng)于每個(gè)存儲(chǔ)單元群組b0~b3而被分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組。而且,在圖5a中,僅圖示了存儲(chǔ)單元b0,但存儲(chǔ)單元b1~b3亦是同樣地構(gòu)成。

      在圖5b中,本實(shí)施形態(tài)的dram是具備x解碼器11、字線驅(qū)動(dòng)器電路12、包含2個(gè)感測(cè)放大器電路群組bg0~bg1的存儲(chǔ)器區(qū)域、以及產(chǎn)生感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)ps0、ns0、ps0a、ns0a、psa、nsa的控制電路10a而構(gòu)成。在各字線wl0~wln與各位線bl_0(0)~bl_m(0)、/bl_0(0)~/bl_m(0)、bl_0(1)~bl_m(1)、/bl_0(1)、/bl_m(1)的交叉點(diǎn)處,連接有作為易失性存儲(chǔ)器元件的存儲(chǔ)器胞元mc。

      在感測(cè)放大器電路群組bg0中,在各bl_0(0)~bl_m(0)及/bl_0(0)~/bl_m(0)的每一條上連接有感測(cè)放大器sa,多個(gè)感測(cè)放大器sa經(jīng)由數(shù)據(jù)線dl00、dl01而連接于感測(cè)放大器鎖存電路sla0a。感測(cè)放大器鎖存電路sla0a是具備p溝道m(xù)os晶體管ptr0、ptra以及n溝道m(xù)os晶體管ntr0、ntra而構(gòu)成,數(shù)據(jù)線dl00經(jīng)由mos晶體管ptr0、ptra而連接于電源電壓vdd,數(shù)據(jù)線dl01經(jīng)由mos晶體管ntr0、ntra而連接于接地電壓vss。來自控制電路10a的感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)ps0、ns0被分別施加至mos晶體管ptr0、ntr0的各柵極。而且,來自控制電路10a的鎖存信號(hào)psa、nsa被分別施加至mos晶體管ptra、ntra的各柵極。

      在感測(cè)放大器電路群組bg1中,在各bl_0(1)~bl_m(1)及/bl_0 (1)~/bl_m(1)的每一條上連接有感測(cè)放大器saa,多個(gè)感測(cè)放大器saa經(jīng)由數(shù)據(jù)線dl10、dl11而連接于感測(cè)放大器鎖存電路sla1a。感測(cè)放大器鎖存電路sla1a是具備p溝道m(xù)os晶體管ptr0a、ptra以及n溝道m(xù)os晶體管ntr0a、ntra而構(gòu)成,數(shù)據(jù)線dl10經(jīng)由mos晶體管ptr0a、ptra而連接于電源電壓vdd,數(shù)據(jù)線dl11經(jīng)由mos晶體管ntr0a、ntra而連接于接地電壓vss。來自控制電路10a的感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)ps0a、ns0a被分別施加至mos晶體管ptr0a、ntr0a的各柵極。而且,來自控制電路10a的鎖存信號(hào)psa、nsa被分別施加至mos晶體管ptra、ntra的各柵極。

      另外,感測(cè)放大器鎖存電路sla0a及sal1a的mos晶體管中,基于鎖存信號(hào)psa、nsa進(jìn)行鎖存的mos晶體管ptra、ntra的驅(qū)動(dòng)能力較佳的是構(gòu)成為,比已知例中所設(shè)的mos晶體管ptr0、ptr0a、ntr0、ntr0a的驅(qū)動(dòng)能力弱。具體而言,藉由使各晶體管的尺寸不同,從而對(duì)驅(qū)動(dòng)能力賦予差異,這是因?yàn)?,根?jù)鎖存信號(hào)psa及nsa進(jìn)移動(dòng)作的晶體管ptra、ntra是輔助性的晶體管,可降低整體的消耗電力。

