本發(fā)明涉及用以固定基板的基板固定裝置。

背景技術(shù)：

就上述類(lèi)型的基板固定裝置而言，有一種基板固定裝置如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示，為用于對(duì)基板照射離子束的離子束照射裝置，并具備載置呈大致矩形形狀的基板的平臺(tái)及夾抓機(jī)構(gòu)；該夾抓機(jī)構(gòu)在該夾抓機(jī)構(gòu)與該平臺(tái)之間固定基板。

具體而言，該夾抓機(jī)構(gòu)具備與基板的彼此相對(duì)向的兩邊分別對(duì)應(yīng)而設(shè)置的一對(duì)夾具以及致動(dòng)器；該致動(dòng)器與各夾具對(duì)應(yīng)而設(shè)置以使各夾具在固定基板的固定位置與釋放基板的釋放位置之間移動(dòng)。

然而，在上述構(gòu)成的基板固定裝置中，由于僅以相對(duì)向的兩邊固定基板，故有基板會(huì)朝與該相對(duì)向方向正交的方向位置偏移之虞。

上述問(wèn)題尤其在離子束注入裝置使水平地載置的基板立起并注入離子射束時(shí)，往與離子束交叉的方向掃描基板的情況下更為顯著。

另一方面，若與基板的各邊分別對(duì)應(yīng)而設(shè)置夾具，則需要與所增加的夾具數(shù)量相當(dāng)?shù)闹聞?dòng)器，而導(dǎo)致裝置構(gòu)成的復(fù)雜化及裝置整體的大型化。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專(zhuān)利文獻(xiàn)]

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2001-107235號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

(發(fā)明所欲解決的課題)

因此，本發(fā)明為用以解決上述問(wèn)題點(diǎn)而研創(chuàng)，主要發(fā)明目的在于提供一種不會(huì)導(dǎo)致裝置構(gòu)成的復(fù)雜化及裝置整體的大型化而確實(shí)地固定基板的基板固定裝置。

(解決課題的手段)

也就是，本發(fā)明的基板固定裝置具備載置呈大致矩形形狀的基板的平臺(tái)以及夾抓機(jī)構(gòu)，該夾抓機(jī)構(gòu)在該夾抓機(jī)構(gòu)與前述平臺(tái)之間固定前述基板；其中，前述夾抓機(jī)構(gòu)包括：多個(gè)夾具，其與前述基板的各邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置，并可在將前述基板予以固定的固定位置、與將前述基板予以釋放的釋放位置之間移動(dòng)；以及動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)，其在對(duì)應(yīng)于前述基板的相對(duì)向的兩邊之中的一邊而設(shè)置的一邊側(cè)夾具與對(duì)應(yīng)于另一邊而設(shè)置的另一邊側(cè)夾具之間傳達(dá)用以移動(dòng)前述夾具的驅(qū)動(dòng)力；而前述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)具有：滑動(dòng)構(gòu)件，其隨著前述一邊側(cè)夾具的移動(dòng)、或隨著對(duì)前述一邊側(cè)夾具傳達(dá)前述驅(qū)動(dòng)力的構(gòu)件的移動(dòng)，而往預(yù)定方向滑動(dòng)移動(dòng)，來(lái)對(duì)前述另一邊側(cè)夾具傳達(dá)前述驅(qū)動(dòng)力。

依據(jù)上述基板固定裝置，由于夾具與基板的各邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置，故可確實(shí)地固定基板，并且，由于滑動(dòng)構(gòu)件隨著一邊側(cè)夾具的移動(dòng)或隨著對(duì)該一邊側(cè)夾具傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力的構(gòu)件的移動(dòng)而滑動(dòng)移動(dòng)，來(lái)對(duì)另一邊側(cè)夾具傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，故可使用共通的致動(dòng)器來(lái)使一邊側(cè)夾具及另一邊側(cè)夾具移動(dòng)，進(jìn)而謀求裝置構(gòu)成的簡(jiǎn)化及裝置整體的小型化。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：構(gòu)成為前述一邊側(cè)夾具及前述另一邊側(cè)夾具的相對(duì)向方向是與前述基板對(duì)于前述平臺(tái)搬入搬出的基板搬入搬出方向大致一致。

只要為該構(gòu)成，即可將于一邊側(cè)夾具及另一邊側(cè)夾具共通使用的致動(dòng)器避開(kāi)基板搬入搬出側(cè)而配置，使致動(dòng)器不會(huì)妨礙基板搬入搬出。

相對(duì)于此，以往的與各夾具分別對(duì)應(yīng)而設(shè)置致動(dòng)器的構(gòu)成中，若要使一邊側(cè)夾具及另一邊側(cè)夾具的相對(duì)向方向與基板搬入搬出方向一致，則配置于基板搬入搬出側(cè)的致動(dòng)器會(huì)妨礙基板的搬入搬出。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：前述一邊側(cè)夾具或前述另一邊側(cè)夾具之中的基板搬入搬出側(cè)的夾具，是構(gòu)成為于前述釋放位置中位于比前述平臺(tái)的基板載置面更靠下方的位置。

只要為該構(gòu)成，由于基板的搬入搬出不會(huì)被夾具妨礙，故可將搬入搬出的基板的高度維持在既有的設(shè)定，換言之，可不變更搬運(yùn)基板的搬運(yùn)機(jī)器人的設(shè)定而將基板搬入搬出。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：前述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)具備：第一傳達(dá)要素，其對(duì)側(cè)邊側(cè)夾具傳達(dá)前述驅(qū)動(dòng)力，該側(cè)邊側(cè)夾具與和前述基板的前述相對(duì)向 的兩邊不同的至少一邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置；以及第二傳達(dá)要素，其對(duì)前述一邊側(cè)夾具傳達(dá)前述驅(qū)動(dòng)力；經(jīng)由前述第一傳達(dá)要素、前述第二傳達(dá)要素及前述滑動(dòng)構(gòu)件來(lái)將前述驅(qū)動(dòng)力分別傳達(dá)至前述側(cè)邊側(cè)夾具、前述一邊側(cè)夾具及前述另一邊側(cè)夾具。

只要為該構(gòu)成，可通過(guò)來(lái)自共通的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力使與基板的至少三邊分別對(duì)應(yīng)而設(shè)置的夾具移動(dòng)，以謀求更優(yōu)選的裝置構(gòu)成的簡(jiǎn)化及裝置整體的小型化。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：前述夾具是構(gòu)成為被彈性構(gòu)件往前述固定位置彈推，并通過(guò)前述驅(qū)動(dòng)力而從前述固定位置往前述釋放位置移動(dòng)，且在前述夾具位于前述固定位置的狀態(tài)下，在前述夾具與前述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)之間形成有不使前述驅(qū)動(dòng)力作用于前述夾具的空隙。

