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      一種nor閃存器件的測試方法和測試裝置的制造方法

      文檔序號:9811961閱讀:485來源:國知局
      一種nor閃存器件的測試方法和測試裝置的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及數(shù)據(jù)存儲領(lǐng)域,具體涉及一種NOR閃存器件的測試方法和裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]NOR閃存器件在大規(guī)模生產(chǎn)時會在自動化測試機(jī)臺上進(jìn)行檢測,以保證出廠的產(chǎn)品都是合格的。
      [0003]目前,在半導(dǎo)體行業(yè),對NOR閃存器件進(jìn)行測試的自動化測試機(jī)臺成本高昂,折舊快,且有固定的測試通道。這就意味著,如果芯片在自動化測試機(jī)臺上占用的測試通道越多,則在同一時間內(nèi)可以測試的芯片就越少,考慮到測試時間和測試機(jī)臺折舊的因素,平均單顆芯片的測試成本就越高。對于在自動化測試機(jī)臺上進(jìn)行NOR閃存顆粒來說,地址信號和控制信號是芯片的輸入信號,可以被所有的待測芯片復(fù)用,因而不影響芯片的同測度。但是數(shù)據(jù)信號是雙向信號,輸入時低于各待測芯片是相同的,但是輸出時由于失效的芯片會表現(xiàn)出與正常芯片不同的結(jié)果,所以不能復(fù)用,因此就需要為每顆芯片的數(shù)據(jù)信號分配獨(dú)立的測試通道,這樣數(shù)據(jù)通道就成了影響占用測試通道數(shù)目的重要因素。
      [0004]因此,有必要提出一種新的測試方案。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供一種NOR閃存器件的測試方法,其在對芯片進(jìn)行測試時壓縮了占用自動化測試機(jī)臺的測試通道數(shù)目,提高了同測度,節(jié)約了測試成本。
      [0006]為了解決【背景技術(shù)】中的技術(shù)問題,本發(fā)明還提供一種NOR閃存器件的測試裝置,其測試NOR閃存器件的準(zhǔn)確率較高,測試效率高。
      [0007]為達(dá)成上述目的之一,本發(fā)明一種NOR閃存器件的壓縮測試方法,將NOR閃存器件放置于自動化測試機(jī)上,在NOR閃存器件上進(jìn)行芯片執(zhí)行寫操作和讀操作測試,測試結(jié)果反饋給自動化測試機(jī)進(jìn)行判斷,其具體包括如下步驟:
      [0008]S1、通過NOR閃存器件的管腳向芯片輸入地址信號,通過芯片上的數(shù)據(jù)輸入寄存器將數(shù)據(jù)寫入NOR閃存器件中;
      [0009]S2、通過NOR閃存器件的管腳向芯片輸入地址信號,數(shù)據(jù)讀出送給芯片上的數(shù)據(jù)讀出寄存器;
      [0010]S3、數(shù)據(jù)讀出寄存器的值和數(shù)據(jù)輸入寄存器的值通過結(jié)果比較器進(jìn)行比較,若數(shù)據(jù)讀出寄存器的值和數(shù)據(jù)輸入寄存器的值一致,則所述結(jié)果比較器輸出的比對結(jié)果輸出信號為高電平,若數(shù)據(jù)讀出寄存器的值和數(shù)據(jù)輸入寄存器的值不一致,則所述結(jié)果比較器輸出的比對結(jié)果輸出信號為低電平。
      [0011]進(jìn)一步的,所述步驟SI之前還包括通過芯片外部管腳輸入使能信號控制芯片進(jìn)入測試模式。
      [0012]進(jìn)一步的,步驟SI中所述數(shù)據(jù)輸入寄存器寫入NOR閃存器件中的數(shù)據(jù)是由數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器在拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生信號的作用下產(chǎn)生的十六進(jìn)制數(shù)據(jù)。
      [0013]進(jìn)一步的,所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生控制信號通過芯片的一個管腳傳送給所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器,所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器產(chǎn)生的數(shù)據(jù)通過芯片的一個管腳傳送給所述數(shù)據(jù)輸入寄存器。
      [0014]進(jìn)一步的,將所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生控制信號傳輸給所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器所使用的管腳和所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器傳輸數(shù)據(jù)給所述數(shù)據(jù)輸入寄存器所使用的管腳是同一個管腳。
      [0015]進(jìn)一步的,所述步驟S3中,所述比對結(jié)果輸出信號通過芯片的一個數(shù)據(jù)管腳反饋給自動化測試機(jī),若所述自動化測試機(jī)判斷該數(shù)據(jù)管腳上的電平是高電平,則芯片讀寫正常,若所述自動化測試機(jī)判斷該數(shù)據(jù)管腳上的電平是低電平,則芯片讀寫錯誤。
      [0016]本發(fā)明還提供一種NOR閃存器件測試裝置,其包括自動化測試機(jī)及放置于所述自動化測試機(jī)測試通道上的NOR閃存器件,
      [0017]所述NOR閃存器件包括芯片及連接芯片的多個管腳,所述芯片上設(shè)置有數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器、數(shù)據(jù)輸入寄存器、數(shù)據(jù)讀出寄存器和結(jié)果比較器,
      [0018]所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器用于產(chǎn)生數(shù)據(jù)給所述數(shù)據(jù)輸入寄存器,所述數(shù)據(jù)輸入寄存器接收數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)寫入NOR閃存器件,所述數(shù)據(jù)讀出寄存器用于讀取所述NOR閃存器件中的數(shù)據(jù),所述結(jié)果比較器對所述數(shù)據(jù)輸入寄存器和數(shù)據(jù)讀出寄存器的值進(jìn)行比較,所述結(jié)果比較器將比對結(jié)果輸出信號輸出給自動化測試機(jī)。
