技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種熱色智能薄膜退火的監(jiān)控系統(tǒng)，利用氧化釩熱色智能膜退火前后，即退火之前的前軀體膜與徹底完成退火后能夠?qū)崿F(xiàn)相變功能的膜層相比，尤其在近紅外以及中紅外的透過(guò)率具有大幅度的變化特點(diǎn)，以及較為特定的透過(guò)率的變化情況進(jìn)行膜層晶化狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。本發(fā)明所提供的測(cè)試分析系統(tǒng)適用于氧化釩熱色智能薄膜沉積在具有一定透光性的基片上，然后采用輻射式加熱的快速退火，尤其適用于真空系統(tǒng)中的退火。

技術(shù)研發(fā)人員：詹勇軍;徐剛;肖秀娣;史繼富
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院廣州能源研究所
文檔號(hào)碼：201510136864
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.26
技術(shù)公布日：2016.11.23