只要為該構(gòu)成，由于位于固定位置的各夾具為以不受驅(qū)動(dòng)力作用的狀態(tài)(也就是以彼此獨(dú)立的狀態(tài))個(gè)別地固定基板，故即便假設(shè)有一個(gè)夾具因夾住存在于基板上的微粒等而自固定位置稍微浮起，也可通過(guò)其他夾具確實(shí)地固定基板。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：基板固定裝置還具備比前述平臺(tái)的基板載置面更往上方突出的擋止件，并且前述擋止件設(shè)置成可在制止位置與退出位置之間移動(dòng)，該制止位置是接觸載置于前述基板載置面的基板的外緣而制止該基板的移動(dòng)的位置，該退出位置為相對(duì)于前述基板退出至比前述制止位置更靠外側(cè)的位置。

只要為該構(gòu)成，通過(guò)位于制止位置的擋止件接觸基板的外緣而可防止過(guò)度的基板的位置偏移或基板的掉落，并且在通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人抬起基板時(shí)，使擋止件從制止位置往退出位置移動(dòng)而使擋止件與基板成為非接觸，由此可防止基板端面與擋止件摩擦而產(chǎn)生微粒。

相對(duì)于此，在擋止件被固定于預(yù)定位置時(shí)，當(dāng)通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人將基板抬起時(shí)，基板端面與擋止件摩擦而可能會(huì)產(chǎn)生微粒。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：前述平臺(tái)為可在遞送前述基板的水平姿勢(shì)與自該水平姿勢(shì)立起的立起姿勢(shì)之間移動(dòng)，前述擋止件設(shè)于位于前述立起姿勢(shì)的前述平臺(tái)的下側(cè)。

只要為該構(gòu)成，在使平臺(tái)自水平姿勢(shì)移動(dòng)成立起姿勢(shì)之際等情形，可防 止基板自平臺(tái)掉落。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：上述基板固定裝置還具備：旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其與前述滑動(dòng)構(gòu)件的滑動(dòng)移動(dòng)連動(dòng)而繞著預(yù)定的旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)；以及轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其將前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成沿著前述擋止件的移動(dòng)方向的直線驅(qū)動(dòng)力；并且構(gòu)成為將通過(guò)前述轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)而轉(zhuǎn)換得來(lái)之前述直線驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)至前述擋止件。

只要為該構(gòu)成，由于與擋止件的移動(dòng)連動(dòng)而將直線驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)至擋止件，故可使夾具與擋止件連動(dòng)，而無(wú)須用以使擋止件移動(dòng)的專(zhuān)用的致動(dòng)器。

本發(fā)明的基板固定裝置優(yōu)選：前述轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)包括設(shè)于前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件或固定前述擋止件的固定板的一方的滑動(dòng)體、及形成于另一方以供前述滑動(dòng)體滑動(dòng)的滑動(dòng)空間，并構(gòu)成為隨著前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)，前述滑動(dòng)體在前述滑動(dòng)空間滑動(dòng)，且前述固定板沿著前述擋止件的移動(dòng)方向移動(dòng)，并構(gòu)成為在前述擋止件位于前述制止位置的狀態(tài)下，于前述平臺(tái)移動(dòng)至立起姿勢(shì)時(shí)，前述滑動(dòng)體位于前述旋轉(zhuǎn)中心的垂直上方的位置。

只要為該構(gòu)成，在使平臺(tái)立起時(shí)，即便在擋止件位于制止位置的狀態(tài)下對(duì)固定板施加荷重，也由于使滑動(dòng)體位于旋轉(zhuǎn)中心的垂直上方的位置，故該滑動(dòng)體不會(huì)旋轉(zhuǎn)，且固定板不會(huì)移動(dòng)。由此，即便是基板掉落的情形，也可防止擋止件往下方偏移。

(發(fā)明的功效)

依據(jù)如上述所構(gòu)成的本發(fā)明，不會(huì)導(dǎo)致裝置構(gòu)成的復(fù)雜化及裝置整體的大型化而可確實(shí)地固定基板。

附圖說(shuō)明

圖1為從表面?zhèn)扔^看本實(shí)施例的基板固定裝置的示意圖。

圖2為從背面?zhèn)扔^看本實(shí)施例的基板固定裝置的示意圖。

圖3用以說(shuō)明本實(shí)施例的第一傳達(dá)機(jī)構(gòu)的示意圖。

圖4用以說(shuō)明本實(shí)施例的第一夾具的動(dòng)作的圖(A1－A1'剖面圖)。

圖5用以說(shuō)明本實(shí)施例的第二傳達(dá)機(jī)構(gòu)的示意圖。

圖6用以說(shuō)明本實(shí)施例的第二夾具的動(dòng)作的圖(A2－A2'剖面圖)。

圖7用以說(shuō)明本實(shí)施例的第三傳達(dá)機(jī)構(gòu)的示意圖。

圖8用以說(shuō)明本實(shí)施例的擋止件的動(dòng)作的示意圖。

圖9用以說(shuō)明本實(shí)施例的連動(dòng)機(jī)構(gòu)的示意圖。

圖10用以說(shuō)明變形實(shí)施例的連動(dòng)機(jī)構(gòu)的示意圖。

符號(hào)說(shuō)明

3 縱滑動(dòng)件 4 橫滑動(dòng)件

5 方向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu) 6 固定構(gòu)件

7 滑動(dòng)構(gòu)件 8 擋止件

9 連動(dòng)機(jī)構(gòu) 10 平臺(tái)

11 梳齒 12 基板載置面

20 夾抓機(jī)構(gòu) 21 夾具

21a 第一夾具 21b 第二夾具

21bl 左側(cè)第二夾具 21br 右側(cè)第二夾具

21c 第三夾具 22 動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)

22a 第一傳達(dá)要素 22b 第二傳達(dá)要素

22c 第三傳達(dá)要素 41、61 內(nèi)周面

51 斜孔 52 滑動(dòng)部

81 固定板 90 旋轉(zhuǎn)構(gòu)件

91 第一直線轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)

92 第二直線轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)

93 固定構(gòu)件 94 第一滑動(dòng)體

95 第二滑動(dòng)體 9h1、9h2 滑動(dòng)空間

100 基板固定裝置 211 抵接部

B 彈性構(gòu)件 G 導(dǎo)引構(gòu)件

H 貫穿孔 I 軸

L、La、Lb、Lc 旋轉(zhuǎn)軸 Ma、Mb、Mc 卡勾部

Na、Nb、Nc 被卡勾部 O、Oz 旋轉(zhuǎn)中心

P 制止位置 Q 退出位置

R 導(dǎo)輥 Sa、Sb、Sc 空隙

V 收納凹部 W 基板

X 固定位置 Y 釋放位置

Z 桿。

具體實(shí)施方式

以下參閱附圖針對(duì)本發(fā)明的基板固定裝置的一實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。

