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      薄膜晶體管陣列基板的制造方法與工藝

      文檔序號(hào):11294585閱讀:205來(lái)源:國(guó)知局
      薄膜晶體管陣列基板的制造方法與工藝
      薄膜晶體管陣列基板本申請(qǐng)要求于2014年11月28日提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)第10-2014-0169057號(hào)的優(yōu)先權(quán),其通過(guò)引用整體并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本申請(qǐng)涉及薄膜晶體管陣列基板,并且更具體地涉及適合于防止在包含在具有薄膜晶體管陣列基板的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示裝置中的有機(jī)發(fā)光層中產(chǎn)生厚度偏差的薄膜晶體管陣列基板。

      背景技術(shù):
      顯示裝置包括具有背光單元的顯示裝置和利用不需要單獨(dú)的背光單元的自發(fā)光元件的OLED顯示裝置。因此,利用自發(fā)光元件的OLED顯示裝置可以是薄的并且具有低功耗。OLED顯示裝置可以包括:包含陽(yáng)極電極、陰極電極和插入在所述兩個(gè)電極之間的有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)發(fā)光元件。有機(jī)發(fā)光元件使得通過(guò)來(lái)自陽(yáng)極電極的空穴和來(lái)自陰極電極的電子的復(fù)合產(chǎn)生的激子進(jìn)入有機(jī)發(fā)光層。另外,有機(jī)發(fā)光元件通過(guò)激子從激發(fā)態(tài)過(guò)渡到穩(wěn)態(tài)而發(fā)光??梢岳脷庀喑练e方法形成有機(jī)發(fā)光層。噴墨印刷工藝可以用于通過(guò)滴落液化的有機(jī)發(fā)光材料在大尺寸基板上形成有機(jī)發(fā)光層。這樣的有機(jī)發(fā)光層具有鄰近堤壩(bank)圖案的與被堤壩圖案包圍的中心區(qū)域相比較厚的邊緣區(qū)域。這是由于以下事實(shí):與有機(jī)發(fā)光層的中心部分的硬化速度相比,有機(jī)發(fā)光層的邊緣部分以較低的速度硬化;并且由于有機(jī)發(fā)光材料從有機(jī)發(fā)光層的中心區(qū)域向邊緣區(qū)域進(jìn)行的硬化現(xiàn)象,有機(jī)發(fā)光材料從有機(jī)發(fā)光層的中心區(qū)域內(nèi)部地移動(dòng)到有機(jī)發(fā)光層的邊緣區(qū)域。

      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
      本申請(qǐng)的實(shí)施方案涉及基本消除了由于相關(guān)技術(shù)的限制和劣勢(shì)而導(dǎo)致的一個(gè)或更多個(gè)問(wèn)題的薄膜晶體管陣列基板。根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案的薄膜晶體管陣列基板適合于減小有機(jī)發(fā)光層的厚度并且防止有機(jī)發(fā)光層的非均勻形成以從外部露出濾色器層。所露出的濾色器層設(shè)置在平坦化膜下,穿過(guò)非發(fā)光區(qū)內(nèi)的平坦化膜。實(shí)施方案的附加特征和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中闡述,并且部分附加特征和優(yōu)點(diǎn)根據(jù)描述將是明顯的或可以從實(shí)施方案的實(shí)施中了解。實(shí)施方案的優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)在書(shū)面描述及其權(quán)利要求以及附圖中具體說(shuō)明的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。為了解決上述問(wèn)題,根據(jù)本實(shí)施方案的一般性方面的薄膜晶體管陣列基板包括:包括發(fā)光區(qū)和非發(fā)光區(qū)的基板;設(shè)置在基板上的濾色器層;設(shè)置在濾色器層上的平坦化層,并且平坦化層配置為移除平坦化層的與非發(fā)光區(qū)對(duì)應(yīng)的至少一部分。所述薄膜晶體管陣列基板還包括:設(shè)置在平坦化膜的一部分上的第一電極;配置為露出第一電極的上表面的一部分并且鋪展至非發(fā)光區(qū)的第一堤壩圖案。所述薄膜晶體管陣列基板還包括設(shè)置在非發(fā)光區(qū)內(nèi)的第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案。因此,所述薄膜晶體管陣列基板減小了第二堤壩圖案的厚度以均勻地形成有機(jī)發(fā)光層。在考察以下附圖和具體描述之后,其他系統(tǒng)、方法、特征和優(yōu)點(diǎn)對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員將是明顯的。包含在該描述內(nèi)的系統(tǒng)、方法、特征和優(yōu)點(diǎn)在本發(fā)明的范圍內(nèi),并被所附權(quán)利要求所保護(hù)。本節(jié)中的任何內(nèi)容都不應(yīng)該被看作對(duì)那些權(quán)利要求的限制。