磁頭堆疊組件的制造裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及磁頭堆疊組件的制造裝置。更詳細(xì)地說，涉及具備多個(gè)對硬盤等記錄介質(zhì)進(jìn)行磁記錄的寫入及讀出的被稱為磁頭的裝置的磁頭堆疊組件(Head StackAssembly)的制造裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)今的高記錄密度化的所謂硬盤裝置中，在硬盤的記錄密度的提高和伴隨硬盤搭載枚數(shù)的增加而進(jìn)一步薄層化的同時(shí)，用于對該硬盤進(jìn)行記錄的寫入等的磁頭也進(jìn)一步小型化。另外，如專利文獻(xiàn)1所例示，通過在單一硬盤裝置內(nèi)配置多個(gè)硬盤而實(shí)現(xiàn)存儲容量的增大化的結(jié)構(gòu)也得到普及。在該情況下，采用多個(gè)磁頭一體化了的磁頭堆疊組件(以下稱為HSA)，其能夠相對于該多個(gè)硬盤的記錄面分別配置磁頭。
[0003]磁頭本身包括被稱為滑塊的部件，該滑塊中內(nèi)置有電磁變換元件。連接有布線等的該滑塊由被稱為懸架的具有彈性的薄板狀部件的前端部支撐(參照專利文獻(xiàn)2)。該懸架還由金屬制的被稱為承重梁的部件支撐，這些懸架、承重梁等，包括滑塊在內(nèi)構(gòu)成磁頭折片組合(以下稱為HGA，Head Gimbal Assembly)。HGA在與滑塊固定側(cè)相反的端部連接到被稱為E塊的剛體，該剛體圍繞與HGA延伸方向大致垂直的軸轉(zhuǎn)動。以往，通過制造該HGA單體，然后相對于E塊安裝該HGA單體，由此將磁記錄讀取等用的上述HSA組裝為一體部件。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-164968號公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-031369號公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)3:日本特開2005-158198號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]如專利文獻(xiàn)2所示，以前，在將完成了的HGA組裝于E塊而成為HSA后，進(jìn)行一體化的各個(gè)磁頭的特性檢查。但是，專利文獻(xiàn)3中也指出，由于HGA經(jīng)歷了各種工序，在該過程中滑塊很可能發(fā)生電或者物理方面的破損。另外，對于在HSA完成后發(fā)現(xiàn)缺陷的HGA，需要在從E塊將其取下后在該HGA的位置組裝正常的HGA，但是，當(dāng)然，該操作也有可能使新HGA或者組裝完畢的HGA受到損傷等。
[0010]專利文獻(xiàn)3中，鑒于以上的問題，提出了對組裝于E塊后的懸架安裝滑塊的工序。但是，實(shí)際上在對懸架安裝滑塊的工序中，必須對以例如1mm以下的間隔相向的懸架分別安裝滑塊。在這里，在對懸架安裝滑塊時(shí)，要求參照設(shè)置在懸架上的定位用標(biāo)記等，準(zhǔn)確控制各個(gè)位置關(guān)系(參照專利文獻(xiàn)2)。但是，實(shí)際上，由于懸架彼此的間隔狹小，不容易進(jìn)行合適的位置控制。
[0011]本發(fā)明是鑒于以上的狀況而提出的發(fā)明，目的是提供能夠在對隔著微小間隔而配置的多個(gè)懸架進(jìn)行合適的定位的同時(shí)進(jìn)行滑塊的搭載的磁頭堆疊組件的制造裝置。
[0012]為了解決上述問題，本發(fā)明所涉及的磁頭堆疊組件制造裝置，在分別具有至少兩個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)的相向配置的一對懸架的相對面分別搭載滑塊，其特征在于，具備:卡盤，其保持所述滑塊，能夠?qū)⑺龌瑝K載置于所述懸架的滑塊搭載面；光軸變換器，其具有能夠進(jìn)入相向的所述一對懸架之間的大?。幌鄼C(jī)，其拍攝光軸被所述光軸變換器彎曲，能夠拍攝所述兩個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)中的至少一個(gè)；以及相對移動機(jī)構(gòu)，其能夠使所述懸架和所述光軸變換器在與相向的所述一對懸架的中心面平行的方向上相對移動。
[0013]另外，上述磁頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選，具有能夠拍攝相向的所述一對懸架的間隙而檢測所述中心面的側(cè)面相機(jī)，所述相對移動機(jī)構(gòu)能夠使所述懸架和所述光軸變換器在垂直于所述中心面的方向上相對移動。
[0014]另外，優(yōu)選，所述光軸變換器和所述相機(jī)作為一體，通過所述相對移動機(jī)構(gòu)而進(jìn)行所述相對移動。
[0015]另外，優(yōu)選，所述光軸變換器使所述相機(jī)的拍攝光軸的朝向彎曲90°。