本實(shí)施例的基板固定裝置100為例如用于離子束照射裝置并固定屬于處理對(duì)象的基板W，且如圖1及圖2所示，其具備載置呈大致矩形形狀的薄板狀的基板W的平臺(tái)10以及夾抓機(jī)構(gòu)20；該夾抓機(jī)構(gòu)20在該夾抓機(jī)構(gòu)20與該平臺(tái)10之間固定基板W。

前述平臺(tái)10為在與未圖示的搬運(yùn)機(jī)器人之間遞送基板W，并構(gòu)成為可在載置基板W的水平姿勢(shì)與自該水平姿勢(shì)立起的立起姿勢(shì)之間繞著軸I旋轉(zhuǎn)。

另外，于此所謂水平姿勢(shì)包含有自水平方向傾斜的姿勢(shì)，而立起姿勢(shì)包含有沿著垂直方向立起的姿勢(shì)及自垂直方向傾斜的姿勢(shì)。

在本實(shí)施例中，于對(duì)基板W照射離子束的處理室內(nèi)，前述搬運(yùn)機(jī)器人對(duì)于位于前述水平姿勢(shì)的平臺(tái)10以預(yù)定的基板搬入搬出方向來(lái)搬運(yùn)基板并予以載置。然后，平臺(tái)10是在前述處理室內(nèi)從水平姿勢(shì)成為立起姿勢(shì)且離子束照射基板W時(shí)，于與離子束交錯(cuò)的方向以離子束掃描。

在以下為了便于說(shuō)明，如圖2所示，將前述基板搬入搬出方向設(shè)為上下方向，并將與該上下方向正交的方向定義成左右方向。另外，上下方向的上側(cè)為基板搬入搬出側(cè)，左右方向的左側(cè)及右側(cè)為自背面觀看平臺(tái)時(shí)的左側(cè)及右側(cè)。

具體而言，如圖1所示，該平臺(tái)10是以預(yù)定的間隔排列多支(于此為4支)梳齒11而形成為梳子形狀，并將其表面設(shè)定為載置基板W的基板載置面12。

另外，平臺(tái)10的形狀并不限于上述形狀，也可為大致矩形形狀。

此外，基板載置面12并不一定要設(shè)定于平臺(tái)10的表面，例如，在平臺(tái)10具有裝設(shè)于表面的銷(xiāo)等多個(gè)高度調(diào)整構(gòu)件時(shí)，可將由多個(gè)所述多個(gè)高度調(diào)整構(gòu)件的前端所形成的虛擬平面設(shè)為基板載置面12。

如圖1及圖2所示，前述夾抓機(jī)構(gòu)20具備與基板W的各邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置的多個(gè)夾具21、以及在前述多個(gè)夾具21之間傳達(dá)從外部輸入的驅(qū)動(dòng)力的動(dòng) 力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22。

如圖1及圖2所示，本實(shí)施例中，在平臺(tái)10的左邊部、右邊部、上邊部、及下邊部分別有多個(gè)夾具21彼此分開(kāi)設(shè)置。

在以下要區(qū)別設(shè)于各邊部的夾具21時(shí)，是將沿著左右方向彼此相對(duì)向的夾具21稱(chēng)為第一夾具21a，將沿著上下方向彼此相對(duì)向的夾具21之中，下側(cè)的夾具21稱(chēng)為第二夾具21b，上側(cè)的夾具21稱(chēng)為第三夾具21c。

如圖3至圖7所示，前述夾具21是構(gòu)成為可在前述夾具21與平臺(tái)10之間固定基板W的固定位置X、與釋放基板W的釋放位置Y之間移動(dòng)，并且，于此是構(gòu)成為可繞著設(shè)在比位于水平姿勢(shì)的平臺(tái)10的基板載置面12更靠下方(比基板載置面12更靠平臺(tái)10的背面?zhèn)?的旋轉(zhuǎn)軸L而旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，例如在前述旋轉(zhuǎn)軸L設(shè)有扭轉(zhuǎn)彈簧等彈性構(gòu)件B，并通過(guò)該彈性構(gòu)件B將各夾具21往固定位置X彈推。

更具體而言，尤其如圖4及圖6所示，各夾具21具有在前述固定位置時(shí)會(huì)與基板W抵接的一對(duì)抵接部211。

于此，第一夾具21a及第三夾具21c形成為彼此相同的形狀，并具有柱狀的抵接部211，而第二夾具21b具有平板狀的抵接部211。

另外，各夾具21的形狀及抵接部211的形狀可有各種變更。

在本實(shí)施例中，在平臺(tái)10位于水平姿勢(shì)的狀態(tài)下，由于基板W在第三夾具21c的上方搬入搬出，而為使前述第三夾具21c不會(huì)妨礙基板W的搬入搬出，故構(gòu)成為：使位于釋放位置Y的第三夾具21c位于比平臺(tái)10的基板載置面12更靠下方(比基板載置面12更靠平臺(tái)10的背面?zhèn)?的位置。

于此，前述第三夾具21c的固定位置X與釋放位置Y的張開(kāi)角度設(shè)定成：使位于釋放位置Y的第三夾具21c整體位于比前述基板載置面12更靠下方(比基板載置面12更靠平臺(tái)10的背面?zhèn)?的位置。

接著，針對(duì)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22進(jìn)行說(shuō)明。

前述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22是由未圖示的致動(dòng)器而被賦予用以使夾具21移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力，并將該驅(qū)動(dòng)力在與基板W的一邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置的夾具21、和與其他的至少一邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置的夾具21之間進(jìn)行傳達(dá)，于此，構(gòu)成為在第一夾具21a、第二夾具21b及第三夾具21c之間傳達(dá)前述驅(qū)動(dòng)力。

在本實(shí)施例中，如圖2所示，一對(duì)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22是獨(dú)立設(shè)置于平臺(tái) 10的左右兩側(cè)，各動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22構(gòu)成為在與前述基板W的3邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置的夾具21(左右單側(cè)的第一夾具21a、第二夾具21b及第三夾具21c)之間傳達(dá)前述驅(qū)動(dòng)力。

另外，于此，前述一對(duì)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22為左右對(duì)稱(chēng)的構(gòu)成，在以下說(shuō)明中，是針對(duì)左側(cè)的動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22進(jìn)行說(shuō)明來(lái)代表多個(gè)所述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)。

如圖2所示，前述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22具備對(duì)第一夾具21a傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力的第一傳達(dá)要素22a、對(duì)第二夾具21b傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力的第二傳達(dá)要素22b、及對(duì)第三夾具21c傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力的第三傳達(dá)要素22c。