      圖5c是表示圖5b的dram的動(dòng)作例的時(shí)序圖。本實(shí)施形態(tài)中,例如分割為4個(gè)或4個(gè)以上的存儲(chǔ)單元群組,各存儲(chǔ)單元群組中分割為2個(gè)感測(cè)放大器電路群組。根據(jù)圖5c可明確的是,基于鎖存信號(hào)psa、nsa,分別藉由mos晶體管ptra、ntra來鎖存數(shù)據(jù)線dl00~dl11的數(shù)據(jù),因此在數(shù)據(jù)感測(cè)的最初,可獲得比已知例大的各位線的數(shù)據(jù)間的電壓差δv(圖5c的111、112),而且,可保持規(guī)定的電壓差δv以用于感測(cè)(圖5c的113)。

      如以上所說明般,根據(jù)本實(shí)施形態(tài),即使分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組,亦不會(huì)對(duì)刷新動(dòng)作造成影響,可降低用于刷新動(dòng)作的峰值電流iddp,并且可確保位線的感測(cè)放大器容限為規(guī)定值以上。

      實(shí)施形態(tài)2.

      圖6a是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2的dram的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例的電路圖。圖6a中的特征在于:在已知例的圖3a的電路中,在鄰接的感測(cè)放大器電路群組bg0、bg1間的區(qū)域內(nèi),追加形成有連接于接地電壓vss的虛設(shè)位線13。其他結(jié)構(gòu)與圖3a同樣。

      圖6b是表示圖6a的dram的動(dòng)作例的時(shí)序圖。根據(jù)圖6b可明確的是,并沒有位線bl_m-1(0)、/bl_m-1(0)與位線bl_1(1)、/bl_1(1)之間的耦合,在數(shù)據(jù)感測(cè)的最初,可獲得比已知例大的各位線的數(shù)據(jù)間的電壓差 δv,而且,可保持規(guī)定的電壓差δv以用于感測(cè)。

      以上的實(shí)施形態(tài)中,在已知例的圖3a的電路中追加了虛設(shè)位線13,但本發(fā)明并不限于此,也可在實(shí)施形態(tài)1的圖5b的電路中追加虛設(shè)位線13。藉此,具有實(shí)施形態(tài)1及實(shí)施形態(tài)2這兩者的作用效果。

      本發(fā)明與專利文獻(xiàn)1~專利文獻(xiàn)5的不同點(diǎn).

      (1)專利文獻(xiàn)1

      專利文獻(xiàn)1中,揭示了將感測(cè)放大器分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組,僅各經(jīng)分割的感測(cè)放大器電路群組藉由感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)來啟動(dòng)。然而,經(jīng)分割的感測(cè)放大器電路群組并非同時(shí)啟動(dòng),而且,并未揭示經(jīng)分割的感測(cè)放大器電路群組間的虛設(shè)位線。

      (2)專利文獻(xiàn)2

      專利文獻(xiàn)2中,將感測(cè)放大器分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組。僅各經(jīng)分割的感測(cè)放大器電路群組藉由感測(cè)放大器啟動(dòng)信號(hào)來啟動(dòng)。然而,經(jīng)分割的感測(cè)放大器電路群組并非同時(shí)啟動(dòng)。

      (3)專利文獻(xiàn)3

      專利文獻(xiàn)3中,將感測(cè)放大器分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組。其中,僅將進(jìn)行讀出的感測(cè)放大器電路群組予以啟動(dòng),以降低數(shù)據(jù)讀出電流,藉此可提高讀出容限,但自我刷新的峰值電流未變化。此處,首先,讀出數(shù)據(jù)的1個(gè)感測(cè)放大器電路群組被啟動(dòng)后,剩余的感測(cè)放大器群組被同時(shí)啟動(dòng)。

      (4)專利文獻(xiàn)4

      專利文獻(xiàn)4具有下述特征:相同列線的感測(cè)放大器未被分割為相同的感測(cè)放大器電路群組。

      (5)專利文獻(xiàn)5

      專利文獻(xiàn)5具有下述特征:相同列線的感測(cè)放大器未被分割為多個(gè)感測(cè)放大器電路群組。

      [產(chǎn)業(yè)上的可利用性]

      如以上所詳述般,根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器裝置,可降低刷新時(shí)的大的峰值電流iddp,并且可確保位線的感測(cè)放大器容限為規(guī)定值以上。

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