[0016]或者，更優(yōu)選，具有從垂直于所述中心面的方向的下方拍攝被保持于所述卡盤的所述滑塊的下方相機(jī)，所述卡盤基于所述相機(jī)的圖像，通過圍繞垂直于所述中心面的軸的旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行所述滑塊的保持姿勢的校正。
[0017]另外，優(yōu)選，所述相對移動機(jī)構(gòu)在所述光軸變換器與各個(gè)所述基準(zhǔn)點(diǎn)對應(yīng)的位置使所述相對移動停止，響應(yīng)于所述停止，所述相機(jī)拍攝所述基準(zhǔn)點(diǎn)?；蛘撸瑑?yōu)選，所述相對移動機(jī)構(gòu)使所述光軸變換器以預(yù)定的速度在包含各個(gè)所述基準(zhǔn)點(diǎn)的范圍中相對移動，所述相機(jī)能夠在所述預(yù)定速度的所述相對移動時(shí)連續(xù)地取得圖像。而且，更優(yōu)選，各個(gè)所述懸架在與固定所述滑塊一側(cè)相反的端部，固定于能夠圍繞預(yù)定的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的E塊，所述中心面是與所述預(yù)定的旋轉(zhuǎn)軸正交的平面。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠在對多個(gè)隔開微小間隔而配置的懸架進(jìn)行合適的定位的同時(shí)搭載滑塊。
[0019]以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明。
【附圖說明】
[0020]圖1是示意性表示以本發(fā)明的HSA制造裝置為對象的HGA的位置關(guān)系的一例的側(cè)視圖。
[0021]圖2是關(guān)于本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的HSA制造裝置、示意性地表示其主要構(gòu)成和上述一組HGA的圖。
[0022]圖3A及3B是分別例示反射鏡的其他形態(tài)的圖。
[0023]圖4是分別示意性地表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的HSA制造方法的各工序的圖。
[0024]圖5是分別示意性地表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的HSA制造方法的各工序的圖。
[0025]圖6是示意性地表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的HSA制造裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。
[0026]附圖標(biāo)記說明
[0027]10:HGA(磁頭折片組合)，11:懸架，13:滑塊，15:反射鏡，17:相機(jī)，19:下方相機(jī)，21:卡盤，23:拍攝光，25:拍攝區(qū)域，27:第一基準(zhǔn)線，29:第二基準(zhǔn)線，31:第一基準(zhǔn)標(biāo)記，33:第二基準(zhǔn)標(biāo)記，35:E塊，41:側(cè)面相機(jī)，45:滑塊托架，47:托盤供給部，49:托盤排出部，51:滑塊安裝頭部，53、55:托盤傳送部，57:滑塊供給部，59:樹脂涂敷部，61:托盤臺，63:反射鏡部
【具體實(shí)施方式】
[0028]說明本發(fā)明時(shí)，先對實(shí)際的懸架和滑塊的位置關(guān)系進(jìn)行說明。圖1示意性地放大表示了從側(cè)面觀察HSA中相向配置的一組HGA的前端部的狀態(tài)。該圖中，表示了在懸架11的前端分別安裝滑塊13且該滑塊13處于相對位置的一組HGA10。在起到硬盤裝置的功能的情況下，未圖示的硬盤進(jìn)入這些滑塊13間，在該狀態(tài)下進(jìn)行記錄的寫入或者讀出。
[0029]這里，例如滑塊具有0.2mm的厚度，并且懸架11的間隔設(shè)定成1.5mm左右。在該情況下，進(jìn)行定位等并將滑塊13安裝到懸架11的操作，必須在滑塊13表面之間的1.1mm的范圍內(nèi)進(jìn)行。考慮到在圖示的一對HGA10的上下進(jìn)一步配置有成對的HGA的情況，因此，迄今為止，難以通過傳統(tǒng)的相機(jī)等拍攝在懸架11上配置的定位用的標(biāo)記等。
[0030]以下，參照圖面說明在維持以上的位置關(guān)系的同時(shí)能夠?qū)壹?1安裝滑塊13的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的HSA制造裝置，圖2示意性地表示其主要結(jié)構(gòu)和上述一組的HGA10。本實(shí)施方式所涉及的HSA制造裝置具有作為光軸變換單元的反射鏡15及作為拍攝裝置的相機(jī)17。另外，該HSA制造裝置中，在分別具有基準(zhǔn)標(biāo)記且相向配置的一對懸架的相對面分別搭載滑塊。
[0031]如上所述，薄板狀的懸架11形成有在平面內(nèi)未圖示的孔等定位用標(biāo)記。該定位用標(biāo)記用于