如圖3所示，前述第一傳達(dá)要素22a為使第一夾具21a繞著旋轉(zhuǎn)軸La旋轉(zhuǎn)而從固定位置X往釋放位置Y移動(dòng)，并具有通過(guò)驅(qū)動(dòng)力往上下方向滑動(dòng)移動(dòng)的縱滑動(dòng)件3、伴隨縱滑動(dòng)件3的移動(dòng)而往左右方向滑動(dòng)移動(dòng)的橫滑動(dòng)件4、以及位于縱滑動(dòng)件3及橫滑動(dòng)件4之間，用以將上下方向的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成左右方向的驅(qū)動(dòng)力的方向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)5。

縱滑動(dòng)件3是于平臺(tái)10的背面?zhèn)戎袕纳隙瞬勘榧跋露瞬慷刂舷路较蛟O(shè)置且呈棒狀的構(gòu)件，于此，是連接有被傳達(dá)未圖示的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力而繞著旋轉(zhuǎn)中心Oz旋轉(zhuǎn)的桿Z。本實(shí)施例的桿Z雖連接于縱滑動(dòng)件3的上側(cè)及下側(cè)的第一夾具21a之間，但也可連接于上側(cè)的第一夾具21a的上方或下側(cè)的第一夾具21a的下方。

另外，縱滑動(dòng)件3的一部分為夾于一對(duì)導(dǎo)輥R。

橫滑動(dòng)件4是設(shè)置于縱滑動(dòng)件3及第一夾具21a之間，以使第一夾具21a從固定位置X往釋放位置Y移動(dòng)的構(gòu)件，如圖2所示，是設(shè)于與多個(gè)第一夾具21a分別對(duì)應(yīng)的位置。

更具體地說(shuō)明，如圖4所示，于前述橫滑動(dòng)件4或前述第一夾具21a的一方設(shè)置卡勾部Ma，并在另一方設(shè)置由前述卡勾部Ma卡勾的被卡勾部Na。此外，在卡勾部Ma與被卡勾部Na之間形成有空隙Sa，該空隙Sa用以在第一夾具21a位于固定位置X的狀態(tài)下，不使驅(qū)動(dòng)力作用于第一夾具21a。

在本實(shí)施例中，于橫滑動(dòng)件4形成有剖面呈大致U字形狀的凹溝作為前述卡勾部Ma，并于第一夾具21a設(shè)置與旋轉(zhuǎn)軸La平行的棒體作為前述被卡勾部Na，在前述凹溝的內(nèi)周面41與前述棒體的外周面之間形成有上述的空 隙Sa。

如圖3所示，方向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)5是用以將傳達(dá)于縱滑動(dòng)件3的上下方向的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成左右方向的構(gòu)件，具體而言，其具有：設(shè)于前述縱滑動(dòng)件3或前述橫滑動(dòng)件4的一方并往與上下方向及左右方向交叉的斜方向延伸的斜孔51、以及設(shè)于另一方并可在前述斜孔51內(nèi)滑動(dòng)的滑動(dòng)部52。

在本實(shí)施例中，于前述橫滑動(dòng)件4例如形成有從上下方向及左右方向傾斜45度的斜孔51，并于前述縱滑動(dòng)件3設(shè)置屬于滑動(dòng)部52的突起部。

另外，斜孔51并不一定要為貫穿孔，也可為凹溝。

接著，一面參閱圖3及圖4一面針對(duì)上述第一傳達(dá)要素22a及第一夾具21a的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

首先，如圖3(a)所示，在第一夾具21a是被彈性構(gòu)件B往固定位置X彈推的狀態(tài)下，當(dāng)來(lái)自未圖示的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力賦予至桿Z時(shí)，桿Z為繞著旋轉(zhuǎn)中心Oz旋轉(zhuǎn)，并且縱滑動(dòng)件3是從上側(cè)往下側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)。

此時(shí)，與前述縱滑動(dòng)件3的滑動(dòng)移動(dòng)連動(dòng)，前述滑動(dòng)部52是沿著前述斜孔51移動(dòng)，由此，前述橫滑動(dòng)件4是從左側(cè)往右側(cè)(從平臺(tái)10的外側(cè)往內(nèi)側(cè))滑動(dòng)移動(dòng)。

并且，如圖4所示，隨著該橫滑動(dòng)件4的滑動(dòng)移動(dòng)，屬于前述卡勾部Ma的凹溝的內(nèi)周面41是將屬于前述被卡勾部Na的棒體從左側(cè)往右側(cè)牽引，由此，第一夾具21a為繞著旋轉(zhuǎn)軸La旋轉(zhuǎn)。

在本實(shí)施例中由于形成有上述空隙Sa，故在第一夾具21a位于固定位置X的狀態(tài)下，卡勾部Ma與被卡勾部Na為非接觸(圖4(a))。并且，通過(guò)從該狀態(tài)使前述橫滑動(dòng)件4從左側(cè)往右側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，卡勾部Ma與被卡勾部Na接觸(圖4(b))，并更進(jìn)一步地使前述橫滑動(dòng)部4從左側(cè)往右側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，由此使前述驅(qū)動(dòng)力是從前述卡勾部Ma作用于前述被卡勾部Na，而使第一夾具21a往釋放位置Y移動(dòng)(圖4(c))。

另一方面，當(dāng)來(lái)自未圖示的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力被遮斷時(shí)，如圖3(b)所示，通過(guò)彈性構(gòu)件B的彈推力，使第一夾具21a從釋放位置Y往固定位置X移動(dòng)。

接著針對(duì)第二傳達(dá)要素22b進(jìn)行說(shuō)明。

如圖5所示，第二傳達(dá)要素22b為使第二夾具21b繞著旋轉(zhuǎn)軸Lb旋轉(zhuǎn)，而從固定位置X往釋放位置Y移動(dòng)。

于此，在本實(shí)施例中，前述第一傳達(dá)要素22a構(gòu)成為對(duì)至少一個(gè)第二夾具21b傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，而前述第二傳達(dá)要素22b構(gòu)成為對(duì)其他第二夾具21b傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。

更詳細(xì)而言，如圖5所示，是構(gòu)成為一對(duì)第二夾具21b繞著共通的旋轉(zhuǎn)軸Lb旋轉(zhuǎn)，且第一傳達(dá)要素22a對(duì)一對(duì)第二夾具21b的中左側(cè)的第二夾具21b(以下也稱(chēng)為左側(cè)第二夾具21bl)傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，而第二傳達(dá)要素22b對(duì)右側(cè)的第二夾具21b(以下也稱(chēng)為右側(cè)第二夾具21br)傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。

首先，針對(duì)左側(cè)第二夾具21bl與第一傳達(dá)要素22a的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。

