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      半導(dǎo)體元件的制作方法

      文檔序號(hào):11136619閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種半導(dǎo)體元件,包含:

      基底;以及

      柵極結(jié)構(gòu),設(shè)于該基底上,該柵極結(jié)構(gòu)包含:

      高介電常數(shù)介電層,設(shè)于該基底上;以及

      底部金屬阻隔層,設(shè)于該高介電常數(shù)介電層上,該底部金屬阻隔層包含上半部、中半部以及下半部,且該上半部為一富氮部分而該中半部及該下半部各為一富鈦部分。

      2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件,其中該上半部的厚度為該底部金屬阻隔層的三分之一厚度。

      3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件,其中該中半部的厚度為該底部金屬阻隔層的三分之一厚度。

      4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件,其中該下半部的厚度為該底部金屬阻隔層的三分之一厚度。

      5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件,其中該上半部的氮對(duì)鈦的比例為1至1.2比1。

      6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體元件,其中該中半部的氮對(duì)鈦的比例為0.5至1比1。

      7.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體元件,其中該下半部的氮對(duì)鈦的比例為0.5至1比1。

      8.一種半導(dǎo)體元件,包含:

      基底;以及

      柵極結(jié)構(gòu),設(shè)于該基底上,該柵極結(jié)構(gòu)包含:

      高介電常數(shù)介電層,設(shè)于該基底上;以及

      底部金屬阻隔層,設(shè)于該高介電常數(shù)介電層上,該底部金屬阻隔層包含上半部、中半部以及下半部,且該中半部為一富氮部分且該上半部及該下半部各為一富鈦部分。

      9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件,其中該上半部的厚度為該底部金屬阻隔層的三分之一厚度。

      10.如權(quán)利要求第8項(xiàng)所述的半導(dǎo)體元件,其中該中半部的厚度為該底 部金屬阻隔層的三分之一厚度。

      11.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件,其中該下半部的厚度為該底部金屬阻隔層的三分之一厚度。

      12.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件,其中該中半部的氮對(duì)鈦的比例為1至1.2比1。

      13.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件,其中該中半部的氮對(duì)鈦的比例為0.5至1比1。

      14.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體元件,其中該下半部的氮對(duì)鈦的比例為0.5至1比1。

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