本發(fā)明涉及生產過程中產生廢液的收集裝置，具體地說是一種可接收移動排廢口廢液的封閉裝置。

背景技術：

目前，半導體行業(yè)中晶片濕法處理設備都涉及化學廢液的排放。對于噴嘴較多的涂膠單元，經常將噴嘴設計成可以切換的結構。工作工程中，根據當前工藝所需的光刻膠，噴嘴切換結構將對應的噴嘴移動到膠臂可夾取的位置。噴嘴的切換導致其下方的排廢口是移動的，而工作腔體下方的排廢管是固定的，因此，以往固定的廢液盒不再適用。若將固定廢液盒的盒蓋設有方形口供移動的排廢口移動，又會有大量廢液揮發(fā)到工作腔體中，影響工作環(huán)境與晶片質量。所以，需要一個既能過渡上方移動排廢口與下方固定排廢管、又能避免大量化學廢液揮發(fā)到工作環(huán)境中的裝置。

技術實現要素：

為了解決噴嘴切換結構的移動廢液口與下方固定排廢管的連接問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可接收移動排廢口廢液的封閉裝置。

本發(fā)明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發(fā)明包括接液盒、端部密封片、限位密封片、轉動密封片、廢液管固定板及廢液管夾緊塊，其中接液盒的兩端分別設有端部密封片，兩端所述端部密封片的一側均轉動連接在接液盒上，所述廢液管固定板位于兩端所述端部密封片之間，在該廢液管固定板上安裝有夾緊移動廢液管的廢液管夾緊塊；所述廢液管固定板兩側與每端所述端部密封片之間均設有多個限位密封片及多個轉動密封片，每側的各限位密封片與轉動密封片均間隔布置，所述廢液管固定板的兩側均通過下轉動軸轉動連接限位密封片，每端所述端部密封片的另一端均通過上轉動軸轉動連接限位密封片，相鄰的所述限位密封片與轉動密封片之間通過所述上轉動軸或下轉動軸轉動連接；所述廢液管固定板及廢液管夾緊塊隨所述廢液管移動，進而帶動所述限位密封片與轉動密封片之間及端部密封片與限位密封片之間相對轉動，并將相對轉動轉變?yōu)樗鰪U液管夾緊塊與所述廢液管的同步水平移動。

其中：所述限位密封片上設有限制端部密封片及轉動密封片轉動極限位置的凸起B(yǎng)，所述端部密封片及轉動密封片的轉動極限位置均為豎直方向或所述限位密封片上的凸起B(yǎng)與端部密封片或轉動密封片相切；

所述端部密封片分為中間部A及位于該中間部A兩側的圓柱A和圓柱B，所述圓柱B通過端部轉動軸與接液盒轉動連接，所述圓柱A通過上轉動軸與限位密封片的一側轉動連接；所述中間部A為平板狀，所述圓柱A的軸向中心線與圓柱B的軸向中心線分別位于中間部A的兩側，并與所述中間部A兩側表面共面；在所述圓柱B上設有限制端部密封片轉動極限位置的凸起A；所述圓柱B的軸向長度與中間部A的長度相同，所述圓柱A的軸向長度小于中間部A的長度，并在所述圓柱A的兩端與中間部A之間形成止口A；

所述限位密封片分為中間部B及位于該中間部B兩側的鉸接部A和鉸接部B，所述鉸接部A通過上轉動軸與端部密封片或相鄰一側的轉動密封片轉動連接，所述鉸接部B通過下轉動軸與相鄰另一側的轉動密封片或所述廢液管固定板轉動連接；所述鉸接部A上設有凸起B(yǎng)，通過該凸起B(yǎng)與端部密封片或轉動密封片的抵接，限制所述端部密封片或轉動密封片的轉動極限位置；所述中間部B為平板狀，所述鉸接部A和鉸接部B的端面均為圓形，該鉸接部A的圓心和鉸接部B的圓心分別位于中間部B的兩側，并與所述中間部B兩側表面共面；所述限位密封片呈“工”字形，每一端的兩側分別為鉸接部A及鉸接部B；