如圖5所示，前述左側(cè)第二夾具21bl構(gòu)成為配置于第一傳達(dá)要素22a的縱滑動(dòng)件3的下端部附近，且隨著該縱滑動(dòng)件3的滑動(dòng)移動(dòng)而在固定位置X與釋放位置Y之間移動(dòng)。

更具體地說(shuō)明，如圖6所示，在前述左側(cè)第二夾具21bl或前述縱滑動(dòng)件3的一方設(shè)有卡勾部Mb，在另一方設(shè)有前述卡勾部Mb所卡勾的被卡勾部Nb。此外，在卡勾部Mb與被卡勾部Nb之間形成有空隙Sb，該空隙Sb于左側(cè)第二夾具21bl位于固定位置X的狀態(tài)下用以不使驅(qū)動(dòng)力作用于左側(cè)第二夾具21bl。

在本實(shí)施例中，于被固定于縱滑動(dòng)件3的下端部的固定構(gòu)件6形成有剖面呈大致U字形狀的凹溝來(lái)作為前述卡勾部Mb，并于左側(cè)第二夾具21bl設(shè)有與旋轉(zhuǎn)軸Lb平行的棒體來(lái)作為前述被卡勾部Nb，且于前述凹溝的內(nèi)周面61與前述棒體的外周面之間形成有前述空隙Sb。

通過(guò)上述構(gòu)成，如圖6所示，當(dāng)縱滑動(dòng)件3從上側(cè)往下側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)時(shí)，屬于前述卡勾部Mb的凹溝的內(nèi)周面61是將屬于前述被卡勾部Nb的棒體從上側(cè)往下側(cè)(從平臺(tái)10的內(nèi)側(cè)往外側(cè))牽引，由此，左側(cè)第二夾具21bl為繞著旋轉(zhuǎn)軸Lb旋轉(zhuǎn)。

在本實(shí)施例中由于形成有上述空隙Sb，故在左側(cè)第二夾具21bl位在固定位置X的狀態(tài)下，卡勾部Mb與被卡勾部Nb為非接觸(圖6a)。并且，通過(guò)從該位置使前述縱滑動(dòng)件3從上側(cè)往下側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，卡勾部Mb與被卡勾部Nb接觸(圖6b)，并更進(jìn)一步地使前述縱滑動(dòng)件3從上側(cè)往下側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，由此使前述驅(qū)動(dòng)力從卡勾部Mb作用于前述被卡勾部Nb，而使左側(cè)第二夾具21bl往釋放位置Y移動(dòng)(圖6c)。

接著，針對(duì)第二傳達(dá)要素22b與右側(cè)第二夾具21br的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。

如圖5所示，本實(shí)施例的第二傳達(dá)要素22b為將傳達(dá)至左側(cè)第二夾具21bl的驅(qū)動(dòng)力往右側(cè)第二夾具21br傳達(dá)，于此，為將多個(gè)所述各第二夾具21bl、21br予以連接的旋轉(zhuǎn)軸Lb。

通過(guò)該構(gòu)成，右側(cè)第二夾具21br是通過(guò)前述驅(qū)動(dòng)力而與左側(cè)第二夾具21bl連動(dòng)并旋轉(zhuǎn)，而在固定位置X與釋放位置Y之間移動(dòng)。

接著，針對(duì)第三傳達(dá)要素22c進(jìn)行說(shuō)明。

如圖7所示，前述第三傳達(dá)要素22c用以使前述第三夾具21c繞著旋轉(zhuǎn)軸Lc旋轉(zhuǎn)而自固定位置X往釋放位置Y移動(dòng)，并具有往預(yù)定方向滑動(dòng)移動(dòng)的滑動(dòng)構(gòu)件7。

如圖5及圖7所示，前述滑動(dòng)構(gòu)件7位于右側(cè)第二夾具21br與第三夾具21c之間，而將前述驅(qū)動(dòng)力從前述第二夾具21br傳達(dá)至第三夾具21c，于此，為與上述縱滑動(dòng)件3平行設(shè)置的棒狀物。

更具體地說(shuō)明，如圖6所示，在前述滑動(dòng)構(gòu)件7的下端部或前述右側(cè)第二夾具21br的一方設(shè)有卡勾部Mb，而在另一方設(shè)有卡勾部Mb所卡勾的被卡勾部Nb。

此外，如圖7所示，在前述滑動(dòng)構(gòu)件7的上端部或前述第三夾具21c的一方設(shè)有卡勾部Mc，而在另一方設(shè)有卡勾部Mc所卡勾的被卡勾部Nc。

在本實(shí)施例中，滑動(dòng)構(gòu)件7的下端部及右側(cè)第二夾具21br的構(gòu)成與上述縱滑動(dòng)件3及左側(cè)第二夾具21bl的構(gòu)成相同，而滑動(dòng)構(gòu)件7的上端部及第三夾具21c的構(gòu)成與上述第一夾具21a及橫滑動(dòng)件4為相同構(gòu)成。

也就是，如圖6所示，在固定于滑動(dòng)構(gòu)件7的下端部的固定構(gòu)件6形成有剖面呈大致U字形狀的凹溝來(lái)作為卡勾部Mb，而在右側(cè)第二夾具21br設(shè)有與旋轉(zhuǎn)軸Lb平行的棒體來(lái)作為被卡勾部Nb。

此外，如圖7所示，在滑動(dòng)構(gòu)件7的上端部形成有剖面呈大致U字形狀的凹溝來(lái)作為卡勾部Mc，而在第三夾具21c設(shè)有與旋轉(zhuǎn)軸Lc平行的棒體來(lái)作為被卡勾部Nc。

另外，在前述卡勾部Mb、Mc與前述被卡勾部Nb、Nc之間形成有空隙Sb、Sc，多個(gè)所述空隙Sb、Sc用以在右側(cè)第二夾具21br及第三夾具21c位于固定位置X的狀態(tài)下，不使前述驅(qū)動(dòng)力作用于右側(cè)第二夾具21br及第三夾具 21c。

通過(guò)上述的構(gòu)成，隨著右側(cè)第二夾具21br在固定位置X與釋放位置Y之間的移動(dòng)，前述滑動(dòng)構(gòu)件7沿著上下方向滑動(dòng)移動(dòng)，且隨著該滑動(dòng)構(gòu)件7的滑動(dòng)移動(dòng)，第三夾具21c是在固定位置X與釋放位置Y之間移動(dòng)。

更具體而言，通過(guò)使右側(cè)第二夾具21br從固定位置X往釋放位置Y移動(dòng)，屬于前述被卡勾部Nb的棒體是從上側(cè)往下側(cè)(從平臺(tái)10的內(nèi)側(cè)往外側(cè))推壓屬于前述卡勾部Mb的凹溝的內(nèi)周面61，由此前述滑動(dòng)構(gòu)件7是從上側(cè)往下側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)。

