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      帶有δ摻雜層的太陽能電池的制作方法與工藝

      文檔序號(hào):12039033閱讀:來源:國(guó)知局
      帶有δ摻雜層的太陽能電池的制作方法與工藝

      技術(shù)特征:
      1.一種太陽能電池,其包含:基極區(qū),其包括有源結(jié),所述基極區(qū)包括第一側(cè)面和與所述第一側(cè)面相對(duì)的第二側(cè)面;本征區(qū),其與所述基極區(qū)的所述第一側(cè)面直接接觸;發(fā)射極區(qū),其位于所述基極區(qū)的所述第一側(cè)面上并且直接接觸所述本征區(qū)使得所述本征區(qū)位于所述基極區(qū)和所述發(fā)射極區(qū)之間;δ摻雜層,其直接接觸所述基極區(qū)的所述第二側(cè)面,所述δ摻雜層包含選自碳、硅、鍺、錫、鉛和其組合的摻雜物,其中所述δ摻雜層具有在5納米到15納米的范圍內(nèi)的平均層厚度,其中所述δ摻雜層包含濃度至少為每立方厘米1×1019個(gè)原子的摻雜物;和背面場(chǎng)層,其包含AlGaAs或AlGaInP,所述背面場(chǎng)層直接接觸與所述基極區(qū)相對(duì)的所述δ摻雜層的表面使得所述δ摻雜層被設(shè)置直接接觸所述所述基極區(qū)與所述背面場(chǎng)層并被設(shè)置在所述所述基極區(qū)與所述背面場(chǎng)層之間。2.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池,其中所述δ摻雜層包含濃度至少為每立方厘米1×1020個(gè)原子的摻雜物。3.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池,其形成為多結(jié)太陽能電池。4.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池,其進(jìn)一步包含窗口,其中所述發(fā)射極區(qū)位于所述基極區(qū)和所述窗口之間。5.一種太陽能電池,其包含:基極區(qū),其包括有源結(jié),所述基極區(qū)包括第一側(cè)面和與所述第一側(cè)面相對(duì)的第二側(cè)面;本征區(qū),其與所述基極區(qū)的所述第一側(cè)面直接接觸;發(fā)射極區(qū),其位于所述基極區(qū)的所述第一側(cè)面上并且直接接觸所述本征區(qū)使得所述本征區(qū)位于所述基極區(qū)和所述發(fā)射極區(qū)之間;第一背面場(chǎng)層,其位于所述基極區(qū)的所述第二側(cè)面上,所述第一背面場(chǎng)層包含AlGaAs或AlGaInP;第二背面場(chǎng)層,其位于所述基極區(qū)的所述第二側(cè)面上,所述第二背面場(chǎng)層包含AlGaAs或AlGaInP;和δ摻雜層,其位于所述第一背面場(chǎng)層和所述第二背面場(chǎng)層之間并直接接觸所述第一背面場(chǎng)層和所述第二背面場(chǎng)層,所述δ摻雜層包含選自碳、硅、鍺、錫、鉛和其組合的摻雜物,其中所述δ摻雜層具有在5納米到15納米的范圍內(nèi)的平均層厚度,其中所述所述δ摻雜層包含濃度至少為每立方厘米1×1019個(gè)原子的摻雜物。6.如權(quán)利要求5所述的太陽能電池,其中所述δ摻雜層包含濃度至少為每立方厘米1×1020個(gè)原子的摻雜物。7.如權(quán)利要求5所述的太陽能電池,其形成為多結(jié)太陽能電池。8.如權(quán)利要求5所述的太陽能電池,其進(jìn)一步包含窗口,其中所述發(fā)射極區(qū)位于所述基極區(qū)和所述窗口之間9.一種用于形成如權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的太陽能電池的方法,其包含以下步驟:提供基底;在所述基底上生長(zhǎng)背面場(chǎng)層;δ摻雜所述背面場(chǎng)層以形成δ摻雜層;以及在所述δ摻雜層上方生長(zhǎng)附加層。10.如權(quán)利要求9所述的方法,其中所述生長(zhǎng)步驟包含以外延方式生長(zhǎng)。11.如權(quán)利要求10所述的方法,其中所述附加層是第二背面場(chǎng)層和基極區(qū)中的一個(gè)。
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