      [0019]進(jìn)一步的,所述結(jié)果比較器通過芯片的一個數(shù)據(jù)管腳輸出比對結(jié)果輸出信號給自動化測試機(jī)。
      [0020]進(jìn)一步的,將所述比對結(jié)果輸出信號傳輸給自動化測試機(jī)所使用的數(shù)據(jù)管腳和所述數(shù)據(jù)讀出寄存器將讀出的數(shù)據(jù)傳輸給結(jié)果比較器所使用的管腳是同一個數(shù)據(jù)管腳。
      [0021]有益效果:本發(fā)明的NOR閃存器件的測試方法和測試裝置,其具有如下優(yōu)點(diǎn):
      [0022](I)本發(fā)明在自動化測試機(jī)臺上進(jìn)行測試時將寫數(shù)據(jù)和讀出比對放在NOR閃存器件上進(jìn)行,比對結(jié)果通過芯片的一個數(shù)據(jù)管腳反饋給自動化測試機(jī)臺供自動化測試機(jī)臺判斷產(chǎn)品好壞,不需要為每顆芯片的數(shù)據(jù)信號分配獨(dú)立的測試通道,實(shí)現(xiàn)了占用較少的自動化測試機(jī)臺測試通道對芯片進(jìn)行測試的目的。
      [0023](2)本發(fā)明的數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器的輸入控制信號可以和芯片的數(shù)據(jù)信號復(fù)用相同的管腳,但是控制信號個數(shù)少于芯片數(shù)據(jù)信號的個數(shù),數(shù)據(jù)比對輸出只占用一個管腳,而且這個管腳仍然和芯片數(shù)據(jù)信號復(fù)用相同的管腳,所以測試時壓縮了占用自動化測試機(jī)臺的測試通道數(shù)目,提高了同測度,節(jié)約了測試成本,且芯片的數(shù)據(jù)位寬越多越明顯。
      [0024](3)本發(fā)明測試NOR閃存器件的準(zhǔn)確率較高,測試效率高。
      【附圖說明】
      [0025]為了更清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其它附圖。
      [0026]圖1為本發(fā)明的測試方法的系統(tǒng)示意圖。
      [0027]1-N0R閃存器件,2-輸入的地址信號,3_數(shù)據(jù)輸入寄存器,4_數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器,5_拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生控制信號,6-數(shù)據(jù)讀出寄存器,7-結(jié)果比較器,8-比對結(jié)果輸出信號。
      【具體實(shí)施方式】
      [0028]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
      [0029]請參閱圖1,其為本發(fā)明的測試方法的系統(tǒng)示意圖。如圖1所示,本發(fā)明一種NOR閃存器件的測試方法,其將NOR閃存器件放置于自動化測試機(jī)上,在NOR閃存器件上進(jìn)行芯片執(zhí)行寫操作和讀操作測試,測試結(jié)果通過芯片的一個數(shù)據(jù)管腳反饋給自動化測試機(jī)進(jìn)行判斷。具體包括如下步驟:
      [0030]步驟一、通過芯片外部管腳輸入使能信號控制芯片進(jìn)入測試模式。
      [0031]步驟二、芯片執(zhí)行寫操作:通過NOR閃存器件I的管腳向芯片輸入地址信號2,通過芯片上的數(shù)據(jù)輸入寄存器3將數(shù)據(jù)寫入NOR閃存器件I中。該步驟中,寫入的數(shù)據(jù)由數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4產(chǎn)生,拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生控制信號5通過NOR閃存器件I的一個管腳輸送給數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4,所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4在拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生信號的作用下產(chǎn)生十六進(jìn)制的0x00,0xff,0x55,0xaa等數(shù)據(jù)給數(shù)據(jù)輸入寄存器3,數(shù)據(jù)輸入寄存器3在執(zhí)行寫操作時將這個數(shù)據(jù)寫入NOR閃存器件I。所述拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生控制信號是通過芯片的一個管腳傳傳輸給數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4,所述數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4產(chǎn)生的數(shù)據(jù)通過管腳傳給數(shù)據(jù)輸入寄存器3,數(shù)據(jù)輸入寄存器3將數(shù)據(jù)寫入NOR閃存器件I中。由此可知,拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生控制信號傳輸給數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4所使用的管腳和數(shù)據(jù)拓?fù)洚a(chǎn)生器4產(chǎn)生的數(shù)據(jù)傳輸給數(shù)據(jù)輸入寄存器3所述使用的管腳是同一個管腳,即所述拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生控制信號和芯片的數(shù)據(jù)信號復(fù)用相同的管腳。所述拓?fù)鋽?shù)據(jù)產(chǎn)生控制信號個數(shù)
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