并且，通過(guò)使滑動(dòng)構(gòu)件7從上側(cè)往下側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，屬于前述卡勾部Mc的凹溝的內(nèi)周面是將屬于前述被卡勾部Nc的棒體從上側(cè)往下側(cè)(從平臺(tái)10的內(nèi)側(cè)往外側(cè))牽引，由此，第三夾具21c是繞著旋轉(zhuǎn)軸Lc旋轉(zhuǎn)。

通過(guò)上述的動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22，在本實(shí)施例中，是與第一夾具21a連動(dòng)而使左側(cè)第二夾具21bl進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并與左側(cè)第二夾具21bl連動(dòng)而使右側(cè)第二夾具21br進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且與右側(cè)第二夾具21br連動(dòng)而使第三夾具31c進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。也就是，第一夾具21a、第二夾具21b及第三夾具21c為彼此連動(dòng)而在固定位置X與釋放位置Y之間移動(dòng)，且在本實(shí)施例中，各夾具21a至21c為同時(shí)到達(dá)固定位置X，并同時(shí)到達(dá)釋放位置Y。

更且，本實(shí)施例的基板固定裝置100更具備限制被載置于平臺(tái)10的基板W的移動(dòng)的擋止件8。

于此，為了防止基板W從位于立起姿勢(shì)的平臺(tái)10掉落，如圖2所示，在位于立起姿勢(shì)的平臺(tái)10的下側(cè)設(shè)置有多個(gè)前述擋止件8，具體而言，是配置在縱滑動(dòng)件3的下端部附近及滑動(dòng)構(gòu)件7的下端部附近。

前述各擋止件8是在平臺(tái)10位于水平姿勢(shì)的狀態(tài)下，比基板載置面12更往上方(比基板載置面12更往平臺(tái)10的表面?zhèn)?突出，且如圖8所示，是設(shè)置成可在制止位置P與退出位置Q之間移動(dòng)，該制止位置P是接觸載置于基板載置面12的基板W而制止該基板W的移動(dòng)的位置，該退出位置Q為相對(duì)于前述基板W退出至比前述制止位置P更靠外側(cè)的位置。

前述制止位置P為位于基板W通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人而被載置于平臺(tái)10的位置的基板W、與前述擋止件8為非接觸的位置，而前述退出位置Q為前述擋止件8從基板離開(kāi)至比前述制止位置P更靠外側(cè)的位置。

如圖9(a)、(b)所示，前述擋止件8被固定于固定板81，該固定板81是構(gòu)成為例如在被導(dǎo)引構(gòu)件G導(dǎo)引的狀態(tài)下往上下方向移動(dòng)。

前述固定板81為立起設(shè)置有前述擋止件8，且例如與前述擋止件8一體成型。在本實(shí)施例中，將前述固定板81設(shè)于平臺(tái)10的背面?zhèn)?，且使前述擋止?從背面?zhèn)韧砻鎮(zhèn)蓉灤┯谪灤┛譎，而該貫穿孔H是將平臺(tái)10及縱滑動(dòng)件3或平臺(tái)10及滑動(dòng)構(gòu)件7貫穿而形成。

在本實(shí)施例中，如圖9所示，基板固定裝置100更具備使前述擋止件8與上述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22連動(dòng)的連動(dòng)機(jī)構(gòu)9，前述擋止件8構(gòu)成為：通過(guò)從前述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22傳達(dá)而來(lái)的驅(qū)動(dòng)力而在前述制止位置P及前述退出位置Q之間移動(dòng)。

前述連動(dòng)機(jī)構(gòu)9分別與各擋止件8對(duì)應(yīng)而設(shè)置。

在以下說(shuō)明中，雖針對(duì)位在擋止件8與滑動(dòng)構(gòu)件7之間的連動(dòng)機(jī)構(gòu)9的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明，但位于擋止件8與縱滑動(dòng)件3之間的連動(dòng)機(jī)構(gòu)9的構(gòu)成也為相同。

前述連動(dòng)機(jī)構(gòu)9具備以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)于平臺(tái)10的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90、將沿著滑動(dòng)構(gòu)件7的移動(dòng)方向的直線移動(dòng)驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力的第一直線轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)91、以及將前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成沿著擋止件8的移動(dòng)方向的直線移動(dòng)驅(qū)動(dòng)力的第二直線轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)92。

前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90可繞著旋轉(zhuǎn)中心O而旋轉(zhuǎn)，于此，前述一對(duì)的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90被設(shè)于滑動(dòng)構(gòu)件7的左右兩側(cè)。

如圖9(c)、(d)所示，前述第一直線轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)91包括設(shè)于固定于滑動(dòng)構(gòu)件7的固定構(gòu)件93或前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的一方的第一滑動(dòng)體94、及形成于另一方而供前述第一滑動(dòng)體94滑動(dòng)的滑動(dòng)空間9h1。

另外，圖9(c)、(d)顯示將圖9(a)、(b)的固定板81拆除的狀態(tài)。

在本實(shí)施例中，于前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90設(shè)有繞著前述旋轉(zhuǎn)中心O旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)輥來(lái)作為前述第一滑動(dòng)體94，而于前述固定構(gòu)件93的左右兩側(cè)形成有一對(duì)缺口來(lái)作為前述第1滑動(dòng)空間9h1。

依據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)固定構(gòu)件93與滑動(dòng)構(gòu)件7連動(dòng)而往上下方向滑動(dòng)移動(dòng)，第一滑動(dòng)體94在第1滑動(dòng)空間9h1內(nèi)移動(dòng)并同時(shí)繞著旋轉(zhuǎn)中心O旋轉(zhuǎn)，一對(duì)旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90是往相反方向旋轉(zhuǎn)。

如圖9(a)、(b)所示，前述第二直線轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)92包括：設(shè)于前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90或上述固定板81的一方的第二滑動(dòng)體95、及形成于另一方而供前述第二滑動(dòng)體95滑動(dòng)的滑動(dòng)空間9h2。

在本實(shí)施例中，于前述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的與前述第一滑動(dòng)體94不同的位置設(shè)有繞著前述旋轉(zhuǎn)中心O旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)輥來(lái)作為前述第二滑動(dòng)體95，而于前述固定板81的左右兩側(cè)形成有長(zhǎng)孔來(lái)作為前述第2滑動(dòng)空間9h2。

通過(guò)上述構(gòu)成，前述第二滑動(dòng)體95與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)連動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，并同時(shí)在第2滑動(dòng)空間9h2內(nèi)滑動(dòng)移動(dòng)，且固定板81往上下方向滑動(dòng)移動(dòng)。