下面結(jié)合實(shí)施方案討論其他方面和優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)理解的是,本發(fā)明的前述一般描述和下面的詳細(xì)描述是示例性和說(shuō)明性的并且旨在提供對(duì)所要求保護(hù)的發(fā)明的進(jìn)一步說(shuō)明。附圖說(shuō)明本申請(qǐng)包括附圖來(lái)提供實(shí)施方案的進(jìn)一步理解并且附圖被合并到本申請(qǐng)中并構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分。附圖示出本發(fā)明的實(shí)施方案并且與描述一起用于解釋本發(fā)明。在附圖中:圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的OLED裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;圖2為示出根據(jù)第一實(shí)施方案的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的截面圖;圖3A至圖3C為示出制造根據(jù)第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的方法的截面圖;圖4為示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;圖5為主要地示出根據(jù)第二實(shí)施方案的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的截面圖;圖6A至圖6C為示出制造根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的方法的截面圖;圖7為示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;圖8為示出根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;以及圖9為示出根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的照片。具體實(shí)施方式現(xiàn)在將詳細(xì)參考本發(fā)明的實(shí)施方案,在附圖中示出本發(fā)明的實(shí)施方案的實(shí)例。在下文中介紹的這些實(shí)施方案作為實(shí)例提供,以便于向本領(lǐng)域技術(shù)人員傳達(dá)本發(fā)明的精神。本發(fā)明不限于在此描述的這些實(shí)施方案。在實(shí)施方案中所示出的器件的尺寸和厚度等被提供為方便說(shuō)明。只要可能,在整個(gè)該公開(kāi)(包括附圖)中將使用相同的附圖標(biāo)記以標(biāo)記相同或相似的部分。圖1和圖2示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板。更詳細(xì)地,圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板的截面圖;以及圖2為主要地示出根據(jù)第一實(shí)施方案的薄膜晶體管陣列基板的非發(fā)光區(qū)的截面圖。根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板可以包括,例如薄膜晶體管、濾色器層101和有機(jī)發(fā)光元件。薄膜晶體管包括半導(dǎo)體層201、柵極絕緣膜202、柵電極203、層間絕緣膜204、源電極205、漏電極206和緩沖層207。濾色器層101包括紅色濾色器圖案101a、綠色濾色器圖案101b和藍(lán)色濾色器圖案。有機(jī)發(fā)光元件包括第一電極103、有機(jī)發(fā)光層106和第二電極107??梢岳眯糠椒?、噴墨方法和狹縫涂布方法之一通過(guò)向用第二堤壩圖案105包圍的區(qū)域中噴射或者滴落液化的有機(jī)發(fā)光材料并且然后使所噴射或滴落的有機(jī)發(fā)光材料進(jìn)行硬化來(lái)形成有機(jī)發(fā)光層106。因?yàn)?,在相關(guān)技術(shù)中,有機(jī)發(fā)光層一定是形成為與在被堤壩圖案包圍的區(qū)域內(nèi)的中心部分相比具有鄰近堤壩圖案的較厚的邊緣部分,所以O(shè)LED顯示裝置的開(kāi)口率一定變得較低。為了提高OLED顯示裝置的開(kāi)口率,可以對(duì)通過(guò)包括鄰近堤壩圖案的邊緣區(qū)域的整個(gè)區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層的上表面進(jìn)行平坦化。對(duì)有機(jī)發(fā)光層的上表面進(jìn)行平坦化可以形成第一堤壩圖案和設(shè)置在第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案。在這種情況下,設(shè)置在第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案一定變厚。因此,在光刻工藝期間,變厚的第二堤壩圖案可能導(dǎo)致蝕刻劑侵入第一堤壩圖案與第二堤壩圖案之間。具體地,在相關(guān)技術(shù)中,用于對(duì)第二堤壩圖案進(jìn)行圖案化的光刻工藝可能引起第二堤壩圖案的卷曲現(xiàn)象和有機(jī)發(fā)光層的平坦性的劣化的產(chǎn)生。第二堤壩圖案的卷曲現(xiàn)象可能是由于在形成在平坦化膜中的接觸孔中的具有非常大的厚度并且用于連接有機(jī)發(fā)光元件的第一電極和薄膜晶體管的漏電極的第二堤壩圖案產(chǎn)生的。