所述轉動密封片分為中間部C及位于該中間部C兩側的圓柱C和圓柱D，所述圓柱C及圓柱D分別通過上轉動軸、下轉動軸與相鄰的限位密封片轉動連接；所述中間部C為平板狀，所述圓柱C的軸向中心線與圓柱D的軸向中心線分別位于中間部C的兩側，并與所述中間部C兩側表面共面；所述圓柱C及圓柱D的軸向長度相等，且均小于所述中間部C的長度，在所述圓柱C的兩端與中間部C之間及圓柱D的兩端與中間部C之間均形成止口B；

所述廢液管固定板分為中間部D及位于該中間部D兩側的圓柱E和圓柱F，所述圓柱E和圓柱F均通過下轉動軸與限位密封片轉動連接；所述中間部D為平板狀，所述圓柱E的軸向中心線與圓柱F的軸向中心線位于中間部D的同側，且與該側表面共面；所述圓柱E及圓柱F的軸向長度相等，且均小于所述中間部D的長度，在所述圓柱E的兩端與中間部D之間及圓柱F的兩端與中間部D之間均形成止口C；所述中間部D上開有供廢液管穿過的通孔；

所述接液盒兩側內壁上開有凹槽，各所述上轉動軸或下轉動軸的 兩端位于該凹槽內。

本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為：

1.本發(fā)明在移動的廢液管水平移動時，端部密封片、限位密封片、轉動密封片將自身的轉動轉變?yōu)殡S移動廢液管的水平移動，可接收上方移動廢液口的廢液，且與下方固定的排廢管連接緊固，解決了噴嘴切換結構的移動廢液口與下方固定排廢管的連接問題。

2.本發(fā)明結構封閉，能夠有效防止排放的廢液揮發(fā)到工作腔體內。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結構主視圖；

圖2為本發(fā)明的立體結構示意圖；

圖3A為圖1中端部密封片的立體結構示意圖；

圖3B為圖1中端部密封片的結構主視圖；

圖3C為圖3B的左視圖；

圖3D為圖3B的俯視圖；

圖4A為圖1中限位密封片的立體結構示意圖；

圖4B為圖1中限位密封片的結構主視圖；

圖4C為圖4B的左視圖；

圖4D為圖4B的俯視圖；

圖5A為圖1中轉動密封片的立體結構示意圖；

圖5B為圖1中轉動密封片的結構主視圖；

圖5C為圖5B的左視圖；

圖5D為圖5B為俯視圖；

圖6A為圖2中廢液管固定板的立體結構示意圖；

圖6B為圖2中廢液管固定板的結構主視圖；

圖6C為圖6B的左視圖；

圖6D為圖6B的俯視圖；

其中：1為接液盒，2為端部密封片，201為中間部A，202為圓柱A，203為圓柱B，204為止口A，205為凸起A，3為限位密封片，301為中間部B，302為鉸接部A，303為鉸接部B，304為凸起B(yǎng)，4為轉動密封片，401為中間部C，402為圓柱C，403為圓柱D，404為止口B，5為端部轉動軸，6為上轉動軸，7為下轉動軸，8為廢液管固定板，801為中間部D，802為圓柱E，803為圓柱F，804為止口C，805為通孔，9為廢液管夾緊塊，10為凹槽。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明作進一步詳述。