在本實(shí)施例中，構(gòu)成為：通過(guò)滑動(dòng)構(gòu)件7從上側(cè)往下側(cè)移動(dòng)，而通過(guò)上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)9使固定板81從上側(cè)往下側(cè)(從平臺(tái)10的內(nèi)側(cè)往外側(cè))移動(dòng)。也就是，當(dāng)通過(guò)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22使夾具21從固定位置X往釋放位置Y移動(dòng)時(shí)，擋止件8與該夾具21的動(dòng)作連動(dòng)而從制止位置P往退出位置Q移動(dòng)，而當(dāng)使夾具21從釋放位置Y往固定位置X移動(dòng)時(shí)，擋止件8與該夾具21的動(dòng)作連動(dòng)而從退出位置Q往制止位置P移動(dòng)。

于此，是構(gòu)成為：前述第二滑動(dòng)體95在擋止件8位于制止位置P的狀態(tài)下，于平臺(tái)10移動(dòng)至立起姿勢(shì)時(shí)位于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)中心O的垂直上方的位置。也就是，構(gòu)成為：當(dāng)擋止件8移動(dòng)至制止位置P時(shí)，前述第二滑動(dòng)體95的重心與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)中心O會(huì)位于垂直線上的位置。

另外，在本實(shí)施例中，如圖2等所示，上述動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22及連動(dòng)機(jī)構(gòu)9為被收納在形成于平臺(tái)10的背面的收納凹部V，并在平臺(tái)10位于水平姿勢(shì)的狀態(tài)下，使構(gòu)成動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22的各構(gòu)件及構(gòu)成連動(dòng)機(jī)構(gòu)9的各構(gòu)件不會(huì)從平臺(tái)10的背面露出。

該收納凹部V構(gòu)成為由未圖示的罩構(gòu)件閉塞。

依據(jù)由此構(gòu)成的本實(shí)施例的基板固定裝置100，由于夾具21為與基板W的各邊對(duì)應(yīng)而設(shè)置，故可確實(shí)地固定基板W，并且由于動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22在第一夾具21a、第二夾具21b、及第三夾具21c之間傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，因此對(duì)各夾具21可使用共通的致動(dòng)器，而可謀求裝置構(gòu)成的簡(jiǎn)化及裝置整體的小型化。

此外，由于對(duì)各夾具21可使用共通的致動(dòng)器，故通過(guò)將該致動(dòng)器設(shè)置于例如平臺(tái)10的下側(cè)或左右側(cè)，而不會(huì)妨礙基板W的搬入搬出。

此外，由于位于釋放位置Y的第三夾具21c整體是在平臺(tái)10位于水平 姿勢(shì)的狀態(tài)下位于比平臺(tái)10的基板載置面12更靠下方(比基板載置面12更靠平臺(tái)10的背面?zhèn)?的位置，故第三夾具21c不會(huì)妨礙基板W的搬入搬出，所搬入搬出的基板W的高度位置可維持既有的設(shè)定，也就是，可不變更對(duì)平臺(tái)10搬運(yùn)基板W的搬運(yùn)機(jī)器人等的設(shè)定而搬入搬出基板W。

并且，在各卡勾部Ma至Mc與各被卡勾部Na至Nc之間，由于形成有用以不使驅(qū)動(dòng)力作用于夾具21的空隙Sa至Sc，故各個(gè)夾具21是被個(gè)別地往固定位置X彈推，即便假設(shè)有一個(gè)夾具21夾住基板W上存在的微粒等而自固定位置X稍微浮起，也可通過(guò)其他夾具21確實(shí)地固定基板W。

更且，由于在平臺(tái)10的下側(cè)設(shè)置有多個(gè)可動(dòng)式的擋止件8，故可通過(guò)位于制止位置P的擋止件8防止基板W的掉落，并且在搬運(yùn)機(jī)器人抬起基板W時(shí)使擋止件8從制止位置P往退出位置Q移動(dòng)，而使擋止件8與基板W成為非接觸，故擋止件8與基板W不會(huì)摩擦，而可防止產(chǎn)生微粒。

此外，假設(shè)是在基板相對(duì)于搬運(yùn)機(jī)器人位置偏移的狀態(tài)下被搬運(yùn)的情形等，載置于基板載置面12的基板W會(huì)有偏離預(yù)定的載置位置的情形。在這種情形下，通過(guò)使前述擋止件8從退出位置Q往制止位置P移動(dòng)，可由擋止件8推動(dòng)基板W的外緣進(jìn)行基板W的位置調(diào)整。

并且，在擋止構(gòu)件8位于制止位置P的狀態(tài)下，于平臺(tái)10移動(dòng)至立起姿勢(shì)時(shí)，第二滑動(dòng)體95的重心會(huì)位于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)中心O的垂直上方，故即便對(duì)固定板81施加荷重，第二滑動(dòng)體95也不會(huì)旋轉(zhuǎn)，而可防止由于基板W的掉落等而導(dǎo)致?lián)踔辜?從制止位置P往下方偏離。

此外，由于動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)22及連動(dòng)機(jī)構(gòu)9被收納在形成于平臺(tái)10的背面的收納凹部V，故可在平臺(tái)10的厚度方向使裝置整體更緊湊。

更且，由于前述收納凹部V構(gòu)成為由未圖示的罩構(gòu)件閉塞，故即便構(gòu)成動(dòng)力傳達(dá)構(gòu)件22或連動(dòng)構(gòu)件9的各構(gòu)件摩擦產(chǎn)生微粒，也可防止該微粒在處理室內(nèi)飛散。

另外，本發(fā)明并不限于前述實(shí)施例。

例如，在前述實(shí)施例中，動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為在與基板的3邊對(duì)應(yīng)設(shè)置的夾具之間傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，但也可構(gòu)成為在與基板的4邊對(duì)應(yīng)設(shè)置的夾具(于左右方向相對(duì)向的第一夾具的雙方、第二夾具、及第三夾具)之間傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。就為了達(dá)成該種構(gòu)成的具體實(shí)施例而言，可舉例不依前述實(shí)施例般設(shè)置 多支旋轉(zhuǎn)軸Lb，而通過(guò)1支旋轉(zhuǎn)軸Lb使多個(gè)第二夾具21b移動(dòng)的構(gòu)成。另外，在該情形中，只要將桿Z設(shè)于左右單側(cè)即可。

通過(guò)此構(gòu)成，由于與基板的4邊對(duì)應(yīng)設(shè)置的夾具為連動(dòng)而移動(dòng)，故可使用一個(gè)致動(dòng)器使全部的夾具移動(dòng)，且可更使裝置整體更緊湊。

此外，動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)雖為具備第一傳達(dá)要素、第二傳達(dá)要素及第三傳達(dá)要素，但并不限定傳達(dá)要素及構(gòu)成傳達(dá)要素的構(gòu)件的數(shù)量。