為了解決這個(gè)問(wèn)題,根據(jù)本公開(kāi)的第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置在濾色器層101的不包括在第二非發(fā)光區(qū)NA2內(nèi)彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區(qū)的區(qū)域上設(shè)置了平坦化膜102。此外,在彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區(qū)中設(shè)置第二堤壩圖案105。這樣,可以減小第二堤壩圖案105的厚度。更詳細(xì)地,根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板包括設(shè)置在限定為發(fā)光區(qū)AA、第一非發(fā)光區(qū)NA1和第二非發(fā)光區(qū)NA2的基板100上的濾色器層101。這樣,根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的OLED顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板限定為發(fā)光區(qū)AA、第一非發(fā)光區(qū)NA1和第二非發(fā)光區(qū)NA2。第一非發(fā)光區(qū)NA1用作其中設(shè)置有薄膜晶體管的驅(qū)動(dòng)區(qū)域。第二非發(fā)光區(qū)NA2為不發(fā)光并且不包括薄膜晶體管的像素區(qū)。在設(shè)置有濾色器層101(參照?qǐng)D3C)的基板100上設(shè)置平坦化膜102,但平坦化膜102不能設(shè)置在彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區(qū)中。例如,平坦化膜102不能設(shè)置在紅色濾色器圖案101a與綠色濾色器圖案101b之間的邊界區(qū)中。另外,平坦化膜102不能設(shè)置在綠色濾色器圖案101b與藍(lán)色濾色器圖案之間的邊界區(qū)中。另外,平坦化膜102不能設(shè)置在藍(lán)色濾色器圖案與紅色濾色器圖案101a之間的邊界區(qū)中。換言之,可以在第二非發(fā)光區(qū)NA2內(nèi)的平坦化膜102中形成開(kāi)口以將平坦化膜分成兩個(gè)部分。可以通過(guò)從不同的濾色器圖案之間的一個(gè)邊界移除平坦化膜102的一部分來(lái)形成開(kāi)口。例如,形成在平坦化膜102中的開(kāi)口可以露出紅色濾色器圖案101a與綠色濾色器圖案101b之間的邊界?;蛘撸梢栽诰G色濾色器圖案101b與藍(lán)色濾色器圖案之間的邊界中形成開(kāi)口。另外,可以在藍(lán)色濾色器圖案與紅色濾色器圖案101a之間的邊界中形成開(kāi)口??梢栽诎l(fā)光區(qū)AA內(nèi)的平坦化膜102上設(shè)置有機(jī)發(fā)光元件的第一電極103。這樣的第一電極103可以用作陽(yáng)極電極。或者,第一電極103可以用作陰極電極。在下文中,在第一實(shí)施方案中將描述第一電極103用作陽(yáng)極電極。另外,可以利用相對(duì)高的透明導(dǎo)電材料以單層形式形成第一電極103。這樣,可以實(shí)現(xiàn)從有機(jī)發(fā)光元件的第二電極朝著有機(jī)發(fā)光元件的第一電極103發(fā)光的底部發(fā)光型OLED顯示裝置。或者,設(shè)置在第一電極103下的反射層還可以包括在OLED顯示裝置中。因此,頂部發(fā)光型OLED顯示裝置將從第二電極朝著第一電極103發(fā)射的光反射,并且沿著向上的方向輸出光?;蛘?,可以以多層結(jié)構(gòu)形式形成第一電極103。例如,可以以包括第一層、設(shè)置在第一層上的第二層和設(shè)置在第二層上的第三層的三層結(jié)構(gòu)的形式形成第一電極103。在這種情況下,第一層和第三層各自可以由透明導(dǎo)電材料形成。透明導(dǎo)電材料可以為銦錫氧化物(ITO)和銦鋅氧化物(IZO)之一。第二層可以為反射層,并且可以為金屬層和金屬合金層之一。例如,第二層可以為銀層和包含銀(Ag)的金屬合金層之一。因此,可以實(shí)現(xiàn)沿著向上的方向反射從第二電極朝著第一電極103發(fā)射的光的頂部發(fā)光型OLED顯示裝置。在設(shè)置有有機(jī)發(fā)光元件的第一電極103的基板100的第一非發(fā)光區(qū)NA1和第二非發(fā)光區(qū)NA2上設(shè)置第一堤壩圖案104。第一堤壩圖案104可以以覆蓋第一電極103的邊緣的方式形成。換言之,可以將第一堤壩圖案104設(shè)置為露出第一電極103的上表面的與發(fā)光區(qū)AA對(duì)應(yīng)的一部分。這樣,可以防止第一電極103的邊緣部分中的電流集中。在第一電極103的邊緣上設(shè)置這樣的第一堤壩圖案104。另外,可以通過(guò)從有機(jī)發(fā)光元件的第一電極103的一個(gè)邊緣延伸至第二非發(fā)光區(qū)NA2,在露出第二非發(fā)光區(qū)NA2內(nèi)的彼此不同的濾色器圖案之間的邊界的開(kāi)口中設(shè)置第一堤壩圖案104??梢砸耘c設(shè)置在開(kāi)口中的第一堤壩圖案104交疊的方式設(shè)置第二堤壩圖案105。換言之,可以在開(kāi)口中設(shè)置第一堤壩圖案104并且可以在與所述開(kāi)口相對(duì)的第一堤壩圖案104上設(shè)置第二堤壩圖案105。以這樣的方式...
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