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      影像感測(cè)器的制作方法

      文檔序號(hào):11136578閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種影像感測(cè)器,包括:

      基底,包括一像素陣列區(qū);

      多個(gè)隔離結(jié)構(gòu),位于該基底中,在該像素陣列區(qū)中區(qū)隔出多個(gè)像素區(qū);

      光感測(cè)區(qū),位于各該像素區(qū)內(nèi)的該基底中;以及

      反射凹穴結(jié)構(gòu),位于各該像素區(qū)內(nèi)的該基底中,該反射凹穴結(jié)構(gòu)由各該隔離結(jié)構(gòu)的底部一較淺處,連續(xù)的延伸至各該像素區(qū)中間一較深處,使在各該像素區(qū)內(nèi)構(gòu)成一碟狀輪廓,其中該反射凹穴結(jié)構(gòu)的折射率小于該基底的折射率。

      2.如權(quán)利要求1所述的影像感測(cè)器,其中該基底為硅基底,該反射凹穴結(jié)構(gòu)為一氧化硅層。

      3.如權(quán)利要求2所述的影像感測(cè)器,其中該基底的折射率為4.5,該反射凹穴結(jié)構(gòu)的折射率為1.5。

      4.如權(quán)利要求1所述的影像感測(cè)器,其中該反射凹穴結(jié)構(gòu)的厚度介于20~1000埃。

      5.如權(quán)利要求1所述的影像感測(cè)器,其中該反射凹穴結(jié)構(gòu)直接接觸到各該隔離結(jié)構(gòu)的底部。

      6.如權(quán)利要求1所述的影像感測(cè)器,其中該反射凹穴結(jié)構(gòu)不接觸到各該隔離結(jié)構(gòu)的底部。

      7.如權(quán)利要求1所述的影像感測(cè)器,其中該光感測(cè)區(qū)包含光二極管。

      8.如權(quán)利要求1所述的影像感測(cè)器,其中還包含內(nèi)連線結(jié)構(gòu),位于該基底上。

      9.如權(quán)利要求8所述的影像感測(cè)器,其中該內(nèi)連線結(jié)構(gòu)包含至少一介電層與至少一導(dǎo)體層。

      10.如權(quán)利要求8所述的影像感測(cè)器,其中還包含一彩色濾光層,位于該內(nèi)連線結(jié)構(gòu)上,以及一微透鏡,位于該彩色濾光層上。

      11.一種影像感測(cè)器,包括:

      基底,包括一像素陣列區(qū);

      反射層結(jié)構(gòu),位于各該像素區(qū)內(nèi)的該基底中的一預(yù)定深度;

      多個(gè)隔離結(jié)構(gòu),位于該基底中,與該反射層結(jié)構(gòu)于該像素陣列區(qū)中隔離 出多個(gè)像素區(qū),其中該反射層結(jié)構(gòu)的折射率小于該基底的折射率;以及

      光感測(cè)區(qū),位于各該像素區(qū)內(nèi)的該基底中。

      12.如權(quán)利要求11所述的影像感測(cè)器,其中該基底為硅基底,該反射層結(jié)構(gòu)為一氧化硅層。

      13.如權(quán)利要求12所述的影像感測(cè)器,其中該基底的折射率為4.5,該反射層結(jié)構(gòu)的折射率為1.5。

      14.如權(quán)利要求11所述的影像感測(cè)器,其中該反射層結(jié)構(gòu)的厚度介于20~1000埃。

      15.如權(quán)利要求11所述的影像感測(cè)器,其中該反射層結(jié)構(gòu)直接接觸到各該隔離結(jié)構(gòu)的底部。

      16.如權(quán)利要求11所述的影像感測(cè)器,其中該預(yù)定深度大于或等于6000埃。

      17.如權(quán)利要求11所述的影像感測(cè)器,其中該光感測(cè)區(qū)包含光二極管。

      18.如權(quán)利要求11所述的影像感測(cè)器,其中還包含內(nèi)連線結(jié)構(gòu),位于該基底上。

      19.如權(quán)利要求18所述的影像感測(cè)器,其中該內(nèi)連線結(jié)構(gòu)包含至少一介電層與至少一導(dǎo)體層。

      20.如權(quán)利要求18所述的影像感測(cè)器,其中還包含彩色濾光層,位于該內(nèi)連線結(jié)構(gòu)上,以及微透鏡,位于該彩色濾光層上。

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