此外，在前述實(shí)施例中，桿雖連接于第一傳達(dá)要素，但桿也可連接于第二傳達(dá)要素及第三傳達(dá)要素。也就是，可為未圖示的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由桿而賦予給構(gòu)成第二傳達(dá)要素的旋轉(zhuǎn)軸，也可為前述致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由桿而賦予給第三傳達(dá)要素的滑動(dòng)構(gòu)件。

前述實(shí)施例的第一傳達(dá)要素雖為對(duì)第二夾具傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，但也可構(gòu)成為不經(jīng)由第二夾具來(lái)對(duì)第二傳達(dá)要素傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。

具體而言，可舉例如下述構(gòu)成：利用齒條與小齒輪，通過(guò)使設(shè)于第一傳達(dá)要素的縱滑動(dòng)件的齒條與設(shè)于第二夾具的旋轉(zhuǎn)軸的齒輪咬合，而使沿著前述縱滑動(dòng)件的移動(dòng)方向的直線驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力并傳達(dá)給前述旋轉(zhuǎn)軸。

在前述實(shí)施例中，雖構(gòu)成為一對(duì)第二夾具繞著共通的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，但也可使多個(gè)第二夾具與往左右方向滑動(dòng)的橫滑動(dòng)構(gòu)件連動(dòng)。

此時(shí)，只要第二傳達(dá)要素具有前述橫滑動(dòng)構(gòu)件，且在第一傳達(dá)要素的縱滑動(dòng)件與第二傳達(dá)要素的橫滑動(dòng)構(gòu)件之間設(shè)有前述實(shí)施例的方向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)等即可。

前述實(shí)施例的第三傳達(dá)要素雖構(gòu)成為自第二夾具傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，但也可從對(duì)第二夾具傳達(dá)動(dòng)力的構(gòu)件(也就是從第二傳達(dá)要素)傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。

具體而言，可舉例如利用上述的齒條與小齒輪的構(gòu)成。也就是，通過(guò)使設(shè)于第二傳達(dá)要素的旋轉(zhuǎn)軸的齒輪與設(shè)于前述第三傳達(dá)要素的滑動(dòng)構(gòu)件的齒條咬合，而將前述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成直線驅(qū)動(dòng)力而傳達(dá)給前述滑動(dòng)構(gòu)件的構(gòu)成。

由于動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成可考量有上述各種構(gòu)成，故設(shè)于左右兩側(cè)的一對(duì)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)無(wú)須如前述實(shí)施例般為左右對(duì)稱(chēng)的構(gòu)成，也可為彼此不同的構(gòu)成。

此外，在前述實(shí)施例中，滑動(dòng)移動(dòng)的各構(gòu)件雖為沿著上下方向或左右方向移動(dòng)，但也可沿著自上下方向或左右方向傾斜的方向移動(dòng)。

此外，在前述實(shí)施例中，雖在平臺(tái)的下側(cè)設(shè)置擋止件，但也可在平臺(tái)的上側(cè)及左右單側(cè)或左右兩側(cè)設(shè)置擋止件。

通過(guò)如此構(gòu)成，可沿著上下方向及左右方向調(diào)整載置于位于水平姿勢(shì)的平臺(tái)的基板的位置。

更且，在前述實(shí)施例中，雖構(gòu)成為在擋止件位于制止位置的狀態(tài)下，于平臺(tái)移動(dòng)至立起姿勢(shì)時(shí)，第二滑動(dòng)體位于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)中心的垂直上方的位置，但例如圖10所示，也可在擋止件8移動(dòng)至在制止位置P與退出位置Q的途中所通過(guò)的通過(guò)位置R時(shí)，使第二滑動(dòng)體95位于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的旋轉(zhuǎn)中心O的垂直上方的位置。

如上述的構(gòu)成，在使夾具21從釋放位置Y移動(dòng)至固定位置X時(shí)，隨著前述第二滑動(dòng)體95的旋轉(zhuǎn)，固定板81是在相對(duì)于平臺(tái)10往內(nèi)側(cè)移動(dòng)之后往外側(cè)移動(dòng)。由此，前述擋止件8是從退出位置Q通過(guò)比該退出位置Q更靠近基板W的前述通過(guò)位置R，而往比該通過(guò)位置R更遠(yuǎn)離基板W的制止位置P移動(dòng)。

由此，如前述實(shí)施例所示，于平臺(tái)10位于立起姿勢(shì)的狀態(tài)下，即使基板W位置偏離而接觸擋止件8，由于在使平臺(tái)10成為水平姿勢(shì)并通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人將基板W抬起時(shí)為使擋止件8移動(dòng)至與基板W為非接觸的退出位置Q，因此擋止件8不會(huì)與基板W摩擦，而可防止產(chǎn)生微粒。

并且，即使假設(shè)基板W被載置于自基板載置面12的預(yù)定的載置位置偏離的位置，由于擋止件8是在從通過(guò)位置R通過(guò)之后移動(dòng)至制止位置P，故可通過(guò)擋止件8移動(dòng)至通過(guò)位置R而使基板W往前述預(yù)定的載置位置移動(dòng)，而可在前述預(yù)定的載置位置確實(shí)地夾抓基板W。

此外，在前述實(shí)施例中，雖構(gòu)成為夾具與擋止件會(huì)連動(dòng)，但也可構(gòu)成為夾具與擋止件個(gè)別地獨(dú)立移動(dòng)。

就具體的實(shí)施例而言，例如可舉例將擋止件連接于電動(dòng)馬達(dá)并使其在制止位置與退出位置之間移動(dòng)的構(gòu)成，此時(shí)，無(wú)須前述實(shí)施例的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。

此外，前述實(shí)施例的動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)雖為在第一夾具、第二夾具及第三夾具之間傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力，但也可僅在上下兩側(cè)的夾具(第二夾具及第三夾具)之間 傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。此時(shí)，動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)只要至少具有前述實(shí)施例的滑動(dòng)構(gòu)件即可，并構(gòu)成為上下兩側(cè)的夾具與該滑動(dòng)構(gòu)件的移動(dòng)連動(dòng)而在固定位置與釋放位置之間移動(dòng)即可。

當(dāng)然，動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)也可僅在左右兩側(cè)的夾具(相對(duì)向的第一夾具)之間傳達(dá)驅(qū)動(dòng)力。

此外，第二夾具及第三夾具在前述實(shí)施例中雖設(shè)成沿著上下方向(搬入搬出方向)彼此相對(duì)向，但也可設(shè)為沿著自上下方向稍微傾斜的方向彼此相對(duì)向。

此外，關(guān)于左右的第一夾具也相同，左右的第一夾具也可設(shè)為沿著自左右方向稍微傾斜的方向彼此相對(duì)向。

另外，本發(fā)明并不限于前述實(shí)施例，在未脫離其主旨的范圍內(nèi)可有各種變形是不言可喻的。