本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體沉積設(shè)備的腔室蓋板防墜落裝置，特別涉及一種防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體設(shè)備制成、維護(hù)過(guò)程中，操作者的人身安全是重中之重。對(duì)人身安全造成威脅的因素很多，除氣體、電磁輻射等化學(xué)與物理因素外，機(jī)械傷害不容忽視。

在半導(dǎo)體設(shè)備加工、維護(hù)等過(guò)程中，有時(shí)需要操作者打開(kāi)腔室蓋板，來(lái)查看及維護(hù)腔體內(nèi)各個(gè)部件。

而對(duì)于腔室蓋板自動(dòng)升降的半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)說(shuō)，控制失誤、互鎖失效，導(dǎo)致蓋板重力下落的安全隱患尤為嚴(yán)重。機(jī)械互鎖作為最后的安全保障，其存在及效用都尤為重要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問(wèn)題為目的，主要解決腔體蓋板升起后由于控制失誤、互鎖失效，導(dǎo)致蓋板不正常下落所帶來(lái)的安全隱患而提供一種防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)。該支撐結(jié)構(gòu)安裝簡(jiǎn)便，適應(yīng)腔體及蓋板接觸面結(jié)構(gòu)，對(duì)角安裝，一側(cè)采用銷(xiāo)孔對(duì)接安裝此裝置，另一側(cè)包裹導(dǎo)向軸安裝，采用尼龍材質(zhì)，保證絕對(duì)的耐磨性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)，包括上蓋板，腔體，導(dǎo)向軸,該支撐結(jié)構(gòu)還包括支撐裝置A，支撐裝置B；所述支撐裝置A包括支撐板A、支撐板B、鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A，所述支撐板A與支撐板B一側(cè)通過(guò)合頁(yè)與鎖緊螺釘連接，另一側(cè)由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A將支撐板A和支撐板B固定或打開(kāi)；所述支撐裝置B包括支撐板C、支撐板D、固定銷(xiāo)釘安裝孔、鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置B、固定銷(xiāo)釘、銷(xiāo)孔，支撐板C與支撐板D的一側(cè)通過(guò)合頁(yè)與鎖緊螺釘連接，另一側(cè)由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖定裝置B將支撐板C與支撐板D固定，防止打開(kāi)，所述支撐板C與支撐板D的頂端中央的固定銷(xiāo)釘安裝孔將固定銷(xiāo)釘包裹卡住，支撐板C底部設(shè)有銷(xiāo)孔；所述上蓋板底部設(shè)有與固定銷(xiāo)釘對(duì)應(yīng)的銷(xiāo)孔，所述腔體上端面上設(shè)有與銷(xiāo)孔對(duì)應(yīng)的銷(xiāo)釘；所述支撐裝置A將導(dǎo)向軸包裹后再由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A固定在上蓋板與腔體之間，所述支撐裝置B的固定銷(xiāo)釘與所述上蓋板的銷(xiāo)孔相對(duì)應(yīng)安裝，銷(xiāo)孔與所述腔體的銷(xiāo)釘相對(duì)應(yīng)安裝。

所述支撐裝置A與支撐裝置B對(duì)角安裝于所述上蓋板與腔體之間。

所述支撐裝置A與支撐裝置B為圓柱體形狀。

所述支撐板A、支撐板B、支撐板C與支撐板D均為尼龍材質(zhì)。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)：

本發(fā)明的防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)利用其支撐裝置的圓形面貼合下落的上蓋板和腔體，支撐蓋板，防止其墜落。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)便，采用尼龍材質(zhì)，保證絕對(duì)的耐磨性，具有較強(qiáng)的安全性。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的支撐裝置A1的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的支撐裝置B2的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明的防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例進(jìn)一步對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但發(fā)明保護(hù)內(nèi)容不局限于所述實(shí)施例：

實(shí)施例

參照?qǐng)D1-3，一種防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)，包括上蓋板11，腔體12，導(dǎo)向軸14，該支撐結(jié)構(gòu)還包括支撐裝置A1，支撐裝置B2；所述支撐裝置A1包括支撐板A3、支撐板B4、鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A5，所述支撐板A3與支撐板B4一側(cè)通過(guò)合頁(yè)與鎖緊螺釘連接，另一側(cè)由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A5將支撐板A和支撐板B固定或打開(kāi)固定或打開(kāi)；所述支撐裝置B2包括支撐板C6、支撐板D7、固定銷(xiāo)釘安裝孔8、鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置B9、固定銷(xiāo)釘10、銷(xiāo)孔13，所述支撐板C6與支撐板D7的一側(cè)通過(guò)合頁(yè)與鎖緊螺釘連接，另一側(cè)由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖定裝置B9將支撐板C6與支撐板D7固定，防止打開(kāi)，支撐板C6與支撐板D7的頂端中央的固定銷(xiāo)釘安裝孔8將固定銷(xiāo)釘10包裹卡住，支撐板C6底部設(shè)有銷(xiāo)孔13；所述上蓋板11底部設(shè)有與固定銷(xiāo)釘10對(duì)應(yīng)的銷(xiāo)孔，所述腔體12上端面上設(shè)有與銷(xiāo)孔13對(duì)應(yīng)的銷(xiāo)釘；所述支撐裝置A1將導(dǎo)向軸14包裹后再由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A5固定在上蓋板11與腔體12之間，所述支撐裝置B2的固定銷(xiāo)釘10與所述上蓋板11的銷(xiāo)孔相對(duì)應(yīng)安裝，銷(xiāo)孔13與所述腔體12的上端面上的銷(xiāo)釘相對(duì)應(yīng)安裝。

所述支撐裝置A1與支撐裝置B2對(duì)角安裝于所述上蓋板11與腔體12之 間。

所述支撐裝置A1與支撐裝置B2為圓柱體形狀。

所述支撐板A、支撐板B、支撐板C與支撐板D均為尼龍材質(zhì)。

所述鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置B9與所述鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A5結(jié)構(gòu)相同。

工作時(shí)，上蓋板11升起后，導(dǎo)向軸14一側(cè)，打開(kāi)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A5使支撐裝置A1將導(dǎo)向軸14包裹后，再由鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置A5固定在上蓋板11與腔體12之間，導(dǎo)向軸14對(duì)角一側(cè)，用鎖定銷(xiāo)子通過(guò)鎖定銷(xiāo)子鎖緊裝置B9將支撐裝置B2固定，然后將固定銷(xiāo)釘10安裝于固定銷(xiāo)釘安裝孔8內(nèi)，最后將支撐裝置B2的固定銷(xiāo)釘10與上蓋板11的銷(xiāo)孔相對(duì)應(yīng)，銷(xiāo)孔13與腔體12的上端面上的銷(xiāo)釘相對(duì)應(yīng)，保持支撐裝置A1與支撐裝置B2的垂直，下降上蓋板11，待支撐裝置B2的固定銷(xiāo)釘10進(jìn)入上蓋板11銷(xiāo)孔即可。