本發(fā)明涉及離子注入機高壓區(qū)域的高壓監(jiān)測報警，涉及離子注入機，屬于半導體裝備制造領域。

背景技術：

離子注入機是半導體器件制造中常用的摻雜設備，該設備通過高壓提供給摻雜離子動能，從而使摻雜離子進入硅片，完成注入工藝。離子注入機工藝注入過程中，不同工藝往往對應不同的離子能量，而不同的離子能量又直接取決于離子起終止電壓。并且不同注入能量下，會在束流路徑上不同區(qū)域加不同電壓用來聚合或發(fā)散束流，用來保證束流品質。這些加到離子注入機不同區(qū)域的電壓往往為高壓，且由于注入機設備結構復雜，大多數(shù)區(qū)域直接裸露在可接觸位置，危急操作人員安全。

本發(fā)明提供了一種非接觸高壓監(jiān)測報警的方法，該方法實現(xiàn)方便，集成度高，且實時持續(xù)監(jiān)測，實踐表明該電路對高壓監(jiān)測報警效果良好。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明涉及一種非接觸高壓監(jiān)測報警的方法。該發(fā)明應用于離子注入機，該方法適用于離子注入機工作或維護過程中對高壓區(qū)域的高壓監(jiān)測報警，避免設備卸電裝置故障或人為因素導致高壓致傷事故。

本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn)：

一種非接觸高壓監(jiān)測報警的方法，如圖1所示，它包括測試探頭(1)、信號調(diào)理電路(2)、發(fā)光報警電路(3)、蜂鳴報警電路(4)、門連鎖控制電路(5)、 電源轉換電路(6)。各功能單元的作用如下：

測試探頭：將離子注入機高壓區(qū)域的強電場轉換為一定幅度的小信號；

信號調(diào)理電路：將測試探頭所得小信號放大并進行調(diào)整判斷；

發(fā)光報警電路：完成聲光報警功能；

門聯(lián)鎖控制電路：通過判斷離子注入機防護門開關狀態(tài)，控制蜂鳴報警電路是否起作用。若注入機防護門打開狀態(tài)，啟動蜂鳴報警電路，若注入機防護門關閉狀態(tài)，則關閉蜂鳴報警電路；

電源轉換電路：為其他各電路模塊供電。

本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點：

1、監(jiān)測高壓方式為非接觸方式，監(jiān)測過程中不會對注入機高壓區(qū)域產(chǎn)生任何影響。

2、報警為分級報警，根據(jù)離子注入機防護門的開關狀態(tài)，采用不同的報警級別。

3、該方法全部由硬件電路完成，能夠進行實時監(jiān)測，并且結構簡單、安全可靠。

附圖說明

圖1是非接觸高壓監(jiān)測報警的結構框圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為本發(fā)明的限定。

如圖1所以，測試探頭(1)以非接觸方式放置在所需高壓監(jiān)測的區(qū)域附 近，測試探頭(1)將高壓區(qū)域的強電場轉換為一定幅度的小信號，將此小信號送入信號調(diào)理電路(2)進行調(diào)整和判斷，通過信號調(diào)理電路(2)，判斷監(jiān)測區(qū)域有無高壓啟動發(fā)光報警電路(3)，同時根據(jù)門聯(lián)鎖控制電路(5)的信號進行分級報警，若注入機防護門打開狀態(tài)，啟動蜂鳴報警電路(4)，若注入機防護門關閉狀態(tài)，則關閉蜂鳴報警電路(4)。其中的電源轉換電路(6)，能夠將外界電壓轉化為各電路工作電壓。

本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。