如圖1、圖2所示，本發(fā)明包括接液盒1、端部密封片2、限位密封片3、轉動密封片4、廢液管固定板8及廢液管夾緊塊9，其中接液盒1的下部固定于工作腔體的底板上，接液盒1的上部為敞口狀；在接液盒1上部的兩端分別設有端部密封片2，兩端端部密封片2的一側均通過端部轉動軸5連接在接液盒1上，并可繞端部轉動軸5轉動。廢液管固定板8位于兩端端部密封片2之間，在該廢液管固定板8的上表面固定有兩個廢液管夾緊塊9，每個廢液管夾緊塊9上均開有直徑與上方移動的廢液管管徑相同的槽，槽的截面小于半圓。兩個廢液管夾緊塊9通過螺栓連接后，中間部分形成的圓槽夾緊移動的廢液管。

廢液管固定板8兩側與每端端部密封片2之間均設有多個限位密封片3及多個轉動密封片4，每側的各限位密封片3與轉動密封片4均間隔布置；廢液管固定板8的兩側均通過下轉動軸7轉動連接限位密封片3，即距離兩端端部密封片2最遠的兩個下限位密封片3分別通過下轉動軸7與廢液管固定板8的兩側轉動連接；每端端部密封片2的另一端均通過上轉動軸6轉動連接限位密封片3，限位密封片3與一側相鄰的轉動密封片4之間通過上轉動軸6轉動連接，與另一側相鄰的轉動密封片4之間通過下轉動軸7轉動連接，端部密封片2與限位密封片3可相對轉動，限位密封片3與轉動密封片4可相對轉動；本實施例在廢液管固定板8的一側與每端的端部密封片2之間設置了五個限位密封片3及四個轉動密封片4。廢液管固定板8及廢液管夾緊塊9隨廢液管移動，進而帶動限位密封片3與轉動密封片4之間及端部密封片2與限位密封片3之間相對轉動，并將相對轉動轉變?yōu)閺U液管夾緊塊9與廢液管的同步水平移動。

如圖3A～3D所示，端部密封片2分為中間部A201及位于該中間部A201兩側的圓柱A202和圓柱B203，中間部A201為平板狀，圓柱A202的軸向中心線與圓柱B203的軸向中心線分別位于中間部A201的兩側，并與中間部A201兩側表面共面；在圓柱B203上設有限制端部密封片2轉動極限位置的凸起A205；圓柱B203的軸向長度與中間部A201的長度相同，圓柱A202的軸向長度小于中間部A201的長度，并在圓柱A202的兩端與中間部A201之間形成止口A204。圓柱B203通過端部轉動軸5與接液盒1轉動連接，圓柱A202通過上轉動軸6與限位密封片3的一側轉動連接。

如圖4A～4D所示，限位密封片3分為中間部B301及位于該中間部B301兩側的鉸接部A302和鉸接部B303，限位密封片3呈“工”字形，每一端的兩側分別為鉸接部A302及鉸接部B303；中間部B301 為平板狀，鉸接部A302和鉸接部B303的端面均為圓形，鉸接部A302的圓心和鉸接部B303的圓心分別位于中間部B301的兩側，并與中間部B301兩側表面共面。在鉸接部A302上設有凸起B(yǎng)304，通過該凸起B(yǎng)304與端部密封片2或轉動密封片4的抵接，限制端部密封片2或轉動密封片4的轉動極限位置。鉸接部A302通過上轉動軸6與端部密封片2上的圓柱A202或相鄰一側的轉動密封片4轉動連接，鉸接部B303通過下轉動軸7與相鄰另一側的轉動密封片4或廢液管固定板8轉動連接。限位密封片3兩端的鉸接部A302與端部密封片2連接時，兩個鉸接部A302位于端部密封片2的圓柱A202兩端的止口A204處。

端部密封片2與限位密封片3的自身結構決定其相對轉動的極限位置為豎直方向或限位密封片3上的凸起B(yǎng)304與端部密封片2相切，即端部密封片2與限位密封片3的一個相對轉動的極限位置通過端部密封片2上圓柱B203上的凸起A205限位，當端部密封片2和限位密封片3均轉動至豎直狀態(tài)時，端部密封片2的中間部A201與限位密封片3的中間部B301面面接觸，凸起A205抵接在接液盒1的端部，限制轉動；端部密封片2與限位密封片3的另一個相對轉動的極限位置通過限位密封片3上鉸接部A302上的凸起B(yǎng)304限位，端部密封片2和限位密封片3轉動至凸起B(yǎng)304與端部密封片2相切。

