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      非易失性存儲(chǔ)器及其抹除方法與流程

      文檔序號(hào):11836667閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,包括:

      第一存儲(chǔ)單元,設(shè)置于具有深井區(qū)的基底上,所述第一存儲(chǔ)單元,包括:

      堆疊結(jié)構(gòu),包括依次設(shè)置于所述基底上的柵介電層、柵極以及絕緣層;

      浮置柵極,設(shè)置于所述堆疊結(jié)構(gòu)的第一側(cè)的側(cè)壁,且所述浮置柵極的頂部具有轉(zhuǎn)角部;

      穿隧介電層,設(shè)置于所述浮置柵極與所述基底之間;

      抹除介電層,設(shè)置于所述柵極與所述浮置柵極之間,所述抹除介電層包括第一部分以及位于所述第一部分上的第二部分,其中所述第二部分的厚度小于或等于所述第一部分,且所述轉(zhuǎn)角部鄰近所述抹除介電層的所述第二部分;

      源極區(qū)與漏極區(qū),分別設(shè)置于所述堆疊結(jié)構(gòu)與所述浮置柵極兩側(cè)的所述基底中,其中所述源極區(qū)鄰接所述浮置柵極,所述漏極區(qū)鄰接所述堆疊結(jié)構(gòu)的第二側(cè),所述第一側(cè)與所述第二側(cè)相對(duì);

      控制柵極,設(shè)置于所述源極區(qū)與所述浮置柵極上;以及

      刪間介電層,設(shè)置于所述控制柵極與所述浮置柵極之間。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,還包括:

      第二存儲(chǔ)單元,設(shè)置于所述基底上,所述第二存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)與所述第一存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)相同,且所述第二存儲(chǔ)單元與所述第一存儲(chǔ)單元成鏡像配置,共用所述源極區(qū)或所述漏極區(qū)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述第一存儲(chǔ)單元與所述第二存儲(chǔ)單元共用所述控制柵極,且所述控制柵極填滿所述第一存儲(chǔ)單元與所述第二存儲(chǔ)單元之間的開(kāi)口。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,還包括:

      第三存儲(chǔ)單元,設(shè)置于所述基底上,所述第三存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)與所述第一存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)相同,共用所述源極區(qū)、所述柵極以及所述控制柵極,且所述控制柵極填滿所述第一存儲(chǔ)單元與所述第三存儲(chǔ)單元之間。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述穿隧介電層還設(shè)置于所述控制柵極與所述源極區(qū)之間。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述抹除介電 層的所述第一部分的的高度為所述浮置柵極的高度的0.8倍至小于1倍。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述抹除介電層的所述第一部分的材料包括氧化硅/氮化硅、氧化硅/氮化硅/氧化硅或氧化硅。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述絕緣層的材料包括氧化硅。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述刪間介電層的材料包括氧化硅/氮化硅/氧化硅或氮化硅/氧化硅或其他高介電常數(shù)的材料(k>4)。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述穿隧介電層的材料包括氧化硅,所述穿隧介電層的厚度介于60埃至200埃之間。

      11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述柵介電層的材料包括氧化硅,所述柵介電層的厚度小于或等于所述穿隧介電層的厚度。

      12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述抹除介電層的所述第二部分的材料包括氧化硅,所述第二部分的厚度介于100埃至180埃之間。

      13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非易失性存儲(chǔ)器,其特征在于,所述浮置柵極的所述轉(zhuǎn)角部的角度小于或等于90度。

      14.一種非易失性存儲(chǔ)器的抹除方法,其特征在于,適用于權(quán)利要求1-13任一項(xiàng)所述的非易失性存儲(chǔ)器,包括:

      在控制柵極施加第一電壓;在選定存儲(chǔ)單元的柵極施加第二電壓;在非選定存儲(chǔ)單元的柵極施加0伏特的電壓;在漏極區(qū)、源極區(qū)、深井區(qū)、基底施加第三電壓。

      15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的非易失性存儲(chǔ)器的抹除方法,其特征在于,所述第一電壓為-8~0伏特,所述第二電壓為2倍的電壓Vcc,所述第三電壓為電壓Vcc。

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