如圖5A～5D所示，轉動密封片4分為中間部C401及位于該中間部C401兩側的圓柱C402和圓柱D403，中間部C401為平板狀，圓柱C402的軸向中心線與圓柱D403的軸向中心線分別位于中間部C401的兩側，并與中間部C401兩側表面共面。圓柱C402及圓柱D403的軸向長度相等，且均小于中間部C401的長度，在圓柱C402的兩端與中間部C401之間及圓柱D403的兩端與中間部C401之間均形成止口B404。圓柱C402及圓柱D403分別通過上轉動軸6、下轉動軸7與相鄰的限位密封片3上的鉸接部A302或鉸接部B303轉動連接。轉動密封片4與兩側相鄰的限位密封片3連接時，兩側相鄰的限位密封片3共四個鉸接部B303分別位于轉動密封片4上的四個止口B404處。

轉動密封片4與限位密封片3的自身結構決定其相對轉動的極限位置為豎直方向或限位密封片3上的凸起B(yǎng)304與轉動密封片4相切，當轉動密封片4和限位密封片3均轉動至豎直狀態(tài)時，轉動密封片4的中間部C401與限位密封片3的中間部B301面面接觸；轉動密封片4與限位密封片3的另一個相對轉動的極限位置通過限位密封片3上鉸接部A302上的凸起B(yǎng)304限位，轉動密封片4和限位密封片3轉動至凸起B(yǎng)304與轉動密封片4相切。

如圖6A～6D所示，廢液管固定板8分為中間部D801及位于該中間部D801兩側的圓柱E802和圓柱F803，中間部D801為平板狀，圓柱E802的軸向中心線與圓柱F803的軸向中心線位于中間部D801的同側，且與該側表面共面；圓柱E802及圓柱F803的軸向長度相等，且均小于中間部D801的長度，在圓柱E802的兩端與中間部D801之間及圓柱F803的兩端與中間部D801之間均形成止口C804。中間部D801上開有供廢液管穿過的通孔805。圓柱E802和圓柱F803均通過下轉動軸7與限位密封片3的鉸接部B303轉動連接。每側的限位密封片3兩端的鉸接部B303與廢液管固定板8連接時，兩個鉸接部B303位于廢液管固定板8每側的兩個止口C804處。

在接液盒1兩側內壁上沿長度方向開有方形的凹槽10，各上轉動軸6或下轉動軸7的兩端位于該凹槽10內；本實施例是將各下轉動軸7的兩端位于凹槽10內。

本發(fā)明的工作原理為：

相鄰的端部密封片2、限位密封片3、轉動密封片4可相對轉動，限位密封片3的凸起B(yǎng)304可限定端部密封片2和轉動密封片4相對轉動而展開時的極限位置。各密封片折疊時，端部密封片2的極限位置由其自身結構決定為豎直方向，限位密封片3與轉動密封片4的極限位置為兩個相鄰面貼合。距離兩個端部密封片2最遠的兩個限位密封片3分別通過下轉動軸7連接廢液管固定板8的兩端。廢液管固定板8上方固定兩個廢液管夾緊塊9，兩個廢液管夾緊塊9夾緊移動的廢液管。移動的廢液管水平移動時，端部密封片2、限位密封片3、轉動密封片4將自身的轉動轉變?yōu)殡S移動廢液管的水平移動。移動廢液管的廢液流入接液盒1，并經過接液盒1流入下方固定的排廢管中。

此外，該裝置中各相對運動零件均為面面接觸，裝置密封良好，有效防止接液盒1中殘留廢液揮發(fā)到單元內，確保單元內部工作環(huán)境。